Lagerfuß und Kupplung mit dem Lager

Die Erfindung bezieht sich auf ein aerostatisches Lager mit einem Lagerfuß, der frontseitig eine ebene Lagerfläche mit einer dazu senkrechten mittleren Lagerachse aufweist und der rückseitig über ein Stützlager an einem Halter des Lagers quer zur Lagerachse schwenkbar gelagert ist .

Bei einem aerostatischen Linearlager ist es üblich, einen Lagerfuß mit seiner ebenen Lagerfläche entlang einer äußeren Lauffläche einer stationären linearen Stützbahn zu führen. Dabei strömt über die Lauffläche in einen engen Spalt zur Lagerfläche ein pneumatisches Druckmedium ein, so dass sich zwischen der Lagerkraft und der pneumatischen Druckkraft ein Gleichgewicht einstellt. Um die genaue Parallelität zwischen der Lauf- und der Lagerfläche zu sichern ist es ferner üblich, den Lagerfuß an einem Halter mittels eines mehrteiligen Kugelgelenks allseitig schwenkbar abzustützen. Der Lagerfuß wird unmittelbar an einen das Druckgas führenden Druckschlauch angeschlossen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Herstellung und den Aufbau des Lagers zu vereinfachen.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Das Festlager weist im Vergleich zum Kugelgelenk eine einfache Struktur auf und kann in einfacher Weise montiert werden. Es ist verschleiß- und spielfrei, was die genaue Positionierung des Halters beschleunigt. Das Festlager kann sehr schlank ausgebildet werden und eignet sich daher besonders für kleine Lager.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Ansprüchen 2 bis 12 gekennzeichneten Merkmalen:

Die Durchgangsbohrung nach Anspruch 2 ermöglicht es, die

Lagerluft auf eine einfache Weise zuzuführen, ohne dass dabei die Lage des Lagerfußes durch einen angekoppelten Druckschlauch beeinflusst wird. An einen Halter mit einer Vielzahl von Lagerfüßen braucht der Druckschlauch nur einmal angeschlossen zu werden. Das Druckmedium kann auf die einzelnen Lagerfüße durch interne Kanäle verteilt werden.

Die z.B. als Blattfeder ausgebildete Biegefeder nach Anspruch 3 sichert den Lagerfuß reibungsfrei gegen Verdrehung um seine Lagerachse, so dass der Querschnitt des Festkörpergelenks sehr klein gehalten werden kann. Die Biegefeder kann sich mit sehr geringer Vorspannung der Kippstellung des Lagerfußes anpassen.

Der Stützstift nach Anspruch 4 ist ein sehr einfaches

Bauteil, dessen freier Gelenkquerschnitt verjüngt und an unterschiedliche Lagerverhältnisse angepasst werden kann. Eine zentrale Bohrung ermöglicht es in einfacher Weise, den Lagerfuß mit der Druckleitung zu verbinden.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 5 wird der Stützstift sicher verankert und kann in einfacher Weise z.B. mittels einer Klemmschraube in einer geeigneten Verschiebestellung fixiert und an die jeweiligen Einbauverhältnisse angepasst werden.

Die permanentmagnetische Vorspannung nach Anspruch 6 kann in ihrem Schwerpunkt auf die Lagerachse ausgerichtet werden . Dadurch stellt sich die Lagerfläche mit einem definierten Luftspalt genau parallel zur Lauffläche. Das Festkörpergelenk wird um die Magnetkraft entlastet und kann zur Erhöhung der Nachgiebigkeit im Querschnitt entsprechend verringert werden.

Die kardanähnliche Kupplung nach Anspruch 7 ermöglicht die sichere und spielfreie Übertragung einer Drehbewegung zwischen den Wellen. Ein Winkelversatz zwischen den Achsen bleibt dabei weitgehend ohne Einfluss . Durch die exzentrische Anordnung des Festkörpergelenks mit Abstand zur Drehachse wird das Drehmoment über das Festkörpergelenk ohne Biegebelastung als Schubkraft übertragen. Der Lagerfuß stellt ein einfaches Übertragungselement dar, das sich durch die federnd kippbare Lagerung selbsttätig an der Lauffläche ausrichten kann, so dass die Wellen in Bezug auf die Übertragung der Drehbewegung gekoppelt, im Hinblick auf die anderen Freiheitsgrade aber entkoppelt sind. Die magnetische Anziehungskraft zwischen der Lagerfläche und der Lauffläche ermöglicht unter dem entgegenwirkenden Gasdruck eine genau parallele Ausrichtung mit einem definierten Luftspalt, so dass die Drehstellung der einen Welle spielfrei auf die andere übertragen werden kann. Eine solche Kupplung eignet sich besonders für die Übertragung von geringen Drehmomenten z.B. bei der Drehpositionierung von Montageteilen oder bei einem hochdrehenden Bearbeitungswerkzeug, z.B. zum Bohren von Leiterplatten.

Der Mitnehmer nach Anspruch 8 ist als separates Bauteil fest an der Antriebswelle montiert. Dadurch ist es möglich, einen normalen elektrischen Antriebsmotor zu verwenden, der ohne genaue Fluchtung mit der Pinolenachse an einem gemeinsamen Gehäuse befestigt werden kann, so dass der Fertigungs- und Montageaufwand gering bleiben kann. Die Klaue kann einstückig an der als Sonderbauteil hergestellten Pinole ausgebildet sein.

Der als die Biegefeder dienende drahtartige Stab und der

Stützstift nach den Ansprüchen 9 und 10 fixieren den Lagerfuß nachgiebig in seiner Groblage. Der Stab weist einen längeren ungeführten Abschnitt auf, so dass sich der Gleitschuh unter der Magnetkraft vollflächig an die Lauffläche anpassen kann. Der kurze Stift überträgt das Drehmoment des Drehantriebs auf den Gleitschuh und ist geringfügig verformbar, um eine geringe Winkelabweichung in der Achsrichtung zwischen der Gleitfläche und der Gegenfläche des Gleitschuhs auszugleichen. Eine derartige Kupplung bedarf daher keiner hohen Fertigungs- und Montagegenauigkeit.

Der kombinierte Dreh-Hubantrieb nach den Ansprüchen 11 und 12 nutzt die erfindungsgemäße Kupplung in besonders vorteilhafter Weise. Bei der Positionierung des Werkstücks wird eine hohe Genauigkeit gefordert, die vor allem mit Hilfe der aerostischen Lager der Pinole und der Kupplung gewährleistet wird, die das geringe Drehmoment sicher überträgt . Durch die Luftlagerung bleiben die Kupplungsflächen auch bei häufigen Hubbewegungen verschleißfrei. Am anderen Ende kann der schlanke Stößel mit einem Hubantrieb gekoppelt sein, der durch seine Biegsamkeit im Hinblick auf seine Achslage von der Pinole entkoppelt ist.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch ein aerostatisches Lager mit einer stationären Laufbahn für das Lager,

5

Fig. 2 einen senkrechten Längsschnitt durch eine

Antriebseinheit mit einem Lager nach Pig. 1 und einem Gehäuse,

- _| _ _Q Fig. 3 einen anderen Längsschnitt durch einen Teil der Antriebseinheit nach Fig. 2 ohne das Gehäuse,

Fig. 4 eine vergrößerte perspektivische Ansicht der Teile nach Fig. 3,

15

Nach Fig. 1 bildet ein mobiler Halter 1 mit einem Lagerfuß 2 ein aerostatisches Lager, das mit einer ebenen Lagerfläche 3 des Lagerfußes auf einer ebenen Lauffläche 4 einer stationären linearen Führungsbahn 5 verschiebbar abgestützt

₂₀ ist. Der Lagerfuß 2 ist am Halter 1 im Bereich einer zur Lagerfläche 3 senkrechten Lagerachse mittels eines zylindrischen, in seinem Mittelabschnitt verjüngten Stützstiftes 6 gehalten, der an seinen Enden mittels Schrauben 7 in Klemmbohrungen 8 des Halters 1 bzw. des ₅ Lagerfußes 2 befestigt ist. Der kurze, stark verjüngte

Mittelabschnitt des Stützstiftes 6 ist ungeführt und bildet ein Festkörpergelenk 9, das eine geringe Taumelbewegung des Lagerfußes 2 mit geringer Auslenkkraft erlaubt. Der Stützstift 6 weist eine axiale Durchgangsbohrung 10 auf, ₀ durch die die Lagerluft vom Halter 1 in den Lagerfuß 2 geleitet und dort auf die der Lauffläche 4 zugewandte Lagerfläche 3 des Lagerfußes 2 verteilt werden kann. Alternativ kann die Druckluft für das aerostatische Lager auch durch die Führungsbahn 5 auf die Lauffläche 4 geleitet werden.

Der allseitig schwenkbare Lagerfuß 2 ist zusätzlich zum Festkörpergelenk 9 in seinem Randbereich mit einem senkrecht zur Lagerfläche 3 auslenkbaren Ende einer u-förmig gebogenen Biegefeder 11 verbunden, die mit ihrem anderen Ende am Halter 1 befestigt ist. Die als dünne Blattfeder ausgebildete

Biegefeder 11 weist in ihrer Normallage keine Spannung auf, so dass eine geringe Auslenkung im Vergleich zur Lagerkraft nur eine sehr geringe Federkraft erzeugt. Die u-förmig gebogene Biegefeder 11 verhindert aber aufgrund ihrer seitlichen Steifigkeit ein Verdrehen des Lagerfußes 2 um die Lagerachse .

Nach den Fig. 2, 3 und 4 weist eine Antriebseinheit zum Handhaben von elektrischen Bauelementen 12 ein Gehäuse 13 mit einer senkrechten Bohrung 14 für eine im wesentlichen zylindrische, axial verschiebbare und drehbare Pinole 15 mit einem Sauggreifer 16 für das Bauelement 1 auf, wobei hier die Pinole 15 in einer unteren Hubstellung dargestellt ist.

Die Pinole 15 wird durch einen Linearantrieb 17 in Form eines elektrischen Linearmotors und durch einen Drehantrieb 18 in Form eines Elektromotors betätigt, der auf einer Oberseite des Gehäuses 13 über der Bohrung 14 annähernd koaxial mit dieser befestigt ist. Der Linearantrieb 17 befindet sich oberhalb des Drehantriebs 18 und ist mit seinem Stationärteil fest mit dem Gehäuse 13 verbunden. Ein dem Drehantrieb 18 zugewandter Läufer 19 des Linearantriebs 17 ist in der Achsrichtung der Bohrung 14 verschiebbar und annähernd koaxial mit dem Drehantrieb 18 angeordnet. Dieser weist eine drehbare hohle Antriebswelle 20 auf, die mit der im Gehäuse 13 luftgelagerten Pinole 15 über eine Kupplung 21 verbunden ist, die aus einem Mitnehmer 22, einem anderen Lagerfuß 23 und einer seitlichen Klaue 24 der Pinole 15 besteht.

Der als der Halter dienende Mitnehmer 22 ist mit einer scheibenartigen Muffe 25 auf der Antriebswelle 20 befestigt

und ragt von dort mit einem segmentartigen Schenkel 26 in die Richtung der Pinole 15. Der Lagerfuß 23 ist am Schenkel 26 mittels eines anderen, ein anderes Festköpergelenk bildenden Stützstiftes 27 gehalten, der sich senkrecht zur Bohrungsachse erstreckt. Eine andere Lagerfläche 28 verläuft parallel zur Bohrungsachse. Die an der Pinole 15 ausgebildete Klaue 24 ragt in die Richtung der Antriebswelle 20 und überlappt den Schenkel 26 mit einer anderen, zur Bohrungsachse parallelen Lauffläche 29. Die Biegefeder ist hier durch einen zur Bohrungsachse parallelen biegsamen und tordierbaren Stab 30 gebildet, dessen Enden an der Muffe 25 bzw. am Lagerfuß 23 befestigt sind. Der drahtartige Stab 30 und der Stützstift 27 fixieren den Lagerfuß 23 kardanartig nachgiebig in seiner Groblage. Der an seinen Enden längsverstellbar festgeklemmte Stab 30 weist einen längeren ungeführten biegeelastischen Abschnitt auf .

Der kurze, mittels einer anderen Schraube 31 am Lagerfuß 23 einstellbar festgeklemmte Stützstift 27 überträgt das Drehmoment des Drehantriebs 18 auf den Lagerfuß 23 und ist geringfügig verformbar. Die Lauffläche 29 der Klaue 24 liegt der Lagerfläche 28 des Lagerfußes 23 mit einem schmalen definierten Luftlagerspalt parallel gegenüber. Der Lagerfuß 23 weist Permanentmagnete 32 auf, die den Lagerfuß 23 gegen ein eingesetztes Eisenblech 33 der Klaue 24 und gegen den im Spalt herrschenden Luftdruck spannen. Durch die Nachgiebigkeit des Stabs 30 und des Stützstifts 27 stellt sich die Lagerfläche 30 des Lagerfußes 23 zur Lauffläche 29 genau parallel, so dass der Lagerfuß 23 relativ zur Klaue 24 ohne Lagerspiel axial verschiebbar ist. Auf diese Weise wird die Drehstellung der Antriebswelle 20 exakt auf die Pinole 15 übertragen, ohne dass dabei die beiden Drehachsen genau übereinstimmen müssen.

Der Läufer 19 des Linearantriebs 17 ist über einen dünnen rohrförmigen Hubstößel 34 durch die hohle Antriebswelle 20

und den Lagerfuß hindurch mit der Pinole 15 verbunden, an der er mittels einer Klemmverbindung 35 in der Art eines Spannkonus verankert ist. Die Hubbewegung des Läufers 19 wird dabei spielfrei auf die Pinole 4 übertragen. Der Sauggreifer 5 16 für das Bauelement 1 ist an dem der Kupplung 21 gegenüberliegenden unteren Ende der Pinole 15 axial federnd gelagert .

Die in dieser Anmeldung als Luftlager bezeichneten 20 aerostatischen Lager können statt mit Luft auch mit anderen geeigneten Druckgasen versorgt werden.

Die Erfindung ist nicht auf das obige Ausführungsbeispiel beschränkt, das lediglich der allgemeinen Erläuterung des

- _j _5 Kerngedankens der Erfindung dient. Im Rahmen des

Schutzumfangs kann die erfindungsgemäße Vorrichtung vielmehr auch andere als die oben beschriebenen Ausgestaltungsformen annehmen. Die Vorrichtung kann hierbei insbesondere Merkmale aufweisen, die eine Kombination aus den jeweiligen

20 Einzelmerkmalen der Ansprüche darstellen.

Bezugszeichen in den Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen dienen lediglich dem besseren Verständnis der Erfindung und sollen den Schutzumfang nicht einschränken. 5

0

5

Bezugszeichen

1 Halter

2 Lagerfuß 3 Lagerfläche

4 Lauffläche

5 Führungsbahn

6 Stützstift

7 Schraube

8 Klemttibohrung 9 Festkörpergelenk

10 Durchgangsbohrung

11 Biegefeder

12 Bauelement

13 Gehäuse

14 Bohrung

15 Pinole 16 Sauggreifer

17 Linearantrieb

18 Drehantrieb

19 Läufer

20 Antriebswelle

21 Kupplung 22 Mitnehmer

23 Lagerfuß

24 Klaue

25 Muffe

26 Schenkel

27 Stützstift

28 Lagerfläche 29 Lauffläche

30 Stab

31 Schraube

32 Permanentmagnet

33 Eisenblech

34 Hubstößel 35 Klemmverbindung