Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024022745
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】搬出入ユニットが実施する動作の失敗を迅速に検出する。【解決手段】収容カセットが置かれるカセットテーブルと、仮置き領域及び該収容カセットの間で被加工物ユニットを搬出入する搬出入ユニットと、該被加工物ユニットを保持する保持面を備えた保持テーブルと、該被加工物ユニットに含まれる被加工物を加工する加工ユニットと、制御ユニットと、を備えた加工装置であって、該搬出入ユニットは、移動体と、該移動体に設けられ該被加工物ユニットの外周部を把持する把持部と、モータを備え該移動体を移動させる移動機構と、を備える。該制御ユニットは、該搬出入ユニットに接続されており、該モータにかかる負荷を検出する負荷検出部と、該モータを作動させて該移動体を移動させたときに該負荷検出部で検出される該モータにかかる負荷に基づいて該被加工物ユニットが移動しているか否かの判定を実施する判定部と、を備える。【選択図】図１
Inventors:
Hironari Okubo
Shohei Sasaki
Shohei Sasaki
Application Number:
JP2022126050A
Publication Date:
February 21, 2024
Filing Date:
August 08, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/67; B23Q7/04; B23Q11/00; B24B41/06
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato