Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024009474
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】製造工程の時間増加と装置の大型化を防ぎつつ、洗浄効果を高めることができる加工装置を提供する。【解決手段】移動ユニット（４０）による保持テーブル（１０）の移動経路と交差するように設置される洗浄液供給ノズル（８１）と、保持テーブル（１０）の移動経路と交差するように設置される保持面（１１）に保持された被加工物（Ｗａ）の表面に窒素を供給する窒素供給口（８４）を有する窒素供給ノズル（８３）と、窒素供給ノズル（８３）と隣接して設置され、窒素によって酸素が除去された領域に紫外線を照射し、被加工物（Ｗａ）の親水性を向上させ、洗浄ユニット（６０）における洗浄効果を高める紫外線照射ユニット（１００）と、を有する事を特徴とする加工装置。【選択図】図１
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Inventors:
Keiichi Shoji
Application Number:
JP2022111022A
Publication Date:
January 23, 2024
Filing Date:
July 11, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/301; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Infot Patent Attorney Corporation
Hiroyoshi Aoki
Masayuki Amada
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Masayuki Amada