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Patent Searching and Data


Title:
ASSEMBLY HAVING A FIRST CHAMBER AND AT LEAST ONE SECOND CHAMBER
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2018/228754
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to an assembly, comprising a first chamber (1) and at least one second chamber (2) and at least one pivoting drive (3) for pivoting a pivoting object (4) of the assembly, wherein the pivoting object (4) is arranged in the first chamber (1) and at least one intermediate wall (5) is arranged between the first chamber (1) and the second chamber (2), wherein a transmission body (6), which is annular at least in some sections, can be rotated about an axis of rotation (7) by the pivoting drive (3) and is fed through at least one feed-through opening (8), preferably two feed-through openings (8), in the intermediate wall (5).

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Inventors:
EHRNE FLORIAN (CH)
Application Number:
PCT/EP2018/062130
Publication Date:
December 20, 2018
Filing Date:
May 09, 2018
Export Citation:
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Assignee:
VAT HOLDING AG (CH)
International Classes:
F16K31/53; F16K3/06; F16K3/10; F16K31/54
Foreign References:
US1969375A1934-08-07
DE506089C1930-09-02
GB345369A1931-03-26
FR528953A1921-11-22
US4499919A1985-02-19
Attorney, Agent or Firm:
FECHNER, Thomas et al. (AT)
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Claims:
Patentansprüche

1 . Anordnung mit einer ersten Kammer (1 ) und zumindest einer zweiten Kammer (2) und zumindest einem Schwenkantrieb (3) zum Verschwenken eines

Schwenkobjektes (4) der Anordnung, wobei das Schwenkobjekt (4) in der ersten Kammer (1 ) angeordnet ist und zumindest eine Zwischenwand (5) zwischen der ersten Kammer (1 ) und der zweiten Kammer (2) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein zumindest abschnittsweise ringförmiger Übertragungskörper (6) vom Schwenkantrieb (3) um eine Rotationsachse (7) drehbar ist und durch zumindest eine Durchführöffnung (8), vorzugsweise zwei Durchführöffnungen (8), in der Zwischenwand (5) hindurchgeführt ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der

Übertragungskörper (6) sowohl in der ersten Kammer (1) als auch in der zweiten Kammer (2) angeordnet ist und/oder dass der Schwenkantrieb (3) zumindest bereichsweise in der zweiten Kammer (2) angeordnet ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der

Übertragungskörper (6) zum Drehen um die Rotationsachse (7) in der zweiten Kammer (2) mit dem Schwenkantrieb (3) in Eingriff steht und/oder dass der Übertragungskörper (6) ausschließlich in der zweiten Kammer (2) gelagert ist und/oder das Schwenkobjekt (4) in der ersten Kammer (1 ) am

Übertragungskörper (6) befestigt ist.

4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwenkobjekt (4) ein Verschlussorgan, vorzugsweise Ventilteller, zum Verschließen einer Ventilöffnung (9) der Anordnung, vorzugsweise der ersten Kammer (1 ), ist.

5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwenkobjekt (4) ein Handlinggerät zum Bearbeiten und/oder

Handhaben und/oder Bewegen eines Gegenstandes in der ersten Kammer (1 ) ist.

6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Übertragungskörper (6) zumindest im Bereich der Durchführöffnung(en) (8) gegen die Zwischenwand (5) abgedichtet ist.

7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der

Übertragungskörper (6) mittels zumindest eines Dichtrings (10) gegen die Zwischenwand (5) abgedichtet ist.

8. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der

Übertragungskörper (6) zumindest bereichsweise, vorzugsweise in der ersten Kammer (1 ), von zumindest einem Balg (1 1 ) umgeben ist und mittels des Balgs

(1 1 ) gegen die Zwischenwand (5) abgedichtet ist.

9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Balg (1 1 ) mittels einer Drehbewegung des Übertragungskörpers (6) um die

Rotationsachse (7) je nach Drehrichtung ringabschnittsförmig dehnbar oder stauchbar ist.

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Übertragungskörper (6) zusätzlich zur Drehbewegung um die

Rotationsachse (7), vorzugsweise mittels zumindest eines zusätzlichen Antriebs

(12) , in zumindest einer zusätzlichen Bewegungsrichtung (1 3), vorzugsweise parallel zur Rotationsachse (7), bewegbar ist.

Description:
Anordnung mit einer ersten Kammer und zumindest einer zweiten Kammer

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer ersten Kammer und zumindest einer zweiten Kammer und zumindest einem Schwenkantrieb zum

Verschwenken eines Schwenkobjektes der Anordnung, wobei das Schwenkobjekt in der ersten Kammer angeordnet ist und zumindest eine Zwischenwand zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer angeordnet ist.

Gattungsgemäße Anordnungen kommen z.B. dann zum Einsatz, wenn ein

Schwenkobjekt in einer ersten Kammer geschwenkt werden soll, der Schwenkantrieb zum Schwenken des Schwenkobjektes aber in der zweiten Kammer anzuordnen ist. Diese Trennung kann z.B. dann notwendig sein, wenn es sich bei der ersten Kammer um eine Prozesskammer handelt, in der ein Prozess unter bestimmten Druck- und/oder Temperaturverhältnissen durchgeführt werden muss und/oder wenn in der ersten Kammer spezielle Gas- oder Fluidzusammensetzungen eingestellt werden müssen, um den in der ersten Kammer ablaufenden Prozess zu ermöglichen. Ein Beispiel für gattungsgemäße Anordnungen sind sogenannte Vakuumventile, bei denen häufig der Antrieb nicht in der ersten Kammer bzw. Prozesskammer angeordnet werden soll, z.B. um Partikelentwicklungen im Antrieb nicht als

Störfaktor in der ersten Kammer zu haben. Eine gattungsgemäße Anordnung ist z.B. aus der US 5,243,807 bekannt. In dieser Schrift wird eine Welle in entsprechend abgedichteter Form durch die

Zwischenwand hindurchgeführt, um dort über einen Exzenter eine

Schwenkbewegung zu ermöglichen. Aufgabe der Erfindung ist es, für gattungsgemäße Anordnungen eine neue Art der Übertragung der Bewegung des Schwenkantriebs auf das Schwenkobjekt

vorzuschlagen. Hierzu sieht die vorliegende Erfindung vor, dass ein zumindest abschnittsweise ringförmiger Übertragungskörper vom Schwenkantrieb um eine Rotationsachse drehbar ist und durch zumindest eine Durchführöffnung, vorzugsweise zwei

Durchführöffnungen, in der Zwischenwand hindurchgeführt ist.

In anderen Worten schlägt die Erfindung einen zumindest abschnittsweise ringförmigen Übertragungskörper vor, der vom Schwenkantrieb um eine

Rotationsachse gedreht werden kann und durch zumindest eine, vorzugsweise zwei, Durchführöffnung(en) in der, die beiden Kammern voneinander trennenden,

Zwischenwand hindurchgeführt ist. Die Zwischenwand könnte zur Betonung ihrer Trennfunktion auch als Trennwand bezeichnet werden.

Der zumindest abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper könnte auch als Übertragungsring bezeichnet werden, wobei es sich bei diesem Übertragungsring auch um einen Ringabschnitt handeln kann, also nicht unbedingt um einen vollständig geschlossenen Ring handeln muss.

Ein wesentliches Merkmal ist es dabei, dass der ringförmige Übertragungskörper eine innere Öffnung bzw. einen inneren Hohlraum umgibt, wie sich dies aus der allgemeinen Definition eines Ringes bereits ableitet. In der genannten inneren Öffnung ist günstigerweise ein Teilbereich der Zwischenwand angeordnet. Der Übertragungskörper wird günstigerweise mit seinem ringförmigen Abschnitt durch die Durchführöffnung bzw. die zwei Durchführöffnungen hindurchgeführt. Handelt es sich um zwei Durchführöffnungen, so sind diese günstigerweise distanziert voneinander in der Zwischenwand angeordnet. Die jeweilige Durchführöffnung spannt günstigerweise eine Ebene auf, in der auch die Rotationsachse liegt. Handelt es sich um zwei Durchführöffnungen, so gilt dies günstigerweise für beide

Durchführöffnungen, wobei es sich nicht unbedingt um dieselbe Ebene handeln muss.

Bei der ersten Kammer kann es sich um eine Prozesskammer handeln, in der die gewünschten Druck- und/oder Temperaturverhältnisse und/oder die gewünschte Zusammensetzung der in der Prozesskammer vorhandenen Gase oder Fluide eingestellt werden kann. Der Schwenkantrieb ist günstigerweise in der zweiten Kammer angeordnet. In diesen Fällen könnte die zweite Kammer auch als Antriebskammer bezeichnet werden. Dies schließt natürlich nicht aus, dass der Schwenkantrieb auch ein eigenes Gehäuse aufweist, welches dann eben in der Antriebskammer angeordnet sein kann. Der Schwenkantrieb und sein gegebenenfalls vorhandenes Gehäuse können natürlich vollständig oder auch nur zum Teil in der zweiten Kammer angeordnet sein.

Beim zumindest abschnittsweise ringförmigen Übertragungskörper ist die Höhe des Rings, gemessen parallel zur Rotationsachse, günstigerweise wesentlich kleiner als der Ringaußendurchmesser. Bevorzugt beträgt die Höhe dieses Rings, gemessen parallel zur Rotationsachse, maximal die Hälfte, vorzugsweise maximal ein Drittel oder maximal ein Viertel, des Ringaußendurchmessers.

In bevorzugten Ausgestaltungsformen ist vorgesehen, dass der Übertragungskörper sowohl in der ersten Kammer als auch in der zweiten Kammer angeordnet ist. Dies kann immer der Fall sein. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass dies nur für gewisse Betriebszustände gilt. Günstigerweise ist der Übertragungskörper aber ausschließlich in der zweiten Kammer gelagert. Dies bedeutet, dass die gesamte Abstützung und der gesamte Antrieb des Übertragungskörpers günstigerweise in der zweiten Kammer realisiert ist bzw. stattfindet. Weiters ist bevorzugt vorgesehen, dass der Übertragungskörper zum Drehen um die Rotationsachse in der zweiten

Kammer mit dem Schwenkantrieb in Eingriff steht. Das Schwenkobjekt hingegen ist günstigerweise in der ersten Kammer am Übertragungskörper befestigt. Das

Schwenkobjekt kann in der Regel nicht durch die Durchführöffnung in der

Zwischenwand hindurchgeführt werden, durch die der abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper hindurchgeführt ist.

Beim Schwenkobjekt kann es sich z.B. um ein Verschlussorgan zum Verschließen einer Ventilöffnung der Anordnung handeln. Die Ventilöffnung ist günstigerweise in der ersten Kammer angeordnet. Bei dem Verschlussorgan kann es sich z.B. um einen Ventilteller, eine Ventilnadel oder dergleichen handeln. In solchen Fällen kann eine erfindungsgemäße Anordnung auch als Ventil bezeichnet werden. Besonders bevorzugt handelt es sich um ein Vakuumventil. Letzteres ist ein Ventil, welches in der Vakuumtechnik eingesetzt wird. Von Vakuumtechnik spricht man in der Regel dann, wenn Betriebsdrücke mit Drücken kleiner oder gleich 0,001 mbar bzw. 0, 1 Pascal erreicht werden. Vakuumventile sind Ventile die für diese Druckbereiche und/oder entsprechende Druckdifferenzen zur Umgebung ausgelegt sind. Man kann von Vakuumventilen aber auch allgemein dann sprechen, wenn sie für Drücke unter dem Normaldruck, also unter 1 bar ausgelegt sind. Erfindungsgemäße

Anordnungen können generell als für Differenzdrücke geeignete Ventile oder in anderen Worten Differenzdruckventile ausgebildet sein. Insbesondere handelt es sich dabei um Ventile, deren Verschlussorgane dazu geeignet sind, die

Ventilöffnung auch gegen Differenzdrücke von zumindest 1 bar abzudichten. Der Differenzdruck ist dabei der Druckunterschied, welcher in der Schließstellung auf den einander gegenüberliegenden Seiten des Verschlussorgans anliegt. Der Differenzdruck ergibt sich insbesondere aus den jeweils vom vorhandenen Fluid auf das Verschlussorgan ausgeübten Drücken.

Das Schwenkobjekt muss nicht unbedingt ein Verschlussorgan sein. Grundsätzlich kann das Verschwenkobjekt in allen möglichen Ausgestaltungsformen realisiert werden und verschiedensten Aufgaben dienen. Z.B. ist es möglich, dass das

Schwenkobjekt ein Handlinggerät zum Bearbeiten und/oder Handhaben und/oder Bewegen eines Gegenstandes in der ersten Kammer ist. Bei dem Handlinggerät kommen alle an sich bekannten Handlinggeräte in Frage. Es können insbesondere Roboterarme sein. Diese können z.B. teleskopierbar, schwenkbar, drehbar oder wie auch immer ausgeführt sein. Sie können Greifer, Vakuumgreifer oder sonstige Aktuatoren tragen.

Bevorzugte Varianten der Erfindung sehen vor, dass der abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper zumindest im Bereich der Durchführöffnung(en) gegen die Zwischenwand abgedichtet ist. So kann z.B. vorgesehen sein, dass der

Übertragungskörper mittels zumindest eines Dichtrings gegen die Zwischenwand abgedichtet ist. Andere Ausgestaltungsformen können vorsehen, dass der

Übertragungskörper zumindest bereichsweise, vorzugsweise in der ersten Kammer, von zumindest einem Balg umgeben ist und mittels des Balgs gegen die

Zwischenwand abgedichtet ist. Der Balg ist dann günstigerweise ebenfalls ringabschnittsförmig ausgebildet. So kann vorgesehen sein, dass der Balg mittels einer Drehbewegung des Übertragungskörpers um die Rotationsachse je nach Drehrichtung ringabschnittsförmig dehnbar oder stauchbar ist. Bei dem Balg kann es sich z.B. um einen Membranbalg handeln. Der Balg kann also aus Metall bzw. Metalllegierungen, z.B. aus Edelstahl oder einer Nickelbasislegierung hergestellt sein. Es kann sich aber auch um einen Elastomerbalg z.B. aus Polytetrafluorethylen (Teflon bzw. PTFE) handeln. Der zumindest abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper hat günstigerweise zumindest in dem Bereich, in dem die Dichtung oder der Balg an ihm anliegen, einen abgerundeten, vorzugsweise kreisrunden oder zumindest ovalen, Querschnitt.

Bevorzugte Ausgestaltungsformen sehen vor, dass der Übertragungskörper zusätzlich zur Drehbewegung um die Rotationsachse in zumindest einer zusätzlichen Bewegungsrichtung bewegbar ist. Hierfür ist günstigerweise ein zusätzlicher Antrieb vorgesehen. Die zusätzliche Bewegungsrichtung kann z.B. parallel zur

Rotationsachse verlaufen. Sowohl beim Schwenkantrieb als auch beim zusätzlichen Antrieb könnte es sich grundsätzlich auch um von Hand betriebene Antriebe handeln. Bevorzugt handelt es sich beim Schwenkantrieb und/oder beim zusätzlichen Antrieb aber um motorische Antriebe, wobei hier alle beim Stand der Technik bekannten, für den jeweiligen Einsatzzweck geeigneten Varianten denkbar sind. Es kann sich also um Motoren zur Erzeugung einer Drehbewegung aber auch um Linearmotoren handeln. Es können z.B. elektrische, pneumatische, hydraulische oder sonstige Motoren zum Einsatz kommen. Für die Ausgestaltung der genannten Antriebe gibt es also zahlreiche verschiedene Möglichkeiten.

Der Vollständigkeit halber wird darauf hingewiesen, dass hier, auch wenn nur vom Übertragungskörper gesprochen wird, immer der zumindest abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper gemeint ist.

Beispiele, wie die Erfindung ausgestaltet werden kann, werden in der

nachfolgenden Figurenbeschreibung anhand von verschiedenen

Ausführungsvarianten erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 bis 10 verschiedene Darstellungen zu einem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel;

Fig. 1 1 und 12 ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel;

Fig. 13 ein drittes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel;

Fig. 14 und 15 ein viertes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel und

Fig. 1ό und 17 ein fünftes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel.

Beim ersten Ausführungsbeispiel ist die erfindungsgemäße Anordnung in Form eines Ventils, insbesondere eines Vakuumventils ausgeführt. In den Fig. 1 und 2 sind Außenansichten auf das Gehäuse 14 der erfindungsgemäßen Anordnung zu sehen. Dargestellt ist hier auch die Ventilöffnung 9, welche mittels des hier als

Verschlussorgan ausgebildeten Schwenkobjekts 4 freigegeben oder verschlossen werden kann. Das Gehäuse 14 weist die Gehäusewände 19 auf, welche die erste und zweite Kammer 1 und 2 zusammen mit der Zwischenwand 5, wie nachfolgend dargestellt, umschließen.

Fig. 1 zeigt die Stellung, bei der die Ventilöffnung 9 vom hier als ventiltellerartiges Verschlussorgan ausgebildeten Schwenkobjekt 4 freigegeben ist. In Fig. 2 verschließt das als Ventilteller ausgebildete Schwenkobjekt 4 die Ventilöffnung 9.

Die Fig. 3 und 4 zeigen nun Einblicke in das geöffnete Gehäuse 14 der

erfindungsgemäßen Anordnung des ersten Ausführungsbeispiels. Gut zu sehen sind hier zunächst einmal die erste Kammer 1 und die zweite Kammer 2, welche mittels der Zwischenwand 5 voneinander getrennt sind. In der ersten Kammer 1 befindet sich das hier als Ventilteller ausgeführte Schwenkobjekt 4, mit dem die Ventilöffnung 9 im Gehäuse 14, wie in Fig. 3 gezeigt, freigegeben und, wie in Fig. 4 gezeigt, verschlossen werden kann. Das Schwenkobjekt 4 ist in der ersten Kammer 1 an dem bereichsweise ringförmig ausgebildeten erfindungsgemäßen Übertragungskörper 6 angeordnet bzw. befestigt. Der Schwenkantrieb 3 zum Drehen des

Übertragungskörpers 6 um die Rotationsachse 7 befindet sich in diesem

Ausführungsbeispiel in der zweiten Kammer 2. Der abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper 6 ist in diesem Ausführungsbeispiel durch zwei voneinander distanzierte Durchführöffnungen 8 in der Zwischenwand 5 hindurchgeführt, wie dies besonders gut in der Schnittdarstellung gemäß Fig. 5 zu sehen ist. Der

Übertragungskörper 6 dieses Ausführungsbeispiels ist im Bereich der

Durchführöffnungen 8 jeweils gegen die Zwischenwand 5 abgedichtet. Im ersten Ausführungsbeispiel erfolgt dies mittels der Bälge 1 1. Diese sind in der ersten Kammer 1 angeordnet und umgeben jeweils einen Abschnitt des

Übertragungskörpers 6. Die Bälge 1 1 können mittels einer Drehbewegung des Übertragungskörpers 6 um die Rotationsachse 7 je nach Drehrichtung

ringabschnittsförmig gedehnt oder gestaucht werden. Durch die gezeigte

Anordnung wird die vom Schwenkantrieb 3 in der zweiten Kammer 2 erzeugte Drehbewegung um die Rotationsachse 7 mittels des zumindest abschnittsweise ringförmigen Übertragungskörpers 6 in die erste Kammer 1 übertragen, sodass das dort am Übertragungskörper 6 befestigte Schwenkobjekt 4 in den

Schwenkrichtungen 18 zwischen der Freigabestellung gemäß Fig. 3 und der Stellung gemäß Fig. 4 hin und her geschwenkt werden kann.

Wie besonders gut in der Schnittdarstellung gemäß Fig. 5 zu sehen ist, weist der erste Schwenkantrieb 3 eine Zahnstange 17 auf, welche pneumatisch und/oder hydraulisch in den Zylinderräumen 20 verschiebbar gelagert ist. Durch

entsprechende Druckbeaufschlagung der jeweiligen Zylinderräume 20 kann die

Zahnstange 17 in ihrer Längsrichtung hin und her bewegt werden, ohne dass dies im Detail dargestellt ist. Die Bewegung der Zahnstange 17 in ihren Längsrichtungen wird über den Zahneingriff in den Zahnabschnitt 16 des Übertragungskörpers 6 auf diesen übertragen, sodass dieser je nach Bewegungsrichtung der Zahnstange 17 um die Rotationsachse 7 gedreht wird. Diese Drehbewegung des Übertragungskörpers 6 hat dann eine entsprechende Schwenkbewegung des Schwenkobjektes 4 in einer der Schwenkrichtungen 18 zur Folge.

Um das Schwenkobjekt 4 nicht nur in den Schwenkrichtungen 18 sondern auch in einer zusätzlichen Bewegungsrichtung, hier parallel zur Rotationsachse 7, bewegen zu können, ist auch in diesem ersten Ausführungsbeispiel ein zusätzlicher Antrieb 12 vorgesehen. Im ersten Ausführungsbeispiel handelt es sich hierbei um eine Kolben- Zylinder-Anordnung, bestehend aus den Kolben 23, welche jeweils in einem gehäusefesten Zylinder 24 verschiebbar gelagert sind. Die Verschiebung der Kolben 23 in den Zylindern 24 kann hydraulisch oder pneumatisch in an sich bekannter Form von statten gehen, ohne dass dies hier im Detail gezeichnet oder erläutert werden müsste. Der zumindest abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper 6 ist über das Joch 15 mit den Kolben 23 verbunden. Eine Verschiebung der Kolben 23 entlang der Rotationsachse 7 führt so auch zu einer Verschiebung des

Übertragungskörpers 6 parallel zur Rotationsachse 7 und damit auch zu einer entsprechenden Bewegung des hier als Ventilteiler ausgeführten Schwenkobjektes 4 in Richtung parallel zur Rotationsachse 7.

Die Fig. 6, 7 und 8 zeigen jeweils Schnitte entlang der Schnittlinie AA der Fig. 5. Fig.

6 zeigt dabei die Situation, in der das als Ventilteller ausgebildete Schwenkobjekt 4 bereits in Deckung mit den Ventilöffnungen 9 gebracht wurde, aber noch nicht an die Ventilsitze 22 des Gehäuses 14 angedrückt ist. Durch entsprechende

Beaufschlagung der Zylinder 24 kann zur Abdichtung und zur Erreichung der endgültigen Schließstellung dann das Schwenkobjekt 4 parallel zur Rotationsachse 7 mit seinen Dichtungen 21 z.B. an den unteren Ventilsitz 22 angedrückt werden, wie dies in Fig. 7 dargestellt ist. Fig. 8 zeigt die Situation, bei der das Schwenkobjekt 4 unter Zwischenschaltung seiner Dichtung 21 gegen den oberen Ventilsitz 22 dichtend angedrückt wird. Die entsprechende Bewegung parallel zur Rotationsachse

7 wird dabei immer vom zusätzlichen Antrieb 12 realisiert. Die Fig. 9 und 10 zeigen jeweils einen Schnitt entlang der Schnittlinie BB aus Fig. 5. Beim Vergleich der Fig. 9 und 10 ist gut zu sehen, dass der zumindest

abschnittsweise ringförmige Übertragungskörper 6 bei seiner Bewegung entlang der Rotationsachse 7 innerhalb der Durchführöffnung 8 auf und ab bewegt wird. Fig. 9 entspricht dabei der in Fig. 7 dargestellten Stellung des Schwenkobjektes 4. Fig. 10 entspricht der in Fig. 8 dargestellten Stellung des Schwenkobjektes 4. Durch die Verwendung der Balge 1 1 ist eine solche Bewegung des Übertragungskörpers 6 parallel zur Rotationsachse 7 möglich, ohne dass die Abdichtung zwischen der ersten Kammer 1 und der zweiten Kammer 2 durch den jeweiligen Balg 1 1

beeinträchtigt würde.

In den Fig. 1 1 und 12 ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Anordnung gezeigt. Es handelt sich hier um eine Abwandlungsform des ersten Ausführungsbeispiels gemäß der Fig. 1 bis 10, sodass nur auf die wesentlichen

Unterschiede eingegangen wird. Ansonsten wird auf die obigen Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen, welche entsprechend anwendbar sind.

Der wesentliche Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel ist in den Fig. 1 1 und 12, dass zur Abdichtung des Übertragungskörpers 6 gegen die Zwischenwand 5 in diesem zweiten Ausführungsbeispiel kein Balg 1 1 sondern jeweils zumindest ein Dichtring 10 verwendet wird. Dieser Dichtring 10 liegt im Bereich der jeweiligen Durchführöffnungen 8 zwischen der Zwischenwand 5 und dem Übertragungskörper 6, sodass der Übertragungskörper 6 gegen die Zwischenwand 5 abgedichtet ist. Durch entsprechende Elastizität und entsprechende Dicke des jeweiligen Dichtrings 10 sind auch die Bewegungen des Übertragungskörpers 6 in die zusätzlichen

Bewegungsrichtungen 13 parallel zur Rotationsachse 7 möglich, ohne dass die Dichtwirkung der Dichthnge 10 verloren geht. In Fig. 13 ist eine weitere Ausführungsvariante der Erfindung beispielhaft dargestellt, bei der es sich wiederum um eine Abänderung des ersten Ausführungsbeispiels handelt. Auch hier wird somit nur auf die Unterschiede zum ersten Ausführungsbeispiel eingegangen. Der wesentliche Unterschied dieses dritten Ausführungsbeispiels zum ersten Ausführungsbeispiel liegt darin, dass das

Schwenkobjekt 4 hier kein Verschlussorgan sondern ein hier nur beispielhaft und schematisch dargestelltes Handlinggerät zum Bewegen eines zu bewegenden Gegenstandes in der erste Kammer 1 ist. Dies wird in Fig. 1 3 symbolhaft durch den Greifer 25 des Schwenkobjektes 4 dargestellt. Dies hier nur stark schematisiert dargestellte, am Übertragungskörper 6 befestigte Schwenkobjekt 4 kann somit ein Roboterarm oder sonstiges Handlinggerät sein. Es kann teleskopierbar, schwenkbar, knickbar usw. ausgebildet sein. All dies ist beim Stand der Technik an sich bekannt und muss weder im Detail geschildert noch dargestellt werden.

In Fig. 14 und 5 wird wiederum ausgehend vom ersten Ausführungsbeispiel eine Variante gezeigt, bei der beispielhaft andere Antriebe als Schwenkantrieb 3 und als zusätzlicher Antrieb 12 eingesetzt werden. In diesem vierten Ausführungsbeispiel weist der Schwenkantrieb 3 ein von einem Elektromotor, Hydraulikmotor oder dergleichen angetriebenes Zahnrad 26 auf, weiches mit dem Zahnabschnitt 16 des Übertragungskörpers 6 so zusammenwirkt, dass das hier wiederum als Ventilteller ausgebildete Schwenkobjekt 4 in den Schwenkrichtungen 18 verschwenkt werden kann. Der zusätzliche Antrieb 12 zum Bewegen des Übertragungskörpers 6 in den zusätzlichen Bewegungsrichtungen 13 parallel zur Rotationsachse 7 weist eine

Zahnstange 28 auf, in die ein mittels Motor angetriebenes Zahnrad 27 eingreift. Die Zahnstange 28 ist mit dem Joch 1 5 und damit mit dem Übertragungskörper 6 verbunden, sodass eine Bewegung der Zahnstange 28 in den zusätzlichen

Bewegungsrichtungen 13 zu einer entsprechenden Bewegung des

Übertragungskörpers 6 und damit auch des Schwenkobjektes 4 parallel zur

Rotationsachse 7 führt. Fig. 1 5 zeigt den Schnitt entlang der Schnittlinie CC aus Fig. 14.

In den Fig. 16 und 17 ist ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Hier zeigt Fig. 17 den Schnitt entlang der Schnittlinie DD aus Fig. 16. In diesem fünften Ausführungsbeispiel, welches wiederum eine Abwandlungsform des ersten Ausführungsbeispiels ist, weist der Schwenkantrieb 3 ein Schneckengetriebe zum Verschwenken des Schwenkobjektes 4 in den Schwenkrichtungen 18 auf. Dieses Schneckengetriebe wird einerseits von der mittels Motor 29 angetriebenen

Schnecke 31 und andererseits von einem entsprechend ausgebildeten

Zahnabschnitt 16 des Übertragungskörpers 6 gebildet. Solche Schneckengetriebe sind an sich bekannt und müssen nicht weiter erläutert werden. Zur Realisierung der Bewegung in den zusätzlichen Bewegungsrichtungen 13 parallel zur Rotationsachse 7 weist der hier realisierte zusätzliche Antrieb 12 einen Motor 30 auf, welcher eine Spindel 32 dreht. Die Spindel 32 greift mit ihrem nicht im Detail dargestellten Außengewinde in ein entsprechend am Gehäuse 14 fixiertes Innengewinde 33 ein. Dies führt dazu, dass durch Drehen der Spindel 33 diese zusammen mit dem daran befestigten Joch 15 und damit mit dem Übertragungskörper 6 und auch mit dem Schwenkobjekt 4 in den zusätzlichen Bewegungsrichtungen 13 parallel zur

Rotationsachse 7 bewegt wird. Die hier dargestellten Varianten veranschaulichen, dass die Art des Antriebs sowohl beim Schwenkantrieb 3 als auch beim zusätzlichen Antrieb 12 sehr unterschiedlich ausgebildet sein kann.

L e g e n d e

den Hinweisziffern erste Kammer 18 Schwenkrichtung zweite Kammer 19 Gehäusewand

Schwenkantrieb 20 Zylinderraum

Schwenkobjekt 21 Dichtung

Zwischenwand 25 22 Ventilsitz

Übertragungskörper 23 Kolben

Rotationsachse 24 Zylinder

Durchführöffnung 25 Greifer

Ventil Öffnung 26 Zahnrad

Dichtring 30 27 Zahnrad

Balg 28 Gewindestange zusätzlicher Antrieb 29 Motor zusätzliche Bewegungsrichtung 30 Motor

Gehäuse 31 Schnecke

Joch 35 32 Spindel

Za nabschnitt 33 Innengewinde

Zahnstange