Title:
感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法及び重合体
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014133048
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、式（ｉ−１）で表される構造単位及び（ｉ−２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種と、式（ｐ−１）で表される構造単位及び（ｐ−２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種とを有する重合体、感放射線性酸発生体、及び有機溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。式（ｉ−１）中、Ｒ７は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数１〜５の１価の鎖状炭化水素基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数２〜５のアルコキシカルボニル基又は−ＯＲＡ基を末端に有する１価の有機基（ａ）（但し、−ＯＲＡ基は、少なくとも１つのフッ素原子若しくはフッ素化アルキル基を有する炭素原子に結合する）である。Ｒ７のうちの少なくとも１つは有機基（ａ）である。
Inventors:
Kota Nishino
Mineki Kawakami
Shiratani Sodai
Kenji Hoshiko
Mineki Kawakami
Shiratani Sodai
Kenji Hoshiko
Application Number:
JP2015502998A
Publication Date:
February 02, 2017
Filing Date:
February 26, 2014
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/039; C08F212/14; C08F220/16; C08F222/40; C08F232/08; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2014081496A | 2014-05-08 | |||
| JP2009211051A | 2009-09-17 | |||
| JP2002179731A | 2002-06-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano
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