Title:
潤滑剤供給システムを有するターボ分子ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019525061
Kind Code:
A
Abstract:
ターボ分子ポンプは、ハウジング（１２０）と、回転軸（２６）の周りのハウジングに対する回転のために複数の軸受（３２、３４）によって支持された回転子シャフト（２４）と、デフレクター（４０）と、潤滑剤供給システム（３６）と、回転子シャフト上に設けられた潤滑剤移送デバイス（３８）とを有する。軸受は、潤滑剤供給システムから潤滑剤移送デバイスを通じて潤滑剤を受け入れる転がり軸受（３２）を含む。転がり軸受は、潤滑剤移送デバイスとデフレクターの中間に配置され、デフレクターは、転がり軸受を通過する潤滑剤を回転子シャフトに対して外向きに偏向させるように構成される。【選択図】図８
Inventors:
Pellino Nicola
Application Number:
JP2019506136A
Publication Date:
September 05, 2019
Filing Date:
July 31, 2017
Export Citation:
Assignee:
Edwards Limited
International Classes:
F04D19/04; F16C19/06; F16C19/54; F16C33/66; F16N9/02; F16N13/20; F16N17/06; F16N31/00
Foreign References:
| EP2740956A2 | 2014-06-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Kazushige Tanzawa
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Kazushige Tanzawa