Die Erfindung betrifft Aktorelemente sowie deren Verwendung, die für mechatronische, adaptive Applikatio- nen unter unterschiedlichsten Einsatzbedingungen eingesetzt werden können. Dabei können mit den erfindungsgemäßen Aktorelementen deren Veränderungen der Form und Größe ausgenutzt werden, um beispielsweise Bewegungen zu initiieren oder eine Kraftwirkung aus- zuüben. Sie können u.a. analog zu Piezoelementen eingesetzt werden.

Piezoelemente sind aber wegen deren mechanischen Eigenschaften und der begrenzten Dehnbarkeit häufig nicht oder nur unzulänglich einsetzbar. Auch die Herstellungskosten können zu hoch sein.

So sind in der Vergangenheit Versuche unternommen worden Aktoren mit dielektrischen elastomeren Kunst- Stoffen zur Verfügung zu stellen. Dabei gibt es aber aufgrund der hohen Dehnungen Probleme bei der elektrischen Kontaktierung und Verbindung der erforderlichen Elektroden, die unter allen Einsatzbedingungen gegeben sein soll.

Die erforderlichen Schaltspannungen liegen in einem Bereich von 100 kV, die häufig nicht beherrsch- oder einsetzbar sind.

Auch unterscheiden sich die Eigenschaften des Werkstoffs für den dielektrischen Teil und die Elektroden in vielen Punkten gravierend, was sich besonders ungünstig bei sich veränderten Einsatz- bzw. Umgebungsbedingungen auswirkt.

Üblicherweise werden Metallelektroden eingesetzt, die jedoch völlig andere mechanische Eigenschaften aufweisen, als die relativ weichen Elastomere. Die Funktionalität solcher Aktoren leidet daher meist unter dem Versagen der Elektroden.

Bei hochdehnbaren Elastomeren sollen Elektroden ein ähnliches Dehnungsverhalten aufweisen. Daher werden Elektroden mit elektrisch leitfähigen Graphitflocken hergestellt, die mit einem Siliconöl auf polymere

Oberflächen aufgetragen werden. Dabei wird aber ein eigentlich trockener „Aktor" mit einer teilweise flüssigen Schicht beaufschlagt wird. Dies ist aber bei einem Stapelaufbau mit einem Wechsel von Elektro- den und Polymerschichten sehr ungünstig. So ausgebildete Elektroden sind sehr gleitfähig und stellen daher mechanische Schwachpunkte dar. Außerdem ist die optische Transparenz erheblich beeinträchtigt.

Für die Ausbildung von optisch transparenten Elektroden, die beispielsweise bei organischen Leuchtdioden (OLED' s) genutzt werden können, ist es bekannt Koh- lenstoff-Nanoröhrchen (CNT) in einer Dispersion aufzutragen und zu trocken, so dass sie schichtförmig auf den leuchtenden organischen Schichten ausgebildet und dabei auch elektrisch leitend sind. Die CNT' s sind dabei in einer organischen Matrix mit einem relativ hohen Anteil enthalten, wobei ein Kompromiss zwischen elektrischer Leitfähigkeit und optischer Transparenz bzgl. des jeweiligen Anteils an CNT' s und der Elektrodendicke gemacht werden muss.

Die so hergestellten Elektroden haben ebenfalls stark abweichende Eigenschaften von den anderen Komponenten solcher OLED' s .

Von T. Sekitani u.a. ist es aus „A Rubberlike Stret- chable Active Matrix Using Elastic Conductors" Science Express Online 7.08.2008 bekannt elektrisch leitfähige flexible Elemente aus Kunststoff herzustellen, die elektrisch leitend sind und gleichzeitg gedehnt werden können. Dabei sollen CNT' s in flüssiges Viny- lidenfluoridhexafluoropropylen mit einem Zusatz von ionischem l-Butyl-3-Methylimidazoliumbisimid gegeben und die so erhaltene Mischung soll dann auf einen Glasträger aufgetragen wird. Das erhaltene Kompositmaterial konnte dann mit dehnbarem Silikongummi verbunden werden. Mit einem hohen Anteil von 20 Masse. -% an CNT' s kann die elektrische Leitfähigkeit erhöht werden. Der elektrisch leitende Teil mit den CNT' s und der Silikongummi weisen aber auch wieder voneinander abweichende Eigenschaften auf und bilden einen Materialverbund unterschiedlicher Werkstoffe mit unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften, wodurch solche Aktorelemente eine verkürzte Lebensdauer oder verschlechterte Eigenschaften aufweisen. Es ist daher Aufgabe der Erfindung Aktorelemente zur Verfügung zu stellen, die verbesserte Eigenschaften aufweisen und kostengünstig herstellbar sind.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Aktorelement, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Verwendungen sind im Anspruch 16 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.

Die erfindungsgemäßen Aktorelemente sind mit mindestens einer dielektrischen Trennschicht, die von zwei elektrisch leitenden Elektroden eingefasst ist, ge- bildet. Elektroden und Trennschicht sind dabei mit dem gleichen entropie-elastisch (gummielastisch) verformbaren Kunststoff gebildet. Solche geeigneten Kunststoffe kann man auch als Elastomere oder thermoplastische Elastomere bezeichnen. Zumindest in den Elektroden bildet der Kunststoff eine Matrix in der

Kohlenstoff-Nanoröhrchen eingebettet sind. Der Anteil an Kohlenstoff-Nanoröhrchen soll im Bereich 0,001 bis 30 Masse-%, bevorzugt bis 1 Masse-% gehalten sein.

Vorteilhaft wirken sich ein großes Verhältnis Länge zu Außendurchmesser und der Einsatz einwandiger Kohlenstoff-Nanoröhrchen (SWCNT' s) aus. Das Verhältnis von Länge zu Außendurchmesser sollte mindestens 8 : 1, bevorzugt 100 : 1 gewählt sein. Der maximale Außendurchmesser sollte 100 nm nicht überschreiten.

Dielektrische Trennschichten sollten eine Schichtdicke im Bereich 100 nm bis 5 mm und Elektroden Schichtdicken im Bereich 100 nm bis 5 mm aufweisen.

Es können elastisch verformbare Kunststoffe einge- setzt werden, die eine Dehnung um mindestens 5 % bis zum Erreichen der Bruchgrenze bei Einsatztemperatur zulassen. Unter entropie-elastisch verformbaren Kunststoffen sollen dabei solche verstanden werden, deren Glasübergangspunkt unterhalb einer Einsatztemperatur liegt, wobei diese Temperatur in der Regel die Raumtemperatur sein soll, so dass die Glasübergangstemperatur dann unterhalb 0 ⁰ C liegen sollte.

Besonders vorteilhaft bei den erfindungsgemäßen Aktorelementen ist es, dass sie im Wesentlichen aus dem gleichen Werkstoff gebildet sind und keine Grenz oder Barriereschichten Elektroden und Trennschicht voneinander trennen, so dass sie unmittelbar ineinander übergehen. Die zumindest in den Elektroden enthaltenen Kohlenstoff-Nanoröhrchen verändern die Werkstoffeigenschaften, wenn überhaupt nur unwesentlich. Es wird lediglich die elektrische Leitfähigkeit um Größenordnungen erhöht.

Kohlenstoff-Nanoröhrchen können auch mit kleinerem Anteil als in den Elektroden in der dielektrischen Trennschicht eingebettet sein, wodurch die Eigenschaften weiter angeglichen werden können. Dabei sollte die Perkolationsschwelle nicht überschritten werden.

Durch die kleinen erforderlichen Anteile an eingebetteten Kohlenstoff-Nanoröhrchen kann bei geeignet aus- gewähltem Kunststoff auch optische Transparenz bzw. Transluzenz zumindest in einem Teilbereich des Wellenlängenspektrums des sichtbaren Lichts erreicht werden. Die Transparenz sollte dabei mindestens 50 % betragen. Optisch transparente Aktorelemente können als optische Elemente genutzt werden, bei denen die Brechzahl und/oder die Brennweite verändert werden kann.

Besonders vorteilhaft ist es, Aktorelemente als Schichtstapel auszubilden, bei denen mehr als zwei Elektroden und eine dielektrische Trennschicht vorhanden sind. Ein solcher Schichtstapel kann in ein an mindestens einer Stirnseite offenes Gehäuseelement, beispielsweise einen Hohlzylinder eingesetzt sein. Dadurch kann eine Verformung in lediglich einer Achs- richtung ausgenutzt werden. An der Innenwand des Gehäuseelements können dann elektrische Anschlüsse für die elektrische Kontaktierung der Elektroden vorhanden sein. Ein Aktorelelement kann dabei so in ein Gehäuseelement eingepasst eingesetzt sein, dass eine Kraft auf den elastomeren Kunststoff wirkt, das Aktorelement dadurch zusammengedrückt und vorgespannt ist .

Ein Aktorelement kann aber auch als spiralförmige Wicklung von miteinander verbundenen Elektroden mit dielektrischer Trennschicht ausgebildet sein. Das so gebildete Aktorelement hat die Form eines Zylinders. Es kann Druckkräfte in Richtung der Zylinderachse ausüben.

Es kann außerdem günstig sein, Kohlenstoff- Nanoröhrchen mit funktionalisierter Oberfläche einzusetzen. Dabei können Dotierungen gewählt werden, die die elektrische Leitfähigkeit erhöhen. Hierfür können geeignete Metallelemente und Metallionen eingesetzt werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit sie chemisch zu funktionalisieren, um verbesserte Oberflächeneigenschaften bzgl. der Benetzbarkeit mit dem jeweiligen Kunststoff zu erreichen, so dass die Einbet- tung in die Kunststoffmatrix vor dem Auspolymerisie- ren bzw. Vernetzen erleichtert ist. Beispiele für geeignete Kunststoffe sind: Polyurethane, Polyacrylate oder Silicone (z.B. Siliconkautschuk oder Siliconharze) .

Es können auch Polymergemische also so genannte Po- lyblends eingesetzt werden, mit denen eine weitergehende Anpassung an für die jeweilige Applikation gewünschte Eigenschaften vorgenommen werden kann. Es besteht auch die Möglichkeit Kunststoffe einzusetzen, mit denen auch viskoelastische Verformungen erreicht werden können, die auch relaxierbar sein können.

Unter Nutzung des prinzipiellen Wirkprinzips kann ein Aktorelement aber auch als Sensorelement oder als Kombination Aktor/Sensor genutzt werden, um beispielsweise Kräfte oder Drücke zu bestimmen und/oder solche Wirkungen auszuüben.

Mit erfindungsgemäßen Aktorelementen sind aber auch eine Dämpfung und auch die Anregung von Schwingungen möglich. Dabei kann eine Schalldämpfung, auch von Körperschall erreicht werden. Auch ein Einsatz in der Akustik ist möglich.

Neben der Ausnutzung einer veränderbaren Haptik können Aktorelemente auch in der Medizintechnik (Bionik) , beispielsweise als künstliche Muskeln eingesetzt werden.

Mit einer gezielten Auswahl von Kohlenstoff- Nanoröhrchen bzgl. ihres Längen - Außendurchmesser- verhältnisses kann Einfluss auf die elektrischen Eigenschaften genommen werden. Dies betrifft auch die Frequenz bei der die relative Permittivität der dielektrischen Trennschicht maximal wird. Es kann aber auch die Breite des Frequenzintervalls in dem die relative Permittivität maximal gehalten werden kann, beeinflusst werden. Dabei kann mit dünneren und längeren Kohlenstoff-Nanoröhrchen eine kleinere Fre- quenz, als mit dickeren und kürzeren erreicht werden. Die Breite der Verteilung der Außendurchmesser von Kohlenstoff-Nanoröhrchen, die eingebettet sind, beeinflusst die Breite des Frequenzintervalls in dem die relative Permittivität maximal sein kann. Eine schmale Außendurchmesserverteilung führt zu einem kleineren Frequenzintervall als eine breitere Außendurchmesserverteilung .

Erfindungsgemäße Aktorelemente können beispielsweise so hergestellt werden, dass Kohlenstoff-Nanoröhrchen im jeweiligen Kunststoff bei geeigneter Viskosität dispergiert werden. Dabei kann ein für den Kunststoff geeignetes Lösungsmittel eingesetzt sein. Mit dem Kunststoff, in dem ggf. ein kleiner Anteil an Kohlen- stoff-Nanoröhrchen enthalten ist, kann eine Folie für dielektrische Trennschichten und weiter für Folien mit höheren Anteilen an Kohlenstoff-Nanoröhrchen hergestellt werden. Diese Folien können dann miteinander verbunden werden, bevor eine Polymerisation, Polykon- densation bzw. Vernetzung erfolgt ist. Es kann so ein Aktorelement als ein einheitlicher polymerer Körper erhalten werden.

Es besteht aber auch die Möglichkeit die Oberfläche solcher Folien zu Funktionalisieren und dann Folien für Elektroden und dielektrische Trennschichten unter Druckkraftbeaufschlagung miteinander zu fügen, so dass ein fester Verbund Trennschicht und Elektroden erreicht werden kann. Für die Oberflächenfunktionali- sierung kann beispielsweise ein Lösungsmittel für den jeweiligen Kunststoff aufgetragen und die Oberfläche angelöst werden.

Die erfindungsgemäßen Aktorelemente können im Idealfall auch in einem Vollpolymerprozess und daher auch sehr kostengünstig hergestellt werden. Zumindest die mechanischen und im Wesentlichen auch die thermischen Eigenschaften der Elektroden und Trennschichten sind zumindest nahezu gleich. Dadurch kann auch die Lebensdauer positiv beeinflusst werden.

Durch den Einsatz der dünnen und langen Kohlenstoff- Nanoröhrchen in Trennschichten kann der effektive Abstand zwischen Elektroden bedingt durch die Ausbildung unvollständiger elektrischer Leitpfade zwischen den Elektroden verkleinert werden, wodurch die erforderliche elektrische Spannung erheblich reduziert werden kann. Je nach Einsatzfall und Frequenz kann dadurch auch eine Anwendung unter biokompatiblen Bedingungen, wie z.B. in der Medizintechnik oder Bio- metrie, möglich sein.

Auch die an sich bekannten mit Kohlenstoff- Nanoröhrchen erreichbaren Selbstheilungseffekte beim Betrieb und der Einwirkung von Zug- und Druckspannun- gen auf Aktorelemente können ausgenutzt werden, da aufgetretene Durchschlagskanäle durch viskoplastische Anteile des elastomeren Kunststoffs geschlossen werden können. Mit einer gleichartigen und engen Verzahnung der Nanoröhrchen in Elektroden und ggf. Trenn- schicht in Kombination mit dem gleichen Kunststoffmatrixwerkstoff werden Grenzschichteffekte zwischen Elektroden und Trennschicht vermieden bzw. in ihrer Wirkung stark reduziert.

Durch geeignete Auswahl des jeweiligen Kunststoffs können dessen Eigenschaften, z.B. der E-Modul an den jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden. Die Aktorelemente können in der geeigneten Größe und auch geometrischen Gestaltung zur Verfügung gestellt werden.

Im Vergleich zu Piezoaktoren können deutlich größere Stellwege oder Verformungen erreicht werden. Auch der Energiebedarf für den Betrieb ist klein, da kein ständiger elektrischer Stromfluss erforderlich ist. Zum Betreiben ist auch ein kleiner elektrischer Strom erforderlich, so dass auch entsprechend kleine Wärmeverluste erreichbar sind.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.

Dabei zeigen:

Figur 1 in schematischer Form einen Schnitt durch ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Aktorelements und

Figur 2 eine Möglichkeit zur Herstellung von Aktorelementen.

Mit Figur 1 soll ein Aufbau eines Beispiels eines Aktorelements gezeigt werden, bei dem zwei Elektroden 1 und 1' , die an unterschiedliche Pole einer elektrischen Spannungsquelle angeschlossen sind, eine dielektrische Trennschicht 2 einfassen. Es wird dabei deutlich, dass Kohlenstoff-Nanoröhrchen sowohl in den Elektroden 1 und 1' , wie auch in den beiden Trennschichten 2 in der Kunststoffmatrix eingebettet sind. Der Anteil pro Volumeneinheit an Kohlenstoff- Nanoröhrchen ist in den Elektroden 1 und 1' deutlich höher und erreicht darin 0,5 Masse-%. Die Perkolati- onsschwelle ist daher in den Elektroden 1 und 1' überschritten. Im Bereich der Trennschichten 2 ist deren Anteil kleiner und liegt hier bei 0,05 Masse-%, so dass die Perkolationsschwelle nicht überschritten ist. Mit diesem Beispiel kann auch darauf hingewiesen werden, dass Schichtstapel mit einer größeren Anzahl an Elektroden 1 und 1' und Trennschichten 2 herstellbar sind. Die Elektroden 1 und 1' bilden mit der zwischen ihnen angeordneten Trennschicht 2 einen elektrischen Kondensator.

Mit Figur 2 soll eine Möglichkeit zur Herstellung von Aktorelementen angesprochen werden. Dabei wird hier eine Folie B für eine Elektrode 1 auf eine Folie A für eine dielektrische Trennschicht 2 aufgebracht. Dabei weisen die Folien A und B zumindest an der zu verbindenden Oberfläche noch eine ausreichende Viskosität auf, mit der eine Verbindung beider Folien A und B möglich ist. Nachfolgend kann der Folienverbund aufgerollt werden. Davor oder nach dem Aufrollen kann eine vollständige Polymerisation, Polykondensation, eine Aushärtung, eine Vernetzung oder Abdampfung von Lösungsmittel, unter Berücksichtigung des Kunststoffs mit dem Elektrode 1 und Trennschicht 2 gebildet sind, durchgeführt und dadurch ein dauerhafter fester Ver- bund erreicht werden. Für die Herstellung eines

Aktorelements kann in nicht dargestellter Form eine zweite Elektrode 1' analog zur Elektrode 1 auf der gegenüberliegenden Seite der Trennschicht 2 mit dieser verbunden werden.