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Title:
スペクトル純度フィルタ、放射源モジュール、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5689059
Kind Code:
B2
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JP2567612Description: Development method and apparatus
Inventors:
ヤクニン，アンドレイ，ミクハイロヴィッチ
バニエ，バディム，エヴィジェンエビッチ
モールス，ヨハネス，フベルトゥス，ヨセフィナ
シャメノク，レオニド，アイジコヴィッチ
Application Number:
JP2011522398A
Publication Date:
March 25, 2015
Filing Date:
July 29, 2009
Export Citation:
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Assignee:
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
International Classes:
H01L21/027; G02B5/22; G02B19/00; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki



 
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