Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur optischen Charakterisierung einer Probe und/oder des Materials (bzw. der Materialien) derselben. Die Charakterisierung erfolgt dabei auf Basis der Auswertung der Polarisation von Licht, das auf die Probe eingestrahlt und von der Probe zurückgeworfen wird. Die Vorrichtung und das Verfahren können insbesondere für die Oberflächeninspektion oder auch für die Sortierung von Schüttgut durch die Auswertung der Polarisation des zurückgeworfenen Lichts eingesetzt werden.

Aus dem Stand der Technik sind bereits Verfahren zur optischen Charakterisierung von Proben auf Basis der Reflektometrie oder der Ellipsometrie bekannt. Siehe beispielsweise Thomas Geiler „ Polarisationsbildgebung in der industriellen Qualitätskontrolle", VDM Verlag, August 2008. Auch sind aus dem Stand der Technik Vorrichtungen zur Klassifikation von Proben in Form von Schüttgut bekannt (WO 2009/049594 A) , die auf Basis von an einem Retroreflektor , der polarisationsselek- tiv sein kann, reflektierten und hinsichtlich seiner unterschiedlichen Polarisationsanteile erfassten Licht arbeiten.

All diese Realisierungen setzen jedoch entweder eine ebene Oberfläche der Prüflinge voraus oder es wird eine zeitaufwändige, gleichzeitige Variation des Einfalls- und des Ausfallswinkels durchgeführt. Oft wird zusätzlich noch eine Variation der Polarisation der Beleuchtung durchgeführt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, Vorrichtungen und Verfahren zur optischen Charakterisierung von Proben, insbesondere auf der Technik der

Reflektometrie oder der Ellipsometrie bzw. Polarimet- rie basierende Vorrichtungen (und entsprechende Verfahren) so weiterzubilden, dass die Proben (insbesondere auch nicht ebene Proben oder Prüflinge z.B. in Form von Schüttgütern) einfach und zuverlässig hinsichtlich ihres/ihrer Materials/ien charakterisiert werden können. Aufgabe ist es insbesondere auch, die

Vorrichtungen und die entsprechenden Verfahren so auszubilden, dass diese Charakterisierung schnell (im Bereich von einigen 1/10 Sekunden bis einigen wenigen Sekunden) , also schritthaltend, mit der Produktion von Proben (in-line) oder mit einem Schüttgutstrom erfolgen kann.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1, durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 12 und durch ein Verfahren gemäß Anspruch 14 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der erfindungsgemä- ßen Vorrichtungen und des erfindungsgemäßen Verfah ^¬ rens lassen sich jeweils den abhängigen Patentansprü ^¬ chen entnehmen. Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung zunächst allgemein, dann anhand verschiedener Ausführungsbei- spiele im Detail beschrieben. Die in den Ausführungsbeispielen beschriebenen einzelnen, in Kombination miteinander verwirklichten Merkmale der Erfindung müssen dabei im Rahmen der Erfindung nicht genau in der im jeweiligen Ausführungsbeispiel gezeigten Merkmalskombination verwirklicht sein, sondern können auch in anderen Kombinationen miteinander verwirklicht werden. Insbesondere können einzelne der ge- zeigten Merkmale auch weggelassen werden oder auf andere Art und Weise mit weiteren gezeigten einzelnen Merkmalen der Ausführungsbeispiele kombiniert werden.

Die vorliegende Erfindung, wie sie nachfolgend be- schrieben ist, nutzt als Grundlage dem Fachmann bekannte Techniken der Reflektometrie oder der

Ellipsometrie . Die entsprechenden Grundlagen sind beispielsweise in H.G. Tompkins, W.A. McGahan

„Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry" , Wiley Interscience, 1999 oder in M. Faupel „Abbildende

Ellipsometrie und ihre Anwendung", VDI-Berichte Nr. 1996: Optische Messung technischer Oberflächen in der Praxis; 2007 bekannt und werden daher im Folgenden nicht im Detail beschrieben.

Eine grundlegende Idee der vorliegenden Erfindung basiert darauf, für diejenigen Oberflächenelemente der Probe, die auf die Probe eingestrahltes Licht in eine zum Nachweis des Lichts ausgebildete Detektionsein- heit reflektieren, zu identifizieren und für diese

Oberflächenelemente der Probe (nachfolgend auch als Reflexionselemente bezeichnet) unterschiedliche Pola ^¬ risationsanteile des zurückgeworfenen Lichts zu erfassen und auszuwerten. Die Probe wird hierzu mit bevorzugt monochromatischem Licht beleuchtet. (Mono ^¬ chromatisches Licht ist nicht unbedingt erforderlich, jedoch z.B. bei Proben mit Dispersion i. d. R. besser geeignet.) Alternativ hierzu oder in Kombination da ^¬ mit ist es erfindungsgemäß ebenfalls möglich, zur Beleuchtung der Probe monochromatische, kohärente

Strahlung (Laserlicht) zu verwenden und, durch geeig ^¬ nete Ausbildung der die an der Probe reflektierten Strahlenanteile empfangenden Detektionseinheit , sämt ^¬ liche vier Stokes-Parameter zu berechnen und zur Charakterisierung des an der Probe reflektierten Lichts (und somit zur Charakterisierung der Probe selbst) heranzuziehen. In jedem Fall werden somit mindestens zwei unterschiedliche (vorzugsweise: orthogonale) Po ^¬ larisationsanteile im zurückgeworfenen Licht detek- tiert. (Alternativ zum Begriff des Polarisationsanteils wird nachfolgend im Rahmen der Erfindung auch der Begriff des „Polarisationszustands" verwendet, obwohl Licht streng genommen lediglich einen Polarisationszustand aufweisen kann; dem Fachmann ist jedoch anhand der Beschreibung jeweils klar, was gemeint ist . )

Dabei wird im Rahmen der nachfolgend beschriebenen Erfindung unter dem Begriff des von der Probe zurückgeworfenen Lichts all dasjenige von der Probe ausgehende Licht verstanden, was schließlich mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung empfangen wird und zur Auswertung herangezogen werden kann. Bei dem zurückgeworfenen Licht handelt es sich somit i.d.R. um die Summe aus unterschiedlichen Lichtanteilen, nämlich insbesondere aus an der Probe gestreuten Lichtanteilen, an der Probe diffus reflektierten Lichtanteilen und an der Probe spiegelnd reflektierten Lichtantei ^¬ len. (Zurückgeworfenes Licht betrifft also gerade diejenigen Lichtanteile, die in die Detektionseinheit gelangen und nicht diejenigen Lichtanteile, die zur Beleuchtungseinheit zurückgelangen.) Nachfolgend wird das aufgrund einer spiegelnden Reflexion zur Detektionseinheit gelangende Licht abgekürzt auch als re ^¬ flektiertes Licht bezeichnet: Diese Licht betriff somit Licht derjenigen Oberflächenelemente der Probe, die das auf die Probe eingestrahlte Licht unter Erfüllung der Reflexionsbedingung in die Detektionseinheit zurückwerfen.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur optischen Cha- rakterisierung einer Probe (oder eines oder mehrerer

Materialien derselben) kann somit die folgenden Elemente umfassen: Zunächst eine zur Beleuchtung der Probe ausgerichtete Beleuchtungseinheit (die Beleuchtungseinheit kann auf einen Probenraumabschnitt bzw. ein Raumvolumen gerichtet sein, in den/das die Probe zur Beleuchtung eingebracht wird) . Diese Vorrichtung umfasst darüberhinaus eine Detektionseinheit, die zum Erfassen mehrerer unterschiedlicher (bevorzugt:

orthogonaler) Polarisationsanteile ausgebildet ist. Die Detektionseinheit ist so ausgerichtet, dass von der Probe zurückgeworfene Lichtanteile des auf die Probe eingestrahlten Lichts erfasst werden können. Schließlich umfasst diese Vorrichtung gemäß der Erfindung eine Auswerteeinheit. Die kann beispielsweise als Computerprogramm in einem Personal Computer realisiert sein. Ebenso ist es aber denkbar, die Auswerteeinheit als Teil der Detektionseinheit auszubilden (z.B. als in eine Kamera integriertes Auswerteprogramm) . Mit dieser Auswerteeinheit sind in den von der Detektionseinheit aufgenommenen Abbildungsdaten

(diese erfindungsgemäße Vorrichtung ist somit zur flächigen optischen Abbildung der Probe bzw. eines Probenabschnittes ausgebildet) diejenigen abgebildeten Oberflächenelemente der Probe identifizierbar, deren zurückgeworfenes, in der Detektionseinheit emp- fangenes Licht auf einer Reflexion des einfallenden

Lichts an der Probe beruht. Diese Oberflächenelemente der Probe werden nachfolgend auch als Reflexionselemente bezeichnet, im Gegensatz zu denjenigen Oberflächenelementen der Probe, die aufgrund anderer physi- kalischer Effekte als einer Reflexion (z.B. also durch eine Lichtstreuung) Licht in die Apertur der Detektionseinheit zurückwerfen. Die Auswerteeinheit dieser erfindungsgemäßen Vorrichtung ist schließlich so ausgebildet, dass die erfassten unterschiedlichen Polarisationsanteile gerade für die Reflexionselemente ausgewertet werden können, um die gewünschte optische Charakterisierung der Probe zu erhalten.

Auf Basis dieser Auswertung ist es dann beispielsweise möglich, mit dieser erfindungsgemäßen Vorrichtung Objekte oder Ob ektbereiche, die einen eng tolerierten Bereich an optischen Materialkonstanten aufweisen, von Objekten mit abweichenden optischen Materialkonstanten zu trennen (Sortiereinrichtung) oder die Einhaltung von optischen Materialkonstanten z.B. in einem Produktionsprozess automatisch zu überprüfen.

Insbesondere ist mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Schüttgutsortierung möglich.

Ein wesentliches Merkmal der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Lösung (Vorrichtung oder auch Verfahren zur optischen Charakterisierung unter Verwendung einer solchen Vorrichtung) ist somit dass, sofern gewünscht, z.B. durch Einsatz einer Auswerteeinheit mit entsprechender Rechenkapazität, auch

schritthaltend mit einer Produktion oder auch mit einem Schüttgutstrom, mehrere unterschiedliche (z.B. zwei orthogonale) Polarisationsanteile im durch die Probe zurückgeworfenen Licht für genau diejenigen Oberflächenelemente der Probe ermittelt werden können, deren Normale den Winkel zwischen Beleuchtungs- einheit und Detektionseinheit halbiert, die also die

Reflexionselemente der Oberfläche der Probe darstellen. Die automatisch Erkennung, ob ein bestimmtes Oberflächenelement (also ein beobachteter Objektpunkt) ein Reflexionselement ist, also die vorstehend genannte Reflexionsbedingung für die Orientierung seiner Oberflächennormale erfüllt, kann, wie nachfolgend noch im Detail beschrieben, beispielsweise durch eine Intensitätsprüfung der von dem abgebildeten Oberflächenelement insgesamt zurückgeworfenen bzw. nachgewiesenen Intensität erfolgen.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird unter einer Probe nicht notwendigerweise ein einzelnes körperliches Objekt verstanden, es kann sich bei einer Probe ganz allgemein auch um einen Strom vieler einzelner, bewegter Objekte unterschiedlicher Materialien (also um einen Probenstrom im Rahmen eines zu sortierenden bzw. zu charakterisierenden Schüttgutes, also einen Schüttgutstrom) handeln. Wie nachfolgend anhand kon- kreter Beispiele noch detailliert beschrieben, muss es sich bei einer im Rahmen der Erfindung eingesetzten Beleuchtungseinheit nicht notwendigerweise um eine einzelne Lichtquelle handeln, sondern es können auch parallel mehrere geeignet angeordnete Lichtquel- len, die ein und dieselbe Probe beleuchten, eingesetzt werden. In der Regel ist dann für jede der eingesetzten Lichtquellen die Reflexionsbedingung erfüllt. Unter zurückgeworfenem Licht werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung all diejenigen Lichtantei- le verstanden, die auf durch die Beleuchtungseinheit eingestrahlte und auf die Probe auftreffende Lichtan- teile zurückgehen und die durch die Probe nicht ab ^¬ sorbiert werden, sondern die durch beliebige Prozesse (Reflexion, Streuung, ... ) die Probe bzw. deren Oberfläche - in der Regel in einer anderen Richtung als der Einfallsrichtung - wieder verlassen und somit außerhalb der Probe nachgewiesen werden können.

Eine wesentliche Idee der vorstehend beschriebenen Vorrichtung gemäß der Erfindung ist es somit, ledig- lieh die an der Probe (spiegelnd) reflektierten

Strahlanteile zu erfassen und auszuwerten, also lediglich für die so reflektierten Strahlanteile unterschiedliche Polarisationszustände für die Charakterisierung der Probe auszuwerten, nicht jedoch für die anderen zurückgeworfenen, z.B. gestreuten Strahlanteile. Wie nachfolgend noch näher beschrieben, ist es dabei besonders vorteilhaft, die Beleuchtungseinheit und die Detektionseinheit unter dem Brewster-Winkel anzuordnen, sofern die Charakterisierungsaufgabe beim Einsatz der erfindungsgemäßen Vorrichtung gerade darin besteht, das Vorhandensein eines definierten Materials zu erkennen oder einzelne Elemente dieses definierten Materials in einer eine Vielzahl von Objekten unterschiedlicher Materialien umfassenden Probe zu identifizieren (der in der Vorrichtung eingestellte Brewster-Winkel ist dann der Brewster-Winkel dieses Materials) . Diese Anordnung unter dem Brewster- Winkel ist insbesondere aus dem Grunde vorteilhaft, dass die an Proben oder Probenelementen dieses Mate- rials reflektierten Strahlenanteile lediglich eine

Polarisationsrichtungen aufweisen, so dass die Materialcharakterisierung auf besonders einfache Art und Weise möglich ist. Eine Anordnung unter dem Brewster- Winkel ist jedoch nicht unbedingt notwendig, da die unterschiedlichen Polarisationsanteile für die Reflexionselemente auf der Oberfläche der Probe auch ohne Einhaltung dieser speziellen Reflexionsbedingung aus ^¬ gewertet werden können (z.B. hinsichtlich ihrer auf- treffenden Intensitäten unterschieden werden können) . In einer ersten vorteilhaften Ausführungsform der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Auswerteeinheit so ausgebildet, dass in den aufgenommenen Abbildungsdaten zuerst die Reflexionselemente identifizierbar sind, bevor für diese (oder auf Basis dieser) identifizierte (n) Reflexionselemente die erfassten unterschiedlichen Polarisationsanteile auswertbar sind. Beispielsweise können die Reflexionselemente anhand einer Auswertung der insgesamt erfassten Intensitäten der einzelnen Oberflä- chenelemente (bzw. der Bildpixel der durch die Detek- tionseinheit erfassten Abbilder) festgestellt werden, indem diejenigen Oberflächenelemente als Reflexions- elemente identifiziert werden, deren Gesamtintensität (Summe der Intensitäten aller erfasster Polarisati- onsanteile) oberhalb eines festgelegten Schwellwertes liegt (z.B. kann als Schwellwert derjenige Intensitätswert definiert werden, oberhalb dessen die Intensität von 20 % aller abgebildeter Flächenelemente liegt) . Lediglich für die so identifizierten Reflexi- onselemente werden dann die unterschiedlichen (z.B. orthogonalen) Polarisationsanteile ausgewertet, z.B. getrennt betrachtet, oder hinsichtlich ihrer Intensitätsverhältnisse betrachtet. Alternativ dazu ist es auch möglich, in den aufgenommenen Abbildungsdaten für alle abgebildeten Flächenelemente (wobei diese sowohl abgebildete Oberflächenelemente der Probe als auch abgebildete Flächenelemente von nicht zur Probe gehörenden, jedoch trotzdem abgebildeten Strukturen umfassen) zunächst die erfassten unterschiedlichen Polarisationsanteile z.B. getrennt oder nach ihren Verhältnissen zu betrachten und (beispielsweise durch Schwellwertsetzung) auszu ^¬ werten, um diejenigen Oberflächenelemente der Probe, die Reflexionselemente sind, zu bestimmen. So können beispielsweise alle Flächenelemente, deren Intensität für einen definierten Polarisationsanteil in den Abbildungsdaten einen vorbestimmten Schwellwert überschreitet, als Reflexionselemente definiert werden. Für die so anhand der unterschiedlichen Polarisationsanteile identifizierten Reflexionselemente werden dann die unterschiedlichen Polarisationsanteile (beispielsweise durch Verhältnisbildung der Intensitäten in unterschiedlichen Polarisationsanteilen entsprechenden, durch die Detektionseinheit aufgenommenen Abbildungsdaten bzw. Polarisations-Teilbildern) weiter ausgewertet, um die optische Charakterisierung der Probe durchzuführen.

In einer vorteilhaften Ausführungsform ist die erfin- dungsgemäße Vorrichtung so ausgebildet, dass das zum

Identifizieren der Reflexionselemente notwendige Unterscheiden von Reflexionselementen und von Flächenelementen, deren zurückgeworfenes, empfangenes Licht nicht auf einer Reflexion des einfallenden Lichts an der Probe beruht (Streuelemente) , auf Basis der Intensität oder der Intensitäten von Abbildungsdaten eines, mehrerer oder aller der erfassten Polarisationsanteile erfolgt. Insbesondere können Intensitätsdifferenzen oder auch Intensitätsverhältnisse der un- terschiedlichen erfassten Polarisationsanteile zur

Bestimmung der Reflexionselemente herangezogen werden. Auch ist es möglich, die Gesamtintensität aller durch die Detektionseinheit erfasster Polarisationsanteile des zur Abbildung gelangenden Lichts zur Identifikation der Reflexionselemente heranzuziehen.

So können beispielsweise diejenigen Flächenelemente als Reflexionselemente identifiziert werden, deren zugehörige Abbildungswerte bei den von der Detekti- onseinheit erfassten Abbildungen in Summe oberhalb eines vordefinierten Schwellwertes liegen. Ein solcher Schwellwert kann z.B. als 90%/10%-Schwellwert definiert werden, d.h. dadurch festgelegt werden, dass 90 % der Gesamtintensitätswerte aller abgebilde ^¬ ter Flächenelemente unterhalb dieses Schwellwertes liegen und 10 % oberhalb.

Alternativ dazu oder auch in Kombination mit der in- tensitätsbasierten Identifikation der Reflexionselemente können die Reflexionselemente auch auf Basis ihrer Lage in entsprechend der unterschiedlichen Po ^¬ larisationsanteile (oder auch entsprechend der empfangenen Gesamtintensität) erzeugten Abbildern der Probe definiert werden: Hierzu kann die Lage der Flä ^¬ chenelemente (z.B. unter Berücksichtigung ihrer Intensitäten) relativ zueinander und/oder relativ zu einem oder mehreren Bezugspunkt (en) in den Abbildern der Probe ausgewertet werden. Als Bezugspunkte können insbesondere Mittelpunkte oder Randpunkte von Abbildern der Probe dienen. Beispielsweise können durch geeignete Ausbildung des Probenhintergrundes oder durch zusätzliche Beleuchtung (die für eine konstante, niedrige Hintergrundintensität sorgt) einzelne Elemente der Probe (z.B. Schüttgutpartikel) vom Hintergrund differenziert werden, indem z.B. die Intensitätsänderung am Rand dieser Probenelemente erkannt wird (Auswertung von Gradienten im Bild) . Als zusätzliche Bedingung, dass ein betrachtetes Flächenelement ein Reflexionselement der Probe ist, kann dann - neben der vorbeschriebenen Schwellwertsetzung - festgelegt werden, dass sich die Reflexionselemente innerhalb der so erkannten Umrisse einzelner Probenelemente befinden müssen. Im Gegensatz dazu sind dann diejenigen Flächenelemente, deren Intensität bzw. Helligkeit unterhalb der vorbeschriebenen, einstellbaren Schwelle liegt, nicht Reflexionselemente sondern Streuelemente. Auch außerhalb der wie vorbeschrieben identifizierbaren Probenelementgrenzen liegende Flächenelemente sind keine Reflexionselemente der Probe. Eine weitere Auswertung dieser Flächenelemente ist somit nicht sinnvoll.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltungsform der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtung erfolgt die Auswertung der identifizierten Reflexionselemente zum Zweck der optischen Charakte- risierung der Probe wie folgt: Aus unterschiedlichen, für die identifizierten Reflexionselemente von der Detektionseinhei t aufgenommenen Polarisationsanteilen (z.B. aus zwei zueinander orthogonalen linearen Polarisationsanteilen) wird ein Verhältnis gebildet. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, dass für all die Flächenelemente, die als Reflexionselemente identifiziert wurden, der Intensitätswert im für einen ersten Polarisationsanteil aufgenommenen Abbild durch den Intensitätswert des entsprechenden Reflexionsele- mentes im für einen zweiten, unterschiedlichen (z.B. orthogonalen) Polarisationsanteil aufgenommenen Abbild geteilt wird.

Über- oder unterschreitet das so gebildete Verhältnis dann für eine bestimmte Mindestzahl von Reflexionselementen (relativ zur Gesamtzahl von Flächenelementen und/oder von Reflexionselementen) einen bestimmten Wert, so lässt sich damit eine Aussage über das Vorliegen oder Nicht-Vorliegen eines definierten Ma- terials in der Probe treffen: Stellt man beispielsweise als Reflexionsbedingung für die Reflexionsele- mente den Winkel zwischen der optischen Achse der De- tektionseinheit einerseits und der optischen Achse der Beleuchtungseinheit andererseits in dem durch die Detektionseinheit , die Beleuchtungseinheit und die Probe aufgespannten Dreieck auf das Doppelte des Brewster-Winkels eines gesuchten Materials ein (die Reflexionselemente sind dann diejenigen Oberflächenelemente der Probe, deren Normale den Winkel zwischen den beiden vorgenannten Achsen halbiert) , so werden all diejenigen Reflexionselemente, die dem gesuchten Material zugeordnet werden können, lediglich parallel zur Oberfläche der Probe polarisierte Lichtanteile reflektieren, nicht jedoch Lichtanteile mit einer Polarisationsrichtung senkrecht dazu. Dies kann jedoch über eine entsprechende Schwellwertsetzung für das wie vorbeschrieben berechnete Verhältnis erfasst werden, so dass eine Unterscheidung von Probenelementen des gesuchten Materials von Probenelementen aus einem anderen Material möglich ist.

Erfindungsgemäß ist es somit möglich zu prüfen, ob das Verhältnis von Intensitäten unterschiedlicher Polarisationsanteile in einem gewissen Bereich liegt, um definierte Materialien von anderen Materialien zu unterscheiden. Insbesondere bei Schüttgutströmen als Proben kann dabei auch die absolute Anzahl derjenigen Bildpunkte bzw. Flächenelemente in den durch die Detektionseinheit aufgenommenen Abbildungsdaten, für die das wie vorbeschrieben berechnete Verhältnis einen Schwellwert über- oder unterschreitet, als Sortierkriterium verwendet werden. Alternativ dazu ist es möglich, nicht die absolute Anzahl solcher Flächenelemente, sondern die relative Anzahl dieser Flächenelemente im Vergleich zu denjenigen Flächenelementen, die das Schwellwertkriterium nicht erfüllen, zu bewerten. Entscheidend bei den vorbestehend beschriebenen Ausführungsvarianten der Erfindung ist die Überlegung, dass es auch bei unregelmäßigen Oberflächen von Pro- ben (z.B. von Schüttgütern) bei jedem Objekt bzw.

Element der Probe mindestens einen Punkt, also ein Oberflächenelement, gibt, der/das die Reflexionsbedingung erfüllt, mit dem das Objekt somit charakterisiert werden kann.

Besonders vorteilhaft ist es, im Rahmen der Erfindung Oberflächenelemente bzw. Reflexionselemente aus unterschiedlichen Richtungen gleichzeitig oder auch nacheinander zur Auswertung heranzuziehen. So reicht es natürlich grundsätzlich aus, dass die verwendete

Beleuchtungseinheit lediglich ein einziges Beleuchtungselement (z.B. eine einzige monochromatische Lichtquelle, siehe nachfolgendes Ausführungsbeispiel 1) aufweist.

Die Beleuchtungseinheit kann jedoch auch mehrere einzelne Beleuchtungselemente umfassen, die zur Beleuchtung der Probe mit einfallendem Licht aus unterschiedlichen Richtungen ausgebildet sind. Dabei kann der Winkel zwischen der Detektionseinheit bzw. deren optischer Achse einerseits und dem jeweiligen Beleuchtungselement bzw. dessen optischer Achse andererseits in dem durch die Detektionseinheit, das entsprechende Beleuchtungselement und die Probe aufge- spannten Dreieck bei allen Beleuchtungselementen identisch sein. Vorteilhafterweise können zwei oder vier einzelne Beleuchtungselemente verwendet werden. Die Beleuchtungselemente können auf der der Detektionseinheit gegenüberliegenden Seite der Probe und in einer bevorzugt senkrecht zur optischen Achse der Detektionseinheit ausgerichteten Ebene angeordnet sein. Insbesondere können die einzelnen Beleuchtungselemen- te in äquidistanten Winkelabständen auf einem Kreis um die optische Achse der Detektionseinheit herum in dieser Ebene angeordnet sein. Beispielsweise können so, bei der Verwendung von vier Beleuchtungselementen, diese in Winkelabständen von 90° auf einem Kreis um die optische Achse der Detektionseinheit herum angeordnet werden. Für alle diese Beleuchtungselemente können dann die vorstehend für die Beleuchtungsein- heit beschriebenen Winkelverhältnisse (z.B. Einstellung auf einen Brewster-Winkel für ein definiertes Material) eingehalten werden.

Alle im Rahmen der vorliegenden Erfindung beschriebe- nen Vorrichtungen zur optischen Charakterisierung können durch geeignetes Vorsehen weiterer Bauteile (z.B. Probenlagerungseinheiten etc.) zur Oberflächenprüfung von ebenen Beschichtungen als Probe ausgebildet werden.

Ebenso ist es jedoch möglich, die Vorrichtungen zur Charakterisierung, Differenzierung und/oder Trennung von einzelnen Elementen einer eine Vielzahl von Elementen umfassenden Probe (insbesondere: Schüttgut- ström) weiterzubilden. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, dass die Beleuchtungseinheit und die Detektionseinheit zur Beleuchtung und Abbildung eines freien Fallstreckenstücks, z.B. unterhalb eines Rüttlers für Schüttgut, angeordnet werden. Alternativ da- zu können selbstverständlich auch Förderbandabschnitte, auf denen Schüttgut transportiert wird, von der Beleuchtungseinheit beleuchtet und der Detektionseinheit abgetastet werden. Letztgenannte Vorrichtungen können dann insbesondere auch zum Aussortieren von Probenelementen, die von einem oder mehreren vordefinierten Materialparameter (n) (der/die zur optischen Charakterisierung durch Auswertung der Reflexionsele ^¬ mente bestimmt wird/werden) abweichen, ausgebildet sein .

Die vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtungen können als Laserscannersystem ausgebildet werden mit einer die Probe bzw. den Probenraumabschnitt, in dem diese Probe angeordnet wird, ein- oder zweidimensional abscannenden Beleuchtungseinheit auf Basis eines oder mehrerer Laser (s) und mit einer oder mehreren geeigneten Empfangseinheit (en) als De- tektionseinheit .

Alternativ dazu ist es jedoch auch möglich, eine oder mehrere monochromatische Lichtquellen als Beleuchtungseinheit oder Beieuchtungselement ( e) zu verwenden. Als Detektionseinheit kann/können dann eine oder mehrere Kamera(s) , insbesondere Polarisationskame- ra(s) und/oder CCD-basierte Kamera(s), eingesetzt werden .

Die Beleuchtung der Probe erfolgt vorteilhafterweise mit einer oder mehrerer definierter/n Wellenlänge (n) im sichtbaren Bereich; grundsätzlich ist es jedoch auch denkbar, z.B. Infrarotstrahlung zur Beleuchtung zu verwenden, sofern dann die Empfangseinheiten entsprechend angepasst werden.

Nachfolgend werden nun einige konkrete Realisierungen des Beleuchtungseinheit-Detektionseinheit-Systems der vorliegenden Erfindung beschrieben:

So kann eine in einer Reflexionsanordnung wie vorbeschrieben eingesetzte Kamera, mit der beispielsweise für jedes abgetastete Flächenelement zwei orthogonale Polarisationsanteile erfasst werden können, eine aus zwei Einzelkameras bestehende Kamera sein. Im Strah ^¬ lengang vor den Einzelkameras ist ein polarisierendes optisches Element (z.B. Prisma oder Strahlteiler) angeordnet, mit dem das von der Probe zurückgeworfene Licht in die zwei unterschiedlichen Polarisationsanteile zerlegt werden kann. Das Licht des einen Polarisationsanteils wird dann durch das polarisierende optische Element auf die eine Einzelkamera gelenkt, das Licht des anderen Polarisationsanteils auf die andere der beiden Einzelkameras. Dabei ist vorteilhafterweise eine Pixelanpassung vorzusehen, um die Lage der erfassten Reflexionselemente in den Bildern der beiden Einzelkameras abzugleichen. Alternativ dazu kann eine mehrzellige Kamera vorgesehen sein, wobei im Strahlengang vor dieser Kamera eine der Zeilenzahl der Kamera entsprechende Zahl von Polarisatoren vorgesehen ist. Dabei existieren zwei (oder mehr, z.B. sechs) unterschiedliche Arten von Polarisatoren, beispielsweise zwei orthogonal zueinander ausgerichtete Polarisatoren (bei sechs Polarisatoren z.B. 0°, 45°, 90°, 135°, linkszirkular und rechtszirkular polarisierende Polarisationen) .Die zwei oder mehr Polarisiationrichtungen werden von der Kamera erfasst: Vor den einzelnen Zeilen der Kamera werden bei zwei unterschiedlichen Polarisatoren abwechselnd Polarisatoren des einen Typs und des anderen Typs angeordnet, so dass abwechselnd auf die Kamerazeilen jeweils Licht eines ersten Polarisations- anteils und eines zweiten, z.B. zum ersten Polarisationsanteil orthogonalen Polarisationsanteils abgebildet wird. Bei z.B. sechs verschiedenen Polarisatoren werden dementsprechend sechs benachbarte Zeilen für die sechs unterschiedlichen Typen benötigt. Alternativ dazu kann eine Kamera verwendet werden, die im Strahlengang vor ihrem Sensorchip einen Polarisations-Streifen-Filter oder einen Polarisations- Mosaik-Filter umfasst. Ein solcher Filter zerlegt das von der Probe zurückgeworfene Licht in die unterschiedlichen Polarisationsanteile, die dann zeilenweise oder entsprechend der Mosaikanordnung des Filters auf die jeweiligen Sensorzellen des Kamerachips gerichtet werden (welche Sensorzellen des Chips Licht welchen Polarisationsanteils empfangen, ist aufgrund der vorbekannten Filterform bekannt, so dass die Auswertung entsprechend erfolgen kann) .

Ebenso ist es denkbar, mehrere unterschiedlich pola- risierte Beleuchtungs-Untereinheiten (z.B. Einzellampen) vorzusehen, die alle zur Beleuchtung der Probe mit einfallendem Licht ausgerichtet sind. Die einzelnen Beleuchtungs-Untereinheiten werden zeitlich nacheinander ein- und wieder ausgeschaltet, beleuchten also die Probe jeweils nacheinander für eine vordefinierte Zeitdauer. Die einzelnen Polarisationsanteile werden dann während unterschiedlicher, genau definierter Zeitintervalle jeweils von der gesamten Kamerafläche einer nicht polarisationssensitiven Kamera (bevorzugt wird eine mehrzellige Kamera eingesetzt) erfasst, die unterschiedlich polarisierten Beleuchtungen werden somit quasi geblitzt. Sofern die Vorrichtung bei bewegten Proben (Schüttgutstrom) eingesetzt wird, ist die Blitzfrequenz bzw. die Frequenz des Umschaltens zwischen den einzelnen Beleuchtungs-

Untereinheiten vorteilhafterweise mit der Probengeschwindigkeit zu synchronisieren.

Diese Synchronisierung hat den folgenden Vorteil: In der Regel ist die Probe bei der Abtastung (z.B. auf einer entsprechenden Fallstrecke oder auch Flugstrecke bei einem z.B. parabel förmigen Abwurf von einem Förderband) in Bewegung, das heißt das Abbild der Probe verschiebt sich bei den einzelnen zur Auswer ^¬ tung zeitlich aufeinanderfolgend aufgenommenen Kamerabildern in diesen Kamerabildern, ändert also seine Lage in den einzelnen Kamerabildern. Da nun jedoch in der Regel die beiden (oder die mehr als zwei) Polari- sationszustände von ein und demselben Punkt bzw.

Oberflächenelement der Probe benötigt werden, muss in der Regel bekannt sein, wie weit die Probe zwischen zwei benachbarten Kamerabildern gewandert ist, um auch tatsächlich die Polarisationszustände ein und desselben Oberflächenelements der Probe zu erfassen und auszuwerten (wird so z.B. festgestellt, dass die Probe zwischen zwei zeitlich benachbarten Kamerabildern um 5 Pixel hinsichtlich ihres Abbildes verschoben ist, so kann eine entsprechende Verschiebung der zeitlich benachbarten Kamerabilder erfolgen, um die Probenbewegung auszugleichen) .

Ein weiterer erfindungsgemäßer, kamerabasierter Systemaufbau für die Beleuchtungseinheit und die Detek- tionseinheit verwendet eine LED-Beleuchtung, in der die einzelnen LED-Beleuchtungselemente, die Licht einer Wellenlänge emittieren, so angeordnet sind, dass für jeden Bildpunkt bzw. für jedes abgebildete Flächenelement über die gesamte abzutastende Probenoberfläche (gesamtes Kameraabbild) die gleiche Reflexionsbedingung gegeben ist. Dies kann durch unterschiedliche Neigungswinkel der einzelnen LED-Elemente in einer Leiste, durch eine Anordnung dieser Elemente auf einer gebogenen Platine oder bei ebener Anordnung der LED-Elemente durch eine Vorsatzoptik erreicht werden .

Durch die gebogene Platine oder die Vorsatzoptik können insbesondere Effekte der z.B. trichterförmigen Kameraöffnung ausgeglichen werden (die ansonsten eine exakte Erfassung und Auswertung verhindern würden) : Die Kamera hat dann durch die entsprechende gebogene Platine oder Vorsatzoptik keinen telezentrischen Strahlengang mehr, sondern einen fächerförmigen, der dazu führt, dass tatsächlich für jeden Bildpunkt über die gesamte abzutastende Probenoberfläche die gleichen Reflexionsbedingungen gegeben sind.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es auch möglich, die verwendete Beleuchtungseinheit mit Mitteln zur Änderung und/oder Einstellung der Polarisation der Beleuchtung zu versehen (beispielsweise LC- Element, wie in LC-Displays verwendet) . Die Beleuchtung der Probe kann dann, wie beim vorstehend beschriebenen „Blitzen", nacheinander mit unterschiedlichen Polarisationszuständen erfolgen. Für jeden Be- leuchtungs-Polarisationszustand können dann, wie vorstehend beschrieben, für die Reflexionselernente unterschiedliche Polarisationsanteile erfasst und aus ^¬ gewertet werden.

Alternativ zum Ein- und Ausschalten bzw. zum Beleuchten der Probe durch .„Blitzen" können somit auch geeignete, die gewünschten Polarisationszustände herbeiführende Polarisatoren vor der Beleuchtungseinheit (bzw. im Strahlengang zwischen Beleuchtungseinheit und Probe) aufgestellt werden.

Auch ist es möglich, die Beleuchtungseinheit und die Detektionseinheit zusammen mit einem polarisationser- haltenden Retroreflektor einzusetzen: Bei einem in Form eines Laserscanners als Beleuchtungseinheit eingesetzten Laser und einem als zugehörige Detektionseinheit geeignet ausgebildeten Empfänger (der insbesondere einen polarisationserhaltenden Strahlteiler zum Teilen des auftreffenden Laserlichts in zwei Teilstrahlengänge sowie, in diesen Teilstrahlengän ^¬ gen, polarisierende optische Elemente aufweisen kann) können die Beleuchtungseinheit und die Detektionsein- heit auch als integrierte Sende- und Empfangseinheit ausgebildet sein. Es ist dann ein Retroreflektor vorzusehen, wobei die kombinierte Sende- und Empfangs - einheit und der Retroreflektor wie folgt ausgebildet und angeordnet werden: In der kombinierten Sende- und Empfangseinheit werden Sender- und Empfangsstrahlen- gang über einen Strahlteiler auf die gleiche Achse gekoppelt. Der Sender beleuchtet die Probe, die von der Probe zurückgeworfenen (das heißt gestreuten, diffus reflektierten oder spiegelnd reflektierten) Strahlenanteile werden an dem Retroreflektor in sich zurückreflektiert und gelangen, bevorzugt über die

Probe, in die kombinierte Sende- und Empfangseinheit und dort, über den Strahlteiler, in den Empfängerstrahlengang des Empfängers dieser kombinierten Sende- und Empfangseinheit.

Dort wo bei einer nicht integriert ausgebildeten, entsprechenden Anordnung eines Lasers und eines zum Empfang des zurückgeworfenen Lichts des Lasers geeignet ausgebildeten und ausgerichteten Empfängers der Empfänger steht, ist im vorbeschriebenen Fall der

Retroreflektor angeordnet. Dies hat den Vorteil, dass, sofern die Strahlanteile über das Objekt in die kombinierte Sende- und Empfangseinheit gelangen, die Strahlung zweifach an der Probe bzw. am Objekt re- flektiert werden. Es erfolgt somit eine verbesserte

Abbildung der Probe bzw. des Objekts mit verbessertem Intensitätsverhältnis (liegt z.B. bei einfacher Reflexion an der Probe ein Intensitätsverhältnis von 1 : 1000 vor, so beträgt das Intensitätsverhältnis bei diesem Aufbau 1 : 1000 ² ) . Durch geeignete Retrore- flektoren bzw. Einstellung der Rückreflexion kann zu- dem ein sehr kompakter Aufbau realisiert werden.

Schließlich ist es im Rahmen der vorbeschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtungen zur optischen Charakterisierung auch (und insbesondere in der vorbeschrie- benen Retroreflektorvariante) möglich, als Beleuchtungseinheit einen die Probe zeilenweise oder raster- förmig abscannenden Laser einzusetzen

(Laserscannersystem) . Die Detektionseinheit umfasst dann einen zum Empfang des von der Probe zurückgewor- fenen Laserlichts geeigneten Empfänger mit einem oder mehreren optischen Element (en) zur Trennung des empfangenen Laserlichts nach den unterschiedlichen Polarisationsanteilen. Im Empfänger sind mehrere Empfangselemente ausgebildet, deren Anzahl der durch die Trennung resultierenden Anzahl von Teilstrahlen entspricht. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise durch Prüfung der empfangenen Gesamtintensität feststellen, ob Flächenelemente Reflexionselemente der Probe sind, also die Reflexionsbedingung erfüllen. Die Auswerteeinheit der vorstehend beschriebenen Vorrichtungen zur optischen Charakterisierung gemäß der Erfindung ist so ausgebildet, dass mit ihr die Reflexionselemente der Probe identifizierbar sind (beispielsweise durch Auswertung der von jedem Objekt- punkt empfangenen Gesamtintensität als Kriterium dafür, ob der entsprechende Objektpunkt die Reflexionsbedingung erfüllt, also die für eine weitere Auswertung nötige Ausrichtung seiner Oberfläche aufweist) . Die Reflexionselemente werden dann mit der Auswerte- einheit zur optischen Charakterisierung der Probe weiter ausgewertet, d.h. es ist/sind eine oder mehrere Verarbeitungsstufe (n) vorgesehen, um durch Auswertung der signifikanten Oberflächenelemente bzw. der Reflexionselemente eine Gesamtcharakterisierung der Probe durchzuführen. Um im Rahmen dieser Gesamtcharakterisierung weitere Proben- und/oder Materialpara- meter der Probe zu erfassen, können zusätzlich Verzögerungselemente (z.B. λ/4-Platten) vor der Beleuchtung vorgesehen werden. Auch ist es möglich, weitere Strahlteiler bzw. Filter vor der Detektionseinheit bzw. deren lichtsensitiver Fläche einzusetzen. Die

Ausrichtung, Einstellung und Anordnung solcher Verzögerungselemente und/oder Strahlteiler oder Filter kann so erfolgen, dass die Bestimmung weiterer Sto- kes-Parameter möglich ist. Insbesondere kann auch ei- ne monochromatische kohärente Beleuchtungseinheit

(Laser) vorgesehen sein, so dass, aufgrund von dem Fachmann bekannten physikalischen Nebenbedingungen, zur vollständigen Charakterisierung des Polarisationszustands des durch die Probe zurückgeworfenen Lichts lediglich drei Stokes-Parameter statt vier

Stokes-Parameter nötig sind.

Erfindungsgemäß sind Systeme mit Einfalls- und Ausfallswinkeln zwischen den beiden Spezialfällen 0° und 180° möglich: Hierbei ist, im Grenzfall von 90°, die Probe zwischen Beleuchtungseinheit und Detektor zu platzieren. Im Spezialfall von 90° und bei der Verwendung einer kombinierten Beleuchtungs- und Detektionseinheit bzw. Sende- und Empfangseinheit befindet sich der Retroreflektor hinter der Probe. Im Spezial- fall einer 90 ⁰ -Anordnung handelt es sich um einen

Polarimetrieaufbau zur optischen Charakterisierung transparenter Objekte. Auch in diesem Fall erhält man im Vergleich zu Anordnungen nach dem Stand der Technik den Vorteil, dass eine erheblich schnellere Aus- wertung erfolgen kann: Durch eine vollständige Charakterisierung des Polarxsationszustands kann die bei Geräten nach dem Stand der Technik notwendige Variation der Beleuchtungsbedingungen entfallen. Dadurch erst wird eine mit der Produktion von Gütern schritt- haltende Prüfung möglich. Genau wie im Fall der Reflexionsauswertung ist in diesem Fall eine Prüfung der Gesamtintensität sinnvoll, um die zur Charakterisie ^¬ rung der Probe relevanten Objektpunkte bzw. Oberflä ^¬ chenelemente zu finden. Diese Punkte sind in diesem Fall jedoch keine Reflexions- sondern Transmissions - elemente. In diesem Fall kann es sich bei den von der

Probe zurückgeworfenen Lichtanteilen also auch um durch die Probe hindurch transmittierte Anteile

(Transmission statt Reflexion oder auch beide Anteile: Transmission wie Reflexion) handeln. Die Vorrich- tung kann also auch als Transmissionssystem oder

Transmissions-Reflexionssystem ausgebildet sein.

In einer weiteren Ausgestaltungsform umfasst die erfindungsgemäße Vorrichtung zur optischen Charakterisierung die folgenden Elemente: einen zum ein- oder zweidimensionalen Abscannen eines Probenraumabschnitts,, in dem die Probe eingebracht werden kann, mit einfallendem Licht ausgerichteten Laser (Beleuchtungseinheit) . Zum Empfang des durch die Probe zurückgeworfenen Lichts ist ein zum Empfang von

Laserlicht geeigneter Empfänger als Detektionseinheit vorgesehen. Dieser Empfänger umfasst einen ersten, bevorzugt polarisationserhaltenden Strahlteiler zum Teilen des auf den Empfänger auftreffenden Laserlichts in einen ersten und einen zweiten Teilstrah- lengang. In jedem dieser beiden Teilstrahlengänge ist ein polarisierendes optisches Element (z.B. polarisierendes Prisma oder polarisierender Strahlteiler) vorgesehen, mit dem das Licht des jeweiligen Teilstrahlengangs in zwei unterschiedliche Polarisations- anteile zerlegt werden kann. Im Strahlengang jedes der beiden so getrennten Polarisationsanteile ist jeweils ein Empfangselement vorgesehen, mit dem der jeweilige Polarisationsanteil nachgewiesen werden kann (es sind somit insgesamt vier Empfangselemente vorge- sehen, zwei in jedem der vorstehend beschriebenen

TeilStrahlengänge) . Lediglich in einem der beiden Teilstrahlengänge ist darüberhinaus nach dem Strahl ^¬ teiler und vor dem polarisierenden optischen Element ein Polarisations-Änderungselement vorgesehen, mit dem die Polarisation dieses TeilStrahlengangs verän- dert werden kann. Bei diesem Änderungselement kann es sich insbesondere um eine Verzögerungsplatte handeln, die vorzugsweise als λ/4-Platte ausgebildet ist. Die Auswerteeinheit der Vorrichtung ist so ausgebildet, dass mit ihr auf Grundlage der mit den mehreren Emp- fangselernenten des Empfängers nachgewiesenen unterschiedlichen Polarisationsanteilen der Polarisationszustand des von der Probe zurückgeworfenen Lichts zur optischen Charakterisierung derselben vollständig bestimmt werden kann.

Hierzu können insbesondere der Strahlteiler , die polarisierenden optischen Elemente, das Änderungselement und die vier Empfangselemente so ausgebildet sein, angeordnet werden und eingestellt werden, dass drei von vier Stokesparametern des zurückgeworfenen

Lichts aus den nachgewiesenen unterschiedlichen Polarisationsanteilen berechenbar sind. Da das einfallende Laserlicht vollständig polarisiert ist, reicht die Bestimmung von drei der vier Stokesparameter aus, um (unter Heranziehen einer Nebenbedingung für monochromatisches, kohärentes Licht) den vierten

Stokesparameter zu berechnen und somit den Polarisationszustand des zurückgeworfenen Lichtes vollständig zu charakterisieren. Anhand des so vollständig be- stimmten Polarisationszustandes des zurückgeworfenen

Lichtes können dann z.B. unterschiedliche Materialien verschiedener Probenelemente einer Schüttgutprobe identifiziert und unterschieden werden.

Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele im Detail beschrieben. Dabei zeigen:

Figur 1 eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung unter Einsatz eines einzelnen Beleuchtungselements als Beleuchtungseinheit.

Figur 2 eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei der die Beleuchtungseinheit aus zwei separaten Beleuchtungselementen besteht.

Figur 3a bis 3d Beispiele für die Identifizierung eines definierten Materials in einem Schüttgutstrom unterschiedlicher Materialien.

Figur 4 ein Beispiel für eine als Prüfsystem für Beschichtungen ausgebildete erfindungsgemäße Vorrichtung.

Figur 5 eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die zur vollständigen Charakterisierung des Polarisationszustands des zurückgeworfenen Lichts ausgebildet ist .

Figur la) zeigt eine zur Charakterisierung einzelner Probenelemente bzw. Prüflinge P ausgebildete erfindungsgemäße Vorrichtung in Form eines Schüttgutsortiersystems. Die einzelnen Objekte des Schüttgutstromes bzw. der Probe P werden auf einem ebenen Transportband 30 transportiert, dessen äußere Oberfläche, auf dem die Elemente der Probe P zum Liegen kommen, weiß ist. Dies dient einer besseren Identifizierung der einzelnen Probenelemente im Bild (s. nachfolgend) . Das Transportband 30 wird durch zwei Walzen 31, 32 angetrieben; der Transport der Probenelemente P erfolgt hier im Bild nach rechts (Pfeile) ; weitere Elemente der Schüttgutsortiervorrichtung (z.B. Aus- blaseinheiten oder Sammelbehälter für die Probenele ^¬ mente unterschiedlichen Materials) sind hier nicht gezeigt . Die Beleuchtungseinheit 2 der gezeigten Vorrichtung umfasst eine monochromatische Lichtquelle 21, die hier als LED-Leiste, die im grünen Bereich (550 nra) emittiert, ausgebildet ist. Im Strahlengang nach der Lichtquelle 21 ist ein Diffusor 22 angeordnet, der die Modellierung der LED-Struktur 21 verringert. Im

Strahlengang hinter Lichtquelle 21 und Diffusor 22 weist die Beleuchtungseinheit 2 darüber hinaus noch einen Polarisator 23 auf. Die optische Achse der aus den Elementen 21, 22 und 23 bestehenden Beleuchtungs- einheit 2 ist hier mit dem Bezugszeichen 2o gekennzeichnet. Das entlang der optischen Achse 2o der Beleuchtungseinheit 2 auf die Probe P einfallende Licht E trifft unter einem Winkel Θ _Β (bezogen auf die Normale N zur mit den einzelnen Probenelementen belegten Oberfläche des Transportbandes 30) auf die Oberfläche des Probenraumabschnittes 1, der hier ein definiertes Flächensegment parallel zur Längsrichtung des Transportbandes 30 umfasst. Der entsprechende Förderbandabschnitt ist hier mit dem Bezugszeichen 7 versehen.

Die Detektionseinheit 3 des gezeigten Systems ist, bezogen auf das Förderband 30, in demselben Halbraum wie die Beleuchtungseinheit 2 (also im oberhalb des Transportbandes 30 liegenden Halbraum) angeordnet, jedoch, bezogen auf den von der Beleuchtungseinheit 2 beleuchteten Förderbandabschnitt 7 bzw. den Probenraumabschnitt 1 gesehen, auf der der Beleuchtungseinheit 2 gegenüber liegenden Seite diesem Halbraum angeordnet. Die optische Achse der als Polarisationska- mera ausgebildeten Detektionseinheit 3 ist hier mit dem Bezugszeichen 3o bezeichnet. Die Beleuchtungseinheit 2 bzw. deren optische Achse 2o, der Mittelpunkt des Probenraumabschnitts 1 bzw. des beleuchteten Förderbandabschnitts 7 und die De- tektionseinheit 3 bzw. die optische Achse 3o dersel ^¬ ben bilden ein gleichschenkliges Dreieck, dessen Langseite durch die Verbindungslinie Lichtquelle 2 - Detektionseinheit 3 und dessen Katheten durch die Verbindungslinien Lichtquelle 2 - Probenraumabschnitt 1, 7 und Probenraumabschnitt 1, 7 - Detektionseinheit

3 gebildet werden (Reflexionsanordnung) . Die Normale N der Langseite dieses Dreiecks bzw. die Normale zur Förderbandoberfläche halbiert somit den Winkel zwischen den beiden optischen Achsen 2o und 3o in zwei gleichgroße Winkel 9 _B , wobei hier Θ _Β = 63° gilt.

Mit der Detektionseinheit 3 ist eine Auswerteeinheit

4 in Form eines Personal Computers mit geeignet ausgebildeten Auswerteprogrammen über eine bidirektiona- le Datenleitung verbunden.

Nachfolgend wird die Funktionsweise der in Fig. la) gezeigten Vorrichtung beschrieben. Die Vorrichtung ist zur Unterscheidung von Probenelementen aus Zirkon von Probenelementen aus Glas eingestellt. Hierzu wurde der Winkel Θ _Β = 63° auf den Brewsterwinkel des Materials Zirkon eingestellt. Die Auswertung bzw. die optische Charakterisierung beruht nun auf der Idee, dass die dem Beleuchtungseinheit-

Detektionseinheit-Halbraum zugewandten Oberflächenabschnitte der einzelnen Probenelemente stetig differenzierbar sind, dass es (vgl. Fig. lb) somit für jedes Probenelement P mindestens ein Flächenelement gibt, dessen Normale parallel zur Normalen N bzw. zur

Winkelhalbierenden der beiden optischen Achsen 2o, 3o ausgerichtet ist. Für ein solches Oberflächenelement eines Probenelements P trifft somit die einfallende Strahlung E genau unter dem Brewsterwinkel Θ _Β von Zirkon auf die Oberfläche des Probenelementes P.

Fig. lb) skizziert, wie diejenigen Flächenelemente, für die diese Reflexionsbedingung erfüllt ist, die also Reflexionselemente 5 der Probenelemente P sind, von anderen abgebildeten Flächenelementen der Probe oder von abgebildeten Flächenelementen des Hintergrundes bzw. der Förderbandoberfläche (diese Flächenelemente werden nachfolgend zusammenfassend als

Streuelemente 6 bezeichnet, obwohl der ihrer Abbildung zugrundeliegende physikalische Prozess auch ein anderer als ein Streuprozess sein kann) unterschieden werden können: Zwar gelangt (bezogen auf die insgesamt zurückgeworfene Lichtstrahlung Z) nicht nur von Reflexionselementen 5 der Probe P ein reflektierter Strahlanteil ZI in die Detektionseinheit 3 und führt dort zu einer Abbildung des entsprechenden Flächenelements durch die Detektionseinheit 3, sondern es gelangt auch z.B. an einem Streuelement 6 gestreutes Licht Z2 ebenfalls in den Detektor 3 (in Fig. lb) ist dies z.B. bereits einmal an der Oberfläche des För- derbandes 30 reflektiertes und daher aus einer nicht mit der optischen Achse 2o übereinstimmenden Einfallsrichtung E2 auf das Streuelement 6 der Oberfläche der Probe P einfallendes Licht, das dann in Richtung Z2 = ZI in die Polarisationskamera 3 gestreut wird) . Gestreutes Licht von Streuelementen 6 lässt sich jedoch von reflektiertem Licht von Reflexionselementen 5 durch Auswertung der Intensität eines durch die Polarisationskamera 3 aufgenommenen Polarisationsanteils (s. nachfolgend) oder auch durch Aus- wertung der auftreffenden Gesamtintensitäten aller erfassten Polarisationsanteile unterscheiden. So be- wirken die Reflexionselemente 5 z.B. eine deutlich höhere auf das entsprechende Bildelement der Polari ^¬ sationskamera 3 auftreffende Gesamtintensität als die Streuelemente 6. Die beiden Typen 5, 6 von Flächen- elementen können daher durch Setzen eines vorbestimm ^¬ ten Schwellwertes (der beispielsweise aus einer mittleren Intensität über das gesamte Abbild ermittelt werden kann) unterschieden werden. Oberflächenelemente 5, die die Reflexionsbedingung erfüllen, sind da- her in der Abbildung besonders hell. Diese Oberflächenelemente 5 alleine werden dann zur Charakterisierung der Probe P bzw. deren einzelner Probenelemente weiter ausgewertet. Um sicherzugehen, dass es sich bei den bestimmten

Reflexionselementen 5 auch tatsächlich um abgebildete Flächenelemente von Probenelementen P (und nicht z.B. um am weißen Hintergrund bzw. an der Oberfläche des Förderbandes 30 reflektierte Lichtanteile) handelt, kann weiterhin die Lage der potenziellen Kandidaten für Reflexionselemente 5 im gesamten aufgenommenen Abbild ausgewertet werden: Durch dem Fachmann bekannte Bildverarbeitungsalgorithmen zur Kantendetektion können beispielsweise (Suche nach geschlossenen Kur- ven im ein- oder zweifach abgeleiteten und schwell- wertbehandelten Abbild) die Lage, die Größe und die Form der einzelnen Probenelemente der Probe P festgestellt werden. Reflexionselemente R können dann lediglich solche Flächenelemente bzw. Punkte im Bild sein, die innerhalb des Abbilds eines Probenelements bzw. innerhalb solcher geschlossener Kurven zum Liegen kommen. Zur Bestimmung der Reflexionselemente 5 kann also eine Kombination aus Intensitäts- und Lageauswertungen eingesetzt werden (lediglich besonders helle Oberflächenelemente im Mittelbereich der Abbildung eines Schüttgutobjekts P können somit in dem System der Fig. 1 Reflexionselemente 5 sein) .

Die weitere Auswertung der identifizierten Reflexionselemente 5 im Abbild der Kamera 3 und die darauf basierende Probenmaterialcharakterisierung geschieht dann wie folgt: Die Polarisationskamera 3 ist zur Trennung zweier orthogonaler Polarisationsanteile ausgebildet, nämlich des parallel zur Einfallsebene der Reflexionselemente 5 (Ebene parallel zur Förderbandoberfläche) einfallenden Polarisationsanteils des Lichts E und des senkrecht dazu einfallenden Polarisationsanteils. Handelt es sich bei einem abgebildeten Probenelement P um ein Element aus Zirkon, so wird, da hier die Brewsterbedingung erfüllt ist, lediglich parallel zur vorstehend beschriebenen Ebene polarisiertes Licht reflektiert. Lediglich dieser Polarisationsanteil ist somit für Zirkon-Probenelemente P mit einem Kanal der Kamera 3 nachweisbar, während der andere Kanal der Kamera 3 (der zum Nachweis von senkrecht dazu polarisiertem Licht ausgebildet ist) kein reflektiertes Licht nachweisen kann. Handelt es sich bei dem betrachteten Probenelement P um ein Element aus einem anderen Material als Zirkon, so wird durch die Polarisationskamera 3 Licht beider Polarisationsanteile nachgewiesen (d.h. beide Kanäle der Kamera schlagen an) . Bildet man somit das Verhältnis der Intensitäten der beiden Polarisationsanteile in den beiden Kanälen bzw. durch die Polarisationskamera 3 aufgenommenen Abbildern des Probenraumabschnitts 1 für all diejenigen Oberflächenelemente, die Reflexionselemente 5 sind, so variiert dieses Verhältnis signifikant für Reflexionselemente von

Zirkonoberflächen und für Reflexionselemente von Oberflächen anderer Materialien. Durch geeignete Schwellwertsetzung können somit Zirkon-Probenelemente von anderen Probenelementen unterschieden werden. Wird beispielsweise parallel zur Einfallsebene polarisiertes Licht durch die Polarisationskamera blau dargestellt und senkrecht dazu polarisiertes Licht rot, so bedeutet dies, dass in den durch die Polarisationskamera aufgenommenen und überlagerten Bildern die Reflexionselemente von Zirkon-Probenelementen P rein blau erscheinen. Figuren 3a bis 3d zeigen Beispiele für die Differenzierung von Diamant und Quarzglas (Fig. 3a. bis 3c) und von Zirkonkristallen in einem Schüttgutstrom P von solchen Kristallen, von Glasscherben und von Metallringen (Fig. 3d) . Der Polarisator 23 wurde für Fig. 3d so justiert, dass die Förderbandoberfläche

(Hintergrund) beide Polarisationsrichtungen mit gleichen Intensitäten in Richtung Polarisationskamera 3 reflektiert. Θ _Β beträgt dabei 63° (Brewster-Winkel für Zirkon) . Auch wenn die durch den Probenraumab- schnitt 1 beförderten Probenelemente P eine unregelmäßige Geometrie aufweisen und ihre genaue Lage unbekannt ist, so ist dennoch eine Objektcharakterisierung möglich, da die einzelnen Probenelemente differenzierbare Oberflächen aufweisen, d.h. jeder Schütt- gutpartikel hat mindestens ein Oberflächenelement, das die Reflexionsbedingung (Einfallswinkel = Θ _Β ) erfüllt. Da die Reflexion sehr viel stärkere Signale liefert als die Streuung, können diese Flächenelemente identifiziert werden. Die zugrunde liegenden phy- sikalischen Prinzipien dieser Reflektometrie (Reflexion von polarisiertem Licht am Medium, Fresnelsche Formeln für senkrechte und für parallele Polarisation sowie das Brechungsgesetz) sind dem Fachmann bekannt.

Figur 3a zeigt, wie aus den Fresnelschen Formeln durch Berechnung von Kurven für das relative Reflexi- onsvermögen zweier unterschiedlicher Stoffe ein Sortierkriterium entwickelt werden kann: Figur 3a zeigt das Reflexionsvermögen abhängig vom Einfallswinkel für die Stoffe Quartz (Brechungsindex = 1.46) und Di- amant (Brechungsindex = 2.41), also für das Beispiel, das ein Unterscheiden von Diamant von Quartzglas gewünscht ist. Die Figur zeigt deutlich die unterschiedlichen Brewsterwinkel für die beiden Materialien; zur Trennung beider Stoffe kann somit eine An- Ordnung unter dem Brewsterwinkel Θ _Β des gesuchten

Stoffes (also z.B. für Diamant unter Θ _Β = 67,5°) erfolgen. Es sind dann diejenigen Reflexionselemente 5 zu ermitteln, bei denen nach der Reflexion lediglich ein Polarisationsanteil verbleibt. R _s ist das Refle- xionsvermögen für senkrecht zur Einfallsebene polarisiertes Licht und R _p ist das Reflexionsvermögen für parallele zur Einfallsebene polarisiertes Licht.

Eine Steigerung der Empfindlichkeit zur Trennung der beiden Stoffe kann durch eine Anpassung der Beleuchtung erfolgen. Beispielsweise kann in einer Anordnung zum Differenzieren von Zirkon (Θ _Β = 63°) die Beleuchtung mittels des Polarisators 23 so eingestellt werden, dass für den Störstoff (beispielsweise Glas oder Metall) die beiden reflektierten Intensitäten gleich sind. Diese Einstellung kann mittels des Polarisators 23 so erfolgen, dann eine Störstoffprobe in das

Messfeld gebracht wird und anschließend die Stellung des Polarisators so verändert wird, bis beide Inten- sitäten gleich sind.

Figur 3b zeigt erneut für das Beispiel Dia- mant/Quartzglas den Reflexionsgrad, ebenfalls (vgl. Fig. 3a) abhängig vom Einfallswinkel Θ.

Bei einer Anordnung, in der als Einfallswinkel der Brewster-Winkel Θ _Β von Diamant gewählt wird, ergibt sich für die optische Unterscheidung von Diamant und von Stoffen mit einem abweichenden Brechungsindex (z.B. Quarzglas) schließlich die in Figur 3c gezeigte Kennlinie. Für das gezeigte Beispiel wurde die Pola- risation der Beleuchtung so eingestellt, dass nicht reflektierende, sondern streuende Partikel bzw. Oberflächenelemente mit R _p = R _s einen Quotienten von 5 haben. Es ergibt sich somit ein Sortierkriterium, das in weitem Bereich monoton mit dem Brechungsindex n fällt.

Bei der Einstellung des Systems zur Identifikation von Zirkon ist das Verhältnis zwischen blauem und rotem Kanal dann auf den parallel zur Förderbandoberfläche ausgerichteten, die Reflexionsbedingung erfüllenden Oberflächenelementen 5 der Zirkonkristalle am höchsten. Das Verhältnis kann somit dazu verwendet werden, in den einzelnen Probenelementen des Schüttgutstroms die Zirkonkristalle zu identifizieren.

Figur 3d zeigt ein entsprechendes Ergebnis, bei dem zur Bildung des Verhältnisses der Blaukanal B durch die Summe beider Kanäle R + B (R = RotkanalIntensität) geteilt wurde. Nach Schwellwertsetzung (Figur 3d rechts) lässt sich gut erkennen, dass im Bild 3

Zirkonkristalle markiert werden. Die Glasscherben (weitere unregelmäßige Elemente in Fig. 3d links) und ein im Schüttgutstrom vorhandener Metallring (Fig. 3d links oben) bleiben dunkel, werden also nicht identifiziert .

Figur 4 skizziert eine weitere Prüfaufgäbe, die mit der in Figur 1 gezeigten erfindungsgemäßen Vorrichtung gelöst werden kann: Papier/Gaze wird in der Pro- duktion mit Vaseline beschichtet. Gesucht wird ein

Prüfsystem, das die vollständige Beschichtung während der Produktion automatisch überprüft. Auch hier ba ^¬ siert der Lösungsansatz gemäß Fig. 1 auf der

Reflektometrie, wobei die hier ebene schichtförmige Probe P unter dem Brewster-Winkel Θ _Β von 55,5° für Vaseline angeordnet wird. Die aus den Fresnelschen Formeln berechneten Kurven für das Reflexionsvermögen von Vaseline zeigt Fig. 4. Zum Vergleich ist der er ^¬ wartete Verlauf eines homogen mit 20% streuenden Pa ^¬ piers aufgetragen. Auch hier kann die Trennung der beiden genannten Stoffe wieder durch Auswertung der beiden Kanäle der Polarisationskamera 3 (Test auf R _s = 0, d.h. auf Vorhandensein lediglich parallel zur Grenzfläche polarisierten reflektierten Lichts) durchgeführt werden. Ergebnis der Prüfung ist die Aussage, ob Papier mit Vaseline beschichtet ist oder nicht. Mit Vaseline beschichtete Papierflächen zeichnen sich somit durch eine intensiv blaue Farbe aus, es spricht lediglich der blaue Kanal der Polarisationskamera 3 an. Der Polarisationsgrad der abgebildeten Flächenelemente kann somit aus den Intensitäten B des blauen Kanals und den Intensitäten R des roten Kanals wie folgt berechnet werden: B/ (B+R) . Vaselinebeschichtete Flächenanteile ergeben somit den Wert B/(B+R)=1. Zur Produktionskontrolle kann beispielsweise der beschichtete Flächenanteil am Gesamtflächenanteil ausgewertet werden.

Figur 2 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der als Beleuchtungseinheit 2 mehrere einzelne Beleuchtungselemente 2a, 2b in Form von monochromatischen Lichtquellen mit Emissionswellenlängen von jeweils λ = 550 um eingesetzt werden. In Einfallsrichtung gesehen sind hinter jedem Beleuchtungselement 2a, 2b ähnlich wie in Fig. 1 gezeigt, ein Diffusor 22a, 22b und ein Polarisator 23a, 23b angeordnet. Die Detektionseinheit 3 und die Auswerteein- heit 4 (hier nicht gezeigt) sind ähnlich wie im in Figur 1 beschriebenen Fall ausgebildet (Unterschiede s.u.). Die gezeigte Vorrichtung ist als Schüttgutsortiervorrichtung ausgebildet, bei dem das Schüttgut (von dem hier lediglich ein einziges Probenelement P gezeigt ist) einen Probenraumabschnitt 1 in Form eines freien Fallstreckenstücks 6f unterhalb eines Rüttlers (nicht gezeigt) durchquert. Die optische Achse 3o der Polarisationskamera 3 liegt hier in einer horizontalen Ebene senkrecht zur Fallrichtung F der Probenelemente P. In jedem der beidseits dieser horizontalen Ebene ausgebildeten Halbräume ist jeweils ein Beleuchtungselement 2a, 2b (zusammen mit zugehörigem Diffusor 22a, 22b und Polarisator 23a, 23b) angeordnet. Der Winkel zwischen den beiden optischen Achsen 2oa und 2ob der beiden Beleuchtungselemente 2a, 2b und der vorstehend beschriebenen horizontalen Ebene ist jeweils derselbe, die Beleuchtungselemente 2a, 2b und die Kamera 3 sind dabei so angeordnet, dass ihre optischen Achsen 2oa, 2ob und 3o in einer Ebene senkrecht zur vorstehend beschriebenen Horizontalebene liegen.

Aufgrund dieser Anordnung ist somit die Reflexionsbedingung für die beiden Beleuchtungselemente jeweils dieselbe: Die Winkelhalbierende N _a trennt den von den beiden optischen Achsen 2oa und 3o bzw. den von der Einfallsrichtung E _a des oberen Beleuchtungselements 2a und der Reflexionsrichtung ZI aufgespannten Winkel in zwei gleichgroße Winkel Θ _& Β, d e entsprechend des Brewster-Winkels Θ _Β eines im Probenstrom P zu identifizierenden Materials ausgebildet werden. Ebenso trennt die Winkelhalbierende N _b den durch die optische Achse 2ob des unteren Beleuchtungselements 2b (also das einfallende Licht E _b ) und die optische Achse 3o der Polarisationskamera 3 (bzw. den entspre- chenden reflektierten abgebildeten Lichtanteil Zl) aufgespannten Winkel in zwei gleichgroße Winkelabschnitte 0 _bB . Aufgrund der vorbeschriebenen Anordnung gilt hier Q _aB = Q _b - Beide Beleuchtungselemente 2a und 2b sind somit auf ein und denselben Winkel, den

Brewster-Winkel des zu identifizierenden Materials eingestellt .

Die Identifikation der Reflexionselemente 5 und die sich daran anschließende Auswertung der Polarisationsanteile für diese Reflexionselemente zur optischen Charakterisierung der Probenelemente P erfolgt nun analog zum für Fig. 1 beschriebenen Fall. Allerdings ist die Reflexionsbedingung für das aus der Beleuch- tungseinheit 2a und der Kamera 3 bestehende Teilsystem zu einem anderen, späteren Zeitpunkt erfüllt, als für das weitere, aus dem Beleuchtungselement 2b und der Kamera 3 bestehende Teilsystem: Durchfällt ein Probenelement P die gezeigte Fallstrecke F, so erfül- len an seiner Rückseite (im Bild: oben liegende Seite) liegende Oberflächenelemente die Reflexionsbedingung, sind also Reflexionselemente 5, wenn das betrachtete Probenelement P gerade mit seiner Rückseite auf Höhe der Horizontalebene der optischen Achse 3o angeordnet ist, diese Horizontalebene also gerade

Tangentialebene an die Rückseite des Probenelements P ist. Für das System 2b, 3 ist die Reflexionsbedingung demgegenüber bereits zu einem vor diesem Zeitpunkt liegenden Zeitpunkt erfüllt, nämlich wenn die Vorder- seite des fallenden Probenelements P (im Bild unten liegende Seite) gerade von oben an die Horizontalebene der optischen Achse 3o stößt, diese Horizontalebene also tangential an die Vorderseite des Probenelements P anliegt.

Die signifikanten, potentiell als Reflexionselemente 5 in Frage kommenden Oberflächenelemente der Probe P müssen somit in den durch die Kamera 3o laufend aufgenommenen Abbildern zunächst an der Vorderseite und dann an der Rückseite des abgebildeten Objekts (das wieder durch z.B. gradientenbasierte Bildverarbeitungsmechanismen anhand seines Umrisses identifiziert werden kann) liegen. Insofern unterscheiden sich die Bedingungen zur Identifikation der Reflexionselemente 5 von denen des in Fig. 1 gezeigten Systems, bei dem die Reflexionselemente 5 etwa in der Mitte der Abbilder der einzelnen identifizierten Probenelemente liegen müssen. Abgesehen von den vorbeschriebenen Unterschieden bei der Identifikation der Reflexionselemente 5 kann jedoch die Auswertung der unterschiedlichen Polarisationsanteile für die identifizierten Reflexionselemente zur optischen Charakterisierung der Probe P ganz analog wie im für Fig. 1 beschriebenen Fall erfolgen .

Analog zum in Fig. 2 gezeigten Fall kann auch eine Beleuchtungseinheit eingesetzt werden, die insgesamt statt zwei Beleuchtungselementen 2a, 2b vier Beleuchtungselemente umfasst, die in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse 3o und äquidistant auf einem Kreis um diese optische Achse 3o herum (Winkelabstände der einzelnen Beleuchtungselemente 90°) angeordnet sind. Ähnlich wie im Fig. 2 gezeigten Fall erfolgt dann eine Beleuchtung so, dass Oberflächenelemente am Rand der Objekte P aus vier Himmelsrichtungen inten- sitätsbasiert darauf untersucht werden, ob sie passende Oberflächennormalen N aufweisen. Somit ist eine Charakterisierung der fallenden Probenelemente P des Schüttgutstroms mit bis zu vier Punkten möglich.

Für die Objekte in Fig. 2 kann somit geprüft werden, ob es Flächenelemente bzw. Punkte mit reiner Farbe, z.B. blau (vgl. Beschreibung zur Fig. 1: dann liegt lediglich einer der beiden Polarisationsanteile vor) gibt und ob sich diese Punkte auf der Vorder- oder Rückseite der jeweiligen Probenelemente P (bezogen auf die Bewegungsrichtung F) finden.

Bei entsprechender Einstellung auf den Brewster- Winkel und bei vier einzelnen Beleuchtungselementen im 90°-Abstand (nicht gezeigt) , werden dann Objekte aus dem zu identifizierenden Material gemäß des

Brewster-Winkels 9 _aB = QbB z.B. durch blaue Bildele ^¬ mente zu einem zweiten, späteren Zeitpunkt (Abtastung der Vorderfront) , rote Bildelemente zu einem ersten späteren Zeitpunkt (Abtastung der linken und der rechten Seite) und durch weitere blaue Bildelemente zu einem dritten, noch späteren Zeitpunkt (Abtastung der Rückfront) gekennzeichnet.

Figur 5 zeigt schließlich eine weitere erfindungsge- mäße Vorrichtung zur optischen Charakterisierung einer flachen, schichtförmigen Probe P in einem Probenraumabschnitt 1 auf Basis eines Laserscannersystems . Der den Probenraumabschnitt 1 in Richtung SR senkrecht zur Einfallsrichtung E des Lichts eindimensio- nal abscannende Laser 2 als Beieuchtungseinheit strahlt Licht unter dem Einfallswinkel Θ (Winkel zwischen der Probennormalen N und der Einfallsrichtung E des Laserlichts) auf die Probenoberfläche der Probe P ein. Vgl. hierzu Figur 5 rechts oben, die einen

Schnitt senkrecht durch die bestrahlte Probenoberfläche zeigt und Figur 5 rechts Mitte, die eine Aufsicht auf die bestrahlte Probenoberfläche, also einen Blick in Richtung der Normalen N zeigt. Das unter dem entsprechenden Ausfallwinkel Θ (Reflexionsgesetz) re- flektierte Licht Z wird den in Figur 5 links und Mitte gezeigten Empfänger 3 zur Auswertung zugeleitet. Die in Figur 5 gezeigte Vorrichtung basiert auf der Überlegung, dass der Emissionslaser 2 des gezeigten Scanners monochromatische, kohärente Strahlung emit- tiert, sodass die von der Probe empfangene Strahlung

E bereits vollständig polarisiert ist. In diesem Fall genügt somit die Detektion von drei Stokesparametern aus den reflektierten Laserlichtanteilen Z zur vollständigen Charakterisierung des Polarisationszustands der reflektierten bzw. detektierten Lichtstrahlung Z.

Der gezeigte Empfänger 3 umfasst nun in Einstrahlrichtung des reflektierten Lichtanteils Z gesehen im Strahlengang nacheinander die folgenden Bauteile:

- Einen zum Fokussieren des an der Probenoberfläche P reflektierten Lichtanteils Z auf eine Strahlteilerplatte 8 ausgebildeten Hohlspiegel 40.

- Die polarisationserhaltende Strahlteilerplatte 8, mit der jeweils 50% der einfallenden, reflektierten Strahlung Z in einen ersten Teilstrahlengang Tl und in einen zweiten Teilstrahlengang T2 aufgeteilt wird.

- Im ersten Teilstrahlengang Tl : zunächst eine

Verzögerungsplatte (λ/4-Platte) 9, die das Licht des ersten Teilstrahlengang Tl auf einen ersten Polarisations-Strahlteiler 10a lenkt, der zur Unterscheidung zweier zueinander orthogonaler Polarisationsanteile des einfallenden Lichts ausgebildet ist. Der erste dieser beiden Polarisationsanteile wird mit einem ersten Empfangselement IIa nachgewiesen, der andere dieser beiden Polarisationsanteile mit einem weiteren Empfangselement IIb (Intensitätsdetektoren) .

- Der zweite Teilstrahlengang T2 ist grundsätzlich ebenso wie der erste Teilstrahlengang Tl aufge- baut, hier ist allerdings die Verzögerungsplatte 9 weggelassen, sodass in diesem Teilstrahlengang lediglich ein zweiter Polarisations-Strahlteiler 10b und zwei weitere Empfangselemente 11c und lld angeordnet sind, mit denen die beiden zueinander orthogonalen Polarisationsanteile im zweiten Teilstrahlengang T2 nachweisbar sind. - Die vier Empfangselemente IIa bis lld sind dann jeweils über birektionale Signalleitungen mit einer Auswerteeinheit 4 verbunden (nicht gezeigt) .

Mit dem gezeigten Empfänger 3 kann somit der Polarisationszustand der reflektierten Strahlung Z vollständig wie folgt charakterisiert werden:

Mithilfe der Empfangselemente 11c und lld des Teilstrahlengangs T2 werden die Intensitäten Io und Igo für zwei lineare, zueinander orthogonale Polarisationsanteile bestimmt. Die Kombination der Verzögerungsplatte 9 und des Teilers 10a ergibt einen

Strahlteiler zur Aufspaltung des einfallenden Lichts in rechtszirkular und linkzirkuar polarisiertes

Licht. (Intensitäten I _RZ und I _LZ für rechtszirkular und für linkszirkular polarisiertes Licht) . Somit können vier unterschiedliche Polarisationsanteile bestimmt werden.

Die vier gesuchten Stokesparameter I, S, U und V lassen sich somit aus den mit den Empfangselementen IIa bis lld nachgewiesenen, also den zueinander orthogonalen linearen Polarisationsanteilen (Intensitäten I ₀ und Igo) und den zirkulären Polarisationsanteilen (rechtszirkular polarisierter Anteil mit der Intensität I _RZ und linkszirkular polarisierter Anteil mit der Intensität I _LZ ) wie folgt bestimmen I = I ₀ + I90

S = Io — I 0

V = IRZ - ILZ /

wobei dann mit der Nebenbedingung für monochromati- sehe kohärente Laserstrahlung von

S + u + V = 1

der vierte Stokesparameter U = I45 - I135 berechnet werden kann. Die gezeigte Vorrichtung zur optischen Charakterisierung aus Figur 5 ermöglicht somit die Berechnung des vollständigen Polarisationszustandes des reflektierten Lichtanteils Z aus den empfangenen SignalIntensitäten der vier Empfangselemente IIa bis lld. Da der Polarisationszustand des reflektierten Lichts Z von dem jeweils untersuchten Probenmaterial der Probe P abhängt, lässt sich die in Figur 5 gezeigte Vorrichtung zur Materialcharakterisierung der Probe P verwenden.

Werden Empfängerstrahlengang und Senderstrahlengang im gleichen Gehäuse realisiert (integrierte Sende- und Empfangseinheit) kann eine entsprechende Charakterisierung des Materials erfolgen, sofern das an der Probe (spiegelnd) reflektierte Licht auf einen Retro- reflektor trifft, der die Strahlen in sich zurück zur kombinierten Sende- Empfangseinheit reflektiert. Im Unterschied zu der Anordnung mit getrenntem Sender und Empfänger wird das Licht jedoch zweifach an der Probe reflektiert. Die Polarisationseffekte an der

Probe gehen damit quadratisch in die empfangenen Intensitäten ein.