以下では、本発明の実施の形態について説� ��するが、本発明はこれに限定されるもので� ��ない。
 従来のバンドソー切断装置を使用してイン� ��ットの切断を行うと、ブレードのブレード� ��粒部付近に応力が掛かることによって、静� ��パッドの下面付近(ブレード砥粒部付近)の� �がブレードとの接触により摩耗し、それに� �って、ブレード台金がブレード幅方向に扇� �に振れ、さらに、静圧パッドの下面から中� �付近へ斜めに摩耗していた。そのために切� �精度が悪化してしまうことがあった。また� �静圧パッドの交換寿命が短くなってしまっ� �いた。

 そこで、本発明でのバンドソー切断装置は� ��静圧パッドのクーラント噴出し口の位置を� ��体的にブレードのブレード砥粒部側に偏倚� ��て配設することにした。すなわち、ブレー� ��のブレード砥粒部側に偏倚して配設したク� ��ラント噴出し口から噴出するクーラントに� ��り切断中のブレードの振動を抑えることが� ��きることを見出した。
 また、静圧パッドのクーラント噴出し口を� ��圧パッドの下面より5mm以上上部に設置し、� ��圧パッドのクーラント噴出し口の口径を1~3m mとし、静圧パッドのクーラント噴出し口を1� ��の静圧パッドに6箇所から48箇所形成し、静� ��パッドと前記ブレードとの間隔を10~50μmと� �、クーラントの供給圧力を0.1~0.4MPa、供給流� ��を300~2000cc/minとすることによって、切断中� �ブレードの振動を抑制する効果をより確実� �発揮することができるものとできることが� �った。

 図1は本発明のバンドソー切断装置の一例を 示す概略図である。
 図1に示すように、バンドソー切断装置1は� �薄厚でエンドレスベルト状のブレード台金6� ��その端部にダイヤモンド等の砥粒を糊着し� ��なるブレード砥粒部5で構成されるブレード 2が、プーリー3、3’間に張設されている。ま た、インゴット8を固定し、位置決めするた� �に上面が斜めに形成されたテーブル7が設け� ��れている。テーブル7は2つの部位、テーブ� �7aおよびテーブル7bで構成されており、テー� ��ル7aとテーブル7bとの間にはテーブル切断ポ イント11と呼ばれる隙間がある。

 ここで、ブレード台金6の幅は例えば60mmと� �ることができ、厚さは例えば0.3~0.7mmとする� �とができる。ブレード2の弾性変形は、前記� ��さが薄いほうが早く起こり、静圧パッドが� ��耗しやすくなるが、ブレードの張り上げ調� ��により変形しにくくすることもできる。
 また、静圧パッドの材質は、例えば、カー� ��ン材とすることができる。
 上記のような条件は特に限定されるもので� ��なく、切断するインゴットの大きさ等の切� ��条件によって、その都度決定することがで� ��る。
 ここまでは従来のバンドソー切断装置の構� ��と同様である。

 そして、本発明のバンドソー切断装置1はブ レード2を切断方向に対して平行な姿勢に保� �しブレードの振動を抑制するために静圧パ� �ド4、4’が備えられている。
 また、本発明で使用する静圧パッドは、静� ��パッドのクーラント噴出し口の位置を全体� ��にブレード2のブレード砥粒部5側(下側)に偏 倚して配設されている。
 図2に本発明で使用する静圧パッドの一例を 示す。
 図2(A)は静圧パッド4、4’のブレード走行方� ��の断面図であり、図2(B)は静圧パッド4、4’� ��内側の側面図である。

 図2(B)に示すように、静圧パッド4、4’に� ��クーラント噴出し口9が12箇所設けられてい� ��。前記クーラント噴出し口9が配設されてい る位置の高さは、静圧パッド4、4’の中心(静 圧パッドの上面から35mm下方)から3つの異なる 高さとなっており、最も下に位置しているク ーラント噴出し口9は静圧パッド4、4’の中心 から20mm下方に設けられている。さらに、静� �パッド4、4’の中心から10m下方と、最も上に 位置しているクーラント噴出し口9は静圧パ� �ド4、4’の中心に位置している。

 このように、本発明のバンドソー切断装置� ��、クーラント噴出し口9の位置を全体的にブ レード2のブレード砥粒部5側(静圧パッドの下 面)に偏倚して配設した静圧パッド4、4’を具 備しているので、ブレード2のブレード砥粒� �5付近に掛かる応力に対抗してブレード2が変 位するのを減少させることによって、切断中 のブレード2の振動を抑えることができるも� �となっている。これによって、ブレード2と� ��圧パッド4、4’との接触摩耗を抑え、静圧� �ッド4、4’の交換頻度を少なくすることがで きるものとなっている。また、ブレード台金 6の切断抵抗による変形の進捗を抑え、かつ� �急激な変形を防止し、なだらかに推移する� �とによって、突発的に発生する切断面の粗� �不良を減少させることができるものとなっ� �いる。
さらに、前記突発的に発生する切断面の粗さ 不良を減少させることによって、採取するウ ェーハのサンプルの厚さを25%薄くすることが できるものとなっている。
 前記の静圧パッドのクーラント噴出し口の� ��および位置は一例であり、これに限定され� ��わけではない。

 また、図2(A)に示すように、ブレード砥粒部 5の厚さはブレード台金6の厚さより厚いため� ��静圧パッド4、4’の下面付近には、ブレー� �砥粒部5を静圧パッド4、4’の面に接触させ� �いようにするための凹み面がある。この凹� �面の高さはブレード砥粒部5の大きさにもよ� ��が、例えば4mmとすることができる。
 したがって、静圧パッド4、4’のクーラン� �噴出し口9の位置は、前記凹み面と重ならな� ��ようにするために、静圧パッド4、4’の下� �から5mm以上上方に設置するのが好ましい。

 また、静圧パッド4、4’のクーラント噴出� �口9の口径は、1~3mmであることが好ましい。
 このように、静圧パッド4、4’のクーラン� �噴出し口9の口径を1mm以上とすることで、特� ��な穴あけ加工を行う必要がない。従って安� ��に構成できる。また、静圧パッド4、4’内� �クーラント噴出し口に異物が入る、もしく� �、ブレード2と静圧パッド4、4’が高速で擦� �るために発生するポンプ作用により、汚水� �クーラント噴出し口9より逆流し詰まるのを� ��ぐことができる。また、静圧パッド4、4’� �クーラント噴出し口9の口径が3mm以下となっ� ��いるので、前記ポンプ作用が現れることに� ��りクーラント噴出し口9より切削屑が入り込 み、それによってクーラントを貯めておくタ ンク内を汚し、その汚れがブレード2と静圧� �ッド4、4’間に入り込むことによって静圧パ ッド4,4’の偏摩耗が発生することを防ぐこと ができる。このことによって、ブレード2の� �動を抑制する効果をより確実に発揮するこ� �ができる。

 また、1つの静圧パッド4、4’に配設するク� ��ラント噴出し口9は6箇所から48箇所形成する ことができる。
 このように、静圧パッド4、4’のクーラン� �噴出し口9を1つの静圧パッド4、4’に6箇所以 上形成することで、配置を多岐に渡り変更す ることにより静圧パッド4、4’の摩耗が大き� ��部分を全て被う事ができ、また、ブレード2 が切断により弾性変形していく過程で早期に 静圧パッド4、4’とブレード台金6が触れてし まうことによる偏摩耗を防ぐことができる。 これによって、ブレード2の振動を抑制する� �果を確実に発揮することができる。また、� �造上あるいは強度上の制約で静圧パッド4、4 ’のクーラント噴出し口9を1つの静圧パッド4 、4’に48箇所以下とすれば十分であり、これ により、ブレード2の振動を抑制する効果を� �実に発揮することができる。

 また、前記静圧パッド4、4’と前記ブレー� �2との間隔を10~50μmにすることが好ましい。
 このように、前記静圧パッド4、4’と前記� �レード2との間隔を10μm以上とすることで、� �レード2と静圧パッド4、4’が噛み合うこと� �よってプーリー3、3’を駆動させるモータ(� �図示)が過電流となり回転しなくなることを� ��ぐことができる。また、前記間隔を50μm以� �とすることで、静圧パッド間の間隔が100μm� �超えることなく、静圧パッド4、4’の挟み込 みの甘さがブレード2の振動に影響すること� �防ぐことができ、ブレード2の振動を抑制す� ��効果をより確実に発揮することができる。� ��らに、前記間隔を20μm以上にするとなお良� �。
 このように、前記静圧パッド4、4’と前記� �レード2との間隔を20μm以上とすることで、� �レード台金6が変形する時期をおくらせるこ� ��ができる。だたし、これらの条件は、もち� ��んこれに限定されるわけではない。

 また、図1のようにブレード台金6の切断に� �る変形の変位量を計測するための渦電流セ� �サー10を設置するとこができる。
 インゴット8の切断を繰返し行っていくと、 ブレード台金6は切断抵抗により次第に変形� �ていき、静圧パッド4、4’の摩耗を大きくし ていくが、ブレード2の変位量が所定の変位� �となったときに静圧パッド4、4’を交換する ことによって、ブレード2の変位量を抑える� �とができる。このため、バンドソー切断装� �1に設置された渦電流センサー10でブレード� �金6の切断による変形の変位量を計測し、ブ� ��ード台金6の状態を把握することは静圧パッ ド4、4’の交換時期を適切に把握する上で重� ��である。

 次に、本発明のバンドソー切断装置1を使用 したインゴット8の切断方法について説明す� �。
 前記プーリー3、3’に張設されたブレード2� ��プーリー3、3’の回転により周回駆動させ� �静圧パッド4、4’のクーラント噴出し口9か� �クーラントを噴出しながら、テーブル切断� �イント11でブレード2のブレード砥粒部5をイ� ��ゴット8に押し当て、ブレードをインゴット 8に対して相対的に下方に送り出すことによ� �てインゴット8を切断する。
 ブレード2を送り出す速度は例えば、35mm/min� ��することができる。

 このとき、前記クーラントは供給圧力が0.1~ 0.4MPa、供給流量が300~2000cc/minであることが好� ��しい。
 このように、前記クーラントの供給圧力を0 .1MPa以上とすることで、バンドソー切断装置1 の配管で発生する圧力損失によるポンプ作用 を引き起こすことを防ぐことができ、ブレー ド2の振動を抑制する効果をより確実に発揮� �ることができる。また、前記クーラントの� �給圧力を0.4MPa以下とすることで、静圧パッ� �4、4’のクーラント漏れの発生、あるいは、 高圧のため静圧パッド4、4’とブレード2との 間隔を維持できなくなることを防ぐことがで きる。さらに、クーラントの供給流量を300~20 00cc/minとすることで、ブレード砥粒部5付近に 掛かる応力を確実に減少させることができ、 ブレード2の振動を抑制する効果をより確実� �発揮することができる。

 また、本発明のバンドソー切断装置1を使 用したインゴット8の切断方法では、渦電流� �ンサー10によって検出したブレード台金6の� �形の変位量が所定の値となったら静圧パッ� �4、4’を交換するので、静圧パッド4、4’の� ��耗により発生するブレード2の振れをより確 実に抑えることができる。このとき、例えば 、ブレード台金6の幅が60mmであれば、ブレー� ��砥粒部5から10mm程度上方に渦電流センサー10 を取り付けることができる。そして、ブレー ド2及び静圧パッド4、4’を設置した状態で前 記センサー10をブレード台金6の変形の変位量 が0となるよう調整を行う。これにより、1回� ��切断のブレード2の変位量を把握することが できる。ブレード2の変位量は切断する負荷� �大きくなるに従い大きくなり、中央部を切� �するときのブレード2の変位量が最大となる� ��

 交換当初のブレード台金6は変形による歪 みがなく、静圧パッド4、4’の隙間が多少大� ��くてもブレード2が10μm程度の振れでインゴ� ��ト8の切断が可能であり、しばらくの間ブレ ード台金6は変形なく維持できる。しかし、� �断を繰り返すことにより、ブレード台金6が� ��断抵抗により変形を開始し、次に静圧パッ� ��4、4’がブレード台金6に接触するようにな� ��て摩耗するようになる。そして、ブレード� ��金6の変形は、その変位量が小さい内は元に 戻ることもあるが、前記変位量が200μm以上と なった場合には元に戻らなくなる。特にブレ ード砥粒部5が摩耗するとブレード2の変位量� ��大きくなり、例え静圧パッド4、4’を交換� �たとしてもブレード2の変位量は元に戻らな� ��なる。

 従って、ブレード台金6の変形の変位量が200 μm以上となったらブレード台金6を交換する� �とが好ましい。
 静圧パッド4、4’の摩耗を抑えるためには� �ブレード台金6の変形の変位量が200μmになる� ��に静圧パッド4、4’を交換することが良く� �このとき、例えば、静圧パッド4、4’の交換 を、前記ブレード台金6の変形の変位量が150μ mとなったときとすることができる。
 これらの条件は、もちろんこれに限定され� ��わけではない。
 

 以下、本発明を実施例によりさらに具体的� ��説明するが、本発明はこれに限定されない� ��
(実施例)
 図1に示すようなバンドソー切断装置を用い 、直径8インチ(200mm)のシリコンインゴットを� ��レードの送り速度が35mm/minで切断した。ブ� �ードはブレード台金の厚さが0.5mmのものを使 用した。
 静圧パッドのクーラント噴出し口の位置を� ��2に示す。

 図2(B)に示すように、静圧パッドにはクー ラント噴出し口が12箇所設けられている。前� ��クーラント噴出し口は静圧パッドの中心(静 圧パッドの上面から35mm下方)から3つの異なる 位置に配設されており、最も下に位置してい るクーラント噴出し口は静圧パッドの中心か ら20mm下方に設けられており、続いて、静圧� �ッドの中心から10m下方、最も上に位置して� �るクーラント噴出し口は静圧パッドの中心� �位置している。また、静圧パッドのクーラ� �ト噴出し口の口径を2mmとした。また、静圧� �ッドと前記ブレードとの間隔を20μmとし、ク ーラントの供給圧力が0.2MPa、供給流量を2000cc /minとした。

 前記の条件でインゴットを繰返し切断し、� ��レードおよび静圧パッドの交換寿命を調査� ��た。静圧パッドの交換は、渦電流センサー� ��計測したブレード台金の切断による変形の� ��位量が150μmになった時に交換することとし� ��ブレードの交換は前記ブレード台金の変形� ��変位量が200μmになった時に交換することと� ��た。
 その結果、ブレードの交換寿命はインゴッ� ��の切断数が400回、静圧パッドの交換寿命は� ��ンゴットの切断数が150回となり、従来のバ� ��ドソー切断装置を使用した場合と比べ、大� ��に長くなっていた。

 図3にインゴットの切断回数の対するブレー ド台金の変位量を示す。
 図3に示すように、本発明のバンドソー切断 装置で切断した場合、ブレード台金の変位量 は従来のバンドソー切断装置により切断した 場合に比べ、なだらかに推移していることが 分かる。
 このことから、本発明のバンドソー切断装� ��において、インゴットの切断中に突発的に� ��生するインゴットの切断面の粗さ不良を減� ��させることができることが分かる。
 

(比較例)
 上記実施例に対し、静圧パッドのクーラン� ��噴出し口を図5のように均等配置したものを 用いた従来のバンドソー切断装置を使用した 以外は、実施例と同じ条件でインゴットを繰 返し切断し、実施例と同様の評価を行った。
 この結果、ブレードの交換寿命はインゴッ� ��の切断数が200回、静圧パッドの交換寿命は� ��ンゴットの切断数が50回であった。
 

 なお、本発明は、上記実施形態に限定さ� ��るものではない。上記実施形態は例示であ� ��、本発明の特許請求の範囲に記載された技� ��的思想と実質的に同一な構成を有し、同様� ��作用効果を奏するものは、いかなるもので� ��っても本発明の技術的範囲に包含される。