Title:
固体原料昇華器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024016088
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】固体原料化学物質昇華器を提供する。【解決手段】固体原料化学物質昇華器３００は、中に固体化学反応物質を保持するように構成されるハウジング３１０を備えることができる。ハウジング３１０の近位部上に蓋３０６を配置してもよい。蓋３０６は、流体入口３８４および流体出口３８８を備えることができ、蓋３０６の遠位部内に蛇行流路３７４を画定することができる。蛇行流路３７４内にガスが流れるように蓋３０６を構成することができる。固体原料化学物質昇華器３００は、蛇行流路３７４とハウジング３１０の遠位部との間に配置されるフィルター３９６を備えることができる。フィルター３９６は、固体化学反応物質の通過を制限するように構成される空隙を有することができる。【選択図】図１２
Inventors:
shero eric james
white curl lewis
Verghese Moheath E.
Fonduria Kyle
Sulivan Timothy James
white curl lewis
Verghese Moheath E.
Fonduria Kyle
Sulivan Timothy James
Application Number:
JP2023183693A
Publication Date:
February 06, 2024
Filing Date:
October 26, 2023
Export Citation:
Assignee:
AS MIP Holding B F
International Classes:
C23C16/448; B01J7/00
Attorney, Agent or Firm:
Takashi Onodera
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