Title:
バルブ、気体制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018021514
Kind Code:
A1
Abstract:
バルブは、第１板と側壁板と第２板と第３板とを備える。第１板は、複数の第１通気孔を有する。第２板は、バルブ室を第１板及び側壁板と共に構成する。第２板は、第１板の第１主面と対向する第２主面を備える。第２板は、複数の第２通気孔を有する。第３板は、複数の第３通気孔を有する。複数の第３通気孔は、第１板と第２板が対向する方向に平面視して、複数の第２通気孔に重ならず複数の第１通気孔に重なる。第３板は、第１主面及び第２主面に両主面が対向する。第３板は、バルブ室に設けられている。第１板と第２板が対向する方向に平面視して、第２通気孔の外周と前記第２通気孔に最も近接する第３通気孔の外周とは適合する対向縁を有し、対向縁における第２通気孔と第３通気孔との距離は、第２通気孔の外周と第３通気孔の外周との最短距離の１．２倍以下である。
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Inventors:
Shin Tanaka
Daisuke Kondo
Daisuke Kondo
Application Number:
JP2017556258A
Publication Date:
July 26, 2018
Filing Date:
July 28, 2017
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F04B45/047; F16K1/00; F16K15/14
Attorney, Agent or Firm:
Kaede International Patent Office