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Patent Searching and Data


Title:
APPARATUS FOR DETERMINING AND/OR MONITORING AN AUTOMATING TECHNOLOGY PROCESS VARIABLE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2015/028179
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a vibration sensor having an oscillating unit (2) which consists of a membrane (3) that has an inner surface (4) and an outer surface (5) and optionally at least one oscillating element (6) fixed to the outer surface (5) of the membrane (3), a transmitter/receiver unit (7) being provided, which excites the oscillating unit to oscillate with a predetermined excitation frequency and to receive the oscillations of the oscillating unit (2), and a control/evaluation unit (8) further being provided which signals when the predetermined fill level is reached or determines the density and/or the viscosity of the medium. In order to be able to use the vibration sensor in the high temperature range, a disk-shaped element (9) made from a magnetostrictive material is provided and is force-locked on the inner surface (4) of the membrane (3). The transmitter/receiver unit (7) is an electromagnetic drive.

Inventors:
LOPATIN SERGEJ (DE)
KUHNEN RAPHAEL (DE)
FRÜHAUF DIETMAR (DE)
Application Number:
PCT/EP2014/064593
Publication Date:
March 05, 2015
Filing Date:
July 08, 2014
Export Citation:
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Assignee:
ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG (DE)
International Classes:
G01F23/296; G01N9/00
Foreign References:
US6079266A2000-06-27
EP1239267A22002-09-11
DE4327167A11995-02-16
US7598820B22009-10-06
US4770038A1988-09-13
Attorney, Agent or Firm:
ANDRES, ANGELIKA (DE)
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Claims:
Patentansprüche

1. Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer Prozessgröße, insbesondere eines vorgegebenen Füllstandes, der Dichte oder der Viskosität eines Mediums in einem Behälter, mit einem Gehäuse (14) und einer schwingfähigen Einheit (2), die eine

Membran (3) mit einer Innenfläche (4) und einer Außenfläche (5) und ggf. zumindest ein an der Außenfläche (5) der Membran (3) befestigtes Schwingelement (6) aufweist und die auf der Höhe des vorbestimmten Füllstandes angebracht ist oder die so in dem Behälter angebracht ist, dass sie bis zu einer definierten Eintauchtiefe in das Medium eintaucht, wobei eine Sende-/Empfangseinheit (7) vorgesehen ist, die die schwingfähige Einheit mit einer vorgegebenen Erregerfrequenz zu Schwingungen anregt und die die Schwingungen der schwingfähigen Einheit (2) empfängt, und wobei eine Regel-/Auswerteeinheit (8) vorgesehen ist, die das Erreichen des vorbestimmten Füllstandes signalisiert oder die Dichte bzw. die Viskosität des Mediums ermittelt,

dadurch gekennzeichnet,

dass ein scheibenförmiges Element (9) aus einem magnetostriktiven Material vorgesehen ist, das kraftschlüssig mit der Innenfläche (4) der Membran (3) verbunden ist, und dass es sich bei der Sende-/Empfangseinheit (7) um einen elektro-magnetischen Antrieb handelt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1 ,

dadurch gekennzeichnet,

dass das scheibenförmige Element (9) aus magnetostriktivem Material kreisförmig oder rechteckförmig ausgestaltet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet,

dass es sich bei der kraftschlüssigen Verbindung (10) um eine Lötung, eine Schweißung oder eine Klebung handelt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet,

dass es sich bei dem Material des scheibenförmigen magnetostriktiven Elements (9) um Nickel, Kobalt, Terbium-Eisen, eine als Terfenol-D bezeichnete Legierung oder um eine als Galfenol bezeichnete Legierung handelt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3,

dadurch gekennzeichnet, dass die kraftschlüssige Verbindung (10) über ein Lot realisiert wird, bei dem es sich insbesondere aus einem Standardlot auf Nickel- oder Silberbasis handelt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3,

dadurch gekennzeichnet,

dass die kraftschlüssige Verbindung (10) über einen Schwei ßprozess oder über einen Klebeprozess realisiert ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1 ,

dadurch gekennzeichnet,

dass es sich bei dem elektromagnetischen Antrieb (7) um eine modular aufgebaute Einheit handelt, die mittels eines Befestigungsmittels (15) im Innern des Gehäuses (14) befestigt ist. 8. Vorrichtung nach Anspruch 1 ,

dadurch gekennzeichnet,

das der elektromagnetische Antrieb (7) eine Spule (12), einen Spulenkern (13) und ggf. einen Permanentmagneten (1 1 ) aufweist. 9. Vorrichtung nach Anspruch 1 ,

dadurch gekennzeichnet,

dass der elektromagnetische Antrieb (7) so innerhalb des Gehäuses (14) angeordnet ist, dass zwischen dem scheibenförmigen Element (9) aus magnetostriktivem Material und dem entsprechenden Endbereich des elektromagnetischen Antriebs (7) ein Spalt (16) vorgesehen ist, der bevorzugt eine Dicke von 0.1 -1 mm aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1 , 7, 8 oder9,

dadurch gekennzeichnet,

dass die Magnetfeldstärke bei Verwendung des Permanentmagneten (1 1 ) so gewählt ist, dass sie in einem Bereich liegt, in dem die relative Ausdehnung bzw. die relative Längenbzw. Durchmesseränderung des magnetostriktiven Materials des scheibenförmigen Elements (9) in Abhängigkeit von der Magnetfeldstärke (H) des elektromagnetischen Antriebs (7) eine hohe oder eine maximale Steigung aufweist. 1 1 . Vorrichtung nach Anspruch 1 , 7, 8 oder 9,

dadurch gekennzeichnet,

dass bei Nicht-Verwendung eines Permanentmagneten (1 1 ) das magnetostriktive Material des scheibenförmigen Elements (9) so beschaffen ist, dass die Magnetostriktionskurve im Bereich des Nullpunkts eine hohe Steigung aufweist, die zur Erzeugung der Erregerfrequenz geeignet ist.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

dass die angrenzenden Bereiche von Spulenkern (13) und scheibenförmigem

magnetostriktivem Element (9) so ausgestaltet sind, dass die Magnetfeldlinien im Innenbereich von Spulenkern (13) und scheibenförmigem magnetostriktivem Element (9) im Wesentlichen planparallel, bei Zylindersymmetrie radial, verlaufen.

13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

dass es sich bei der schwingfähigen Einheit (2) um eine Schwinggabel (17), einen Einstab (18) oder eine Membran (3) handelt.

Description:
Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung

einer Prozessgröße der Automatisierungstechnik

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer Prozessgröße, insbesondere eines vorgegebenen Füllstandes (Grenzstand), der Dichte oder der Viskosität eines Mediums in einem Behälter, mit einer schwingfähigen Einheit, die auf der Höhe des vorbestimmten Füllstandes angebracht ist oder die so in dem Behälter angebracht ist, dass sie bis zu einer definierten Eintauchtiefe in das Medium eintaucht, wobei eine Sende-/Empfangseinheit vorgesehen ist, die die schwingfähige Einheit mit einer vorgegebenen Erregerfrequenz zu Schwingungen anregt und die die Schwingungen der schwingfähigen Einheit empfängt, und wobei eine Regel- /Auswerteeinheit vorgesehen ist, die das Erreichen des vorbestimmten Füllstandes signalisiert oder die Dichte bzw. die Viskosität des Mediums ermittelt. Entsprechende Sensoren werden auch als Vibrationssensoren oder als vibronische Sensoren bezeichnet.

Die schwingfähige Einheit kann je nach Anwendung unterschiedlich ausgestaltet sein: als Schwinggabel mit zwei symmetrisch an einer Membran angeordneten Gabelzinken (Fig. 1 a), als Einstab, bei dem lediglich eine Zinke mittig an einer Membran angeordnet ist (Fig. 1 b) oder als Membran als solche (Fig. 1 c). Vibrationssensoren mit Schwinggabeln werden in Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen eingesetzt und von der Anmelderin unter der Bezeichnung LIQUIPHANT angeboten und vertrieben. Unter der Bezeichnung

SOLIPHANT sind Vibrationssensoren mit einem Einstab bekannt geworden. Diese sind hauptsächlich für den Einsatz in Feststoffen ausgewiesen. Aus der DE 10 2005 044 725 A1 ist darüber hinaus eine Ausgestaltung eines Membranschwingers bekannt geworden, der für den Einsatz in unterschiedlichsten Medien geeignet ist.

Vibronische Sensoren schwingen auf einer definierten Resonanzfrequenz - führen also eine harmonische Schwingung aus. Die Resonanzfrequenz ist durch die Konstruktion des Sensors und die verwendeten Werkstoffe bestimmt. Jede Schwingung lässt sich über die Frequenz und die Dämpfung charakterisieren. Schwingt die schwingfähige Einheit in einem flüssigen Medium mit einer hohen Dichte, so hat die Mediumsdichte als

mitbewegte Masse einen Einfluss auf die schwingfähige Einheit. Folglich liegt die

Schwingfrequenz in einem flüssigen Medium tiefer als in einem gasförmigen Medium. Eine Frequenzänderung zeigt somit beispielsweise den Übergang von einem gasförmigen zu einem flüssigen Medium an. Weiterhin hat die Dämpfung des Mediums einen Einfluss auf die Schwingungen eines vibronischen Sensors. Schüttgüter wie Weizen oder Reis dämpfen die Schwingungen der schwingfähigen Einheit eines Vibrationssensors und verursachen eine drastische Amplitudensenkung beim Übergang Luft/Schüttgut. Als Grenzstandmessgeräte ausgebildete Vibrationssensoren nutzen somit den Effekt aus, dass sowohl die Schwingungsfrequenz als auch die Schwingungsamplitude abhängig sind von dem jeweiligen Bedeckungsgrad des Schwingelements: Während das

Schwingelement in Luft frei und ungedämpft seine Schwingungen ausführen kann, erfährt es eine Frequenz- und Amplitudenänderung, sobald es teilweise oder vollständig in das Medium eintaucht. Anhand einer vorbestimmten Frequenzänderung (üblicherweise wird die Frequenz gemessen) lässt sich folglich ein eindeutiger Rückschluss auf das Erreichen des vorbestimmten Füllstandes des Mediums in dem Behälter ziehen. Die

Frequenzänderung in nicht dämpfenden Medien wie Gasen und dünnflüssigen

Flüssigkeiten hängt von der Mediumsdichte ab. Die Frequenzänderung ist ausreichend, um das Medium zu erkennen und die Dichte auszuwerten. Füllstandsmessgeräte werden übrigens vornehmlich als Überfüllsicherungen oder zum Zwecke des

Pumpenleerlaufschutzes verwendet. Wie bereits gesagt, wird die Dämpfung der Schwingung der schwingfähigen Einheit überwiegend durch die Reibungskräfte zwischen den festen Partikeln oder Molekülen des jeweiligen Mediums bestimmt. Daher besteht bei konstantem Bedeckungsgrad eine funktionale Beziehung zwischen der Schwingungsamplitude und der Dichte des

Schüttguts (die Reibung in schweren Schüttgütern mit einer hohen Schüttgutdichte ist höher als in leichten) oder zwischen der Schwingungsamplitude und der Viskosität, so dass Vibrationssensoren sowohl für die Füllstands- als auch für die Dichtebestimmung in Schüttgüter geeignet sind. Weiterhin werden vibronische Sensoren zur Bestimmung der Viskosität eines flüssigen Mediums eingesetzt. Die Schwingungen eines Vibrationssensors werden von einem elektro-mechanischen Wandler erzeugt. Bei dem elektromechanischen Wandler handelt es sich üblicherweise um einen Piezoantrieb mit zumindest einem piezoelektrischen Element. Der Piezoantrieb regt im Vibrationssensor harmonische Schwingungen auf einer Resonanzfrequenz an und kompensiert die Energieverluste, die in der schwingfähigen Einheit auftreten. Mit

Piezoantrieben lässt sich ein hoher Wirkungsgrad erzielen. Da die Energiezufuhr relativ gering ist, ist ein breiter Einsatz in der Automatisierungstechnik möglich. Weitere

Information findet sich beispielsweise in der DE 10 2008 050 266 A1. Vielfach werden sogenannte Stapelantriebe als Piezoantriebe eingesetzt. Bei Stapelantrieben sind mehrere scheibenförmige piezoelektrische Elemente übereinander gestapelt angeordnet. Darüber hinaus werden zur Schwingungserzeugung und Schwingungsdetektion

Bimorphantriebe verwendet. Prinzipiell besteht ein Bimorphantrieb aus einem mit der Membran kraftschlüssig verbundenen scheibenförmigen piezoelektrischen Element, das in zumindest zwei flächigen Bereichen eine ontgogongosotzto Polarisation aufweist. In der EP 0 985 916 A1 und der EP 1 281 051 B1 sind unterschiedliche Ausgestaltungen von Bimorphantrieben beschrieben.

Im Falle der Füllstandsbestimmung überwacht die Auswerteeinheit die

Schwingungsfrequenz und/oder die Schwingungsamplitude des Schwingelements und signalisiert den Zustand 'Sensor bedeckt' bzw. 'Sensor unbedeckt', sobald die

Messsignale einen vorgegebenen Referenzwert unter- oder überschreiten. Eine entsprechende Meldung an das Bedienpersonal kann auf optischem und/oder auf akustischem Weg erfolgen. Alternativ oder zusätzlich wird ein Schaltvorgang ausgelöst; so wird etwa ein Zu- oder Ablaufventil an dem Behälter geöffnet oder geschlossen.

Die Piezotechnologie auf der Basis von piezokeramischen Werkstoffen auf PZT-Basis (Bleizirkonattitanat) ist bestens für den Einsatz bei Temperaturen bis 300°C geeignet. Zwar gibt es piezokeramische Werkstoffe, die auch bei Temperaturen oberhalb von 300°C ihre piezoelektrischen Eigenschaften bewahren; diese haben jedoch den Nachteil, dass sie deutlich ineffektiver sind als die Werkstoffe auf PZT-Basis. Für den Einsatz in Vibrationssensoren sind diese Hochtemperaturwerkstoffe wenig geeignet.

Das Haupthindernis für die Verwendung von piezokeramischen Werkstoffen in

Vibrationssensoren bei Temperaturen oberhalb von 300°C beruht auf den großen Unterschieden in den thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Metallen und keramischen Stoffen. Die piezokeramischen Elemente haben in Vibrationsantrieben die Funktion von Kraftgebern: Daher müssen die piezoelektrischen bzw. piezokeramischen Elemente kraftschlüssig mit der Membran, die üblicherweise aus Edelstahl gefertigt ist, verbunden sein. Aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten bauen sich in den piezokeramischen Elementen mit steigender Temperatur letztendlich so hohe mechanische Spannungen auf, dass sie brechen - die Folge davon ist ein Totalausfall des Vibrationssensors. Um diese Probleme zu umgehen, werden in der WO 2007/1 1301 1 und in der WO

2007/114950 A1 Vibrationssensoren mit einem speziellen elektromagnetischem Antrieb beschrieben. Wesentliche Komponenten des elektromagnetischen Antriebs sind eine Spule und ein Permanentmagnet. Wird der elektromagnetische Antrieb mit einem

Wechselspannungssignal beaufschlagt, so wird ein magnetisches Wechselfeld erzeugt. Infolge des magnetischen Wechselfelds wirkt eine periodische Kraft auf die schwingfähige Einheit des Vibrationssensors und regt sie zu Schwingungen an. Bei dem bekannten Sensor erfolgt die Umwandlung von elektrischer Energie in mechanische Energie über ein Magnetfeld. Bei einem elektromagnetischen Antrieb sind die Unterschiede der thermischen Ausdehnungskoeffizienten von den im Sensor verarbeiteten Materialen nur von untergeordneter Bedeutung. Da im Gegensatz zu den piezoelektrischen Antrieben auf eine kraftschlüssige Verbindung zwischen zwei völlig unterschiedlichen Werkstoffen, wie z.B. der Edelstahlmembran und der Piezokeramik, verzichtet werden kann, ist ein Vibrationssensor mit einem elektromagnetischen Antrieb auch in einem höheren und breiteren Temperaturbereich, insbesondere bei Temperaturen zwischen -200°C und 450- 500°C einsetzbar.

Der Nachteil bei den bekannten Vibrationssensoren mit elektromagnetischem Antrieb ist darin zu sehen, dass ein Permanentmagnet in Wechselwirkung mit einer Spule als Kraftgeber einen deutlich geringeren Wirkungsgrad hat als ein Piezoantrieb. Zwar entwickelt der elektromagnetische Antrieb im Bereich der Membran relativ hohe Kräfte, jedoch ist die Auslenkung der Schwinggabel infolge der nicht-kraftschlüssigen- Verbindung zwischen Membran und Antrieb gering. Als Folge davon benötigt ein Vibrationssensor mit elektromagnetischem Antrieb im Vergleich zu einem

Vibrationssensor mit Piezoantrieb mehr Energie, was seinen Einsatz in

explosionsgefährdeten Bereichen problematisch macht.

Aus der US-A 3,256,738 ist ein magnetostriktiver Sensor zur Detektion des Grenzstands eines Mediums in einem Behälter bekannt geworden. Das Sensorgehäuse ist auch hier an seiner Unterseite mit einer Membran verschlossen. Eine rohrförmige Komponente aus einem magnetostriktiven Material erstreckt sich ins Gehäuseinnere und ist in einem ihrer Endbereich kraftschlüssig mit dem mittleren Bereich der Membran verschweißt. Der zweite Endbereich der rohrförmigen Komponente ist frei. Im Außenbereich der rohrförmigen magnetostriktiven Komponente befinden sich als Sende-/Empfangseinheit zwei Spulen mit einem dazwischen liegenden ringförmigen Permanentmagneten. Bei der bekannten Lösung werden Röhrchen aus magnetostriktivem Material zu longitudinalen Resonanzschwingungen angeregt. Longitudinal schwingende Resonatoren weisen eine hohe mechanische Güte auf und reagieren mit einer Amplitudenänderung, sobald sie in Kontakt mit dem zu überwachenden Medium kommen. Der bekannte Sensor wird zu Resonanzschwingungen angeregt, indem die Röhrchenlänge im harmonischen

Magnetfeld verändert wird.

Der Nachteil des bekannten magnetostriktiven Sensors ist darin zu sehen, dass er nicht mechanisch von der Behälterwand entkoppelt ist. Je nach Anschluss besteht die Gefahr, dass er ausfällt. Zur Anregung von Schwingungen in Vibrationssensoren der Anmelderin, die als Sicherungen eingesetzt werden, ist der bekannt gewordene elektromagnetische Antrieb nicht geeignet. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Vibrationssensor für den Einsatz im Hochtemperaturbereich vorzuschlagen. Unter Hochtemperatur-bereich wird in Verbindung mit der Erfindung insbesondere der Bereich oberhalb von 300°C verstanden. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass ein scheibenförmiges Element aus einem magnetostriktiven Material vorgesehen ist, das mit der Innenfläche der Membran kraftschlüssig verbunden ist. Das scheibenförmige Element aus dem magnetostriktiven Material kann kreisförmig, ringförmig oder rechteckförmig ausgestaltet sein. Bei der Sende-/Empfangseinheit handelt es sich um einen elektromagnetischen Antrieb, der - wie bereits zuvor erwähnt - problemlos für den Einsatz im Hochtemperaturbereich geeignet ist.

Magnetostriktive Stoffe sind typischerweise metallische Legierungen, die magnetisch, insbesondere ferromagnetisch sind. Bei Anlegen eines magnetischen Feld ändern sie elastisch ihre Länge. Dieser Effekt wird auch als Joule-Magnetostriktion bezeichnet.

Der große Vorteil der magnetostriktiven Stoffe ist, dass sie sich problemlos kraftschlüssig mit der Metallmembran eines Vibrationssensors verbinden lassen. Beispielsweise kann die kraftschlüssige Verbindung über ein Lot erfolgen. Bei gelöteten Fügestellen lässt sich eine hervorragende Kraftübertragung je nach verwendetem Lot durchaus bei

Temperaturen bis 700-900°C erreichen. Selbstverständlich ist es auch möglich, die kraftschlüssige Verbindung über einen (z.B. Laser-) Schweiß- oder Klebeprozess zu realisieren. Daher ist es möglich, den erfindungsgemäßen Vibrationssensor auch bei Temperaturen oberhalb 300°C einzusetzen.

Aufgrund der kraftschlüssigen Verbindung (flächig oder z.B. nur im Außenbereich des scheibenförmigen magnetostriktiven Materials) zwischen dem scheibenförmigen magnetostriktiven Material und der Membran ist die Kraftübertragung ausgezeichnet. Daher ist der Wirkungsgrad zwischen der elektromagnetischen Anregung und der durch sie ausgelösten mechanischen Schwingung sehr groß. Folglich benötigt der

erfindungsgemäße Vibrationssensors vergleichsweise wenig Energie, so dass er auch für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen der Automatisierungstechnik geeignet sein kann. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Vibrationssensors ist sein kompakter und kostengünstiger Aufbau.

Beispiele für magnetostriktive Materialien, die in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Lösung verwendet werden können, sind reines Nickel (Ni) mit einer Curie-Temperatur von 358°C, Kobalt (Co) mit einer Curie-Temperatur von 1 120°C, Terbium-Eisen (TbFe2), das bis 424°C einsetzbar ist, oder eine als Terfenol-D bezeichnete Legierung, die bis 380°C ihre magnetostriktiven Eigenschaft beibehält. Die genannten magnetostriktiven

Werkstoffe haben unterschiedliche magnetostriktive Koeffizienten. Bevorzugt werden in Verbindung mit der Erfindung Werkstoffe eingesetzt, die neben einer ausreichend hohen Magnetostriktion auch eine hohe Curie-Temperatur aufweisen. Für Anwendungen bis 400°C kann z.B. eine Kombination aus Hochtemperatur-Edelstahl und Kobalt oder TbFe2 verwendet werden. Zum Löten ist eine harte Metallverbindung, insbesondere ein

Standardlot auf z.B. Nickelbasis mit einer Löttemperatur von ca. 950°C bestens geeignet.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vibrationssensors handelt es sich bei dem elektromagnetischen Antrieb um eine modular aufgebaute Einheit, die im Innern des Gehäuses befestigt ist. Die Art der Befestigung kann beliebig sein. Die kraftschlüssige Verbindung zur Membran, die bei einem piezoelektrischen Antrieb unabkömmlich ist, entfällt.

Der elektromagnetische Antrieb besteht aus zumindest einer Spule, zumindest einem das Magnetfeld der Spule verstärkenden Spulenkern und zumindest einem

Permanentmagneten. Der Permanentmagnet ist bevorzugt ringförmig ausgestaltet und im Außenbereich der Spule angeordnet. Der elektromagnetische Antrieb ist so innerhalb des Gehäuses angeordnet, dass zwischen dem scheibenförmigen Element aus

magnetostriktivem Material und dem entsprechenden Endbereich des

elektromagnetischen Antriebs ein Spalt gebildet ist. Bevorzugt weist der Spalt eine Dicke von 0.1-1 mm auf.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vibrationssensors sieht vor, dass die Magnetfeldstärke bei Verwendung eines Permanentmagneten so gewählt ist, dass sie in einem Bereich liegt, in dem die relative Ausdehnung bzw. die relative Längen- bzw. Durchmesseränderung des magnetostriktiven Materials des scheibenförmigen Elements in Abhängigkeit von der Magnetfeldstärke des elektromagnetischen Antriebs eine hohe oder eine maximale Steigung aufweist. Durch die Vormagnetisierung mittels des

Permanentmagneten lässt sich der optimale Arbeitspunkt des Vibrationssensors definieren. Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung braucht es keinen Permanentmagneten. In diesem Fall wird ein magnetostriktives Material gewählt, dessen Magnetostriktionskurve im Bereich des Nullpunkts bereits eine so hohe Steigung aufweist, dass das magnetische Wechselfeld des elektromagnetischen Antriebs zur Erzeugung der Erregerfrequenz geeignet ist. Darüber hinaus sieht eine vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen

Vibrationssensors vor, dass die angrenzenden Endbereiche von Spulenkern und scheibenförmigem magnetostriktivem Element so ausgestaltet sind, dass die

Magnetfeldlinien im Innenbereich von Spulenkern und scheibenförmigem

magnetostriktivem Element im Wesentlichen planparallel, bei Zylindersymmetrie radial verlaufen. Hierdurch lässt sich der Wirkungsgrad optimieren. Zusätzlich oder alternativ ist das scheibenförmige magnetostriktive Material aus Einzellagen zusammenlaminiert. Hierdurch wird der Entstehung von Wirbelströmen effektiv entgegen gewirkt.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 a: eine schematische Darstellung eines aus dem Stand der Technik bekannten Vibrationssensors mit einer Schwinggabel,

Fig. 1 b: eine schematische Darstellung eines aus dem Stand der Technik bekannten Vibrationssensors mit einem Einstab,

Fig. 1 c: eine schematische Darstellung eines aus dem Stand der Technik bekannten Vibrationssensors, der als Membranschwinger ausgestaltet ist,

Fig. 2: einen Längsschnitt durch eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen

Vibrationssensors in schematischer Darstellung, Fig. 2a: einen vergrößerte Darstellung der Membran mit appliziertem magnetostriktivem Element aus Fig. 2,

Fig. 2b: die in Fig. 2a gezeigte Membran mit appliziertem magnetostriktivem Element bei Beaufschlagung mit einem elektromagnetischen Feld,

Fig. 3: ein Diagramm, das die Längenausdehnung eines magnetostriktiven Materials in Abhängigkeit von der magnetischen Feldstärke zeigt.

Fig. 4: ein Längsschnitt durch eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen

Vibrationssensors mit optimierter Magnetisierungsgeometrie.

In den Figuren Fig. 1 a, Fig. 1 b und Fig. 1 c sind schwingfähige Einheiten 2 von aus dem Stand der Technik bekannt gewordenen Vibrationssensoren 1 schematisch dargestellt. Bei Fig. 1 a besteht die schwingfähige Einheit 2 aus einer Membran 3 und einer

Schwinggabel 17. Bei Fig. 1 b ist an der Membran 3 ein Einstab 18 befestigt. Fig. 1 c visualisiert einen Membranschwinger, bei dem die schwingfähige Einheit 2 nur durch die Membran 3 gebildet ist.

Fig. 2 zeigt einen Längsschnitt durch eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vibrationssensors 1 mit einem magnetostriktiven Bimorphelement 19 in schematischer Darstellung. Das Bimorphelement 19 besteht aus einem im Wesentlichen

scheibenförmigen Element 9 aus einem magnetostriktiven metallischen Werkstoff, der über eine kraftschlüssige Verbindung 10, insbesondere eine Löt-, Schweiß- oder

Klebeverbindung, mit der Membran 3 gekoppelt ist. Das Bimorphelement 19 verschließt das rohrförmige Sensorgehäuse 14 in einem seiner beiden Endbereiche. In dem

Sensorgehäuse 14 ist oberhalb des scheibenförmigen Elements 9 bzw. oberhalb des Bimorphelements 19 ein elektromagnetischer Antrieb 7 angeordnet. Der

elektromagnetische Antrieb 7 besteht im dargestellten Fall aus einer Spule 12 mit einem Spulenkern 13 und einem im Außenbereich der Spule 12 angeordneten bevorzugt ringförmig ausgestalteten Permanent-magneten 1 1. Es versteht sich von selbst, dass es sich bei dem Permanentmagneten 1 1 auch um einen scheibenförmigen Ringmagneten handeln kann.

Der Spulenkern 13 ist aus einer ferromagnetischen Legierung gefertigt. Bevorzugt ist er so ausgestaltet, dass die Bildung von Wirbelströmen auf ein Mindestmaß reduziert ist. Bevorzugt ist der elektromagnetische Antrieb 7 als modulare Einheit aufgebaut. Über ein bevorzugt metallisches Befestigungselement 15 ist der elektromagnetische Antrieb 7 in dem Sensorgehäuse 14 befestigt. Bei dem Befestigungselement 15 handelt es sich beispielsweise um ein Gewinde oder um einen Sprengring. Selbstverständlich ist es auch möglich, den elektromagnetischen Antrieb 7 in dem Sensorgehäuse 14 über einen Schweiß- oder Lötprozess zu befestigen. Das scheibenförmige Element 9 aus einem magnetostriktiven Material ist von dem

Permanentmagneten 1 1 und dem insbesondere ferromagnetischen Spulenkern 13 durch einen Spalt 16 getrennt. Bevorzugt liegt die Dicke des Spalts 16 im Bereich von 0,1 -1 ,0 mm. Eine kraftschlüssige Verbindung, wie sie bei einem piezoelektrischen Antrieb unbedingt erforderlich ist, entfällt bei der erfindungsgemäßen Lösung.

Die Spule 12 wird über die Regel-/Auswerteeinheit 8 mit einem periodischen bzw.

harmonischen Anregungsstrom gespeist. Hierdurch entsteht in Verbindung mit der konstanten Magnetfeldstärke H 0 des Permanentmagneten 1 1 ein harmonisches

Magnetfeld H=H 0 + AH . Über dieses periodisch sich ändernde Magnetfeld H werden das Bimorphelement 19 und somit auch die schwingfähige Einheit 2 zu harmonischen Schwingungen angeregt.

Das harmonische Magnetfeld der Feldstärke ΔΗ bewirkt bei dem scheibenförmigen Element 9 eine periodische Änderung des Durchmessers ΔΙ im Takt der

Anregungsfrequenz. Da das scheibenförmige Element 9 aus magnetostriktivem Material kraftschlüssig mit Membran 3 des Vibrations-sensors 1 gekoppelt ist, führt eine periodische Durchmesser- bzw. Längenänderung zu einer harmonischen

Biegeschwingung des Bimorphelements 19. Gesteuert durch den Erregerstrom der Spule 12, wird der Vibrationssensor 1 somit zu Schwingungen mit einer gewünschten

Schwingfrequenz, insbesondere mit Resonanzfrequenz, angeregt.

Das treibende Magnetfeld H setzt sich im gezeigten Fall zusammen aus dem Magnetfeld H 0 des Permanentmagneten 1 1 und dem Wechselmagnetfeld bzw. dem harmonischen Magnetfeld ΔΗ der Spule 12. Hierbei ist ΔΗ die Amplitude des Wechselmagnetfeldes, das dem konstanten Magnetfeld H 0 des Permanentmagneten 1 1 auf moduliert wird. Über das Magnetfeld H 0 des Permanentmagneten 1 1 wird - wie in Fig. 3 dargestellt - erreicht, dass der erfindungsgemäße Vibrationssensor im Arbeitspunkt AP 1 arbeitet. Der Arbeitspunkt AP1 befindet sich bevorzugt in einem Bereich, in dem das Wechselmagnetfeld ΔΗ eine möglichst große Längen- bzw. Durchmesseränderung des magnetostriktiven Materials des scheibenförmigen Elements 9 bewirkt. Die Änderung des Durchmessers bzw. die Längenänderung ΔΙ des magnetostriktiven Materials des scheibenförmigen Elements 9 im Bereich einer niedrigen Magnetfeldstärke H lässt sich mathematisch näherungsweise durch eine Parabel beschreiben. Die entsprechende Formel lautet:

Hierbei ist— die relative Ausdehnung des magnetostriktiven Werkstoffs bei Einwirken des harmonischen Magnetfeldes, γ ist ein Koeffizient, der mit der magnetostriktiven Konstante λ korreliert. Die obige Formel kann folgendermaßen umgeschrieben werden:

Δ/

= R - H 2 = r - (H 0 + AH) 2 = / - (H Q + 2AH - H 0 + AH 2 ) .

/„

Der Term γ Hl ist eine Konstante, die von der Magnetfeldstärke des harmonischen Magnetfelds mit der Amplitude ΔΗ unabhängig ist. Sie entspricht der Vordeformation des Bimorphelements 9, die infolge der magnetischen Feldstärke H 0 des Magnetfelds des Permanentmagneten 1 1 vorhanden ist. Der Term γ - AH 2 ist vernachlässigbar. Für die Anregung selbst ist der Term γ 2AH H 0 relevant, der zeigt, dass eine maximale

Δ/

Steigung der Ausdehnung— als Funktion der Feldstarke ΔΗ des harmonischen Magnetfeldes bei üblichen magnetostriktiven Materialien nur in Kombination mit der definierten Feldstärke eines Permanentmagneten 1 1 sinnvoll ist. Die Magnetfeldstärke H 0 des Permanentmagneten 1 1 ist für jedes magnetostriktive Material spezifisch und sollte bevorzugt bei der maximalen Steigung oder im Bereich der maximalen Steigung der in Fig. 3 dargestellten Ausdehnungskurve bzw. Magnetostriktionskurve liegen. Für die in Fig. 3 dargestellte Ausdehnungskurve liegt die die optimale Vormagnetisierung aufgrund der Magnetfeldstärke H 0 des Permanentmagneten 11 im Bereich zwischen 1 und 2 kOe.

Die Magnetfeldstärke H 0 des Permanentmagneten 1 1 darf nicht so groß sein, dass die Feldstärke H des Magnetfeldes des elektromagnetischen Antriebs 7 im Bereich der Sättigung liegt. Da in diesem Bereich die Steigung der Ausdehnungskurve sehr gering ist, wäre auch die Schwingung der schwingfähigen Einheit 3 entsprechend gering. Sättigung tritt bei der in Fig. 3 gezeigten Ausgestaltung bei einer Magnetfeldstärke H von ca. 5 kOe auf. Die Anregung einer schwingfähigen Einheit 2 mit einem magnetostriktiven

Bimorphelement 9 ist für den Einsatz bei allen Vibrationssensoren 1 geeignet, insbesondere auch für die in Fig. 1 a, Fig. 1 b und Fig. 1 c gezeigten Vibrationssensoren 1 . Ein entscheidender Vorteil bei der Kombination von Bimorph- und elektromagnetischem Antrieb ist, dass der erfindungsgemäße Vibrationssensor 1 auch für Anwendungen im Hochtemperaturbereich bestens geeignet ist. Der Einsatzbereich des erfindungsgemäßen Vibrationssensors ist letztlich nur beschränkt durch die Curie-Temperatur des Materials des Permanent-magneten 1 1 , die Curie-Temperatur des Materials des magnetostriktiven Elements 9 und die Temperaturverträglichkeit des Materials, aus dem die Spule 12 gefertigt ist. Typischerweise kann die erfindungsgemäße Lösung jedoch mit den genannten kostengünstigen und verfügbaren Materialien zumindest im

Temperaturbereich von 400-500°C betrieben werden. Der Temperaturbereich lässt sich zu höheren Temperaturen hin erweitern, wenn ein höherer Kostenaufwand für

Materialien, die auch bei höheren Temperaturen noch verwendet werden können, nicht gescheut wird.

Wie aus den Figuren Fig. 2a und Fig. 2b ersichtlich ist, lässt sich die erfindungsgemäße Schichtstruktur (= Bimorphelement 19) aus einer Metallmembran 3 und einem scheibenförmigen Element 9 aus einer magnetostriktiven Legierung optimal in einem Bimorphelement 19 zur Erzeugung und zum Empfang von Schwingungen der schwingfähigen Einheit 2 verwenden. Die Membran 3 und das scheibenförmige magnetostriktive Element 9 sind bevorzugt als dünne Plättchen ausgebildet. Die kraftschlüssige Verbindung 10 im Bimorphelement 19 wird beispielsweise über eine

Lötschicht aus einer harten Metalllegierung erreicht. Wie bereits zuvor erwähnt, lässt sich eine kraftschlüssige Verbindung 10 für den Einsatz im Hochtemperaturbereich auch über einen Schweiß- oder einen Klebeprozess realisieren. Die in den Figuren Fig. 2 und Fig. 4 gezeigten Lösungen nutzen einen

Permanentmagneten 1 1 , um den Arbeitspunkt AP 1 des erfindungsgemäßen

Vibrationssensors 1 in den Bereich zu ziehen, in dem die Längen- bzw.

Durchmesseränderung des scheibenförmigen magnetostriktiven Elements 9 möglichst hoch ist. Bevorzugt wird die von dem jeweils verwendeten magnetostriktiven Material abhängige optimale Vormagnetisierung opt. H 0 anvisiert. Entsprechend ausgeprägt ist nachfolgend die durch das magnetische Wechselfeld ΔΗ angeregte

Schwingungsamplitude des Vibrationssensors 1 .

In Fig. 3 ist zusätzlich der Fall gezeigt, dass kein Permanentmagnet 1 1 verwendet wird. Bei einer derartigen Lösung liegt der Arbeitspunkt AP2 des Vibrationssensors 1 im

Nullpunkt der Magnetostriktionskurve. Bevorzugt wird in diesem Fall ein magnetostriktive Material, wie beispielsweise eine als Galfenol bezeichnete Legierung, für das

scheibenförmige Element 9 verwendet, das bereits im Bereich des Nullpunkts eine relative große Längen- bzw. Durchmesseränderung aufweist.

Wird ein entsprechendes Material verwendet, so bewirkt das magnetische Wechselfeld ΔΗ eine symmetrische Schwingung um den Nullpunkt herum. Wie in Fig. 3 gezeigt, ändert sich die Länge- bzw. der Durchmesser des magnetostriktiven Materials des scheibenförmigen Elements 9 mit einer Frequenz, die doppelt so hoch ist wie die Erregerfrequenz des magnetischen Wechselfelds ΔΗ. Zwar lässt sich bei einer

Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vibrationssensors 1 mit Permanentmagneten 1 1 eine höhere Schwingungsamplitude realisieren, jedoch hat die Variante ohne

Permanentmagneten 1 1 den Vorteil, dass mit einer niedrigeren Erregerfrequenz gearbeitet werden kann. Hierdurch lässt sich der Skin Effekt reduzieren, der zu höheren Frequenzen immer ausgeprägter wird. Daher ist die Lösung ohne Permanentmagnet 1 1 - energetisch betrachtet - sehr vorteilhaft.

Fig. 4 zeigt einen Längsschnitt durch eine auf gleichmäßige Magnetisierung H 0 optimierte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Vibrationssensors 1 . Um eine möglichst gleichförmige Magnetisierung H 0 über das gesamte Volumen des

magnetostriktiven Elementes 9 zu erreichen, ist der Permanentmagnet 1 1 so ausgestaltet (z.B. als kleine kreisförmige Scheibe), dass er in den zentralen Spulenkern 13 eingelegt werden kann. Die Lage in dem Spulenkern 13 kann dabei frei gewählt werden. Alternativ ist es möglich, den Permanentmagneten 1 1 als Ringmagneten auszugestalten und in den äußeren Spulenkern 22 zu integrieren. Weiterhin ist es möglich, anstelle des

Permanentmagneten 1 1 eine zusätzliche zweite Spule zu verwenden, oder die Spule 12 mit einem überlagerten DC-Strom zu betreiben. Der Spulenkern 13 besteht aus einem Material mit hoher magnetischer Permeabilität und weist in dem Bereich, der dem magnetostriktiven Element 9 zugewandt ist, einen Konus 20 auf. Das scheibenförmige magnetostriktive Element 9 ist so ausgestaltet, dass es im zentralen Bereich eine dem Konus 20 entsprechende Kerbe 23 aufweist, in die der Konus 20 hineinragt. In den Randbereichen des scheibenförmigen magnetostriktiven Elements 9 und in den Endbereichen des äußeren Spulenkerns 22 finden sich gleichfalls

korrespondierende Abschrägungen 24. Der Konus 20 und die Abschrägungen 24 dienen der gezielten Führung der Magnetfeldlinien in das scheibenförmige magnetostriktive Element 9 hinein und aus dem scheibenförmigen magnetostriktiven Element 9 heraus, so dass der Feldlinienverlauf innerhalb des Materials in hohem Maße planparallel, bei Zylindersymmetrie radial, verläuft. Der Spulenkern 13 weist im Bereich um den

Permanentmagneten 1 1 herum einen Brückenbereich 21 auf, der gleichfalls der optimalen Führung des von der Spule 12 erzeugten Magnetfeldes dient.

Das scheibenförmige magnetostriktive Element 9 ist beispielsweise aus Vollmaterial gefertigt. Um Wirbelströme und die daraus resultierende Verformung des Magnetfeldes H zu vermeiden, besteht das scheibenförmige magnetostriktive Element 9 bevorzugt aus laminierten Schichten. Die Laminierung kann durch eine flächige Klebeverbindung oder durch eine Löt- oder Schweiß- oder Klebeverbindung an den Kanten der Einzellamellen erfolgen.

Der äußere Spulenkern 22 hat übrigens zusätzlich die Aufgabe der magnetischen Abschirmung von externen Fremdfeldern.

Da das Magnetfeld H 0 des Permanentmagneten 1 1 im gleichen Spulenkern 13 geführt wird wie das Magnetfeld ΔΗ der Spule 12, sind beide Magnetfelder H 0, ΔΗ im

magnetostriktiven Material des scheibenförmigen Elements 9 optimal planparallel, bei Zylindersymmetrie radial, zueinander ausgerichtet, was zu einer deutlichen Erhöhung des Wirkungsgrades führt. Wie bereits zuvor im Zusammenhang mit Fig. 3 beschrieben, kann auf den

Permanentmagneten 1 1 verzichtet werden, wenn die Erregerspule 12 bipolar auf der halben Resonanzfrequenz betrieben wird. Da die Magnetostriktionskurve (Fig.3) symmetrisch bezüglich H ist, wird bei jedem Nulldurchgang des Spulenstromes eine minimale Auslenkung erreicht, wodurch eine Erregung auf doppelter Frequenz generiert wird. Dieses Verfahren ermöglicht die Halbierung der Erregerfrequenz und somit eine starke Reduktion der auftretenden Wirbelströme und der damit einhergehenden Verluste. Eine alternative oder zusätzliche Reduktion der Erregerfrequenz kann dadurch erreicht werden, dass die Schwingelemente, z.B. die Gabelzinken, so optimiert sind, dass sie für den Betrieb auf Oberwellen geeignet sind.

Bezugszeichenliste

1 Vibrationssensor

2 schwingfähige Einheit

3 Membran

4 Innenfläche der Membran

5 Außenfläche der Membran

6 Schwingelement

7 Sende-/Empfangseinheit / elektromagnetischer Antrieb

8 Regel-/Auswerteeinheit

9 scheibenförmiges Element

10 Verbindung zwischen Membran und scheibenförmigem Element

1 1 Permanentmagnet

12 Spule

13 Spulenkern

14 Sensorgehäuse

15 Befestigungselement

16 Spalt

17 Schwinggabel

18 Einstab

19 Bimorphelement

20 Konus

21 Brücke

22 äußerer Spulenkern

23 Kerbe

24 Abschrägung