Title:
超音波センサー及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016006671
Kind Code:
A1
Abstract:
少なくとも一つの開口部１８を有する基板と、前記開口部１８を塞ぐように前記基板に設けられた振動板５０と、前記振動板５０の前記開口部１８とは反対側に、Ｙ方向に並ぶように設けられ、前記Ｙ方向と直交するＸ方向にのびる、複数の第１電極１４と、前記振動板５０の前記開口部１８とは反対側に、前記Ｘ方向に並ぶように設けられ、前記Ｙ方向にのびる、複数の第２電極１６と、少なくとも前記第１電極１４と前記第２電極１６とが交差する部分において、前記第１電極１４と前記第２電極１６の間に設けられる複数の圧電体層１５と、を具備する超音波センサーであって、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向と直交するＺ方向において、前記第１電極１４と前記圧電体層１５と前記第２電極１６とが重なっている部分を能動部とし、前記振動板５０が前記能動部の駆動により振動できる領域を可動部とし、平面視において、１つの前記可動部と、前記１つの可動部内に設けられる前記能動部とからなる単位を、１つの超音波素子としたとき、平面視において、前記可動部の面積に対する前記能動部の面積が異なる２種以上の超音波素子を具備する。
Inventors:
Kojima Riki
Application Number:
JP2016532976A
Publication Date:
April 27, 2017
Filing Date:
July 09, 2015
Export Citation:
Assignee:
Seiko Epson Corporation
International Classes:
H04R17/00; A61B8/14; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
Hiroyuki Kurihara
Mountain Saki Yuichiro
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