Title:
放射線ベースの厚さゲージ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024009260
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】放射線ベースの厚さゲージの提供。【解決手段】電磁放射線を使用して材料層の厚さを測定するためのシステムおよび方法の実施形態が、説明される。いくつかの実施形態において、システムは、第１の表面と、第１の表面の反対側の第２の表面との間にある厚さを含む材料の層の第１の表面のほうへ第１の放射線を向けるように構成された放射線源を含む。第１の放射線は、材料層に二次放射線を放出させる。フィルタが、材料の蛍光に関連付けられた第２の放射線の一部を減衰させ、第３の放射線を放出するために、材料層と放射線検出器との間で、第２の放射線のビーム経路の中に位置付けられる。次いで、放射線検出器は、第３の放射線を検出するように構成され、コントローラが、検出された第３の放射線に基づいて、材料層の厚さに対応する測定値を提供するように構成されている。【選択図】図１－１
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Inventors:
Vahe Gazikanian
Ahmad Al. Shishegar
Ahmad Al. Shishegar
Application Number:
JP2023199834A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
November 27, 2023
Export Citation:
Assignee:
NORDSON CORPORATION
International Classes:
G01B15/02
Attorney, Agent or Firm:
Shusaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto