Title:
冷極電子源と、これを用いたマイクロ波管及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2004088703
Kind Code:
A1
Abstract:
この発明は、高周波化と高出力化の両立が図られた冷陰極電子源と、これを用いたマイクロ波管及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明に係る冷陰極電子源においては、アスペクト比Ｒが４以上となるようにエミッタ（２４）の先端が先鋭化されているため、ゲート電極（１６）から遠ざかった分だけ、エミッタ（２４）とゲート電極（１６）と間の静電容量が小さくなっている。そのため、冷陰極電子は高周波に対応することが可能である。なお、この冷陰極電子源の陰極材料には、タングステンやシリコン等の従来の陰極材料ではなく、融点と熱伝導率の高いダイヤモンドが用いられている。そのため、エミッタ（２４）内を流れる電流の電流密度が高い場合であってもエミッタ（２４）が溶融しにくいので、この冷陰極電子源は高出力に対応することが可能である。
Inventors:
Tatsumi Natsuo
Takahiro Imai
Takahiro Imai
Application Number:
JP2005504304A
Publication Date:
July 06, 2006
Filing Date:
March 26, 2004
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
International Classes:
H01J1/304; H01J3/02; H01J9/02; H01J23/04; H01J23/06
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Shiro Terasaki
Masatoshi Shibata
Shiro Terasaki
Masatoshi Shibata