Titel

Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Magnetfeldern

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds mit einem Kern, der ummagnetisierbares Kernmaterial aufweist, und einer Erregerspule zum Ummagnetisieren des Kernmaterials. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Verfahren zum Messen eines Magnetfelds.

Stand der Technik

Es gibt unterschiedliche Vorrichtungen um Magnetfelder zu bestimmen beziehungsweise zu messen. Diese sind unter anderem Hallsensoren, AMR-Sensoren (AMR: Anisotrope Magneto-Resistivität), Feldplatten, Feldspulen, Fluxgatesenso- ren, GMR-Sensoren (GMR: giant magnetoresistance oder Riesenmagnetowider- stand), TMR-Sensoren (TMR: tunnel magnetoresistance oder magnetischer Tunnelwiderstand) und SQIDS (Superconducting Quantum Interference Device oder Supraleitende Quanteninterferenzeinheit).

Ein sehr einfaches Prinzip, basierend auf einer Spule und einem weichmagnetischen Kern, ist der Fluxgatesensor. Das Messprinzip basiert auf der Ummagneti- sierung eines weichmagnetischen Kerns mit Hilfe einer Erregerspule und der De- tektion des dabei generierten zeitabhängigen Flusses mit einer Messspule (Pi- ckup-Spule). Die Flussänderung wird dabei bestimmt durch die Magnetisierungskurve des weichmagnetischen Kerns in Abhängigkeit des äußeren Feldes. Je schneller die Ummagnetisierung erfolgt, desto größer ist die Spannung in der Pi- ckup-Spule. Dabei kann die Spannungserhöhung sowohl durch eine steilere Magnetisierungshysterese erzeugt werden (größere Permeabilität) wie auch durch eine Erhöhung der Frequenz der Erregerspule.

Ein häufig verwendetes Auswerteverfahren ist die Messung der zweiten harmonischen Komponente des Signals in der Pickup-Spule. Diese Komponente ent- spricht im Wesentlichen dem nichtlinearen Anteil der Übertragungsfunktion, der von der Sättigung des Kerns herrührt. Die Amplitude der zweiten harmonischen Komponente ist dabei proportional zum externen Feld.

Ein solches Verfahren ist z. B. bei Drljaca, P.M. et al.„Low-Power 2-D fully in- tegrated CMOS Fluxgate Magnetometer", IEEE Sensor Journal, Vol.5, Issue 5, Page 909 - 915 (2005) beschrieben. Die Dimensionen der Fluxgate-Kerne sind dabei Länge 1400 μηι, Breite 20 μηι und Dicke 7 μηι). Bei diesem Verfahren muss die Signalform in ihre Fourrierkomponenten zerlegt werden, um die vom externen Feld abhängige zweite harmonische Komponente zu separieren. Dabei ist es wichtig, dass die Amplitude der zweiten Harmonischen deutlich größer ist als das Rauschen des Systems. Diese Amplitude sinkt aber mit dem Volumen des Kernmaterials. Daher ist die Miniaturisierbarkeit begrenzt.

Ein anderes literaturbekanntes Messverfahren (Promotion Walter Heinecke: „Messung von magnetischen Feldern und Felddifferenzen mit Saturationskernsonden nach dem Verfahren mit direkter Zeitverschlüsselung", Braunschweig, 1975) ist es, den Zeitpunkt der Ummagnetisierung anhand des Spannungsausschlages der in einer Pickup-Spule induzierten Spannung zu messen. Dieser Zeitpunkt hängt vom externen Feld ab und ist somit ein Maß für das zu messende Feld.

Zur genauen Messung dieses Zeitpunktes ist es nötig, dass der Spannungspuls aufgrund der Ummagnetisierung eine möglichst steile Anstiegsflanke aufweist. Eine Erhöhung der Frequenz ist nicht hilfreich, da zwar die Anstiegsflanke schmaler wird, aber im gleichen Verhältnis die Verschiebungsweite kleiner, so dass keine Verbesserung der Auflösung erreicht werden kann. Es bleibt nur, die Magnetisierungshysterese durch geeignete Wahl des Materials und des Herstellungsprozesses möglichst steil zu machen.

Für miniaturisierte Fluxgatesensoren sind der Optimierung von Material und Pro- zess Grenzen gesetzt, da der MEMS-Herstellungsprozess durch seine Randbedingungen wenig Variation zulässt. Außerdem zeigen kurze Fluxgatekerne aufgrund des Entmagnetisierungsfaktors flachere Hysteresekurven als nicht miniaturisierte Fluxgates des gleichen Materials. Weiterhin wird durch die Miniaturisierung der Spulen und des Spulenkerns das Signal an den Pickup-Spulen immer kleiner (bei gleicher Magnetisierungshysterese), sodass die Auswertung immer schwieriger wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Messvorrichtung und ein entsprechendes Messver- fahren bereitzustellen, das ein Messen kleinster Magnetfelder mit geringem Platzbedarf ermöglicht.

Offenbarung der Erfindung

Die Aufgabe wird durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Das Kernmaterial der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist als eine Schicht oder als mehrere zueinander beabstanded angeordnete Schichten ausgebildet.

Der Kern weist (a) eine maximale Gesamtausdehnung G mit 2,5 mm > G > 0,2 mm auf, (b) eine Dicke D mit 2 μηι > D > 0,2 μηι auf und (c) ein Verhältnis von

Länge zu Breite auf, das größer oder gleich dem Wert zwanzig ist. Durch diese

Bemaßung ergibt sich ein Kern, dessen mindestens eine Schicht als magnetisch anisotrope Schicht ausgebildet ist. Diese magnetisch anisotrope Schicht weist bezüglich der Magnetisierung bevorzugt eine zweizählige Symmetrie (180°- Symmetrie) auf. Diese Vorrichtung wird im folgenden als Flip-Core-Sensor bezeichnet.

Eine derartige Ausgestaltung des Kernmaterials hat den Vorteil, dass eine Um- magnetisierung durch Verschiebung mindestens einer Bloch-Wand erfolgt. Da

Bloch-Wandverschiebungen mit einer Geschwindigkeit von etwa 100 m/s stattfinden, kann eine Verschiebung einer Bloch-Wand in einem Kernmaterial mit einer Schicht-Breite von etwa 50 μηι in weniger als 0,5 με erfolgen. Dies hat den

Vorteil, dass ein um den Faktor 10 größeres Signal als mit einem im Wesentlichen auf Weiss-Bezirk-Umpolung basierenden Fluxgate-Magnetometer erzielt werden kann. Da die Magnetisierungsänderung im Wesentlichen von der Geschwindigkeit der Verschiebung der Bloch-Wände abhängt, ist die Magnetisierungsänderung des Kernmaterials der erfindungsgemäßen Vorrichtung vorteilhafterweise zudem, zumindest im Wesentlichen, unabhängig von der Frequenz des durch die Erregerspule fließenden Wechselstroms. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist, dass die Vorrichtung stärker miniaturisiert werden kann, da das Signal der erfindungsgemäßen Vorrichtung größer ausfällt. Kern der Erfindung ist also, die Dimensionen des Kerns 10 so zu optimieren, dass die Ummagnetisierung in einer Zeit erfolgt, die kürzer ist als die Zeit, die man zum Durchlaufen der Magnetisierungskurve benötigt. Der gesamte Ummag- netisierungsvorgang läuft dann in einem Schritt mit der Geschwindigkeit der Do- mänenwandbewegung ab.

Damit kann man die Dauer des Ummagnetisierungsprozesses auf unter 500 ns beschränken, wodurch eine gute Zeitauflösung des Kompensationspunktes erreicht wird. Damit kann der dazugehörige Anregungsstrom gut bestimmt werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann daher vorteilhafterweise in einen Mikro- chip, beispielsweise ein mikroelektromechnisches System (MEMS), integriert werden. Dabei werden unter„mikroelektromechanischen Systemen" insbesondere sowohl mikroelektromechanische Systeme (MEMS) als auch kleinere elektro- mechanische Systeme, wie nanoelektromechanische Systeme (NEMS), verstanden. Vorzugsweise erstrecken sich die Weiss-Bezirke über die Dicke der Schicht oder Schichten.

Insbesondere ist vorgesehen, dass die Dicke D des Kerns im Bereich

liegt.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Kern ein Verhältnis von Länge zu Breite aufweist, das größer oder gleich dem Wert fünfundzwanzig ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass das Kernmaterial eine Permeabilitätszahl μ _r größer oder gleich Fünftausend (5.000), insbesondere größer oder gleich Zehntausend (10.000), aufweist. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass das Kernmaterial des Kerns ein weichmagnetisches Material ist. Insbesondere ist das Kernmaterial des Kerns eine Nickel-Eisen-Legierung (NiFe oder Mu-Metall (μ-Metall, engl. Mu-metal oder permalloy). Mu-Metall ist eine weichmagnetische Nickel-Eisen-Legierung (ca. 75-80 % Nickel) sehr hoher magnetischer Permea- bilität (Permeabilitätszahl μ _r : 50.000... 140.000), die zum Beispiel zur Abschirmung niederfrequenter Magnetfelder und zur Herstellung von ferromagnetischen Kernen von Signalübertragern, magnetischen Stromsensoren und Stromwandlern eingesetzt wird.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgese- hen, dass zwischen den Schichten aus ummagnetisierbarem Kernmaterial jeweils eine unmagnetische Zwischenschicht angeordnet ist. Die Zwischenschichten sind bevorzugt so dünn, dass Kristallisation vermieden wird, ohne die Austauschwechselwirkung zwischen den Schichten aus ummagnetisierbarem Kernmaterial zu stören. Besonders bevorzugt ist/sind die unmagnetische(n) Zwi- schenschicht(en) zwischen einem Nanometer (1 nm) und drei Nanometer (3 nm) dick.

Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass die Dicke jeder einzelnen der Schichten aus ummagnetisierbaren Kernmaterial eines Kerns mit mehreren zueinander beabstanded angeordnete Schichten eine Schichtdicke D _s mit

aufweist.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine Einrichtung zum Detektieren des Ummagnetisie- rungsprozesses aufweist. Diese Einrichtung kann eine Ummagnetisierung zum

Beispiel mittels magneto-optischer Effekte oder mittels resultierender Streufelder detektieren. Die Einrichtung ist zum Beispiel eine Einrichtung zum Ermitteln des Magnetisierungszustands des Kernmaterials. Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein mikroelektromecha- nisches System, welches eine erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Messen eines Magnetfelds mittels einer vorgenannten Vorrichtung. Im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Erregerspule von einem Wechselstrom zum periodischen Ummagnetisieren des Kernmaterials unter Ausbildung eines periodisch wechselnden Magnetfelds durchflössen, wodurch das Kernmaterial periodisch ummagnetisiert wird. Dabei überlagern sich das zu messende Magnetfeld und das Magnetfeld der Erregerspule. Aus einer zeitlichen Verschiebung der Ummagnetisierung des Kernmaterials bezüglich des Nulldurchgangs des

Wechselstroms wird auf das zu messende Magnetfeld geschlossen. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist die Vorrichtung eine Einrichtung zum Detektieren des Ummagnetisierungsprozesses auf. Dabei wird der Zeitpunkt der Ummagnetisierung durch ein auf Bloch-Wand-Verschiebung, insbesondere auf der Verschiebung einer einzigen Bloch-Wand, basierendem Signal bestimmt werden. Dies ist vorteilhaft, da die Verschiebung einer Bloch-Wand in der Regel schneller vor sich geht als die Ummagnetisierung der Weiss- Bezirke, wodurch ein höheres Signal erzeugt wird und dadurch eine genaue Angabe des Zeitpunktes der Ummagnetisierung stattfinden kann.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Einrichtung eine Messspule zum Messen einer durch das Kernmaterial hervorgerufenen Magnetfeldänderung aufweist, wobei der Zeitpunkt der Ummagnetisierung durch eine in der Messspule induzierte Spannungsänderung bestimmt wird. Insbesondere kann der Zeitpunkt der Ummagnetisierung durch einen in der Messspule induzierten, auf Bloch-Wand-Verschiebung, insbesondere auf der Verschiebung einer einzigen Bloch-Wand, basierenden Spannungspuls bestimmt werden. Dies ist vorteilhaft, da die Verschiebung einer Bloch- Wand in der Regel schneller vor sich geht als die Ummagnetisierung der Weiss- Bezirke, wodurch ein höheres Signal erzeugt wird und dadurch eine genaue Angabe des Zeitpunktes der Ummagnetisierung stattfinden kann.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Abbildungen näher erläutert. Es zeigt

Figur 1 zwei korrespondierende Graphen zur Illustration des Messprinzips und Figur 2 einen Kern einer Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds. Die Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds weist in einer hier nicht gezeigten Ausführungsform einen in Fig. 2 gezeigten Kern 10, der ummagnetisierbares Kernmaterial in Form von mindestens einer Schicht umfasst, eine Erregerspule zum ummagnetisieren der Schichten dieses Kerns 10 und eine Einrichtung zum zeitabhängigen Detektieren dieses Ummagnetisierungsprozesses auf. Diese Ein- richtung weist eine Messspule zum Messen einer durch das ummagnetisierbare

Kernmaterial hervorgerufenen Magnetfeldänderung auf. Figur 1 zeigt zwei korrespondierende Graphen zur Illustration des Messprinzips. Der obere Graph zeigt einen Wechselstrom l _err durch die Erregerspule, der über der Zeit t aufgetragen. Dieser Wechselstrom ist direkt proportional zu einer magnetischen Feldstärke H. Der Wechselstrom l _err ergibt sich durch eine an die Erregerspule angelegte Wechselspannung, die im gezeigten Beispiel als Dreiecksspannung ausgebildet ist. Weiterhin ist die magnetischen Feldstärke H _ex t des zu messenden externen Magnetfeldes eingezeichnet.

Der untere Graph der Figur 1 zeigt die resultierende Spannung U über der Zeit t, die an der Messspule der Vorrichtung abgegriffen werden kann. Diese Spannung hat die hier schematisch dargestellte Form von Spannungspulsen U _p .

Figur 2 zeigt den Kern 10 einer Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds. Der Kern 10 weist mehrere (hier fünf) planparallel zueinander beabstanded angeordnete Schichten 12, 14, 16 , 18, 20 aus ummagnetisierbarem Kernmaterial und zwischen je zwei benachbarten Schichten 12, 14, 16, 18, 20 angeodneten unmagnetischen Zwischenschichten 22, 24, 26, 28 auf. Der Kern 10 weist dabei eine maximale Gesamtausdehnung G auf, die etwas über G = 1 ,5 mm liegt, ein Verhältnis von Länge L zu Breite B auf, das gleich dem Wert vierundzwanzig (L:B = 24) ist und eine Dicke D auf, die bei 0,26 μηι liegt. Die Länge L jeder der Schichten aus ummagnetisierbarem Material ist dabei 1200 μηι, die Breite B jeder der Schichten ist 50 μι ι. Die Dicke D _s jeder der Schichten 12, 14, 16, 18, 20 aus ummagnetisierbarem Material liegt bei 50 nm.

Das ummagnetisierbare Kernmaterial ist eine weichmagnetische Nickel-Eisen- Legierung mit hoher Permeabilität (Permeabilitätszahl μ _r zum Beispiel 100.000) und geringer Magnetostriktion. Aufgrund der gewählten Geometrie der Schichten 12, 14, 16, 18, 20 und einem passend gewählten Substrat (nicht gezeigt), sind die ummagnetisierbaren Schichten als magnetisch anisotrope Schichten ausgebildet, die bezüglich der Magnetisierungsrichtungen eine zweizählige Symmetrie (180°-Symmetrie) aufweisen (Doppelpfeil M in Fig. 2). Diese Symmetrie ist bei allen Schichten 12, 14, 16, 18, 20 aus ummagnetisierbarem Kernmaterial parallel ausgerichtet.

Es ergibt sich folgende Funktion: Im Rahmen des erfindungsgemäßen Messverfahrens wird die Erregerspule von einem Wechselstrom l _err unter Ausbildung eines periodisch wechselnden Magnetfelds H _err durchflössen, wodurch das Kern- material in den Schichten 12, 14, 16, 18, 20 periodisch ummagnetisiert wird. Dabei überlagern sich das zu messende Magnetfeld H _ex i und das Magnetfeld der Erregerspule Herr- Aus einer zeitlichen Verschiebung der Ummagnetisierung des Kernmaterials bezüglich des Nulldurchgangs des Wechselstroms (Ät) wird auf das zu messende Magnetfeld H _ex t geschlossen. Dazu wird der Zeitpunkt der

Ummagnetisierung durch eine in der Messspule induzierte Spannungsänderung bestimmt. Insbesondere kann der Zeitpunkt der Ummagnetisierung durch einen in der Messspule induzierten, auf Bloch-Wand-Verschiebung, insbesondere auf der Verschiebung einer einzigen Bloch-Wand, basierenden Spannungspuls be- stimmt werden. Dies ist vorteilhaft, da die Verschiebung einer Bloch-Wand in der

Regel schneller vor sich geht als die Ummagnetisierung der Weiss-Bezirke, wodurch ein höheres Signal erzeugt wird und dadurch eine genaue Angabe des Zeitpunktes der Ummagnetisierung stattfinden kann. Durch die Verwendung eines hochpermeablen, weichmagnetischen Kernmaterials und die besonders gewählte Geometrie der Schicht/Schichten ergeben sich sehr schmale Spannungspulse, die eine präzise Bestimmung des externen Magnetfeldes erlaubt. Die Erregerspule ist dabei so dimensioniert, dass sie das um- magnetisierbare Kernmaterial im vorgegebenen Messbereich für beide (antiparal- lel zueinander verlaufende) Magnetisierungsrichtungen in die Sättigungsmagnetisierung +/-M _S treiben kann. Diese Sättigungsmagnetisierung liegt für Permalloy bei 0,7 bis 0,8 T Flussdichte. Für das Flip-Core-Verfahren kann jedoch auch Material mit größerer oder kleinerer Sättigungsmagnetisierung genutzt werden. Die Vorrichtung wird daher auch als Flipcore-(Magnetfeld-)Sensor bezeichnet.

Das Grundprinzip dieses Flipcore-Sensors (der im Übrigen genauso einfach aufgebaut ist, wie ein Fluxgate-Sensor) ist es, das zu messende äußere Magnetfeld Hexi mittels der Erregerspule zu Kompensieren, während der Kern immer beim Feldnulldurchgang schlagartig ummagnetisiert (flippt) und damit den Feldnull- durchgang anzeigt. Die schlagartige Ummagnetisierung lässt sich leicht durch eine Messspule (Pickupspule) oder einen einfachen Magnetfeldsensor nachweisen, da der Umschlag der Magnetisierung von +M _S (Sättigungsmagnetisierung) auf -M _s gut detektierbar ist. Der notwendige Strom l _err zum Kompensieren des externen Feldes H _ex t ist dann ein Maß für das äußere Magnetfeld.

Vorteil gegenüber einem Fluxgate-Sensor ist, dass dieser Sensor gut miniaturisiert werden kann. Die Miniaturisierung kommt dem Flip-Prinzip sogar entgegen. Magnetisches Material mit Dimensionen im μΓΤΐ-Bereich oder größer zeigt in der Regel immer eine Vielzahl von Domänen. Da die verschiedenen Domänen nie gleichzeitig ummagnetisieren, ist die Dauer der Ummagnetisierung entsprechend lang. Um eine schlagartige Ummagnetisierung zu ermöglichen muss zum einen eine hochpermeable magnetische Schicht verwendet werden, zum Beispiel NiFe, eventuell auch aus mehreren Schichten 12, 14, 16, 18, 20 aufgebaut mit eventuell unmagnetischen Zwischenschichten 22, 24, 26, 28. Die ummagnetisierbaren Schichten sollte nicht zu dick sein, um nicht mehrere Domänen übereinander zu ermöglichen (Dicke kleiner oder gleich 2 μηι oder Dicke kleiner oder gleich 1 μηι). Außerdem sollte die Breite des Kerns 10 in Abhängigkeit der Länge ein bestimmtes Maß nicht überschreiten, da sonst das eigene Streufeld die Ummagnetisierung stoppt, bevor der ganze Streifen ummagnetisiert ist. Für eine Kernlänge von 1600 μηι bis 2000 μηι sollte die Breite < 80 μηι bevorzugt sein, für eine Kernlänge von 1000 μηι bis 1600 μηι sollte die Breite bevorzugt < 50 μηι sein, für eine Kernlängen von 700 μηι bis 1000 μηι bevorzugt < 35 μηι. Für Kernlängen unter 700 μηι ist die Breite bevorzugt auf unter 22 μηι beschränkt.

Durch diese geometrische Vorgabe wird der Ummagnetisierungsprozess im We- sentlichen durch einen Domänensprung erreicht (der für die aktuelle Anwendung besonders bevorzugte Bereich ist 700 μηι bis 1600 μηι). Damit der Ummagnetisierungsprozess oder -Vorgang nicht durch andere Prozesse gestört wird, sollte das Material insbesondere hochpermeabel sein.