Title:
APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING REFLECTOR MIRROR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2008/004397
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is an apparatus for producing a reflector mirror which enables to simplify
the production process while reducing operation time. Also disclosed is a method
for producing a reflector mirror. Specifically disclosed is a film-forming
apparatus (1) wherein a metal evaporation source (22) for forming a reflective
film, a dye evaporation source (23) for forming a color film, and a plasma polymerization
source (electrode) (24) for forming a protective film are arranged in one vacuum
processing chamber (5). By performing a reflective film-forming step, a color
film-forming step and a protective film-forming step in the common vacuum processing
chamber (5), the production process can be simplified and the operation time
can be reduced.
Inventors:
IIJIMA, Masayuki (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
飯島 正行 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
KOBAYASHI, Yosuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
小林 洋介 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HIRAYAMA, Kouji (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
平山 浩二 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HASHIMOTO, Yusuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
飯島 正行 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
KOBAYASHI, Yosuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
小林 洋介 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HIRAYAMA, Kouji (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
平山 浩二 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HASHIMOTO, Yusuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
Application Number:
JP2007/061528
Publication Date:
January 10, 2008
Filing Date:
June 07, 2007
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, INC. (2500 Hagisono, Chigasaki-shi Kanagawa, 43, 2538543, JP)
株式会社アルバック (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 Kanagawa, 2538543, JP)
IIJIMA, Masayuki (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
飯島 正行 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
KOBAYASHI, Yosuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
小林 洋介 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HIRAYAMA, Kouji (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
平山 浩二 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
株式会社アルバック (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 Kanagawa, 2538543, JP)
IIJIMA, Masayuki (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
飯島 正行 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
KOBAYASHI, Yosuke (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
小林 洋介 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
HIRAYAMA, Kouji (Inc. 2500 Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 2538543, JP)
平山 浩二 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 2538543, JP)
International Classes:
G02B5/10; C23C14/56; F21S8/10; F21V7/00; F21V17/00
Attorney, Agent or Firm:
IISAKA, Yasuo (Utoku-building, 6-85 Benten-dori, Naka-ku, Yokohama-shi Kanagawa 07, 2310007, JP)
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