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Title:
APPARATUS FOR THERMAL TREATMENTS OF THIN PARTS SUCH AS SILICON WAFERS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1987/005054
Kind Code:
A1
Abstract:
Apparatus for the thermal treatment of a thin part (1) comprising a thermal light source including linear lamps (17) of very high unitary power such as ''tungsten-halogen'' lamps, and a housing (2) containing the part to be treated. Said apparatus comprises inside the housing (2) a chamber (4) delimited by the sidewall and the bottom (3a) of the housing as well as by a silica scuttle and making it possible to create about the part to be treated particular conditions for the thermal treatment. Within said treatment chamber there is arranged a compensation means (22a) for the thermal losses of the part to be treated. The thermal light source is configured like a light box (16a) comprised of the superposition of a plurality of modules (43) having a polygonal cross-section. Application to the heat treatment of thin parts, particularly in the semiconductor industry.

Inventors:
JANNOT MARCEL AUGUSTIN JOSEPH (FR)
PATUREAU JEAN-PIERRE (FR)
Application Number:
PCT/FR1987/000043
Publication Date:
August 27, 1987
Filing Date:
February 18, 1987
Export Citation:
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Assignee:
BERTIN & CIE (FR)
International Classes:
C21D1/34; C23C16/48; C30B33/00; F27B17/00; H01L21/00; H05B3/00; H01L21/26; (IPC1-7): C23C16/48; C30B33/00; F27B17/00; C21D1/34; H01L21/00; H05B3/00
Foreign References:
US3627590A1971-12-14
GB2065973A1981-07-01
DE3163105A
GB2083728A1982-03-24
FR2207757A21974-06-21
Other References:
Applied Physics Letters, Volume 36, Janvier 1980, American Institute of Physics, (New York, US), JUH TZENG LUE: "Arc Annealing of BF+2 Implanted Silicon by a Short Pulse Flash Lamp", pages 73-76, see pages 73-76
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, Volume 1, No. 106, 19 Septembre 1977, page 2503C77, & JP, A, 5270991 (Mitsubishi Denki K.K.) 13-06-1977
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Claims:
REVENDICATIONS
1. Appareil pour le traitement thermique d'au moins une pièce mince (1) , telle qu'une plaquette (wafer) de silicium,comprenant"une source thermique lumineuse (16,16a.) comportant des lampes linéaires (17) de très forte puissance unitaire, telles que des lampes "tungstènehalogène", et une enceinte (2) contenant la pièce ou les pièces à traiter (1) et dont l'axe de symétrie géométrique (21) coïncide • avec l'axe de symétrie optique (21) de ladite source thermique lumineuse, lequel appareil est caractérisé en ce qu'il comporte, à l'intérieur de l'enceinte (2), qui est à symétrie circulaire, une chambre (4) permettant de créer autour de la pièce ou des pièces à traiter (1) des condi¬ tions particulières de traitement thermique, notamment sous pression ou sous vide ou dans une atmosphère d'un gaz appro¬ prié, laquelle chambre de traitement présente son axe de symétrie géométrique coïncidant avec ledit axe optique et comporte des moyens (9, 10) assurant l'étanchéité par rapport à l'enceinte (2) qui la contient, et en ce que dans la chambre de traitement est disposé un moyen de compensa¬ tion des pertes thermiques de la pièce ou des pièces à traiter (1) , à savoir des pertes par les faces et la petite paroi latérale (pertes surfaciques ou axiales et pertes d'extrémité ou radiales) de cette pièce ou de ces pièces, permettant ainsi de maintenir sensiblement uniforme sa tem¬ pérature ou leur température.
2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de compensation des pertes thermiques par la surface de la pièce ou des pièces à traiter est constitué par un réflecteur annulaire (22, 22a.) placé dans le volume de confinement entourant la pièce ou les pièces à traiter (1) , le diamètre interne et la hauteur de ce réflecteur annulaire étant choisis de telle sorte qu'il n'y ait pas occultation partielle de la source (16, 16a) quel que soit l'élément de surface de la pièce ou des pièces à traiter (1) . 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le réflecteur de compensation thermique est constitué par une pièce toroïdale massive (22a_) , dont la face interne est réfléchissante dans tout le spectre d'émis¬ sion des lampes (17) et qui 'est fixée à la paroi interne de l'enceinte (2) par tous moyens appropriés, notamment par vissage, de manière à assurer un contact intime entre la paroi interne de l'enceinte (2) et la face externe de la pièce toroïdale massive (22a.
3. ) .
4. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'une gorge toroïdale (35) coaxiale est ménagée à la périphérie de la pπroi de la pièce toroïdale massive (22a_) , laquelle gorge communique avec des orifices distributeurs radiaux (36) permettant l'introduction dans la chambre de traitement (4) d'au moins un gaz approprié. 5.
5. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit réflecteur de compensation thermique (22) est constitué par un clinquant (23) dont la face interne (24) est réfléchissante dans tout le spectre d'émission des lampes (17) et dont la configuration annulaire est obtenue par roulage et est maintenue par serrage à l'aide d'une bague (25) inoxydable et d'épaisseur appropriée.
6. Appareil selon l'une quelconque des revendi¬ cations 3 ou 5, caractérisé en ce que la pièce ou les pièces à traiter (1) est ou sont maintenue(s) par des moyens de support et de centrage par rapport au réflecteur de compensation thermique.
7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de support et de centrage sont consti¬ tués par trois plots (15a., 15b, ... ;15*, ...) à calotte sphé rique encastrés dans le fond (3, 3a.) de l'enceinte (2) et permettant de réduire au minimum le contact avec la pièce ou les pièces à traiter (1) et donc d'influencer le moins possible les échanges thermiques de celleci ou de celles ci, chaque plot coopérant avec un moyen de butée latérale de centrage (56) faisant saillie vers le haut à partir de la paroi latérale externe du plot correspondant.
8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la chambre de traitement (4) comporte un moyen d'accès à cette chambre et est délimitée par la paroi laté¬ rale et le fond (3, 3a.) de l'enceinte (2) ainsi que par un hublot (5) cylindrique, réalisé en silice et entièrement poli, ayant un diamètre et une épaisseur appropriés et inter¬ posé entre la source (16, 16a_) et la pièce ou les pièces à traiter (1) et dont l'axe coïncide avec l'axe optique de la source et l'axe de l'enceinte, et en ce que la paroi laté raie de l'enceinte (2) comporte un siège (6) sur lequel prend appui le hublot <5) , ce dernier étant maintenu en position par l'intermédiaire d'une bride de fixation (7) qui serre le hublot contre son siège à l'aide d'une pluralité de vis (12) réalisées en un matériau ayant un coefficient de dilatation thermique pratiquement négligeable, entre ledit siège (6) et le hublot (5) et ce dernier et la bride de fixation (7) étant disposé, respectivement, un joint d'étan¬ chéité (9 et 10, respectivement) en matériau approprié, tel que du graphite expansé. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit moyen d'accès à la chambre de traitement (4) est constitué par le fond (3a.) même de ladite enceinte (2) , lequel fond coopère avec des moyens d'ouverture et de ferme¬ ture rapides, autorisant ainsi une augmentation des cadences de fonctionnement et constitué par le plateau mobile (38) , d'une presse duquel est solidaire le fond de l'enceinte, le plateau fixe (ou sommier, 37) de presse étant solidarisé avec la partie supérieure de l'enceinte (2) par l'intermé¬ diaire de colonnettes rigides (39), et en ce que l'étanchéité à l'interface enceinte (2) /fond (3a_) est assurée par la coopération des moyens suivants : une nervure annulaire (40) faisant saillie de l'une ou l'autre des surfaces de séparation enceinte (2) /fond (3a_) et à..laquélle_se transmet, par l'intermédiaire desdites colonnettes (39, l'effort de pressage, 3 ti Φ F 3 φ rt d TJ pi Pi H d < 3 Φ O 3 P rt d F y y φ 0 rt . — . F ,c O Ul 3 — ' Ml φ O rt li Ω yQ x 0 r Φ Φ r » y en φ O 0 F M rt M φ Φ Mi Mi Mi M F O Ω F Pi en Ω F Φ tn "•» tn Φ Pi 3 Φ Φ d 3 X rt y 0 3 3 O TJ rt φ pι en 3 (17) consécutives de chaque rangée étant séparées d'un pas (ou distance) approprié permettant le passage entre elles d'une lampe appartenant à chacune des deux rangées de lampes adjacentes, la largeur de chaque paroi (44) étant définie par la dimension utile (ou active) de chaque lampe (17) , à savoir par la longueur du filament de tungstène, un élément métallique de fermeture (46) de l'ouverture supérieure d'au moins ledit module (43) ou du module (43) situé le plus haut parmi une pluralité de modules du même type superposés l'un à l'autre et dont le nombre est fonc¬ tion de la puissance requise par le traitement thermique, lequel élément (46) constitue le couvercle ou le plafond de la boîte à lumière (16a_) , les faces internes des parois latérales (44) et du plafond (46) de la boîte à lumière (16a_) étant réfléchissantes dans tout le spectre d'émission des lampes (17) et chaque module (43) étant refroidi par circulation d'un fluide approprié, notamment d'eau. 13. Appareil selon la revendication 12, caracté¬ risé en ce que également le plafond (46) de la boîte à lumière (16a.) coopère avec une rangée de lampes linéaires "tungstènehalogène" disposées horizontalement et parallè¬ lement audit plafond. 14. Appareil selon la revendication 12, caracté¬ risé en ce qu'une bride de raccordement (47) relie le module inférieur (43) de la boîte à lumière (16a_) à l'enceinte (2), permettant ainsi le passage de la section polygonale du module (43) à la section circulaire de l'enceinte (2), la paroi interne de la bride de raccordement (47) étant elle aussi réfléchissante dans tout le spectre d'émission des lampes (17) .
9. 15 Appareil selon la revendication 1, caracté¬ risé en ce que ladite source thermique lumineuse (16) comporte plusieurs rangées (ou nappes) parallèles (I, II) de lampes "tungstènehalogène" (17) , deux lampes consécutives de chaque rangée étant séparées d'un pas (ou distance) appro¬ prié et les rangées étant décalées d'un demipas et étant disposées à une distance appropriée l'une par rapport à l'autre, lesquelles rangées de lampes sont logées dans un capotage (18) en tôle, auquel est fixée ladite enceinte (2) par tous moyens appropriés (32) et qui est refroidi par des ventilateurs (19) , et en ce que la source lumineuse (16) coopère avec un réflecteur (26) , réfléchissant dans tout le spectre d'émission des lampes (17), qui est logé dans ledit capotage (18) et qui est destiné à améliorer son rendement lumineux et est disposé audessus et autour de cette source, de manière que son axe coïncide avec l'axe optique de cette dernière, ce réflecteur (26) étant refroidi par circulation d'un fluide approprié, notamment d'eau. 16 Appareil selon l'une quelconque des revendi¬ cations 12 ou 14, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de réglage de la puissance de chaque module, notamment constitués par des dispositifs de commuta tion et/ou des dispositifs de variation de la tension d'ali¬ mentation des lampes, lesquels moyens de réglage sont commandés par une sonde pyrométrique activée par le rayonnement provenant de la face inférieure de la pièce à traiter (1) ,et ce sous le contrôle d'un ordinateur programmé pour compenser toute variation indésirée de la puissance installée ainsi que pour adapter le traitement thermique à un cycle bien déterminé. 17. Appareil selon la revendication 16, carac¬ térisé en ce que le rayonnement activant la sonde pyromé¬ trique se propage à travers : un premier conduit axial (49) ménagé dans le fond (3a.
10. ) de l'enceinte (2) et s'ouvrant supérieurement dans la chambre de traitement (4) , un hublot (50) de visée de la face inférieure de la pièce (1), disposé à la'suite et à la partie inférieure de ce conduit axial "(49) , dont l'axe est aligné avec celui du hublot de visée (50), un prisme (51) logé dans une pièce rapportée (52), logée à son tour dans le fond (3a_) de l'enceinte (2), le rayon¬ nement étant dirigé du hublot de visée (50) vers ce prisme (51) par un deuxième conduit axial (53) ménagé dans ladite pièce rapportée (52) , une fibre optique (54) disposée à 90° par rapport à l'axe de la chambre de traitement thermique (4) , le rayonnement étant dirigé du prisme (51) vers la fibre optique (54) par l'intermédiaire d'un conduit transversal (55) perpendicu¬ laire audit deuxième conduit axial (53) et ménagé,comme ce dernier,dans ladite pièce rapportée (52).
11. Appareil selon la revendication 8, caracté¬ risé en ce que celuici comporte des moyens de conditionne¬ ment thermique destinés à limiter la montée en température du hublot (5) et constitués par un circuit (29) traversé par un fluide thermostaté approprié, notamment constitué par de l'huile issue d'un bain thermostaté, et comportant des chemises de conditionnement ménagées dans l'enceinte, à la périphérie du hublot (5) et autour des vis de serrage (12) de ladite bride de fixation (7) . 19. Appareil selon la revendication 17, caracté¬ risé en ce que le fond (3a.) de l'enceinte (2) comporte des moyens de conditionnement thermique du type utilisé pour l'enceinte (2), à savoir constitués par un circuit traversé par un fluide thermostaté approprié, tel que de l'huile issue d'un bain thermostaté, et comportant une chemise de conditionnement (57) ménagée dans le fond (3a.) de l'enceinte (2) .
Description:
APPAREIL POUR TRAITEMENTS THERMIQUES DE PIECES MINCES, TELLES QUE DES PLAQUETTES DE SILICIUM

La présente invention est relative à un appareil pour traitements thermiques de pièces minces, telles que des plaquettes de silicium, notoirement appelées "wafers" selon la terminologie anglo-saxonne, et utilisées dans le domaine de la micro-électronique.

Dans ce type de traitements, on utilise souvent comme source thermique des sources lumineuses, et ce en raison de l'inertie thermique quasi-inexistante de ce type de sources qui permettent ainsi un contrôle optimum du cycle thermique, par exemple, en maîtrisant mieux certains aspects des échanges thermiques solide/solide.

Il s'agit de sources lumineuses de très forte puissance, et ce en raison des niveaux et des temps de montée en température qu'il est souhaitable d'atteindre dans ce type de traitements thermiques.

Or, la nécessité d'obtenir des températures uniformément distribuées dans les pièces à traiter - ce qui s'impose pour limiter les contraintes thermomécaniques et les défauts qui en découleraient dans ces pièces - pose des problèmes très délicats de mise en oeuvre.

Un moyen utilisé à cet effet consiste à générer un faisceau de rayons lumineux parallèles à l'aide d'un miroir, par exemple parabolique, ayant la taille de la pièce à traiter. Cela implique l'utilisation d'une source lumineuse ponctuelle disposée au foyer du miroir, à savoir d'une lampe à arc dont le coût très élevé, la mise en oeuvre difficile et la faible durée de vie limitent considérablement les applications industrielles.

Il existe aussi des appareils de traitements thermiques utilisant des sources lumineuses linéaires, dont le coût et la facilité d'exploitation sont sans commune mesure plus intéressants que dans le cas des lampes à arc : il s'agit, notoirement, des lampes dites "tungstène-halogène" (à savoir, de lampes à incandescence à filament de tungstène et aux halogènes, ces derniers étant utilisés pour diminuer

le noircissement de l'ampoule ou du tube qui contient le filament, cf. en particulier la revue SEMICONDUCTOR INTERNATIONAL/79, n° de mai 1985).

Toutefois, dans ce type d'appareils, l'uniformité des températures est obtenue en disposant les lampes "tungstène-halogène" au voisinage de ces pièces, ce qui limite les traitements thermiques qu'on peut effectuer sur ces dernières à des traitements à la pression ambiante, comme le recuit par exemple. La présente invention a en conséquence pour but de pourvoir à un appareil pour traitements thermiques de pièces minces, telles que des plaquettes de silicium, du type utilisant comme source thermique les lampes linéaires de très forte puissance, telles que des lampes "tungstène- halogène", qui répond mieux aux nécessités de la pratique que les appareils visant au même but, antérieurement connus, notamment en ce qu'on peut effectuer des traitements thermiques autres que le recuit à la pression ambiante et, d'une façon générale, tout traitement nécessitant la création de conditions ambiantes particulières autour des pièces à traiter, par exemple sous pression ou sous vide, tout en assurant la nécessaire uniformité des températures des pièces.

La présente invention a pour objet un appareil pour le traitement thermique d'au moins une pièce mince, telle qu'une plaquette (wafer) de silicium, comprenant une source thermique lumineuse comportant des lampes linéaires de très forte puissance unitaire, telles que des lampes "tungstène-halogène", et une enceinte contenant la pièce ou les pièces à traiter et dont l'axe de symétrie géomé¬ trique coïncide avec 1'axe de symétrie optique de ladite source thermique lumineuse, lequel appareil est caractérisé en ce qu'il comporte à l'intérieur de l'enceinte, qui est à symétrie circulaire, une chambre permettant de créer autour de la pièce ou des pièces à traiter des conditions

particulières de traitement thermique, notamment sous pression ou sous vide ou dans une atmosphère d'un gaz approprié, laquelle chambre de traitement présente son axe de symétrie géométrique coïncidant avec ledit axe optique et comporte des moyens assurant l'étanchéité par rapport à l'enceinte qui la contient, et en ce que dans la chambre de traitement est disposé un moyen de compensation des pertes thermiques de la pièce ou des pièces à traiter, à savoir des pertes par les faces et la petite paroi laté- raie {pertes surfaciques ou axiales et pertes d'extrémité ou radiales) de cette pièce ou de ces pièces, permettant ainsi de maintenir sensiblement uniforme sa température ou leur température.

Selon un autre mode de réalisation préféré de l'appareil conforme à l'invention, le moyen de compensation des pertes thermiques par la surface périphérique de la pièce ou des pièces à traiter est constitué par un réflec¬ teur annulaire placé dans le volume de confinement entourant la pièce ou les pièces à traiter, le diamètre interne et la hauteur de ce réflecteur annulaire étant choisis de telle sorte qu'il n'y ait pas occultation partielle de la source quel que soit l'élémentde surface de la pièce ou des pièces à traiter.

Selon une disposition préférée de ce mode de réa- lisation, le réflecteur de compensation thermique est constitué par une pièce toroïdale massive, dont la face interne est dorée et qui est fixée à la paroi interne de l'enceinte par tous moyens appropriés, notamment par vissage, de manière à assurer un contact intime entre la paroi interne de l'enceinte et la face externe de la pièce toroïdale massive.

Selon une modalité avantageuse de cette disposi¬ tion, une gorge toroïdale coaxiale est ménagée à la péri¬ phérie de la paroi ' de la pièce toroïdale massive, laquelle gorge communique avec des orifices distributeurs radiaux

permettant l'introduction dans la chambre de traitement d'au moins un gaz approprié créant une atmosphère contrôlée.

Selon une disposition avantageuse de ce mode de réalisation, ledit réflecteur de compensation thermique est constitué par un clinquant qui est doré sur sa face interne et dorit.la configuration annulaire est obtenue par roulage et est maintenue par serrage à l'aide d'une bague inoxydable et d'épaisseur appropriée.

Selon une autre disposition avantageuse de ce mode de réalisation, la pièce ou les pièces à traiter est ou sont maintenue(s) par des moyens de support et de centrage par rapport au réflecteur de compensation thermique.

Selon une modalité avantageuse de cette disposi¬ tion, le moyen de support et de centrage est constitué par trois plots à calotte sphérique encastrés dans le fond de l'enceinte et permettant de réduire au minimum le contact avec la pièce ou les pièces à traiter et donc d'influencer * le moins possible les échanges thermiques de celle-ci ou de celles-ci, chaque plot coopérant avec un moyen de butée latérale de centrage faisant saillie vers le haut à partir de la paroi latérale externe du plot.

Selon un mode de réalisation avantageux de l'appareil conforme à l'invention, la chambre de traitement comporte un moyen d'accès à cette chambre et est délimitée par la paroi latérale et le fond de l'enceinte ainsi que par un hublot cylindrique, réalisé en silice et entièrement poli, ayant un diamètre et une épaisseur appropriés et interposé entre la source et la pièce ou les pièces à traiter et dont l'axe coïncide avec l'axe optique de la source et 1'axe de 1'enceinte,la paroi latérale de 1'enceinte comportant un siège sur lequel prend appui le hublot, ce dernier étant maintenu en position par l'intermédiaire d'une bride de fixation qui serre le hublot contre son siège à l'aide d'une pluralité de vis réalisées en un matériau ayant un coefficient de

dilatation thermique pratiquement négligeable, entre ledit siège et le hublot et ce dernier et la bride de fixation étant disposé, respectivement, un joint d'étanchéité en matériau approprié, tel que du graphite expansé. Selon une disposition préférée de ce mode de réa¬ lisation, ledit moyen d'accès à la chambre de traitement est constitué par le fond lui-même, lequel fond coopère avec des moyens d'ouverture et de fermeture rapides, autorisant ainsi une augmentation des cadences de fonctionnement et constitués par le plateau (mobile) d'une presse, duquel est solidaire le.fond de l'enceinte, le plateau fixe (ou sommier) de presse étant solidarisé avec , la partie supérieure de l'enceinte par l'intermédiaire de colonnettes rigides , l'étanchéité à l'interface enceinte/fond étant assurée par la coopération des moyens suivants :

- une nervure annulaire faisant saillie de l'une ou l'autre des surfaces de séparation enceinte/fond et à laquelle se transmet, par l'intermédiaire desdites colonnettes, l'effort de pressage, - une cavité toroïdale disposée à l'extérieur de ladite nervure annulaire et destinée à la récupération des fuites de gaz éventuelles, à cet effet la cavité étant reliée à un circuit de récupération en dépression,

- un joint en un matériau approprié, tel que du graphite expansé, disposé à l'extérieur de cette cavité toroïdale. Selon une disposition avantageuse de ce mode de réalisation, ledit moyen d'accès à la chambre de traitement est constitué par le fond même de ladite enceinte, lequel fond est amovible et fixé à la base de l'enceinte à l'aide de moyens de fixation détachable.

Selon une modalité avantageuse de cette disposi¬ tion, les moyens de fixation détachable du fond à la base de l'enceinte sont constitués par une pluralité de vis réali¬ sées en un matériau ayant un coefficient de dilatation ther- mique pratiquement négligeable, un joint d'étanchéité en

matériau approprié, tel que du graphite expansé, étant disposé entre ledit fond et ladite enceinte.

Selon un mode de réalisation préférée de l'appa¬ reil conforme à l'invention, ladite source thermique lumineuse est réalisée sous la forme d'une boîte à lumière ayant une structure modulaire qui permet d'adapter la puissance installée à la puissance requise par le traitement de la pièce et comportant :

- au moins un module creux à section polygonale, délimité par des parois métalliques latérales et verticales, paral¬ lèlement et à proximité de chaque paroi étant disposées horizontalement des rangées parallèles de lampes linéaires "tungstène-halogène" qui traversent les deux parois adja¬ centes du module,de manière que les culots des lampes se trouvent disposés à l'extérieur du module et que leur refroidissement, notamment par ventilation forcée, soit efficace, deux lampes consécutives de chaque rangée étant séparées d'un pas (ou distance) approprié permettant le passage entre elles d'une lampe appartenant à chacune des deux rangées de lampes adjacentes, la largeur de chaque paroi étant définie par la dimension utile (ou active) de chaque lampe, à savoir par la longueur du filament de tungstène,

- un élément métallique de fermeture de l'ouverture supé- rieure d'au moins ledit module ou du module situé le plus haut parmi une pluralité de modules du même type superpo¬ sés l'un à l'autre et dont le nombre est fonction de la puissance requise par le traitement thermique, lequel élément constitue le couvercle ou le plafond de la boîte à lumière, les faces internes des parois latérales et du plafond de la boîte à lumière étant réfléchissantes dans tout le spectre d'émission des lampes et chaque module étant refroidi par circulation d'un fluide approprié, notamment d'eau. Selon une disposition avantageuse de ce mode de

réalisation, également le plafond de la boite à lumière coopère avec une rangée de lampes linéaires "tungstène- halogène" disposées horizontalement et parallèlement audit plafond. Selon une autre disposition avantageuse de ce mode de réalisation, une bride de raccordement relie le module inférieur de la boîte à lumière à 1*enceinte,permet¬ tant ainsi le passage de la section polygonale du module à la section circulaire de l'enceinte, la paroi interne de la bride de raccordement étant elle aussi réfléchissante dans tout le spectre d'émission des lampes.

Selon un autre mode de réalisation avantageux de l'appareil conforme à l'invention, ladite source est consti¬ tuée par plusieurs rangées (ou nappes) parallèles de lampes "tungstène-halogène", deux lampes consécutives de chaque rangée étant séparées d'un pas (ou distance) approprié et les rangées étant décalées d'un demi-pas et étant disposées à une distance appropriée l'une par rapport à l'autre, la source lumineuse ainsi constituée étant logée dans un capotage en tôle, auquel est fixée ladite enceinte par tous moyens appropriés et qui est refroidi par des ventilateurs, et coopérant avec un réflecteur doré, logé dans ledit capotage, qui est destiné à améliorer son rendement lumineux et est disposé au-dessus et autour de cette source de manière que son axe coïncide avec l'axe optique de cette dernière, ce réflecteur étant refroidi par circulation d'un fluide approprié, notamment d'eau.

Selon un autre mode de réalisation avantageux de l'appareil conforme à l'invention, celui-ci comporte des moyens de réglage de la puissance de chaque module, notamment constitués par des dispositifs de commu¬ tation et/ou des dispositifs de variation de la tension d'alimentation des lampes, lesquels moyens de réglage sont commandés par une sonde pyrométrique activée par le rayon- nement provenant de la face inférieure de la pièce à traiter, et

ce sous le contrôle d'un ordinateur programmé pour compenser toute variation indésirée de la puissance installée ainsi que pour adapter le traitement thermique à un cycle bien déter¬ miné. Selon une disposition avantageuse de ce mode de réalisation, le rayonnement activant la sonde pyrométrique se propage à travers :

- un premier conduit axial ménagé dans le fond de l'en¬ ceinte et s'ouvrant supérieurement dans la chambre de traitement,

- un hublot de visée de la face inférieure de la pièce à traiter disposé à la suite et à la partie inférieure de ce conduit axial, dont 1'axe est aligné avec celui du,hublot de visée,

- un prisme logé dans une pièce rapportée, logée à son tour dans le fond de l'enceinte, le rayonnement étant dirigé du hublot de visée vers ce prisme par un deuxième conduit axial ménagé dans ladite pièce rapportée,

- une fibre optique disposée à 90° par rapport à l'axe de la chambre de traitement thermique, le rayonnement étant dirigé du prisme vers la fibre optique par l'intermédiaire d'un conduit transversal perpendiculaire audit deuxième conduit axial et ménagé,comme ce dernier, dans ladite pièce rapportée.

Selon un mode de réalisation avantageux de l'appa- reil conforme à l'invention, celui-ci comporte des moyens de conditionnement thermique destinés à limiter la montée en température du hublot et constitués par un circuit traversé par un fluide thermostaté approprié, notamment constitué par de l'huile issue d'un bain thermostaté, et comportant des chemises de conditionnement ménagées dans l'enceinte, à la périphérie du hublot et autour des vis de serrage de ladite bride de fixation.

Selon un autre mode de réalisation avantageux de l'appareil conforme à l'invention, le fond de l'enceinte comporte des moyens de conditionnement thermique du type

utilisé pour l'enceinte, à savoir constitués par un circuit traversé par un fluide thermostaté approprié, tel que de l'huile issue d'un bain thermostaté, et comportant une chemise de conditionnement ménagée dans le fond de l'en- ceinte.

Outre les dispostions qui précèdent, l'invention comprend encore d'autres dispositions, qui ressortiront de la description qui va suivre.

L'invention sera mieux comprise à l'aide du complé- ment de description qui va suivre qui se réfère aux dessins annexés dans lesquels :

. la figure 1 est une vue schématique en section et avec arrachements partiels montrant un mode non limitatif de réalisation de l'appareil conforme à l'invention ; . la figure 2 est une vue également en section du réflecteur de compensation thermique selon l'invention, qui a été représenté à une échelle plus grande que celle utilisée dans la figure 1 ; . la figure 3 est une vue en section d'une variante de réa- lisation de l'appareil selon l'invention.

Il doit être bien entendu, toutefois, que ces dessins et les parties descriptives correspondantes, sont donnés uniquement à titre d'illustration de l'objet de l'invention, dont ils ne constituent en aucune manière une limitation.

L'appareil illustré à la figure 1 est destiné à permettre la réalisation de traitements thermiques -d?.une pièce mince 1, telle qu'une plaquette de silicium par exemple, qui est contenue dans une enceinte (ou four propre- ment dit) 2 qui est constituée d'une enveloppe cylindrique (barillet) en acier inoxydable comportant un moyen d'accès au four qui est constitué par une plaque 3 en acier inoxy¬ dable massif fermant la base de l'enceinte et serrée par 16 vis (dont une vis 11 seulement a été représentée pour des raisons de simplification) .

La face supérieure de la plaque 3, à savoir la face qui est orientée vers l'intérieur du four 2, est polie et ensuite traitée avec un dépôt or et avec une couche de pro¬ tection, ce traitement permettant d'obtenir une très bonne réflectivité à partir de 0,7 ym jusqu'à l'infrarouge lointain, à savoir pratiquement dans tout le spectre d'émis¬ sion des lampes utilisées.

L'étanchéité par rapport à la base de l'enceinte 2 est obtenue à l'aide d'un joint 8 en graphite expansé (par exemple en "CEFILAC" , qui est une marque de fabrique) .

Conformément à l'invention, dans le barillet 2 est ménagée une chambre 4 délimitée par la paroi latérale et le fond 3 de l'enceinte en coopération avec un hublot cylin¬ drique 5 de silice entièrement poli, dont le diamètre (dans l'exemple de figure) est 160 mm et l'épaisseur 55 mm.

Le hublot prend appui sur un siège annulaire 6 ménagé dans la paroi latérale du four et est maintenu en position par l'intermédiaire d'une bride de serrage 7 : toujours limitativement à l'exemple illustré, l'effort de serrage est obtenu par 16 vis (dont une vis 12 seulement a été représentée, et ce également pour des raisons de simpli¬ fication) .

L'étanchéité du hublot 5 par rapport au siège 6 de l'enceinte 2 et à la bride de fixation 7 est obtenue, respectivement, à l'aide de deux autres joints 9 et 10 en graphite expansé identique au joint 8 utilisé entre la plaque 3 et le barillet 2.

En ce qui concerne les vis de serrage 11 et 12, celles-ci sont réalisées en "invar" , à savoir dans un alliage acier/nickel dont le coefficient de dilatation est pratiquement négligeable, et ce pour des raisons de stabi¬ lité du serrage lors des variations de température.

Des douilles 13 en cuivre sous les têtes de chaque vis de serrage assurent l'étanchéité et l'adaptation des dilatations.

Un joint "viton" 14 entre la bride de serrage 7 et le barillet 2 complète l'étanchéité.

La pièce à traiter 1 est positionnée et centrée à l'aide des plots 15a, 15b ... à calotte sphérique (de pré- férence trois plots de ce type sont utilisés) , dont la hauteur est de 6 mm dans l'exemple en question.

La chambre de traitement 4 créée dans le barillet 2 permet d'établir autour de la pièce à traiter 1 une am¬ biance appropriée, par exemple par mise sous pression ou par création de vide ou encore par création d'une atmos¬ phère particulière à l'aide d'un gaz approprié ou autre, tout en permettant 1'éclairement et donc 1*échauffement de la pièce 1.

Le conditionenment thermique du hublot 5, néces- saire pour limiter sa montée en température, est assuré en particulier par un circuit de conditionnement 29 à circula¬ tion d'huile issue d'un bain thermostaté, des chemises de conditionnement étant ménagées à cet effet dans l'enceinte 2, à la périphérie du hublot 5 et autourdes vis de serrage 12. II y a lieu de remarquer que la sortie d'huile 30 est placée en partie haute, alors que l'entrée 31 est placée en partie basse.

La source thermique utilisée dans l'appareil de figure 1 est une source lumineuse 16 comportant des lampes linéaires, à savoir étendues et non ponctuelles, telles que des lampes "tungstène-halogène" 17 ; dans l'exemple non limitatif de la figure 1, on a utilisé 15 lampes de ce type, dont le corps lumineux, à savoir le filament de tungstène, présente une longueur de l'ordre de 160 mm et la puissance lumineuse unitaire est de 1500 watts chacune, lesquelles lampes sont disposées en deux rangées (ou nappes) I et II parallèles, qui sont décalées d'un demi-pas et distantes de 23,5 mm l'une par rapport à l'autre, le pas entre les lampes étant de 16 mm. L'ensemble des lampes 17 est placé dans un capo-

tage en tôle 18 (auquel est fixée l'enceinte 2, cf. la réfé¬ rence numérique 32 dans la figure 1) , qui est refroidi par deux ventilateurs (dont un seul ventilateur 19 est visible dans la figure 1) : le circuit de refroidissement des lampes est conçu de façon à ce que les ventilateurs ne soient pas soumis au rayonnement direct et que l'air frais arrive d'abord au niveau des culots des lampes et ensuite suive les tubes des lampes.

La sortie (non représentée) de l'air se fait laté- ralement au niveau des lampes protégeant le dessus du barillet 2 et la bride de serrage 7 du flux lumineux. Dans l'exemple représenté, on a réalisé un débit d'air total de l'ordre de 130 litres/seconde. Une ouverture 20 est ménagée dans le capotage 18 en face du hublot 5 et de la pièce à traiter 1, de manière à faire coïncider leurs axes de symé¬ trie avec l'axe optique de la source 16 (cet axe commun est dénoté par la référence 21 dans la figure 1) . Or, la présence de la chambre de traitement 4 entre la pièce 1 et la source thermique lumineuse 16, c'est-à-dire l'éloigne- ment de cette source lumineuse de la pièce à traiter, crée des écarts de température importants indésirés entre le centre et la périphérie de la pièce, dont la périphérie est plus froide, donc avec chute de température à la périphérie de la pièce à traiter (comme il a pu être établi par des mesures effectuées sans le moyen de compensation thermique selon l'invention, qui va être décrit ci-après).

Pour compenser les pertes thermiques de la pla¬ quette de silicium par ses faces et sa paroi latérale, à savoir les pertes surfaciques ou axiales et les pertes d'extrémité (de bord) ou radiales, et maintenir ainsi sensi¬ blement uniforme la température de la pièce concernée, on utilise - conformément à l'invention - un moyen de compensa¬ tion thermique dont la fonction est de corriger la courbe de température de la plaquette de silicium, de manière à obtenir une distribution sensiblement uniforme de la tempe-

rature sur sa surface et au niveau de ses bords, et qui est constitué par un réflecteur annulaire placé dans le volume de confinement entourant la plaquette de silicium.

Dans les figures 1 et 2, ce réflecteur ou correc- teur thermique,22,est constitué par un clinquant 23 qui est doré sur sa face interne 24, dont la configuration annulaire est obtenue par roulage et maintenue par serrage à l'aide d'une bague inoxydable 25 d'épaisseur appropriée.

C'est grâce * - aux réflexions spéculaires sur la paroi interne 24 du correcteur thermique 22, au fond duquel est placée la pièce à traiter 1, qu'on peut obtenir une bonne uniformité des températures (à savoir, une bonne uniformité du "facteur de vue") entre la source lumineuse étendue et chaque élément de surface de la pièce à traiter, utilisant à cet effet le flux thermique intercepté par sa paroi réfléchissante interne et qui serait autrement perdu. Cela équivaut à dire que le diamètre interne et la hauteur du réflecteur annulaire sont choisis de telle sorte qu'il n'y ait pas occultation partielle de source quel que soit l'élément de surface de la pièce à traiter.

D'une façon générale, plus on s'éloigne de la plaquette à traiter, plus augmente la hauteur h du réflec¬ teur de compensation thermique 22, le diamètre interne d de celui-ci restant très voisin du diamètre di de la plaquette. Dans l'exemple objet de la présente description, on suppose les conditions géométriques suivantes : . le réflecteur 22 a une hauteur réfléchissante h de 19,5 mm; . la surface supérieure de la plaquette de silicium 1 est à une distance h = 6,5 mm du fond 3, à savoir à une distance h2 = 13 mm du haut du réflecteur ; . le diamètre intérieur du réflecteur est de 101,5 mm ; . le diamètre de la plaquette de silicium est de 100 mm, en sorte qu'il existe un jeu e de 0,75 mm entre le réflec¬ teur et la plaquette.

Or, de façon plus précise, l'obtention d'une dis¬ tribution de températures sensiblement uniformes ("profil" de température uniforme) à la surface de la plaquette de silicium, est liée à la valeur des paramètres h2 et e_ susdits, pour des valeurs préfixées du diamètre d^ de la plaquette, et de la distance H entre la plaquette et la source lumineuse étendue 16, ainsi qu'aux propriétés ther¬ miques (conductibilité thermique notamment) de la pièce à traiter. En effet, il est possible d'établir des équations mathématiques régissant les échanges thermiques entre la plaquette de silicium et le réflecteur et de vérifier que les paramètres de réglage de base pour l'homogénéité de la température de la pièce à traiter sont constitués par lesdits paramètres Ï12 et e_, à savoir - pour une distance h_ donnée (hauteur des plots de support) et pour une plaquette (d^) donnée - par les paramètres h (=h_ + h.2) et d (=d_ + e_ ) du réflecteur conforme à l'invention.

C'est donc en jouant sur ces paramètres qu'on peut s'adapter aux différentes dimensions (d]_) des pièces à trai¬ ter et aux différentes configurations, à savoir aux diffé¬ rents emplacements (H) de la source lumineuse par rapport à ces pièces.

Avec les valeurs indiquées plus haut pour les paramètres I12, e_ et d^, et en admettant que la source lumi¬ neuse soit à une distance H = 75 mm de la plaquette de silicium (wafer) , on a pu obtenir une uniformité de tempéra¬ ture définie par des différences de température de l'ordre de quelques degrés entre deux points quelconques à la surface de la plaquette, et ce pour un niveau de température aussi élevé que 1000°C et même plus, ce qui représente un résultat très satisfaisant et, de toutes façons, plus que suffisant pour que la plaquette ainsi traitée thermiquement présente les qualités requises.

Or, en considération des niveaux de température très élevés, qu'il est souhaitable d'atteindre dans certains types de traitements thermiques, il est bien évident qu'il est nécessaire d'obtenir un bon rendement lumineux. Dans ce but, on dispose d'un réflecteur doré 26 au-dessus des deux rangées de lampes 17, I et II, qui renvoie la lumière vers le hublot 5 (le réflecteur doré 26 est logé dans le capotage 18 et est fixé à sa paroi supérieure ; de plus, ce réflecteur est refroidi par circulation d'eau, dans la figure 1 étant visibles l'arrivée et la sortie d'eau 27 et 28, respectivement, qui accèdent dans le capotage 18 vers le réflecteur 26 par une ouverture 33 ménagée dans la partie haute du capotage) .

Il va de soi qu'il serait préférable de disposer un tel réflecteur -doré non seulement au-dessus des lampes, mais aussi autour de celles-ci, bien que cette disposition n'ait pas été représentée pour des raisons de simplification des dessins.

A la figure 3 on a représenté une variante de réalisation de l'appareil représenté à la figure 1.

Les différences principales concernent essentiel¬ lement la constitution du réflecteur de compensation ther¬ mique (ou correcteur thermique) , le fond de fermeture de l'enceinte et la source thermique lumineuse, tandis que les remarques faites en rapport avec la description de la figure 1 relativement à l'enceinte et au hublot, y compris les rapports fonctionnels mutuels entre ces derniers, restent valables.

En ce qui concerne le correcteur thermique repré- sente à la figure 3 et dénoté par la référence numérique

22a_, celui-ci est de constitution massive et est fixé à la paroi interne de l'enceinte 2 par tous moyens appropriés, et notamment par une série de vis (dont une seule vis 34 est visible à la figure 3, pour des raisons de simplifications), capables d'assurer et maintenir un contact intime entre la

paroi interne de l'enceinte et la face externe de la pièce massive toroïdale 22a_ constituant le correcteur thermique précité, qui peut ainsi bénéficier du conditionnement ther¬ mique à circulation d'huile de l'enceinte 2. La variante de réalisation massive du correcteur thermique que l'on vient de décrire est particulièrement avantageuse lorsque les températures de fonctionnement sont particulièrement élevées pour éviter la sublimation du revêtement réfléchissant de la face interne du correcteur thermique ou du moins sa détérioration.

Il va de soi que le contour (ou profil) de la face interne réfléchissante du correcteur thermique est calculée, en général, pour s'adapter au contour (ou profil) de la pièce à traiter et que donc la génératrice de cette face interne est a priori quelconque, bien qu'en pratique les cas plus courants soient représentés par les configurations à symétrie cylindrique ou parallélépipédique.

L'introduction dans la chambre de traitement 4 d'au moins un gaz destiné à créer à l'intérieur de celle-ci une atmosphère contrôlée, permettant d'obtenir des condi¬ tions particulières de traitement thermique de la pièce 1, est rendue possible à l'aide d'une gorge toroïdale 35 qui est ménagée à la périphérie du correcteur thermique massif 22a. et qui communique avec la chambre de traitement 4 par l'intermédiaire d'une pluralité d'orifices distributeurs radiaux 36.

Les considérations développées en rapport avec la figure 2 et concernant la hauteur et le diamètre interne du correcteur thermique mince 2 restent valables également dans le cas du correcteur thermique massif 2a..

La figure 3 montre également une variante de réalisation des moyens d'accès à la chambre de traitement thermique 4, à savoir du fond 3a_ de l'enceinte 2, qui a le double avantage de permettre une augmentation des cadences de fonctionnement, grâce à la coopération avec des

moyens d'ouverture et de fermeture rapides, ainsi que le réglage précis de la puissance thermique, grâce à l'uti¬ lisation d'une sonde pyrométrique, ces deux conditions étant décrites en détail ci-après. D'abord, on peut remarquer à la figure 3 que l'appareil selon l'invention coopère avec une presse dont le sommier de presse 37 (ou plateau fixe) est fixé rigidement à l'enceinte 2 par l'intermédiaire de colonnettes verticales, parmi lesquelles seulement la colonnette 39 est visible sur le dessin, tandis que le plateau de presse 38 (ou plateau mobile) supporte le fond 3a_ de l'enceinte 2.

La solidarisation entre le plateau de presse 38 et le fond 3a_ autorise l'exécution rapide des opérations de fermeture et ouverture de ce fond, ce qui est avanta- geux, par rapport aux moyens de fixation détachable d crits en relation avec la figure 1, lorsque les cadences de fonc¬ tionnement sont relativement importantes.

Dans ce cas l'étanchéité à l'interface enceinte/ fond est assurée par la coopération des moyens suivants : - une nervure annulaire 40, faisant saillie notamment de la face inférieure de l'enceinte 2, à laquelle se transmet l'effort de pressage par l'intermédiaire des colonnettes 39 précitées et du corps de l'enceinte 2,

- une cavité toroïdale 41 disposée à l'extérieur de la nervure 40 et destinée à la récupération des fuites de gaz éventuelles, par l'intermédiaire d'un circuit en dépression (non représenté) avec lequel est en communi¬ cation la cavité 41 (cette cavité est obtenue en ménageant deux gorges toroïdales, opposées l'une à l'autre, dans les faces appliquées l'une contre l'autre de l'enceinte 2 et du fond 3a.) ,

- un joint 42, en graphite expansé / disposé à l'extérieur de la cavité toroïdale 41 et logé notamment dans une gorge périphérique ménagée dans le fond 3a_. Avant de décrire les moyens de réglage de la

puissance utilisée dans le traitement thermique, il convient de décrire la variante de réalisation de la source thermique lumineuse utilisée dans l'appareil de la figure 3.

Cette source est réalisée sous la forme d'une boîte à lumière 16a_ ayant une structure modulaire qui permet d'adapter la puissance installée à la puissance requise par le traitement de la pièce mince 1.

La boîte à lumière 16a_ comporte une pluralité de modules creux superposables 43, chaque module ayant une sec- tion polygonale et étant délimité par des parois latérales métalliques verticales 44.

A proximité et parallèlement à chaque paroi sont disposées,à l'intérieur du module,des rangées horizontales de lampes parallèles "tungstène-halogène" 17 qui traversent les deux parois adjacentes du module de manière que les culots 45 des lampes se trouvent à l'extérieur du module, ce qui permet de les refroidir efficacement par ventilation forcée.

On peut remarquer également que deux lampes consécutives de chaque rangée de lampes 17 sont séparées d'un pas (ou distance) suffisant pour permettre le passage entre elles d'une lampe appartenant à chacune des deux rangées de lampes adjacentes.

Bien entendu, la largeur de chaque paroi du module est définie par la dimension utile (ou active) de chaque lampe, à savoir par la longueur de son filament de tungs¬ tène.

Le module qu'on vient de décrire, lorsqu'il est utilisé seul (ou le module supérieur d'une pile de modules du même type superposés l'un à l'autre) coopère avec un élément métallique de fermeture 46 constituant le couvercle ou plafond de la boîte à lumière 16a. ainsi réalisée.

Le cas échéant, également le plafond 46 peut coopérer avec une rangée de lampes "tungstène-halogène", si la valeur de puissance à installer l'exige.

Dans chaque cas,les faces internes des parois latérales 44 et du plafond 46 de chaque module 43 sont dorées, à savoir qu'elles sont rendues réfléchissantes dans tout le spectre d'émission des lampes, comme déjà précisé plus haut, et chaque module est refroidi par circulation d'eau (non représentée) .

Etant donné que la symétrie de l'enceinte est circulaire, alors que la boîte à lumière est à section polygonale (de préférence ayant un nombre pair de côtés) , une bride de raccordement 47 - elle aussi réfléchissante sur toute sa surface interne - est prévue pour permettre le passage de la section polygonale du module inférieur de la boîte à lumière 16a_ à la section circulaire de l'enceinte 2. La boîte à lumière 16a. est solidarisée du sommier de presse 37 par l'intermédiaire d'une structure portante 48 qui est bâtie autour des colonnettes 39 préci¬ tées.

Revenant aux moyens de réglage de la puissance installée,et notamment de la puissance de chaque module 43 de la boîte à lumière 16a, il y a lieu de préciser qu'ils sont constitués par des dispositifs (connus en soi et non représentés) de commutation des lampes de chaque module ou de variation de la tension d'alimentation des lampes, les¬ quels dispositifs de réglage sont commandés par une sonde pyrométrique (connue des techniciens en la matière et non représentée dans le dessin de la figure 3) qui est activée par le rayonnement provenant de la face inférieure de la plaquette 1.

Ce rayonnement arrive jusqu'à la sonde, située à l'extérieur de l'appareil, en suivant le parcours défini par :

- un conduit axial 49 ménagé dans le fond 3a. de l'enceinte 2 et communiquant avec la chambre de traitement 4,

- un hublot 50 de visée de la face inférieure de la pla¬ quette 1, disposé à la partie inférieure et à la suite du conduit 49 en alignement axial avec ce dernier.

- un prisme 51 logé dans une pièce rapportée 52, logée à son tourdans le fond 3a de l'enceinte 2, le rayonnement étant dirigé du hublot 50 vers ce prisme par un deuxième conduit axial 53 ménagé dans la pièce rapportée 52, - une fibre optique 54 disposée à 90° par rapport à l'axe de la chambre de traitement thermique 4, le rayonnement étant dirigé du prisme 51 vers la fibre optique 54 par l'intermédiaire d'un conduit transversal 55 perpendicu¬ laire au conduit 53 et ménagé, comme ce dernier, dans la pièce rapportée 52.

En ce qui concerne les plots de support et de centrage de la pièce à traiter 1, il y a lieu de remarquer qu'à la figure 3 on a présenté une variante 15* (un seul plot y a été représenté pour des raisons de simplification) qui comporte en plus, par rapport aux plots 15a_, 15b, ... de la figure 1, une butée latérale de centrage 56 faisant saillie vers le haut à partir de la paroi latérale externe de chaque plot.

En outre, on peut aussi remarquer que les plots 15* sont encastrés dans le fond 3a.,ce qui permet la descente et la montée automatiques de la pièce 1 ,qui suit ainsi les mouvements du plateau de presse 38.

Bien qu'il soit superflu de le souligner, il va de soi qu'il est avantageux de pourvoir également au condi- tionnement thermique du fond 3a_ de l'enceinte 2 de la figure 3 effectué de manière analogue à l'enceinte 2 elle-même (dans les figures 1 et 3) .

A cet effet, un fluide thermostaté, constitué par exemple par de l'huile issue d'un bain thermostaté, circule autour d'une chemise de conditionnement 57 ménagée dans le fond 3a. et reliée à un circuit de conditionnement.

Ainsi que cela ressort de ce qui précède, l'inven¬ tion ne se limite nullement à ceux de ses modes de réalisa¬ tion et d'application qui viennent d'être décrits de façon plus explicite ; elle en embrasse, au contraire, toutes les

variantes qui peuvent venir à l'esprit du technicien en la matière, sans s'écarter du cadre, ni de la portée, de la présente invention : par exemple, bien que le traitement visant à obtenir des surfaces réfléchissantes ait été indiqué comme comportant des opérations de polissage et de dépôt or, il va de soi que ce traitement n'est pas limitatif et que, en général, on vise tout traitement de surface capable de rendre les surfaces concernées réfléchissantes dans tout le spectre d'émission des lampes utilisées. En outre, bien qu'on ait décrit une source ther¬ mique lumineuse disposée d'un seul côté de la pièce (wafer) à traiter, rien ne s'oppose à l'utilisation de deux sources du même type disposées de part et d'autre de cette pièce : ceci est particulièrement aisé avec le mode de réalisation illustré à la figure 3 où, grâce à la conception modulaire de la source 16a_, il suffit de modifier l'enceinte 2 de manière que celle-ci puisse loger deux hublots 5 disposés de part et d'autre de la pièce 1 (en adoptant les mêmes dispositions illustrées pour le hublot unique qui y est représenté) et de solidariser à la partie inférieure de l'enceinte ainsi modifiée une autre boîte à lumière 16a_ (dont le couvercle devrait être nécessairement perforé pour permettre la visée de la face inférieure de la pièce 1 et donc d'effectuer la mesure de température à l'aide d'une sonde pyrométrique) .

Egalement immédiates, et de toutes façons à la portée des techniciens en la matière, sont les modifications des moyens 3a. pour les adapter à l'enceinte 2 modifiée dans le sens susdit. Les avantages liés à la possibilité de doubler la source thermique lumineuse, selon les termes précités, consistent en ce que, par ce moyen, il est non seulement possible d'effectuer simultanément le traitement des deux faces de la pièce 1, mais aussi d'augmenter la puissance thermique installée et la vitesse de montée en température de cette pièce..