Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024006601
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】スピンナテーブルのサイズを短時間で素早く認識すること。【解決手段】チャックテーブル１０と、研削ユニット（加工手段）２０と、スピンナテーブル３１に保持されたウェーハＷを洗浄するスピンナ洗浄手段３０と、ウェーハＷを搬送するロボット４０を備える研削装置（加工装置）１において、ロボット４０は、投光部４７ａと該投光部４７ａから投光された光の反射光を受光すると受光部４７ｂを備えるセンサ４７と、該センサ４７を水平方向に移動させる水平移動機構４４とを備え、センサ４７をスピンナテーブル３１に向かって水平方向に接近させ、該センサ３１の受光部４７ｂが所定量の反射光を受光してスピンナテーブル３１の外周を検知したときの該センサ４７とスピンナテーブル３１の中心との水平方向の距離（センサ４７の水平方向の位置）によって、スピンナテーブル３１のサイズを認識するテーブルサイズ認識部４８を設ける。【選択図】図６
Inventors:
Toshimitsu Goto
Application Number:
JP2022107659A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
July 04, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B24B7/04; B24B41/06; B24B49/12; B24B55/06; B25J19/02; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office
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