Title:
階調密度フィルタを使用して光波の表面を検査するためのシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022523751
Kind Code:
A
Abstract:
本発明の技術分野は、光学素子（１）から生じる光波の表面を検査するためのシステムの分野であり、前記光学素子は、射出瞳（３）を含み、前記検査システムは、光学測定ヘッド（１０）と、前記光学測定ヘッドからの画像を処理するためのコンピュータ（２０）とを含む。光学測定ヘッドは、密度勾配フィルタ（１１）であって、密度は、空間の２つの方向に周期的に変化する、密度勾配フィルタ（１１）、正方形であり、同じ焦点距離であり、且つ対称に配置された少なくとも４つの同一レンズを含むマトリクスフレーム、光検出器アレイ（１３）であって、４つのレンズの各々は、このアレイの平面内において瞳の画像を形成する、光検出器アレイ（１３）を含む。画像処理コンピュータは、射出瞳の平面内における波面Δ（ｘ，ｙ）の偏導関数TIFF2022523751000027.tif17170を計算するための計算手段を含む。
Inventors:
Hainaut, Francois
Spang, Alan
Spang, Alan
Application Number:
JP2021544911A
Publication Date:
April 26, 2022
Filing Date:
January 21, 2020
Export Citation:
Assignee:
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
International Classes:
G01J9/00; G01M11/02
Attorney, Agent or Firm:
Kawaguchi International Patent Office
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