以下、本発明に係る磁気記録媒体用基板の� ��浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法� ��磁気記録媒体の製造方法について、図面を� ��照して説明する。
「第1実施形態」
 本実施形態では、磁気記録媒体用基板の洗� ��装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法と� ��て、磁気記録媒体の製造工程に含まれる磁� ��記録媒体用基板の洗浄工程を行なう場合を� ��に挙げて説明する。なお、ここでの磁気記� ��媒体用基板の洗浄工程は、磁気記録媒体の� ��造工程においていかなる段階で行なわれる� ��浄工程であってもよいが、例えば、所定の� ��面平均粗さRaとなるように、磁気記録媒体� �基板の表面にメカニカルテクスチャー加工� �施した後のスクラブ洗浄工程とすることが� �きる。

 図1(a)は、本発明の磁気記録媒体用基板の 洗浄装置の一例を磁気記録媒体用基板上側か ら見た平面図である。また、図1(b)は、図1(a)� ��示す洗浄装置のA-A‘断面図であり、図1(c)は 、図1(a)に示す洗浄装置のB-B‘断面図である� �また、図1(d)は、図1(a)に示す洗浄装置に備え られたブラシを拡大して示した拡大斜視図で ある。

 図1(a)~図1(d)に示す洗浄装置は、洗浄され� ��磁気記録媒体用基板1上に洗浄液を供給する 洗浄液ノズル4と、ブラシ(洗浄具)3と、ブラ� �3を磁気記録媒体用基板1上で摺動させる摺動 手段と、磁気記録媒体用基板1上からブラシ3� ��介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排� ��手段7とを備えている。また、洗浄液ノズル 4、ブラシ3、摺動手段および洗浄液排出手段7 は、それぞれ2つずつ設けられており、磁気� �録媒体用基板1に対して対称に配置されてい� ��。なお、図1に示す洗浄装置は、磁気記録媒 体用基板1が水平となるように配置されてい� �もよいし、磁気記録媒体用基板1が垂直とな� ��ように配置されていてもよいし、磁気記録� ��体用基板1が斜めになるように配置されてい てもよい。

 磁気記録媒体用基板1は、磁気記録媒体の 製造工程に含まれる洗浄工程を行なう前の被 洗浄物である。磁気記録媒体用基板1として� �、例えば、直径3.5インチ程度以下で中央に� �口部の形成されたディスク状の一般的なも� �などが挙げられる。また、磁気記録媒体用� �板1の材質としては、特に限定されないが、N iPメッキ膜の形成されたAl合金基板、ガラス� �板、セラミックス基板、可曉性樹脂基板、Ni P膜をスパッタ法により蒸着せしめた基板な� �が挙げられる。

 また、洗浄液ノズル4は、磁気記録媒体用 基板1上に、水、界面活性剤などの洗浄液を� �定の供給量で供給するものである。

 また、本実施形態においては、ブラシ3が 2本設けられており、図1(a)および図1(b)に示す ように、2本のブラシ3が、磁気記録媒体用基� ��1を挟み込むように配置されている。ブラシ 3は、多数の空隙を有するスポンジ状の樹脂� �どの多孔質材料からなるものであり、PVA(ポ� ��ビニルアルコール)スポンジなどが用いられ る。PVAスポンジは、親水性高分子であるPVAか らなるものであり、高い吸水性および保水性 を有し、洗浄用途に適した特性を有する。さ らに、ブラシ3として、過酸化水素を含有す� �保管液中で保管されたPVAスポンジを用いる� �とが好ましい。保管液から取り出されたブ� �シ3は、純水中でもみ洗いする方法などによ� ��、ブラシ3に含まれた保管液を洗い流してか ら用いることが好ましい。

 本実施形態においては、ブラシ3として、円 筒形(ロール型)のものが用いられており、側� ��3aを磁気記録媒体用基板1の表面に対向させ� ��配置されている。
 また、図1(d)に示すように、各ブラシ3には� �円筒形の中心軸に沿って排出通路3bが形成さ れている。排出通路3bは、ブラシ3の側面3aか� ��吸引された洗浄液を排出するためのもので� ��る。

 また、摺動手段は、ブラシ3を磁気記録媒体 用基板1上で摺動させるものであり、磁気記� �媒体用基板1を保持して回転させるチャック� ��ーラ2と、ブラシ3を回転させる回転手段(図� ��略)とからなる。
 本実施形態において、チャックローラ2は、 磁気記録媒体用基板1の一面側の洗浄に用い� �れる摺動手段と、他面側の洗浄に用いられ� �摺動手段とにおいて共通して用いられるも� �である。チャックローラ2は、図1(a)に示すよ うに、磁気記録媒体用基板1の外周に接して� �間隔で4本配置されている。そして、4本のチ ャックローラ2を所定の回転数で同一方向に� �転させることにより、磁気記録媒体用基板1� ��、チャックローラ2に保持された状態で、磁 気記録媒体用基板1の表面に直交する方向を� �として、所定の速度で回転されるようにな� �ている。
 また、本実施形態においては、図1(b)および 図1(c)に示すように、2本のブラシ3が、それぞ れ側面3aを磁気記録媒体用基板1の表面に対向 させた状態で、回転手段(図示略)により、磁� ��記録媒体用基板1の表面に平行な方向を軸と して、相反する方向に所定の回転数で回転さ れるようになっている。

 また、本実施形態において、洗浄液排出手� ��7は、ブラシ3に設けられた排出通路3bの端部 に取り付けられた洗浄液排出管7aと、洗浄液� ��出管7a内の圧力を減圧するポンプなどの減� �手段(図示略)とを有している。したがって、 本実施形態においては、減圧手段により洗浄 液排出管7a内の圧力を減圧することによって� ��磁気記録媒体用基板1上の洗浄液の少なくと も一部が、多孔質材料からなるブラシ3の側� �3aである摺動面から吸引されてブラシ3内の� �隙を通過し、排出通路3bおよび洗浄液排出管 7aを順に通って外部に排出されるようになっ� ��いる。
 具体的には、洗浄液排出管7a内の圧力は、� �達圧0.01Pa程度の真空ポンプ(減圧手段)で洗浄 液排出管7a内を吸引して、大気圧を101325Paと� �た場合に、ブラシ3付近の洗浄液排出管7a内� �圧力が100000Pa以下で洗浄液が適度に吸引され る程度となるように調整することが好ましい 。

 図1(a)~図1(d)に示す洗浄装置を用いて磁気� ��録媒体用基板1を洗浄するには、まず、洗浄 する磁気記録媒体用基板1をチャックローラ2� ��保持させ、磁気記録媒体用基板1を両面から 挟み込むように2本のブラシ3を配置する。そ� ��て、洗浄液ノズル4により磁気記録媒体用基 板1上に洗浄液を供給させ、チャックローラ2� ��図1(a)に示す矢印の方向に回転させて磁気記 録媒体用基板1を図1(a)に示す矢印の方向に回� ��させるとともに、回転手段によりブラシ3を 図1(b)および図1(c)に示す矢印の方向に回転さ� ��て、磁気記録媒体用基板1の両面上でそれぞ れ2本のブラシ3を摺動させ、磁気記録媒体用� ��板1の両面を同時に洗浄する(洗浄工程)。本� ��施形態においては、洗浄工程において、減� ��手段により洗浄液排出管7a内の圧力を減圧� �、洗浄液の少なくとも一部を、磁気記録媒� �用基板1上からブラシ3を介して吸引して排出 通路3bおよび洗浄液排出管7aを通って外部に� �出する。

 なお、本発明においては、洗浄工程にお� ��て用いられた洗浄液の全量を、ブラシ3を介 して外部に排出することが好ましいが、洗浄 液の少なくとも一部を、ブラシ3を介して吸� �して排出すれば、洗浄液の全量を外部に排� �しなくても本発明の効果は得られる。

 本実施形態の磁気記録媒体用基板1の洗浄 装置は、磁気記録媒体用基板1上からブラシ3� ��介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排� ��手段7を備えているので、ブラシ3を介して� �浄液を吸引して排出することにより、洗浄� �よって磁気記録媒体用基板1から放出された� ��等のゴミを磁気記録媒体用基板1から放出さ れた後速やかに洗浄液とともに吸引してブラ シ3に捕獲させることができる。したがって� �本実施形態の洗浄方法では、洗浄によって� �気記録媒体用基板1から放出されたゴミが、� ��気記録媒体用基板1に再度接触することはな く、速やかに磁気記録媒体用基板1上から除� �される。さらに、本実施形態の洗浄方法で� �、磁気記録媒体用基板1上からブラシ3を介し て洗浄液を吸引して排出するので、ブラシ3� �埃等のゴミが付着していたとしても、ブラ� �3から洗浄液にゴミが放出されることはない� ��、ブラシ3に捕獲された磁気記録媒体用基板 1から放出されたゴミが再度放出されること� �ない。

 ここで、例えば、ノズルを用いて外部から� ��浄液を供給する、または、スポンジ状のス� ��ラブパッドの内部から洗浄液を供給する従� ��の洗浄装置では、洗浄液の供給される部分� ��は常に清浄な洗浄液が供給されるものの、� ��浄によって磁気記録媒体用基板や洗浄具か� ��放出された埃等のゴミを含む洗浄液が被洗� ��物に触れることにより、被洗浄物にゴミが� ��着する可能性があった。
 これに対し、本実施形態の洗浄方法では、� ��浄によって磁気記録媒体用基板1から放出さ れたゴミが磁気記録媒体用基板1に再度接触� �ることはないし、ブラシ3から洗浄液に埃等� ��ゴミが放出されることもないので、高い洗� ��仕上がりが得られる。したがって、本実施� ��態によれば、磁気記録面上での磁気ヘッド� ��低浮上化に対応できる高い清浄度を有する� ��気記録媒体用基板1が得られる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置では、磁気記録媒体用基板1上か� �ブラシ3を介して洗浄液を吸引して排出する� ��で、洗浄液ノズル4により磁気記録媒体用基 板1上に供給された洗浄液が周囲に飛散しに� �いものとなる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置は、ブラシ3が、円筒形で側面3aを 磁気記録媒体用基板1の表面に対向させて、� �記表面に平行な方向を軸として回転される� �のであり、ブラシ3の円筒形の中心軸に沿っ� ��、側面3aから吸引された洗浄液を排出する� �めの排出通路3bが形成されており、洗浄液排 出手段7が、排出通路3bの端部に取り付けられ た洗浄液排出管7aと、洗浄液排出管7a内の圧� �を減圧する減圧手段とを備えているので、� �浄工程において、減圧手段により洗浄液排� �管7a内の圧力を減圧することにより、磁気記 録媒体用基板1上の洗浄液の少なくとも一部� �、多孔質材料からなるブラシ3の側面3aであ� �摺動面から吸引されてブラシ3内の空隙を通� ��し、排出通路3bおよび洗浄液排出管7aを順に 通って外部に排出されるものとなる。

 したがって、本実施形態の洗浄装置では� ��洗浄液の存在下でブラシ3の側面3aである摺� ��面と磁気記録媒体用基板1とが擦れることに より、磁気記録媒体用基板1から埃等のゴミ� �放出された場合に、磁気記録媒体用基板1か� ��放出された直後のゴミを、ブラシ3の側面3a� ��ある摺動面から洗浄液とともにブラシ3に捕 獲できるものとなる。また、本実施形態の洗 浄装置では、ブラシ3の円筒形の中心軸に沿� �て、側面3aから吸引された洗浄液を排出する ための排出通路3bが形成されているので、ブ� ��シ3の側面3aにおける洗浄液の吸引力のムラ� ��少ないものとなり、磁気記録媒体用基板1か ら放出されたゴミを効率よく除去できるとと もに、洗浄液が排出通路3bおよび洗浄液排出� ��7aを通って効率よく外部に排出されるもの� �なる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置では、洗浄液ノズル4、ブラシ3、� ��動手段および洗浄液排出手段7が、それぞれ 2つずつ設けられ、磁気記録媒体用基板1に対� ��て対称に配置されているので、洗浄工程に� ��いて、2本のブラシ3を磁気記録媒体用基板1� ��両面上でそれぞれ摺動させることによって� ��磁気記録媒体用基板1の両面の全面を同時に 洗浄でき、効率よく洗浄工程を行うことがで きる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置において、ブラシ3として、過酸� �水素を含有する保管液中で保管されたPVAス� �ンジを用いた場合には、保管中のPVAスポン� �にかびが発生することに起因する不都合を� �分に防止できる。したがって、過酸化水素� �含有する保管液中で保管されたブラシ3を用� ��て磁気記録媒体用基板1を洗浄した場合、磁 気記録媒体用基板1の表面にかびが付着する� �とはないし、保管時に使用した過酸化水素� �ブラシ3に含まれていたとしても、洗浄時に� ��浄液とともに排出通路3bおよび洗浄液排出� �7aを通って外部に排出されるため、洗浄後の 磁気記録媒体用基板1の表面に過酸化水素が� �留することもない。さらに、過酸化水素を� �有する保管液中で保管されたブラシ3を用い� ��場合、従来の防かび剤を用いなくてすむた� ��、従来の防かび剤が、洗浄後の磁気記録媒� ��用基板1の表面に残留することもない。した がって、より一層高い洗浄仕上がりが得られ る。

 なお、上述した実施形態においては、磁� ��記録媒体用基板1上でブラシ3を摺動させる� �めに、チャックローラ2を回転させて磁気記� ��媒体用基板1を回転させるとともに、回転手 段によりブラシ3を回転させたが、磁気記録� �体用基板1とブラシ3の両者を同時に回転させ る方法に限定されるものではなく、いずれか 一方のみを回転させてもよい。

 また、上述した実施形態においては、ブ� ��シ3の円筒形の中心軸に沿って、側面3aから� ��引された洗浄液を排出するための排出通路3 bが形成されている場合を例に挙げて説明し� �が、排出通路3bの形状は、本実施形態の形状 に限定されるものではない。例えば、洗浄液 をむらなく効率よく外部に排出できるように 、円筒形の中心軸に沿って伸びる排出通路に 、排出通路から側面3aに向かって放射状に伸� ��る分岐通路が接続されているものとしても� ��いし、円筒形の中心軸を囲むようにらせん� ��に設けられたものとしてもよい。

 「第2実施形態」
 図2は、本発明の磁気記録媒体用基板の洗浄 装置の他の例を磁気記録媒体用基板上側から 見た平面図である。なお、図2に示す洗浄装� �において、図1に示す洗浄装置と同一のもの� ��ついては同一の符号を付し、その説明を省� ��する。
 図2に示す洗浄装置は、図1に示す洗浄装置� �同様に、洗浄される磁気記録媒体用基板1上� ��洗浄液を供給する洗浄液ノズル4と、ブラシ (洗浄具)5と、ブラシ5を磁気記録媒体用基板1� ��で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用� ��板1上からブラシ5を介して洗浄液を吸引し� �排出する洗浄液排出手段71とを備えている。 また、図2に示す洗浄装置においても、洗浄� �ノズル4、ブラシ5、摺動手段および洗浄液排 出手段71は、それぞれ2つずつ設けられており 、磁気記録媒体用基板1に対して対称に配置� �れている(図2においては、磁気記録媒体用基 板の一面側のみ図示し、他面側に設置された 洗浄液ノズル4、ブラシ5、摺動手段および洗� ��液排出手段71は図示略)。なお、図2に示す洗 浄装置においても、磁気記録媒体用基板1が� �平となるように配置されていてもよいし、� �気記録媒体用基板1が垂直となるように配置� ��れていてもよいし、磁気記録媒体用基板1が 斜めになるように配置されていてもよい。

 本実施形態においても、ブラシ5は、2本設� �られており、2本のブラシ5が、磁気記録媒体 用基板1を挟み込むように配置されている。� �た、本実施形態においても、ブラシ5は、多� ��の空隙を有するスポンジ状の樹脂などの多� ��質材料からなるものであり、PVAスポンジな� ��が用いられる。さらに、ブラシ5として、過 酸化水素を含有する保管液中で保管されたPVA スポンジを用いることが好ましい。保管液か ら取り出されたブラシ5は、純水中でもみ洗� �する方法などにより、ブラシ5に含まれた保� ��液を洗い流してから用いることが好ましい� ��
 また、ブラシ5としては、円筒形(カップ型)� ��ものが用いられており、一端面を磁気記録� ��体用基板1の表面に対向させて配置されてい る。また、図2に示すように、ブラシ5の他端� ��5aには、ブラシ5を保持するためのアーム6が 取り付けられている。

 また、摺動手段は、ブラシ5を磁気記録媒 体用基板1上で摺動させるものであり、磁気� �録媒体用基板1を保持して回転させる図1に示 す洗浄装置と同様の4本のチャックローラ2と� ��アーム6を介してブラシ5を所定の位置に移� �させるとともに回転させる回転手段(図示略) とからなる。本実施形態においては、図2に� �すように、ブラシ5が、それぞれ一端面を磁� ��記録媒体用基板1の表面に対向させた状態で 、回転手段(図示略)により、磁気記録媒体用� ��板1の表面に直交する方向を軸として、同じ 方向に所定の回転数で回転されるとともに、 磁気記録媒体用基板1に対する相対位置を移� �されるようになっている。

 また、本実施形態において、洗浄液排出� ��段7は、ブラシ5の他端面5aに取り付けられ、 一部がアーム6の内部に埋め込まれた洗浄液� �出管71aと、洗浄液排出管71a内の圧力を減圧� �るポンプなどの減圧手段(図示略)とを有して いる。したがって、本実施形態においては、 減圧手段により洗浄液排出管71a内の圧力を減 圧することによって、磁気記録媒体用基板1� �の洗浄液の少なくとも一部が、多孔質材料� �らなるブラシ5の一端面である摺動面から吸� ��されてブラシ5内の空隙を通過し、洗浄液排 出管71aを通って外部に排出されるようになっ ている。

 図2に示す洗浄装置を用いて磁気記録媒体 用基板1を洗浄するには、まず、洗浄する磁� �記録媒体用基板1をチャックローラ2に保持さ せ、磁気記録媒体用基板1を両面から挟み込� �ように2本のブラシ5を配置する。そして、洗 浄液ノズル4により磁気記録媒体用基板1上に� ��浄液を供給させ、チャックローラ2を回転さ せて磁気記録媒体用基板1を図2に示す矢印Bの 方向に回転させるとともに、回転手段により ブラシ5を図2に示す矢印Aの方向に回転させて 、磁気記録媒体用基板1の両面上でそれぞれ� �ラシ5を摺動させ、磁気記録媒体用基板1の両 面を同時に洗浄する(洗浄工程)。本実施形態� ��おいては、洗浄工程において、減圧手段に� ��り洗浄液排出管71a内の圧力を減圧し、洗浄� ��の少なくとも一部を、磁気記録媒体用基板1 上からブラシ5を介して吸引して洗浄液排出� �71aを通って外部に排出する。

 本実施形態の磁気記録媒体用基板1の洗浄 装置においては、磁気記録媒体用基板1上か� �ブラシ5を介して洗浄液を吸引して排出する� ��浄液排出手段71を備えているので、第1実施� ��態と同様に、洗浄液が周囲に飛散しにくく� ��るとともに、洗浄によって磁気記録媒体用� ��板1から放出されたゴミが磁気記録媒体用基 板1に再度接触することはないし、ブラシ5か� ��洗浄液に埃等のゴミが放出されることもな� ��ので、高い洗浄仕上がりが得られ、磁気記� ��面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応でき� ��高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板1が 得られる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置は、ブラシ5が、円筒形で一端面� �磁気記録媒体用基板1の表面に対向させて、� ��記表面に直交する方向を軸として回転され� ��ものであり、洗浄液排出手段71が、ブラシ5� ��円筒形の他端面5aに取り付けられた洗浄液� �出管71aと、洗浄液排出管71a内の圧力を減圧� �る減圧手段とを備えているので、洗浄工程� �おいて、減圧手段により洗浄液排出管71a内� �圧力を減圧することにより、磁気記録媒体� �基板1上の洗浄液の少なくとも一部が、多孔� ��材料からなるブラシ5の一端面である摺動面 から吸引されてブラシ5内の空隙を通過し、� �浄液排出管71aを通って外部に排出されるも� �となる。

 したがって、本実施形態の洗浄装置は、� ��浄液の存在下でブラシ5の一端面である摺動 面と磁気記録媒体用基板1とが擦れることに� �り、磁気記録媒体用基板1から埃等のゴミが� ��出された場合に、磁気記録媒体用基板1から 放出された直後のゴミを、摺動面であるブラ シ5の一端面から洗浄液とともにブラシ5に捕� ��できるものとなる。また、本実施形態の洗� ��装置では、洗浄液排出手段71が、ブラシ5の� ��筒形の他端面5aに取り付けられた洗浄液排� �管71aを備えているので、摺動面であるブラ� �5の一端面における洗浄液の吸引力のムラが� ��なく、磁気記録媒体用基板1から放出された ゴミを効率よく除去できるとともに、洗浄液 が洗浄液排出管71aを通って効率よく外部に排 出されるものとなる。

 また、本実施形態の磁気記録媒体用基板1 の洗浄装置においても、洗浄液ノズル4、ブ� �シ5、摺動手段および洗浄液排出手段71が、� �れぞれ2つずつ設けられ、磁気記録媒体用基� ��1に対して対称に配置されているので、洗浄 工程において、2本のブラシ5を磁気記録媒体� ��基板1の両面上でそれぞれ摺動させることに よって、磁気記録媒体用基板1の両面の全面� �同時に洗浄でき、効率よく洗浄工程を行う� �とができる。

 「第3実施形態」
 次に、第1実施形態または第2実施形態の磁� �記録媒体用基板の洗浄装置を用いて磁気記� �媒体用基板を洗浄する工程を備える磁気記� �媒体の製造方法について説明する。
 まず、所定の材質の磁気記録媒体用基板1を 用意し、磁気記録媒体用基板1の表面に研磨� �工を施し、磁気記録媒体用基板1の表面を所� ��の表面平均粗さRaとする。続いて、磁気記� �媒体用基板1を洗剤の入れられた洗浄槽中に� ��漬させて浸漬洗浄する。次いで、第1実施形 態または第2実施形態の磁気記録媒体用基板� �洗浄装置を用いる上述した洗浄方法により� �磁気記録媒体用基板1をスクラブ洗浄する。

 その後、洗浄された磁気記録媒体用基板1 の表面に、スパッタ法を用いて、例えば、CrW 合金などの非磁性合金からなる下地膜と、CoC rPtTaCu合金などの磁性合金からなる磁気記録� �膜とを形成する。その後、磁気記録層膜の� �に、例えば、プラズマCVD法を用いて硬質炭� �膜からなる保護膜を形成し、保護膜の形成� �れた磁気記録媒体用基板1の表面にディッピ� ��グ法によりPFPE潤滑剤を塗布することにより 、磁気記録媒体とする。

 本実施形態の磁気記録媒体の製造方法に� ��れば、第1実施形態または第2実施形態の磁� �記録媒体用基板の洗浄装置を用いて磁気記� �媒体用基板を洗浄する工程を行うことによ� �清浄度の高い表面が得られるので、磁気記� �面上でのヘッドの低浮上化に対応できる磁� �記録媒体が得られる。

「実施例」
 以下、実施例を示して、本発明を具体的に� ��明するが、本発明はこれに限定されるもの� ��はない。
(実施例)
 磁気記録媒体用基板として、表面に厚さ10μ mのNiPメッキ膜の形成された直径3.5インチ、� �さ0.8mmのディスク状のアルミニウム合金基板 を用意した。この磁気記録媒体用基板の表面 に、表面平均粗さRaが1nmとなるようにメカニ� ��ルテクスチャー加工を施した。続いて、磁� ��記録媒体用基板を5%の濃度のアルカリ系洗� �(商品名:RBS225、ケミカルプロダクト社製)の� �れられた洗浄槽中に浸漬させて浸漬洗浄し� �。

 その後、図2に示す洗浄装置を用いて磁気 記録媒体用基板の両面を同時に、3回スクラ� �洗浄した。このスクラブ洗浄では、ブラシ5� ��して、5質量%の過酸化水素水からなる保管� �中に30℃で7日間保管し、純水中でもみ洗い� �る方法によりブラシから保管液を洗い流し� �直径8.5cm、厚さ2cmのカップ型のPVAスポンジ(� �ーグル化成社製)を用いた。スクラブ洗浄の� ��件は、ブラシ5の回転速度を500rpm、磁気記録 媒体用基板1の回転速度を120rpm、1回あたりの� ��クラブ洗浄時間を8秒間とし、洗浄液ノズル 4により洗浄液として純水を供給量1リットル/ 分で供給させた。なお、洗浄中、洗浄液排出 管71a内の圧力を減圧して90000Paとし、洗浄に� �いた洗浄液を磁気記録媒体用基板1上からブ� ��シ5を介して吸引して洗浄液排出管71aを通じ て外部に排出したが、洗浄液排出管71a以外か ら放出される洗浄液はほとんど認められず、 周囲に飛散する洗浄液はほとんどなかった。

 このようにして洗浄された磁気記録媒体� ��基板の表面に、スパッタ法を用いて、厚さ8 nmのCrW合金(25質量%Cr-75質量%W)からなる下地膜� ��、厚さ30nmのCoCrPtTaCu合金(18質量%Cr-8質量%Pt-3� ��量%Ta-1質量%Cu-残部Co)からなる磁気記録層膜� ��を形成した。その後、磁気記録層膜の上に� ��ラズマCVD法を用いて厚さ7nmのカーボン膜か� ��なる保護膜を形成し、保護膜の形成された� ��気記録媒体用基板の表面にディッピング法� ��よりPFPE潤滑剤を塗布する方法により磁気記 録媒体を製造した。

(比較例)
 洗浄液排出手段が設けられていないこと以� ��は図2に示す洗浄装置と同様の洗浄装置を用 い、洗浄中にブラシを介して洗浄液を吸引し て排出しなかったこと以外は、実施例と同様 にして磁気記録媒体を製造した。

 このようにして得られた実施例および比較� ��の磁気記録媒体100枚について、圧電素子付� ��ヘッドの用いられたグライドテスターを用� ��て磁気記録媒体の表面形状の検査を行った� ��なお、ヘッドのグライド高さ(ヘッドと磁気 記録媒体との距離)は0.25μインチとした。
 その結果、実施例では、100枚の磁気記録媒� ��について不良箇所が見つからなかった。 � �れに対し、比較例では、2枚の不良が見つか� ��た。なお、比較例の2枚の不良の磁気記録媒 体は、スクラブ洗浄時に磁気記録媒体用基板 の表面に残留した物質が原因であると推測さ れた。

 また、実施例および比較例の磁気記録媒� ��を微分干渉光学顕微鏡(600倍)で観察した。� �の結果、比較例の磁気記録媒体では、磁気� �録層膜などからなる積層膜の中央付近に、� �気記録媒体用基板のスクラブ洗浄不良に起� �するふくれが発生していた。これに対し、� �施例の磁気記録媒体では、良好な磁気記録� �膜が形成されていた。