Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024022107
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】加工室内から加工屑を含む噴霧が噴出することを抑制する。【解決手段】第１シール板１３５および第２シール板１３６が、通過口１３２の上部に配置されており、仕切り板６２とともに通過口１３２を塞いでいる。また、第１シール板１３５と第２シール板１３６との間には、空間Ｌが形成されている。通過口１３２に向かった加工屑を含む噴霧Ｗの大半が、第１シール板１３５および仕切り板６２によって遮られて、加工室１２０内に留まる。また、小さい噴霧は、第１シール板１３５と仕切り板６２との僅かな隙間Ｇ１を通過して、第１シール板１３５と第２シール板１３６との間の空間Ｌに留まり、水シールＷＳを形成する。この水シールＷＳにより、加工室１２０の通過口１３２から噴霧が排出されることを防止することができる。【選択図】図６
Inventors:
Daichi Higuchi
Application Number:
JP2022125465A
Publication Date:
February 16, 2024
Filing Date:
August 05, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B23Q11/08; B24B7/04; B24B55/02; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office
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