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Title:
超音波探触子およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017145514
Kind Code:
A1
Abstract:
基板301と、基板301上に形成された下部電極102と、下部電極102上に形成された下層絶縁膜303と、下層絶縁膜303上に形成され、下層絶縁膜303との間に空洞部103を形成する上層絶縁膜305と、上層絶縁膜305上に形成された上部電極105と、を有し、空洞部103は、下部電極102と重なり、上部電極105は、空洞部103および下部電極102と重なり、上層絶縁膜305は、下層絶縁膜303よりもリーク電流の大きい絶縁膜とした超音波探触子。

Inventors:
Toshiyuki Mine
Shuntaro Machida
Application Number:
JP2018501015A
Publication Date:
November 01, 2018
Filing Date:
December 26, 2016
Export Citation:
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Assignee:
株式会社日立製作所
International Classes:
H04R19/00; A61B8/14; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
Tsutsui International Patent Office