Title:
フレキシブル基板を処理するための処理システム並びにフレキシブル基板の特性及びフレキシブル基板上の１つ又は複数のコーティングの特性のうちの少なくとも１つを測定する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023538038
Kind Code:
A
Abstract:
フレキシブル基板（１１）を処理するための処理システム（１００）が記載される。処理システム（１００）は、フレキシブル基板（１１）用の開口部（１１２）を備えた壁（１１１）を有する真空チャンバ（１１０）と、開口部（１１２）を通るフレキシブル基板（１１）の輸送中にフレキシブル基板（１１）を支持するための基板支持体（１２０）と、フレキシブル基板（１１）の特性及びフレキシブル基板（１１）上の１つ又は複数のコーティング（１２）の特性のうちの少なくとも１つを測定する測定アセンブリ（１３０）とを含む。測定アセンブリ（１３０）及び基板支持体（１２０）は、壁（１１１）に取り付けられている。【選択図】図１
Inventors:
Depish, Thomas
Langa Sammy, Eziil Murgan
Bangert, Stephan
Alison, Matthew Dean
Langa Sammy, Eziil Murgan
Bangert, Stephan
Alison, Matthew Dean
Application Number:
JP2023511774A
Publication Date:
September 06, 2023
Filing Date:
August 16, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C14/56; C23C14/52; C23C16/54
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation