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Patent Searching and Data


Title:
ACTUATOR, AND UNCLAMP DEVICE AND PROCESSING DEVICE WITH ACTUATOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2008/126579
Kind Code:
A1
Abstract:
An actuator has a power source (10), a cam member (15) driven by power from the power source (10), a following member (19) operatively associated with movement of the cam member (15), a receiving section (20a) for receiving an operation medium, and a punch cylinder (14) for outputting power transmitted to the operation medium by the following member (19).

Inventors:
KITAURA ICHIRO (JP)
Application Number:
PCT/JP2008/054452
Publication Date:
October 23, 2008
Filing Date:
March 12, 2008
Export Citation:
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Assignee:
PASCAL ENG CORP (JP)
KITAURA ICHIRO (JP)
International Classes:
F15B7/00; B21D28/20; B21D28/24; B23B31/117; B30B1/26
Foreign References:
JPS4716875A
JPH10141303A1998-05-26
JPH0561466U1993-08-13
JP2004019544A2004-01-22
JP2000329103A2000-11-28
US3977192A1976-08-31
US2675759A1954-04-20
EP0636788A11995-02-01
JPH10141303A1998-05-26
JP2000329103A2000-11-28
Other References:
See also references of EP 2131043A4
Attorney, Agent or Firm:
FUKAMI, Hisao et al. (Nakanoshima Central Tower 22nd Floor, 2-7, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-sh, Osaka 05, JP)
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Claims:
 駆動源(10)と、
 前記駆動源(10)からの動力で駆動されるカム(15,115)と、
 前記カムの動きに連動する追従部材(19)と、
 作動媒体を収容する収容室(20a)と、
 前記追従部材(19)で前記作動媒体に伝達された動力を出力する出力部(14)と、
 を備えたアクチュエータ。
 前記収容室(20a)と前記出力部(14)とに接続された接続部(27)をさらに備える、請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ。
 前記作動媒体は液体状の作動媒体とされ、
 前記出力部(14)に接続され、前記作動媒体中の気体を分離可能な分離機構(26)をさらに備えた、請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ。
 前記カム部材に補助動力を与えることが可能な補助動力源(11)をさらに備えた、請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ。
 前記収容室(20a)内に外気を供給したり、前記収容室(20a)内の気体を排出したりするバルブ(24,25)をさらに備えた、請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ。
 請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ(100)を備えた、アンクランプ装置。
 請求の範囲第1項に記載のアクチュエータ(100)を備えた、加工装置。
Description:
アクチュエータ、アクチュエー を備えたアンクランプ装置および加工装置

 本発明は、アクチュエータ、このアクチ エータを備えたアンクランプ装置および加 装置に関する。

 従来から、パンチングマシンなどの加工 置などにおいては、僅かな時間の間に大き 駆動力を出力することができるアクチュエ タが搭載されている。

 このようなアクチュエータは、たとえば、 タンクに接続され、モータにより駆動する 圧ポンプと、油圧ポンプの吐出側管路に接 されたサーボバルブと、チェック弁と、リ ーフバルブと、アキュムレータ等を備えた 圧回路を備えている。そして、打撃してパ チング加工を行なうピストンロッドを備え 油圧シリンダには、上記サーボバルブが接 されており、油圧ポンプにて吐出された油 は、油圧シリンダの上室に送られて、ピス ンロッドを下降させる。そして、ピストン ッドによって、パンチング加工が施される

特開2000-312929号公報

 しかし、上記のように構成されたアクチ エータにおいては、常時油圧ポンプを駆動 る必要があり、さらに、リリーフバルブか 不要な圧力を逃がす必要があり、無駄なエ ルギが大きく、駆動効率の悪いものとなっ いた。

 本発明は、上記のような課題に鑑みてな れたものであって、その目的は、短時間の に大きな駆動力を出力できると共に、エネ ギ効率の向上が図られたアクチュエータ、 のアクチュエータを備えたアンクランプ装 および加工装置を提供することである。

 本発明に係るアクチュエータは駆動源と 駆動源からの動力で駆動されるカムと、カ の動きに連動する追従部材と、作動媒体を 容する収容室と、追従部材で作動媒体に伝 された動力を出力する出力部とを備える。 ましくは、上記収容室と出力部とに接続さ た接続部をさらに備える。好ましくは、上 作動媒体は液体状の作動媒体とされ、出力 構に接続され、作動媒体中の気体を分離可 な分離機構をさらに備える。好ましくは、 記カム部材に補助動力を与えることが可能 補助動力源をさらに備える。好ましくは、 記収容室内に外気を供給したり、収容室内 気体を排出したりするバルブをさらに備え 。

 本発明に係るアンクランプ装置は、上記 クチュエータを備える。本発明に係る加工 置は、上記アクチュエータを備える。

 本発明に係るアクチュエータ、アンクラ プ装置および加工装置によれば、短時間の に大きな駆動力を出力することができると に、駆動効率の向上を図ることができる。

本実施の形態1に係るアクチュエータを 備えたパンチングマシンの概略構成を示す断 面図である。 カム部材の平面図である。 本実施の形態に係るアクチュエータの 1変形例を示し、一部を断面視した側面図で ある。 本実施の形態に係るアクチュエータの 2変形例を示す模式図である。 本実施の形態に係るアクチュエータを ンクランプ装置に適用した例を示す断面図 ある。 図5に示すアンクランプ装置にアンクラ ンプ動作の際の駆動力を供給するアクチュエ ータを示す断面図である。

符号の説明

 10 動力源、11 補助動力機構、12 回転軸 13 油圧ポンプ、14 パンチシリンダ、15 カ 部材、16,17 カム部、18 ローラ部材、19 ピ トンロッド、20 シリンダ部、20a 収容室、2 1 加圧室、24 バルブ、26 貯留室、27 接続管 、30 パンチロッド、40 気液分離タンク、50  動力伝達機構、100 アクチュエータ、200 パ チングマシン、300 アンクランプ装置。

 図1から図6を用いて、本実施の形態に係 アクチュエータおよび加工装置について説 する。なお、同一の構成および相当する構 には、同一の符号を付してその説明を省略 る場合がある。

 図1は、本実施の形態1に係るアクチュエ タ100を備えたパンチングマシン200の概略構 を示す断面図である。

 この図1に示されるように、パンチングマ シン(加工装置)200は、アクチュエータ100と、 とえば、ワークを保持するワーク保持機構 とを備えている。アクチュエータ100は、モ タ、クラッチ機構や減速機構を備えた動力 10と、出力機構としてのパンチシリンダ14と 、動力源10からの動力を油(作動媒体)を介し パンチシリンダ14に伝達する動力伝達機構50 を備えている。

 パンチシリンダ14は、動力伝達機構50から 供給される油の圧力によって駆動され、ワー クに対してパンチ加工などを施すパンチロッ ド(駆動部)30と、このパンチロッド30を摺動可 能に収容すると共に、動力伝達機構50からの を収容する油収容室32が規定されたシリン 部31とを備えている。

 さらに、このパンチシリンダ14は、パン ロッド30を付勢する弾性部材33をさらに備え おり、油収容室32内に油が供給されること 、パンチロッド30は、弾性部材33からの付勢 に抗して、ワークに向けて押出される。

 動力伝達機構50は、動力源10によって回転 駆動可能な回転軸(駆動軸)12と、この回転軸12 に設けられたカム部材15と、カム部材15の動 に追従して、油を加圧、吐出する油圧ポン 13とを備えている。そして、油圧ポンプ13は カム部材15の動きに追従するピストンロッ (追従部材)19と、このピストンロッド19を摺 可能に支持するシリンダ部20とを備えている 。

 シリンダ部20は、内部に油を収容する収 室20aが規定されており、ピストンロッド19が 摺動することで、その容積が変動する。ここ で、収容室20aは、ピストンロッド19の径より 径とされた貯留室26と、貯留室26の下端部に 接続され、ピストンロッド19が嵌りこみ、油 ピストンロッド19によって加圧される加圧 21とを備えている。

 ここで、ピストンロッド19が加圧室21内に 嵌りこむ前の状態においては、加圧室21の内 面と、貯留室26の内壁面と、ピストンロッ 19との間には、隙間が形成され、貯留室26と 圧室21とは連通した状態となっている。そ て、貯留室26は、加圧室21の上方に位置して るため、加圧室21内に入り込んだ空気等の 体は、上方に変位し、貯留室26内に入り込む 。すなわち、加圧室21内の気体は、貯留室26 に排出され、貯留室26に排出された空気など の気体は、貯留室26の上端部側に蓄積される このようにして、加圧室21内の空気は分離 れ、加圧室21内は油によって満たされる。こ こで、加圧室21の内周面には、環状のシール 材23が設けられている。そして、ピストン ッド19の下端部が図1に示すように、加圧室21 から離れた状態から、加圧室21に向けて変位 、さらに、シール部材23に差し掛かると、 圧室21と貯留室26とが分離される。そして、 らに、ピストンロッド19が下方に変位して 加圧室21内に入り込むと、加圧室21内の油の 圧が開始される。ここで、上記のように、 圧室21内に空気などの気体が入り込むこと 抑制されているので、ピストンロッド19が油 を良好に加圧することができる。

 なお、シリンダ部20には、バルブ24、25が けられており、シリンダ部20内の内圧が所 圧以上となると、外部にシリンダ部20内の気 体を排出したり、シリンダ部20内が所定圧よ 低くなると、内部に外気を供給したりして シリンダ部20内が所定圧となるように保た ている。なお、バルブ24,25は、油の液面より 上方に位置している。

 ピストンロッド19のカム部材15側の端部に は、ローラ部材18が設けられている。このロ ラ部材18を回転可能に支持する軸部18aは、 ストンロッド19の上端部側に形成された穴部 に挿入されている。そして、ローラ部材18は カム部材15の外周面と接触している。この め、カム部材15が回転することにより、カム 部材15の動きに合わせ、ローラ部材18を介し 、ピストンロッド19が摺動する。

 シリンダ部20内において油を収容する収 容積を小さくするように、ピストンロッド19 が摺動することにより、シリンダ部20内の油 加圧される。そして、シリンダ部20とシリ ダ部31とに接続された接続管27が設けられて り、ピストンロッド19によって加圧された が、接続管27を介して、シリンダ部31の油収 室32内に供給される。このようにして、ピ トンロッド19によって油に伝達された動力に よってパンチロッド30が駆動される。このよ に、このアクチュエータ100においては、カ 部材15の形状によって、パンチシリンダ14に 供給される油の供給量を制御することができ る。

 図2は、カム部材15の平面図である。図1お よび図2に示されるように、カム部材15は、カ ム部16およびカム部17とを備えている。そし 、この図2に示す状態においては、図1に示す ように、パンチロッド30は、ワークから退避 た状態となっており、ピストンロッド19は 上方に変位している。

 そして、図2において、回転軸12が回転中 線Oを中心として回転して、カム部材15が回 すると、ローラ部材18は、徐々に下方に変 する。すなわち、回転軸12が回転を開始する 際において、ローラ部材18は、カム部16の周 のうち、回転軸12の回転中心線Oから最も近 位置P1にて接触している。

 そして、カム部材15が回転するにしたが て、ローラ部材18がカム部16と接触する接触 と、回転中心線Oとの距離は、大きくなる。

 このため、図1において、ピストンロッド 19も漸次下方に変位する。そして、図1におい て、ピストンロッド19が下方に変位すること 、ピストンロッド19の下端部が加圧室21に入 り込み、加圧室21内の油が加圧され始める。

 そして、接続管27を介して、油がパンチ リンダ14に供給されて、パンチロッド30が動 始める。

 さらに、図2において、回転軸12が回転す と、ローラ部材18とカム部16の外周面との接 触点は、カム部16の外周面のうち、最も回転 心線Oから離間した位置P2に近づく。

 ここで、位置P1から位置P2に向けて、カム 部16の周面の曲率半径は大きくなるように形 されている。そして、位置P2の近傍におけ 曲率半径の変化率は、位置P1近傍における曲 率半径の変化率よりも小さい。すなわち、位 置P1から位置P2に向けて、カム部16の周面と回 転中心線Oとの距離は、大きくなるように形 されており、位置P2の近傍における変化率は 、位置P1近傍の変化率よりも小さくなるよう 形成されている。

 このため、ローラ部材18と、カム部16との 接触位置が、位置P1から位置P2に向かい始め 過程においては、ローラ部材18の変位速度は 大きく、ローラ部材18とカム部16との接触位 が、位置P2に近づくにつれて、ローラ部材18 変位速度が小さくなる。

 このように、ローラ部材18とカム部16との 接触位置が位置P2に近づくにつれて、ローラ 材18の変位量が低減されているため、ロー 部材18から大きな押圧力がかかった状態にお いても、カム部材15を確実に回転させること できる。このため、パンチロッド30がワー に対してパンチ加工を施すときのように、 きな押圧力がローラ部材18にかかっていると きにおいても、カム部材15は回転することが き、ローラ部材18を変位させることができ 。これにより、パンチロッド30が確実にワー クを加工することができる。

 このように、カム部材15のカム部16の形状 によって、パンチロッド30がワークに向けて 接していく際には、変位速度を高くするこ ができると共に、パンチロッド30がワーク 加工する際には、確実に大きな駆動力を発 させることができる。

 また、このアクチュエータ100が駆動され 期間は、パンチシリンダ14を駆動させる際 限定されている。このため、常時、動力源10 や動力伝達機構50が駆動されることが抑制さ ており、さらに、油を油タンク等にリリー させる必要もなく、無駄なエネルギの発生 抑制することができ、作動効率の向上も図 ことができる。

 さらに、カム部材15の形状を各種変更す ことで、パンチロッド30の駆動を各種変更す ることができ、製品の設計変更に対しても容 易に対応することができる。

 そして、液体状の油が、動力源10からの 力をパンチシリンダ14に伝達しているので、 接続管27の配設位置を適宜変更することで、 ンチシリンダ14と動力源10および動力伝達機 構50のレイアウトを自由に変更することがで る。このため、加工部品の設計変更に伴う 型変更にも、容易に対応することができる

 ここで、本実施の形態に係るアクチュエ タ100においては、図1に示すように、カム部 材15に補助動力を加えることができる補助動 機構(補助動力源)11が設けられている。この 補助動力機構11としては、たとえば、図1に示 すようなコイルバネ(弾性部材)38やガススプ ングなどであってもよい。

 この補助動力機構11は、コイルバネ38と、 このコイルバネ38を収容する収容ケース39と カム部材15のカム部17の周面に当接するロー 部材35と、このローラ部材35を回転可能に支 持すると共に、コイルバネ38によってカム部 15に向けて付勢された支持部材37とを備えて いる。

 ローラ部材35の軸部35aは、支持部材37に形 成された貫通孔に挿入されている。そして、 このローラ部材35は、支持部材37を介して、 イルバネ38からの付勢力によってカム部17の 面に押圧されている。

 そして、図2において、カム部材15が回転 向Pに向けて回動して、ローラ部材18とカム 16の周面との接触位置が、位置P2に近接する 際に、ローラ部材35がカム部17の周面に加え 押圧力の分力は、カム部17の周面を回転方向 Pに向けて押圧する。

 すなわち、ローラ部材18がカム部16の位置 P2に近接するときには、ローラ部材35がカム 17の周面を押圧する押圧力は、カム部材15が 転方向Pに向けて回転することを補助する。

 このため、ローラ部材18には、動力源10お よび補助動力機構11からの動力が加えられる このため、たとえば、パンチロッド30がワ クを加工する際のように、パンチロッド30に 大きな駆動力を加える必要がある際に、動力 源10からの出力が過大となることを抑制する とができる。

 これにより、動力源10が要する最大出力 低減することができ、動力源10のコンパクト 化および低廉化を図ることができる。

 なお、パンチロッド30がワークを加工し 後に、ワークから退避する際には、ローラ 材18とカム部16の周面との接触位置は、カム 16の位置P2を通り越し、位置P1に向けて変位 る。

 この際、ローラ部材35からカム部17の周面 に加えられる押圧力は、カム部材15を回転方 Pと反対方向に向けて回転させるように働く 場合もあるが、補助動力機構11からの出力よ も、動力源10からの出力の方が大きいので カム部材15は、回転方向Pに向けて回転する

 そして、ローラ部材18とカム部16の周面と の接触位置が、位置P1に位置することにより パンチロッド30は、ワークから退避した初 位置に戻る。

 図3は、本実施の形態に係るアクチュエー タ100の第1変形例を示す一部を断面視した側 図である。この図3に示されるように、この クチュエータ100Aにおいては、シリンダ部20 収容室20a内は、油が充填されており、この 容室20aの上端には、油内の気体を分離する 液分離タンク(分離機構)40が接続管41を介し 接続されている。

 この気液分離タンク40は、シリンダ部20よ り上方に配置されており、この気液分離タン ク40には、油の液面が位置しており、油と空 (気体)とが充填されている。

 ここで、ピストンロッド19が図3に示すよ に、加圧室21から離間した状態においては 加圧室21と貯留室26は、連通状態とされてい 。さらに、貯留室26に接続された接続管41を 介して、貯留室26と気液分離タンク40とは、 通状態とされており、加圧室21と貯留室26と 気液分離タンク40とは、互いに連通してい 。

 このため、加圧室21内に入り込んだ空気 どの気体は、貯留室26、接続管41を介して、 液分離タンク40に排出される。

 そして、ピストンロッド19の下端部が、 圧室21内に入り込み、シール部材23に差し掛 ると、加圧室21の開口部がピストンロッド19 によって閉塞され、加圧室21と貯留室26とが 離される。そして、ピストンロッド19が加圧 室21内にさらに入り込むことで、加圧室21内 油が加圧される。この際、加圧室21内の空気 は、既に気液分離タンク40に排出されている め、ピストンロッド19は、良好に油を加圧 ることができ、パンチロッド30に動力を良好 に伝達することができる。

 図4は、本実施の形態に係るアクチュエー タの第2変形例を示す模式図である。この図4 示す例のように、端面カム(end cam, bell cam) 115を介して、動力源10からの動力を油圧ポン 13に動力を供給してもよい。

 図5は、本実施の形態に係るアクチュエー タをアンクランプ装置300に適用した例を示す 断面図であり、図6は、図5に示すアンクラン 装置300にアンクランプ動作の際の駆動力を 給するアクチュエータ500を示す断面図であ 。 

 図5において、アンクランプ装置300は、ケ ーシング151と、ケーシング151に回転可能に支 持された主軸152と、この主軸152の下端部に設 けられ、工具170が装着される装着部154と、主 軸152を回転させるモータ等の駆動源400とを備 えている。そして、装着部154に工具170を装着 した状態で、主軸152が回転することで、図示 されないワークが加工される。なお、主軸152 は、複数の軸受156,157によって回転可能に支 されている。

 さらに、アンクランプ装置300は、主軸152 形成され、軸方向に延びる貫通孔152a内に挿 入されたドローバ153と、貫通孔152a内に収容 れ、ドローバ153を装着部154から離れる方向 付勢する皿バネなどの弾性部材155と、ドロ バ153を装着部154に向けて押圧可能なアンク ンプ機構114と、コレット(把持部)161とを備え ている。

 コレット161は、貫通孔152a内に収容されて おり、装着部154に装着された工具170の上端部 と、ドローバ153の下端部とのいずれにも係合 している。そして、工具170が装着部154に装着 されている際には、ドローバ153は、弾性部材 155によって上方に向けて付勢されており、コ レット161も上方に向けて付勢されている。

 このため、工具170は、コレット161によっ 、主軸152に向けてひきつけられており、装 部154に工具170が嵌め込まれている。

 そして、このアンクランプ装置300は、図5 および図6に示すように、装着部154に装着(ク ンプ)された工具170をアンクランプ状態とす るためのアクチュエータ500を備えている。

 このアクチュエータ500は、上記図1に示す アクチュエータ100と同様に構成されている。 このアクチュエータ500は、動力源10と、図5に 示す出力部としてのアンクランプ機構114と、 動力源10からの動力をアンクランプ機構114に 達する動力伝達機構50とを備えている。

 ここで、動力伝達機構50と、アンクラン 機構114との間は、油が流通する接続管27が接 続されている。このため、接続管27の引き回 方を変更することで、動力源10および動力 達機構50等をアンクランプ装置本体から離れ た位置に配置することができる。さらに、ア ンクランプ装置300の設置条件に合わせて、ア クチュエータ500の位置を適宜変更することが できる。

 図5において、アンクランプ機構114は、動 力伝達機構50から供給される油圧によって駆 されるアンクランプシリンダ160と、アンク ンプシリンダ160のピストンロッド130によっ 押圧される押圧部材150と、この押圧部材150 よびドローバ153とに係合するピン133とを備 ている。クランプ状態においては、ピン133 、押圧部材150に固定されており、主軸152の 面に形成された貫通孔に挿入され、ドロー 153の上方に位置している。

 アンクランプシリンダ160は、動力伝達機 50から供給される油圧によって摺動するピ トンロッド130と、ピストンロッド130を摺動 能に支持するシリンダ部131と、シリンダ部13 1内に規定され、油が供給される油収容室132 を備えている。

 そして、工具170をアンクランプ状態にす 際には、まず、図5において、動力源10が起 して、カム部材15が回転する。

 ここで、カム部材15は、上記図2に示すよ な形状とされており、工具170がクランプさ た状態においては、ローラ部材18は、カム 16の位置P1にてカム部16の周面と接触してい 。

 そして、カム部材15が回転して、ローラ 材18とカム部16の周面との接触位置が位置P2 近づくにしたがって、回転中心線Oと、ロー 部材18とカム部16との接触位置との間の距離 が大きくなる。

 このため、ピストンロッド19が変位して ピストンロッド19が、収容室20aの容積を狭め る。

 そして、加圧室21内にピストンロッド19が 入り込むことで、油が加圧され、図6に示す 収容室132内に油が供給される。これにより ピストンロッド130が工具170に向けて変位し 押圧部材150およびピン133も工具170に向けて 位する。ピン133が工具170に向けて変位する とで、ドローバ153の上端部に当接し、ドロ バ153を工具170に向けて押圧する。

 このため、弾性部材155からの付勢力に抗 て、ドローバ153が工具170に向けて変位し始 る。そして、ドローバ153が所定の位置にま 下方に変位すると、コレット161が変形して コレット161と工具170との係合状態が解除さ る。

 そして、図2において、ローラ部材18とカ 部16との接触位置と位置P2の近傍および位置 P2に達する際に、動力伝達機構50から大きな 力が、アンクランプシリンダ160に供給され 。

 そして、ピストンロッド130、押圧部材150 よびピン133を介して、動力伝達機構50から 大きな駆動力が、ドローバ153に伝達される これにより、工具170が装着部154から確実に される。このようにして、工具のアンクラ プ動作が終了する。なお、この図6に示す例 おいても、補助動力機構11が設けられてお 、動力源10の最高出力の低減が図られている 。

 なお、アンクランプ動作が完了した時点 、図6に示す動力源10の駆動が停止したり、 力源10内のクラッチ機構によって、回転軸12 への動力の伝達が切断される。これにより、 工具170のアンクランプ状態は、維持される。 このように、工具をアンクランプした後、他 の工具を装着する際には、新たな工具170を装 着部154内に挿入する。

 その後、挿入された工具170をクランプす 際には、図6に示す動力源10が再度起動した 、動力源10内のクラッチ機構によって、回 軸12への動力の伝達が接続される。

 これにより、カム部材15が回転し始める この際、図2において、ローラ部材18とカム 16との接触位置が、位置P2から、位置P1に向 て変位する。

 このため、ローラ部材18とカム部16との接 触位置と回転中心線Oとの間の距離が小さく る。これにより、図6において、ピストンロ ド19は、上方に変位して、油圧が低減され と共に、シリンダ部20の収容室20a内に油が戻 り始める。

 そして、図5において、ピストンロッド130 も、油収容室132の容積が小さくなるように変 位して、装着部154から離れる方向に変位し始 める。

 このように、アンクランプ機構114からド ーバ153に加えられる駆動力が低減されると 弾性部材155からの付勢力によって、ドロー 153が上方に変位し始める。

 ドローバ153が上方に変位することにより ドローバ153の下端部に設けられたコレット1 61も、装着部154から離間するように変位する

 このようにコレット161が変位することに り、開くように変形していたコレット161の 部が閉じるように変形して、工具170の上端 と係合する。

 そして、さらに、ドローバ153が上方に変 することにより、このドローバ153の下端部 係合したコレット161と、このコレット161に 合する工具170も上方に変位する。

 このようにして、新しい工具170が、装着部1 54に装着される。
 以上のように本発明の実施の形態について 明を行なったが、今回開示された実施の形 はすべての点で例示であって制限的なもの はないと考えられるべきである。本発明の 囲は請求の範囲によって示され、請求の範 と均等の意味および範囲内でのすべての変 が含まれることが意図される。

 本発明は、アクチュエータ、アクチュエ タを備えたアンクランプ装置および加工装 に好適である。




 
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