Title:
ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015509165
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、複数のポンプ輸送（吸込み吐出し）段（１２，１４，１６，１８）を有する多段真空ポンプ（１０）に関する。こ真空ポンプは、ポンプ輸送段のそれぞれ対応のポンプ輸送チャンバ（３２，３４，３６，３８）を形成するステータと、複数のロータ（４４ａ，４４ｂ；４６ａ，４６ｂ；４８ａ，４８ｂ；５０ａ，５０ｂ）をそれぞれ対応のポンプ輸送チャンバ内でそれぞれ回転可能に支持する少なくとも１本のシャフト（４０，４２）とを有する。ステータは、複数のステータ段の軸方向広がりにわたって延び、それにより上記少なくとも１本のシャフトを包囲すると共に複数のステータ段の内部輪郭形状を形成する一体形ステータエンベロープ（２０）と、対応のポンプ輸送チャンバを形成するようステータ段の各軸方向側部に設けられた複数の横方向壁（２２，２４，２６，２８，３０）とを有する。横方向壁のうちの少なくとも１つは、ステータ段相互間に位置する段間部（２６，２８，３０）であり、ステータエンベロープは、段間部をステータ部分の半径方向内方に配置できるよう段間部を包囲するよう構成されている。
Inventors:
グレイ マルコム ウィリアム
ネラー ポール デイヴィッド
ターナー ニール
タッターソール ジャック レイモンド
ネラー ポール デイヴィッド
ターナー ニール
タッターソール ジャック レイモンド
Application Number:
JP2014555306A
Publication Date:
March 26, 2015
Filing Date:
January 29, 2013
Export Citation:
Assignee:
エドワーズ リミテッド
International Classes:
F04C25/02; F04C23/00; F04C29/00
Domestic Patent References:
| JPH06505330A | 1994-06-16 | |||
| JP2002221164A | 2002-08-09 | |||
| JP2004353576A | 2004-12-16 | |||
| JPS5521054Y2 | 1980-05-21 | |||
| JP2000009073A | 2000-01-11 | |||
| JPS5320106A | 1978-02-24 |
Foreign References:
| US20060228246A1 | 2006-10-12 |
Attorney, Agent or Firm:
辻居 Koichi
Sadao Kumakura
Pupil circle 健
Sari Ino
Matsushita 満
Ichiro Kurasawa
Ryohei Yoshino
Sadao Kumakura
Pupil circle 健
Sari Ino
Matsushita 満
Ichiro Kurasawa
Ryohei Yoshino