Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse und dreidimensionalen

Abbildung der Oberfläche von Proben

Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren, um die chemische Zusammensetzung und die dreidimensionale Struktur von Oberflächen von Proben zu messen und zu analysieren.

Beschreibung und Einleitung des allgemeinen Gebietes der Erfindung

Ziel der ortsaufgelösten (bildgebenden) mikroskaligen Oberflächenanalytik ist es, die chemische Zusammensetzung einer Probe (z.B. eines biologischen Gewebes oder Objektes) mit hoher lateraler Auflösung qualitativ und/oder quantitativ abzubilden. Mikroskalig bedeutet in diesem Zusammenhang, dass die Größe eines Messpunktes zwischen 0,5 μιη bis 10 pm beträgt.

Als Probe wird hierbei die Gesamtheit des zu untersuchenden Materials bezeichnet. Dieses Material kann als chemischer Stoff oder Stoffgemisch flüssig (wie Trinkwasserproben, Urinproben) oder fest (wie eine Gesteinsprobe) oder ein Gemisch unterschiedlicher Aggregatzustände (beispielsweise eine feuchte Bodenprobe) sein. Bei einer ortsaufgelösten (bildgebenden) mikroskaligen Oberflächenanalytik werden Proben im festen Aggregatzustand untersucht. Anders als ein optisches Mikroskopbild zeigt ein solches analytisches Bild die Mengenverteilung eines bestimmten Stoffes innerhalb der Probe an. Hierbei sind Verfahren üblich, welche es ermöglichen, die chemische Zusammensetzung auf ebenen Proben zu bestimmen und diese in zweidimensionalen Darstellungen der che- mischen Zusammensetzung zu verbildlichen, sowie aus einer Vielzahl zweidimensionaler Bilder (Messungen) dreidimensionale chemische Verteilungsbilder zu erzeugen. Unter diesen Methoden befinden sich lasergestützte massenspektrometri- sche Verfahren, wie die Laserdesorptions/Ionisations-Massenspektrometrie (LDI- MS), die matrix-unterstützte Laserdesorptions/lonisations-Massenspektro-metrie (MALDI-MS) sowie die Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), aber auch die Laserablations-Nachionisations- Massenspektrometrie.

Desorption bezeichnet hierbei den Vorgang, bei dem (vorwiegend) ungeladene Atome oder Moleküle die Oberfläche eines Festkörpers verlassen.

Ionisation heißt jederVorgang, bei dem aus einem Atom oder Molekül ein oder meh- rere Ladungsträger entfernt oder ihnen hinzugefügt werden, so dass das Atom oder Molekül als positiv oder negativ geladenes Ion zurückbleibt.

Stand der Technik Ein übliches MALDI-MS-Verfahren zur zweidimensionalen Kartierung von Konzentrationen spezifischer Moleküle wird beispielsweise in der Schrift US 5,808,300 beschrieben. Hierbei wird die Probenoberfläche in einzelne Messpunkte unterteilt und je ein definierter Punkt der Probenoberfläche mit einem fokussierten Laserstrahl beschossen und die freigesetzten Ionen detektiert. Dies wird dann für jeden anderen Punkt der Probenoberfläche wiederholt. Es ist dabei nicht möglich, gleichzeitig Informationen über die Topographie der Probe und deren Oberflächenzusammensetzung zu gewinnen. Es gibt keine Verknüpfung zwischen der zweidimensionalen, räumlichen Verteilung eines Stoffes und der Topographie einer Probe. Topographie meint hier die Höhe, bzw. Dicke einer Probe an einem bestimmen Ort.

Im Gegensatz dazu liefert die konfokale Laser-Raster-Mikroskopie zwar ein dreidimensionales Bild, jedoch keine direkte Information über die chemische Zusammensetzung der Probe.

Aufgabe

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Ermöglichung einer gleichzeitigen Analyse der zweidimensionalen, räumlichen chemischen Zusammensetzung und der Topographie einer Probe bereitzustellen.

Lösung der Aufgabe

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung und ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung 100, 200 ist dabei für die Verwendung mit ver- schiedenen Massenspektrometern vorgesehen. Sie kann mit allen dem Fachmann bekannten Massenspektrometern verwendet werden, die über ein Atmosphärendruck-Einlasssystem verfügen oder bei erniedrigtem oder erhöhtem Druck im Probenraum arbeiten. Dazu zählen unter anderen: Quadrupol-, lonenfallen-, lonencyc- lotron- und Orbitalfallen-Massenspektrometer, sowie Time of Flight (TOF) Massenspektrometer. Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich dabei für alle Methoden der Desorption und/oder Ionisierung von Oberflächen (Desorptionsverfahren), beispielsweise für LDI (Laserdesorptions-Ionisierung), MALDI (Matrix-assistierte Laserdesorptions-Ionisierung) und Laser-Ablation mit Nachionisierung.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung 100, 200 zur massenspektrometrischen Analyse und dreidimensionalen Abbildung der Oberfläche von Objekten umfasst dabei wenigstens eine Energiequelle 20, 10 zur Desorption oder Desorption und Ionisation von Atomen der Oberfläche einer Probe mittels eines Desorptions-/ lonisations- Strahls 2 und deren Weiterleitung in ein Massenspektrometer 7.

Weiterhin umfasst die Vorrichtung 100, 200 einen Verschiebetisch 1 , welcher so ausgebildet ist, dass auf ihm eine zu untersuchende Probe aufgebracht werden kann und wobei der Strahlengang der Energiequelle 20, 10 und der Verschiebetisch 1 relativ zueinander beweglich ausgeführt sind. Weiterhin umfasst die Vorrichtung 100, 200 eine Schnittstelle 50 um Daten mit einem Massenspektrometer 7 austauschen zu können. Dabei ist die Schnittstelle 50 so ausgebildet, dass Messdaten über die chemische Zusammensetzung der Oberfläche der Probe an einem Messpunkt 60, von einem Massenspektrometer über die Schnittstelle 50 an die Auswerteeinheit 40 übermittelt werden können, sodass die chemische Zusammensetzung für den Messpunkt 60 durch die Auswerteeinheit 40 bestimmt werden kann. Bei der Schnittstelle 50 kann es sich beispielsweise um eine ISA-, PCI-, USB- oder ΕΙΑ-232-SchnittsteIIe handeln. Eine Schnittstelle zur kabellosen Datenübermittlung wie WLAN, Wi-Fi, IEEE 802.1 1 oder Bluetooth ist ebenfalls möglich.

Weiterhin umfasst die Vorrichtung 100, 200 eine Lichtquelle 8, 10, mindestens ein optisches System 3 und mindestens einen Lichtdetektor 4 und ein Auswerteeinheit 40. Diese sind so ausgebildet, dass von der Lichtquelle 8, 10 ein Messpunkt 60 auf der Probe beleuchtet und vom Messpunkt 60 reflektiertes oder gestreutes Licht vom Lichtdetektor 4 erfasst wird, sodass die Oberfläche einer Probe dreidimensional er- fasst und die Topographie dieser Oberfläche durch die Auswerteeinheit 40 bestimmt werden kann.

Der Lichtdetektor 4 besteht dabei vorzugsweise aus einem Bauelement, mit dem positionsempfindlich Strahlung wahrgenommen werden kann (z.B. ein Quadrantendetektor, ein positionsempfindlicher Detektor, ein CCD Sensor oder eine Videokamera-Chip). Das optische System 3 umfasst vorzugsweise ein oder mehrere der folgenden Bauteile: Linsen, Blenden, Spiegel, Filter, telezentrische Objektive, Lichtleiter. Diese(s) ist/sind dabei so angeordnet dass das Licht der Lichtquelle 8, 10 auf dem Weg von der Probenoberfläche zum Lichtdetektor 4 so geformt oder geleitet werden kann, dass dieser optimal das reflektierte und/oder gestreute Licht verarbeiten kann. Weiterhin umfasst die Vorrichtung 100, 200 eine Steuereinheit 30 zur Steuerung des Verschiebetisches 1 , der Energiequelle 20, 10 und der Lichtquelle 8, 10, wobei diese so ausgebildet ist, dass die Oberfläche einer Probe punkteweise von der Energiequelle 20 und der Lichtquelle 8, 10 bestrahlt werden kann.

In einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 ist die Energiequelle 10, 20 als ein Desorptions- oder lonisationslaser ausgeführt. Die bevorzugte Wellenlänge liegt hierbei im ultravioletten, sichtbaren oder infraroten Bereich. Typische verwendete Laser sind KrF-Excimerlaser (λ = 248 nm) und frequenzvervierfachte Nd.'YAG Laser (λ = 266 nm). Im Gegensatz zu anderen lonisa- tionsmethoden (z.B. Elektrospray-Ionisation (ESI), Chemische Ionisation bei Atmosphärendruck (APCI)) erlauben Laser als Energiequelle 10,20 die Erzeugung von Ionen unabhängig von elektrischen Feldern, da Ionen nur im Laserstrahl gebildet werden können. Es ist jedoch auch möglich eine andere Energiequelle (20) z.B. einen Elektrospray-Strahler oder eine Primärionen- oder Neutralteilchenquelle zu verwenden.

In einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 ist die Lichtquelle 8, 10 als ein Laser ausgeführt. Die bevorzugte Wellenlänge liegt hierbei im sichtbaren optischen Bereich bei 320 nm bis 750 nm Wellenlänge. Dieser Wellenlängenbereich stellt einen Kompromiss aus möglichst hoher Auflösung und möglichst geringer Beeinflussung der Oberfläche dar.

In einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 um- fasst diese weiterhin einen lonenführungskanal 6 zur Leitung von Ionen, die durch die Energiequelle 20, 10 von der Oberfläche einer Probe freigesetzt werden. Dieser ist so ausgebildet, dass Ionen gezielt zu einem angeschlossenen Massenspektro- meter 7 geführt werden können. In einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 um- fasst diese weiterhin ein Fokussiersystem 11 zur Fokussierung der Strahlung der Energiequelle 20, 10 auf die Oberfläche einer Probe. Dabei kann das Fokussierungssystem 11 ein oder mehrere der folgenden Bauteile umfassen: Spiegel, Linsen, Blenden, Filter, Lichtleiter, Linse mit zentraler Bohrung 5, telezentrische Objektive.

In einer sechsten Ausführungsform umfasst die erfindungsgemäße Vorrichtung 100, 200 weiterhin ein Fokussieru ngssystem 12 zur Fokussierung der Strahlung der Lichtquelle 8 auf die Oberfläche einer Probe. Das ermöglicht es, dass nur der mik- roskalige Messpunkt 60 beleuchtet wird und es nicht zu Streusignalen aus angrenzenden Bereichen kommt. Dies ist insbesondere von Bedeutung wenn die Lichtquelle keine interne Optik umfasst. Dabei kann das zweite Fokussierungssystem ein oder mehrere der folgenden Bauteile umfassen: Spiegel, Linsen, Blenden, Filter, Lichtleiter, Linsen mit zentraler Bohrung 5, telezentrische Objektive.

Das Fokussierierungssystem 12 für die Lichtquelle 8 und das Fokussierungssystem 11 für die Energiequelle 20 können einzeln und in Kombination eingesetzt werden. Ihre Steuerung erfolgt über die Steuereinheit 30.

In einer siebten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 200 werden die Energiequelle 10 zur Desorptions-/lonisation und die Lichtquelle 10 durch denselben Laser gebildet. (Fig.4) Das ermöglicht eine einfachere und kostengünstigere Konstruktion der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Hierbei wird bevorzugt für diese Lichtquelle/Energiequelle 10 ein einheitliches Fokussierungssystem verwendet um einen Messpunkt 60 präzise bestrahlen zu können. Dabei kann das Fokussierungs- system aus Spiegeln, Linsen, Blenden, Filtern, Lichtleitern, Linsen mit zentraler Bohrung 5, sowie telezentrischen Objektiven aufgebaut sein.

Vorzugsweise ist der Lichtdetektor 4 der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 so ausgebildet, dass er in einem Winkel a von mehr als 0° (bevorzugt mehr als 45°) relativ zur Probenoberfläche positioniert ist, wobei dieser ein Messbild von der Probenoberfläche und/oder dem Messpunkt 60 erzeugt.

Die verschiedenen Ausführungsformen lassen sich auch miteinander kombinieren, ohne dass besondere weitere erfinderische Tätigkeit nötig ist. Eine Anpassung auf das genaue Einsatzgebiet ist besondere auf die Art der Proben oder gewünschte räumliche Auflösung für Fachleute im Bereich von massenspektrometrischen Untersuchungen üblich.

In einem Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse und Abbildung der Oberfläche einer Probe mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100, 200 gemäß ei- nem der oben genannten Ausführungsformen, wird die zu untersuchende Probe durch Bewegung des Verschiebetisches oder der Energiequelle 20 punktweise im Scanning-Betrieb untersucht. Scanning Betrieb heißt hierbei das systematische, regelmäßige Abtasten bzw. Vermessen der Oberfläche, entweder in einem schrittweisen Punkt-für-Punkt-Ablauf oder in einem zeitlich synchronisierten kontinuierlichen Ablauf der Bewegung des Verschiebetisches oder der Energiequelle und einer daraus erzeugten Konstruktion eines Rasterbildes. Die Hauptidee ist, mit relativ begrenzten Messinstrumenten durch eine Vielzahl von Einzelmessungen ein Gesamtbild der Oberfläche zu erlangen. Dazu wird zu jedem Messpunkt immer auch dessen x und y Koordinate bestimmt. Die x und die y Koordinate beschreiben die Position eines Punktes auf einer Ebene welche parallel zur Oberfläche der Probe liegt.

In einer zweiten Ausführungsform des Verfahrens wird zusätzlich die z-Koordinate bzw. die z-Position einzelner Punkte der Probenoberfläche bestimmt. Als z-Koordi- nate wird hier die Raumrichtung senkrecht zur Oberfläche der Probe angenommen.

In einer dritten Ausführungsform des Verfahrens dienen die Ausgangsignale des Lichtdetektors der erfindungsgemäßen Vorrichtung der Steuerung des Scanning- Betriebs, wobei eine Rasterung (Bewegung in xy-Ebene) und eine Bestimmung der Topografie mittels Auswertung der z- Koordinate vorgenommen werden. In einer vierten Ausführungsform des Verfahrens wird zur Realisierung des Scan- ning-Betriebs die Position des Verschiebetisches 1 durch die Steuereinheit 30 gezielt verändert.

In einer fünften Ausführungsform des Verfahrens wird zur Realisierung des Scan- ning-Betriebs die Position des Abbildungssystems zur Fokussierung der Energie- quelle 20, 10 durch die Steuereinheit 30 gezielt verändert.

In einer sechsten Ausführungsform des Verfahrens werden aus der zu untersuchenden Probe massenspektrometrische Rohdaten gewonnen. Wobei unter den mas- senspektrometrischen Rohdaten zu einem Messpunkt 60 die Verhältnisse von Masse zu Ladungszahl, die lonensignal-lntensitäten sowie die Koordinaten (x, y, z) zu verstehen sind.

In einer siebten Ausführungsform des Verfahrens wird eine mehrdimensionale Datenmatrix erzeugt, indem jedem detektierten massenspektrometrischen Signal die errechneten Masse-zu-Ladungszahl-Zentroiden, Intensitäten und kartesischen Koordinaten zugeordnet werden.

In einer achten Ausführungsform des Verfahrens werden Höhen- und Verteilungsinformation in Graustufen- oder Farbkodierungen übersetzt und bildliche Darstellungen erzeugt.

Auswertunqsverfahren:

Für die Durchführung des Auswertungsverfahrens wird zunächst eine zu untersuchende Probe auf einem Verschiebetisch 1 angebracht. Dabei befindet sie sich vorzugsweise auf einem Probenträger auf dem Verschiebetisch 1. In den Abbildungen Fig. , 2, 3 und 4 wird gezeigt wie ein mikroskaliger Messpunkt 60 von einer Lichtquelle 8, 9, 10 erzeugt und durch ein optisches System 3 auf die Probe abgebildet wird. Der reflektierte/gestreute Messstrahl der Lichtquelle 8, 10 wird durch ein optisches System 3 auf den Lichtdetektor 4 abgebildet. Die Position der Abbildung des Messpunktes auf dem Lichtdetektor 4 wird von der Auswerteeinheit 40 ausgewertet. Die relative Positionsänderung des Messpunktes wird berechnet und aus dieser Information die Abweichung der z-Position von der zuvor für die mikroskalig rasternde Untersuchung definierten Arbeitsebene des Objektes berechnet. Mithilfe dieses Wertes wird die aktuelle z-Position des Objektes im Messpunkt in die vorgegebene Arbeitsebene bewegt. Der Verschiebungswert wird als Höheninformation für den Messpunkt gespeichert. Die chemische Information (chemische Zusammensetzung) des Messpunktes auf der Oberfläche des Objektes wird mit einer geeigneten Nachweismethode aufgezeichnet, wie zum Beispiel der Laserdesorptions-/ionisati- ons-Massenspektrometrie (LDI-MS) oder der matrixunterstützten Laserdesorptions- /ionisations-Massenspektrometrie (MALDI-MS), der Sekundärionen-Massenspekt- rometrie (SIMS) oder der Desorptions-Elektrosprayionisations-Massenspektromet- rie (DESI-MS). Laserbasierte ortsaufgelöste Methoden besitzen bei hoher räumlicher Auflösung (d.h. bei kleinen Messpunkten) eine hohe numerische Apertur und damit eine geringe Tiefenschärfe (Schärfentiefe). Für eine massenspektrometrische Untersuchung des Messpunktes muss daher die Arbeitsebene für den jeweiligen Messpunkt mit hoher Genauigkeit angefahren werden. Andere Desorptions/Ionisa- tionsverfahren besitzen teilweise andere geometrische Randbedingungen für eine erfolgreiche Analyse eines Messpunktes, die ebenfalls das Anfahren der Arbeitsebene erfordern. Für DESI-MS müssen z.B. die Winkel und Abstände zwischen DESI-Strahl, Probenmesspunkt und Einlassöffnung des Massenspektrometers eingehalten werden.

In den Abbildungen Fig.1 , 2, 3, 4 kann der Probenträger auch in einem Winkel abweichend von den gezeigten Winkeln stehen.

Bildanalvseverfahren

In einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein Lichtdetektor 4 mit einem optischen System 3 in einem Winkel α von mehr als 0° relativ zur Probenoberfläche positioniert. Die Probenoberfläche wird durch die Lichtquelle 8, 9, 10 illuminiert. Durch Auswertung der Information der beleuchteten, abgebildeten Probenoberfläche wird die optimale Fokusebene des Desorptions-/ loni- sationsstrahls 2 der Energiequelle 20 bestimmt. Bei korrekter Anordnung entspricht z. B. der höchste Kontrastwert oder die maximale Standardabweichung eines 5x5 Pixel umfassenden Bildbereichs der Fokusebene des Desorptions-/ lonisations- strahls 2. Der Kontrastwert C ist zum Beispiel gegeben durch C = (I AX-IA)/IA, wobei Imax die maximale Intensität des von der Probe detektierten Bildes und IA, die durchschnittliche Intensität des von der Probe detektierten Bildes sind. Durch das Messen der Position z.B. des höchsten Kontrastwerts oder der größten Standardabweichung, relativ zum Messpunkt kann die z-Position korrigiert werden, um die Probe im Messpunkt in die Fokusebene des lonisationslasers zu bewegen. Aus dem Ver- fahrweg des Verschiebetisches in der z- Koordinate wird die Höheninformation abgeleitet. Des Weiteren ist es möglich, durch systematische Iteration und Fokusvariation die Position des höchsten Kontrasts oder der größten Standardabweichung zu bestimmen. Aus dieser Information kann ebenfalls die z- Position für den gegebe- nen Messpunkt abgeleitet werden. In der Ausführungsform der Vorrichtung wie sie in Fig.4 gezeigt wird, kann des Weiteren der durch den Desorptions-/ lonisations- strahl der Energiequelle 10 erzeugten Messpunkt 60 auf der Probe direkt zur Bestimmung der Höheninformation verwendet werden.

Nachdem durch eines der beschriebenen Verfahren die Arbeitsebene für den Mess- punkt angefahren wurde, wird der gewählte Desorptionsstrahl genutzt, um aus dem mikroskaligen Messpunkt Analytmaterial zu desorbieren und zu ionisieren oder in einem folgenden Schritt zu ionisieren. Die Ionen bewegen sich zum lonenführungs- kanal 6 eines der beschriebenen Massenspektrometer 7. Durch die massenspekt- rometrische Analyse werden direkt Informationen über die chemische Zusammen- setzung des mikroskaligen Messpunkts erhalten.

Für jeden Messpunkt wird somit zunächst die z-Position des Messpunktes in die Arbeitsebene bewegt und damit die Probenhöhe am Messpunkt bestimmt. Anschließend wird die massenspektrometrische Analyse zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung durchgeführt, bevor der nächste Messpunkt angefahren und dieser wiederum auf Höheninformation und chemische Information untersucht wird. Nach Rastern der Probenoberfläche durch Bewegen in x und y Richtung und durch Regulation der z-Koordinate für jeden Messpunkt wird die Topografie der Probe n- oberfläche durch Auswerten der z-Koordinaten abgebildet. Die massenspektromet- rische Analyse der Ionen aus jedem mikroskaligen Messpunkt liefert die chemische Information über die Zusammensetzung.

Die erhaltene multidimensionale Information (Topographie, ortsabhängige chemische Verteilung und chemische Zusammensetzung) wird mit der entwickelten Software ausgewertet und in mehrdimensionalen Darstellungen verbildlicht (Fig.5.).

In einer weiteren Ausführungsform ist es vorgesehen die Vorrichtung und das Verfahren in der Flugzeitmassenspektrometrie zu verwenden.

Alternativ ist es vorgesehen die Vorrichtung in der Quadrupol-, lonenfallen-, lo- nencyclotronresonanz- oder Orbitalfallen-Massenspektrometrie zu verwenden.

Abbildungslegenden und Bezugszeichenliste

Fig. 1 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung 100.

Fig. 2 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung 100 in einer weiteren Ausführungsform unter Verwendung eines Fokussierungssystems 12 für eine Lichtquelle 8 und eines Fokussierungssystems 11 für eine Energiequelle 20.

Fig. 3 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung 100 in der Ausführungsform unter Verwendung einer durchbohrten Linse 5. Fig. 4 zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung 200 in der Ausführungsform, dass der Desorptions/Ionisationslaser auch als Lichtquelle zur Höhenbestimmung genutzt wird.

Fig. 5 stellt den Verlauf der Datenauswertung dar. Die von der Vorrichtung 100, 200 erzeugte Ortsinformation (x,y und z Koordinate) wird in die Auswerteeinheit eingelesen. Die vom Massenspektrometer 7 generierten massenspektrometrischen Rohdaten werden ebenfalls über die Schnittstelle in die Auswerteeinheit eingelesen. Die Auswerteeinheit generiert ein topographisches Bild und ein chemisches Verteilungsbild von der Probe. In einem weiteren Schritt werden das topographische Bild und das chemische Verteilungsbild in dreidimensionales chemisches Verteilungsbild umgewandelt und dargestellt.

Bezugszeichenliste

1 Verschiebetisch

2 Desorptions-/ lonisationsstrahl der Energiequelle

3 optisches System

Lichtdetektor

Linse mit zentraler Bohrung

lonenführungskanal

Massenspektrometer

, 10 Lichtquelle

1 ,12 Fokussierungssystem

00, 200 Vorrichtung

0, 10 Energiequelle

0 Steuereinheit

0 Auswerteeinheit

0 Schnittstelle

0 Messpunkt