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Title:
スライドガイド式駆動部を備える真空アングル弁
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018538490
Kind Code:
A
Abstract:
流路を略ガス密に遮断する弁(10)は、弁ハウジング(11)を備え、弁ハウジング(11)は、第1の軸線方向の第1のポート(12)と、第2の軸線方向の第2のポートと、第1のポート(12)を取り巻いていて、流動室の流路内に配置されている弁座とを有している。加えて弁(10)は、弁部材(17)を備え、弁部材(17)は、弁部材(17)の、弁座に面した閉鎖面が、流路を遮断すべく、弁座と接触可能であるとともに、流路を開放すべく、離間可能であるように、運動軸線(18)に沿って弁座の面に対して垂直に摺動可能である。さらに弁は、弁部材(17)の摺動を提供するモータライズされた駆動ユニットを備えている。弁部材(17)は、接触要素(16)を有する弁棒(15)を有し、駆動ユニットは、ガイド機構(23)を有し、ガイド機構(23)は、作動軸を中心に回転可能に支持される作動要素(25)を有し、作動要素(25)は、作動軸を中心に制御されて回転可能に配置されており、作動要素(25)の形状により、作動軸からの間隔が所定の回転角度範囲内で変化する外周のトラックを規定している。作動軸とトラックとの間の間隔は、作動軸を中心とする作動要素(25)の回転により調整可能である。駆動ユニットと弁部材とは、作動要素(25)の回転により弁部材(17)が可動であり、これにより流路を遮断あるいは開放することができるように、接触要素(16)とガイド機構(23)とが協働するよう配置されている。

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Inventors:
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Application Number:
JP2018526234A
Publication Date:
December 27, 2018
Filing Date:
November 17, 2016
Export Citation:
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Assignee:
Bat holding arg
International Classes:
F16K31/524; F16K1/00; F16K51/02
Domestic Patent References:
JP2002168361A2002-06-14
JP2001214987A2001-08-10
Foreign References:
DE102011109664A12013-02-14
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima