[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Batterie, mit den Schritten:

Herstellen einer ersten Elektrode durch Bereitstellen eines Substrats und Abscheiden mindestens einer Halbleiterschicht auf dem Substrat;

Erzeugung einer bestimmten Porosität über einen bestimmten Bereich der Halbleiterschicht;

Anordnen der ersten Elektrode zusammen mit einer zweiten Elektrode und einem Elektrolyten in einem Gehäuse;

Kontaktieren der beiden Elektroden und Verbinden mit externen, von außerhalb des Gehäuses zugänglichen Anschlüssen.

[0002] Die Erfindung betrifft ferner eine Batterie mit zwei Elektroden, die über einen Elektrolyten miteinander verbunden sind, um einen Stromfluss zwischen den beiden Elektroden zu ermöglichen.

[0003] Ein derartiges Verfahren und eine derartige Batterie sind aus der US 2010/0221606 A1 bekannt.

[0004] Hiernach wird zunächst ein elektrisch leitfähiges Substrat bereitgestellt und hierauf eine Halbleiterschicht abgeschieden, die anodisiert wird, wodurch Poren in der Halbleiterschicht gebildet werden. Die so gebildete erste Elektrode besitzt eine vergrößerte Oberfläche. Sie wird mit einer zweiten Elektrode und einem Elektrolyten kombiniert, um eine Batterie bereitzustellen. Bei dem Substrat kann es sich um eine endlose Folie handeln, die zu einer zylindrischen Form aufgerollt werden kann. Durch die Anodisierung wird die Oberfläche der Halbleiterschicht vergrößert, um eine kontrollierte, poröse Struktur zu bilden. [0005] Bei der Entwicklung von wiederaufladbaren Lithium-Ionen-Batterien wurde bislang beim Anodenmaterial auf Kohlenstoffmaterial mit hoher Oberfläche gesetzt, wie etwa auf Mesocarbon Microbeads (MCMB), um eine möglichst hohe Leistungsdichte zu erzielen.

[0006] Allerdings ist die Leistungsdichte von kohlenstoffbasiertem Material ziemlich begrenzt.

[0007] Aus diesem Grund werden seit einiger Zeit andere Anodenmaterialien auf der Basis von Silizium entwickelt. Anders als bei der Einlagerung von Lithium zwischen einzelnen Kohlenstofflagen bildet Silizium eine Legierung mit Lithium. Negative Elektroden auf der Basis von Silizium sind wegen ihrer hohen theoretischen spezifischen Kapazität interessant, die deutlich höher als diejenige von Kohlenstoff liegt.

[0008] Allerdings besteht ein besonderes Problem bei der Verwendung von Silizium als Elektrodenmaterial in der erheblichen Volumenvergrößerung, die durch die Aufnahme von Atomen bedingt ist, was zu Spannungen, zur Rissbildung und letztlich zum Versagen der Elektrode führen kann. Aus diesem Grunde wurde etwa bei der eingangs genannten US 2010/0221606 A1 versucht, die Siliziumelektrode mit einer kontrollierten Porosität herzustellen, um die Volumenvergrößerung bei der Aufnahme von Lithium zu begrenzen. Der hierbei verwendete Anodisierungsschritt ist allerdings nicht ausreichend, um einem Aufquellen der Siliziumschicht ausreichend entgegenzuwirken.

[0009] Aus der US 2012/0231326 A1 ist ein weiteres Verfahren zum Herstellen einer wiederaufladbaren Batterie mit einer Anode aus einer porösen Siliziumschicht bekannt. Hierbei wird die poröse Siliziumschicht durch elektrochemisches Ätzen und nachfolgendes Beschichten mit einer Passivierungsschicht erzeugt. Um die poröse Siliziumschicht zu erhalten, wird eine bestimmte Ätzbehandlung durchgeführt.

[0010] Allerdings ist das Herstellverfahren kompliziert und dennoch das Potential zur Begrenzung der Volumenvergrößerung bei der Aufnahme von Lithiumionen begrenzt. Auch bei einer aus der US 2013/0078508 A1 bekannten Lithium-Ionen-Batterie wird eine Anode mit porösem Silizium verwendet. Die Anode besteht vorzugsweise in der Form von Nanofasern, einer Folie oder eines Pulvers mit porösem Silizium mit Porendurchmessern im Bereich von 2 nm bis 100 nm und einer durchschnittlichen Wandstärke im Bereich von 1 nm bis 100 nm. Zur Herstellung der porösen Siliziumschicht wird ein Ätzverfahren verwendet.

[0011] Auch hierbei ist das Herstellverfahren aufwändig und dennoch die Kapazität der Siliziumschicht zur Aufnahme von Ionen relativ begrenzt.

[0012] Daneben sind als Alternative zu Lithium-Ionen-Sekundärbatterien auch nicht wiederaufladbare Metall/Luftbatterien in der Entwicklung. Seit einiger Zeit wird an der Entwicklung von Silizium/Luftbatterien gearbeitet, die eine hohe theoretische Energiedichte von 8470 Wh/kg haben.

[0013] Auch hierbei stellt die Volumenvergrößerung der Siliziumschicht bei der Aufnahme von Ionen eines der zentralen Probleme dar.

[0014] Vor diesem Hintergrund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Batterie mit einer verbesserten Elektrode auf Siliziumbasis anzugeben, die eine große Kapazität zur Aufnahme von Metallionen aufweist, ohne dass eine damit verbundene Volumenvergrößerung zu einer Beschädigung der Elektrode führt. Ferner soll eine möglichst wirtschaftliche Herstellung auch bei der Massenproduktion erzielbar sein.

[0015] Des Weiteren soll ein geeignetes Verfahren zur Herstellung einer derartigen Batterie angegeben werden.

[0016] Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Herstellen einer Batterie mit den folgenden Schritten gelöst:

(a) Herstellen einer ersten Elektrode durch Bereitstellen eines Substrats und Abscheiden mindestens einer Halbleiterschicht auf Siliziumbasis mit einer bestimmten Porosität, insbesondere einer dotierten mikrokristalli- nen Siliziumschicht, die Zusätze von Ge, Sn und/oder C enthalten kann, auf dem Substrat;

(b) Mikrostabilisieren der Halbleiterschicht durch volumenmäßige oder lokale Variation der Porosität, der Dotierung oder der Kristallisation zur Erhöhung der lonen-Aufnahmekapazität und/oder der mechanischen Stabilität;

(c) Anordnen der ersten Elektrode zusammen mit einer zweiten Elektrode und einem Elektrolyten in einem Gehäuse;

(d) Kontaktieren der beiden Elektroden (24, 25) und Verbinden mit externen, von außerhalb des Gehäuses (12) zugänglichen Anschlüssen (26, 28).

[0017] Die Aufgabe der Erfindung wird ferner durch eine Batterie mit einem Gehäuse gelöst, in dem zwei Elektroden vorgesehen sind, die über einen Elektrolyten miteinander verbunden sind, um einen Stromfluss zwischen den beiden Elektroden zu ermöglichen, wobei eine der Elektroden eine mikrostabilisierte, zumindest teilweise poröse Halbleiterschicht auf Siliziumbasis, insbesondere eine dotierte mikrokristalline Siliziumschicht, die Zusätze von Ge, Sn und/oder C sowie lokal begrenzte Bereiche unterschiedlicher Dotierung und/oder Kristallinität und/oder Porosität, enthalten kann, aufweist.

[0018] Die Aufgabe der Erfindung wird auf diese Weise vollkommen gelöst.

[0019] Dadurch, dass die zumindest teilweise poröse Halbleiterschicht auf Siliziumbasis mikrostabilisiert ist, hat die so modifizierte Halbleiterschicht ein besonders hohes Potential zu lonenaufnahme, bei gleichzeitig gegenüber dem Stand der Technik verbesserter mechanischer Stabilität. Eine derartige poröse Schicht auf Siliziumbasis kann sowohl bei Sekundärbatterien als auch bei Primärbatterien eingesetzt werden.

[0020] Unter einer MikroStabilisierung der Halbleiterschicht wird im Sinne der vorliegenden Erfindung eine Stabilisierung gegenüber einem Aufquellen bzw. einer Volumenvergrößerung oder eine Erhöhung der mechanischen Stabilität durch einen bestimmten Verfahrensschritt verstanden.

[0021] Es kann sich hierbei etwa um eine Behandlung mit einer Strahlung, beispielsweise einer Laserstrahlung, handeln, wodurch unmittelbar eine MikroStabilisierung der Halbleiterschicht erzielt werden kann. Des Weiteren kann die Halbleiterschicht mittels einer Strahlungsquelle (etwa mittels eines Lasers) lokal bestrahlt werden, um die Freisetzung von Gasen aus der zuvor abgeschiedenen Halbleiterschicht zu bewirken und so eine Erhöhung der Porosität oder eine bestimmte Porosität ausgehend von dichtem Material zu erreichen.

[0022] In beiden Fällen erfolgt eine Behandlung mittels einer Strahlung, um eine dreidimensionale MikroStabilisierung der Halbleiterschicht zu erreichen.

[0023] Es versteht sich, dass eine beliebige Strahlungs- oder Teilchenquelle anstelle von Laserstrahlung verwendet werden kann, um die MikroStabilisierung zu erreichen. Je nach Art der Strahlung lässt sich hierbei eine Variation in weiten Grenzen ermöglichen, um eine besonders vorteilhafte MikroStabilisierung der Halbleiterschicht zu erzielen.

[0024] Eine weitere Möglichkeit zur MikroStabilisierung besteht in der Erzeugung von lokal unterschiedlich dotierten Bereichen, vorzugsweise mittels Laserunterstützung, bevorzugt von p-Typ-dotierten Bereichen auf einer n-Typ-dotierten Halbleiterschicht. p-Typ-dotierte Bereiche lagern weniger Ionen, insbesondere weniger Lithium- Ionen ein. Damit können diese Bereiche als Stützstellen dienen, wenn die übrigen Bereiche eine Volumenvergrößerung durch loneneinlagerung erfahren, und somit die Halbleiterschicht mechanisch stabilisieren. Bei lokal n-Typ-dotierten Bereichen ist diese Tendenz weniger ausgeprägt, jedoch grundsätzlich auch vorhanden.

[0025] Mittels der Laserbestrahlung können lokal dotierte Bereiche auf besonders einfache Weise erzeugt werden, ohne dass hierzu Lithographieschritte bzw. Maskierungsschritte notwendig sind. [0026] Eine weitere Möglichkeit zur MikroStabilisierung besteht in der Erzeugung von lokal verfestigten Gitterpunkten durch lokale Kristallisation. Dies wird durch lokale Bestrahlung mittels eines Lasers erreicht, was zum lokalen Aufschmelzen und zur lokalen Kristallisation und damit zur Stabilisierung führt.

[0027] Auch auf diese Weise lässt sich eine dreidimensionale Mikrostabilisie- rung der Halbleiterschicht erzielen. Durch die lokale Kristallisation an lokal verfestigten Gitterpunkten lässt sich eine stabile dreidimensionale MikroStabilisierung der Halbleiterschicht gewährleisten.

[0028] Es versteht sich, dass bevorzugt mehrere Schichten nacheinander übereinander abgeschieden und mikrostabilisiert werden können, so dass auf diese Weise auch dickere Schichten in der erfindungsgemäßen Weise hergestellt bzw. behandelt werden können.

[0029] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird eine Halbleiterschicht zur Vergrößerung der Porosität aktiver Bereiche zur Aufnahme von Ionen, insbesondere von Lithium-Ionen, oder zur Verringerung der Porosität inaktiver Bereiche zur Verringerung der Einlagerung von Ionen behandelt.

[0030] Werden aktive Bereiche behandelt, etwa mittels Laserstrahlung, so kann die Porosität lokal erhöht werde, was die lonenaufnahmekapazität erhöht. Umgekehrt kann durch Verringerung der Porosität inaktiver Bereiche eine Stabilisierung einer größeren Struktur mit dazwischen angeordneten Bereichen größerer Porosität mit hoher lonenaufnahmekapazität erreicht werden.

[0031] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die Halbleiterschicht in Form eines dreidimensionalen Skeletts mit einer Gitterweite von 0,5 bis 100 μηη, vorzugsweise von 5 bis 20 μηη, mikrostabilisiert.

[0032] Mit einer derartigen Dimensionierung lässt sich eine besonders stabile Halbleiterschicht gewährleisten, die ein großes lonen-Aufnahmepotential, insbesondere für Lithiumionen aufweist und gleichzeitig eine hohe Stabilität bei geringer Volumenzunahme.

[0033] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die Halbleiterschicht durch ein Dünnschichtabscheideverfahren abgeschieden. Es kann sich hierbei etwa um Sprühen, Drucken oder ein Vakuumabscheideverfahren, insbesondere PVD (insbesondere Sputtern oder Aufdampfen), PECVD oder CVD handeln.

[0034] Besonders bevorzugt ist hierbei eine Erzeugung mittels PECVD mit Anregungsfrequenzen im Bereich von 10 kHz bis 500 MHz oder im Mikrowellenbereich.

[0035] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird als Substrat eine bevorzugt texturierte Folie verwendet, vorzugsweise eine Metallfolie oder eine Kunststofffolie.

[0036] Hierdurch lässt sich eine besonders einfache und kostengünstige Herstellung und ein breiter Anwendungsbereich erzielen.

[0037] Als Substrat kann hierbei etwa eine Kunststofffolie verwendet werden, die in einem nachfolgenden Schritt metallisiert und kontaktiert wird, wobei zur Metallisierung gegebenenfalls zunächst eine Haftvermittlerschicht, etwa aus Titan, appliziert werden kann.

[0038] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird die erste Elektrode mit einer zweiten Elektrode in Form einer Luftkathode zu einer Primärbatterie kombiniert.

[0039] Gemäß einer alternativen Ausführung der Erfindung wird die Batterie als Sekundärbatterie hergestellt, wobei zwischen den Elektroden ein Separator angeordnet wird. [0040] Bei einer erfindungsgemäßen Batterie kann die mikrostabilisierte Halbleiterschicht gemäß einer ersten Variante der Erfindung als Dünnschicht auf einem flexiblen Substrat einer Anode definiert werden, die mit einer Luftkathode zu einer Primärbatterie kombiniert ist.

[0041] Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung ist die mikrostabilisierte Halbleiterschicht eine mit einer p- oder n-Typ-Dotierung versehene Dünnschicht, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Stickstoff, Phosphor, Arsen, Antimon, Bor, Aluminium, Gallium und Indium besteht.

[0042] Als Elektrolyt kann bevorzugt ein alkalischer Elektrolyt, insbesondere in Form einer KOH-Lösung verwendet werden. Natürlich können auch andere Elektrolyte, etwa in Form einer NaOH-Lösung verwendet werden.

[0043] Daneben ist es möglich, den Elektrolyten als nicht wässrigen Elektrolyten auszubilden, der aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus einer lonenflüssigkeit, einer Mischung aus einem nicht ionenhaltigen polaren Lösungsmittel und einem Kation und einem Anion, einem leitfähigen Polymer, einer oxydischen Keramik und Mischungen davon besteht.

[0044] Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung ist der Elektrolyt in einem flexiblen Trägermaterial, insbesondere einem porösen Schaumstoff oder einem Tuchmaterial, enthalten.

[0045] Hierbei kann der Elektrolyt etwa in Form eines Gels ausgebildet sein.

[0046] Durch diese Merkmale wird ein einfacher und vorteilhafter Aufbau einer Batterie ermöglicht, insbesondere mit einem gewickelten Aufbau, wobei die beiden Elektroden zusammen mit dem Elektrolyten zu einer Wickelstruktur aufgewickelt sind. Vorzugsweise wird eine derartige Wickelstruktur in einem Gehäuse luftdicht gekapselt. [0047] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die mikrostabili- sierte Halbleiterschicht als mikrokristalline, mikroporöse Schicht ausgebildet, die vorzugsweise Poren mit einem mittleren Porendurchmesser von mindestens 0,05 μηη, bevorzugt von mindestens 0,1 μηη, weiter bevorzugt von mindestens 0,15 μηη, weiter bevorzugt von mindestens 0,2 μηη aufweist. Vorzugsweise beträgt der mittlere Porendurchmesser höchstens 5 μηη, weiter bevorzugt von höchstens 2 μηη.

[0048] Es hat sich gezeigt, dass ein derartiger Aufbau ein besonders hohes Potential zur lonenaufnahme bei gleichzeitig geringer Volumenzunahme ermöglicht.

[0049] Gemäß einer alternativen Ausführung der Erfindung ist die Batterie als Sekundärbatterie ausgebildet, insbesondere als Lithium-Ionen-Batterie, mit einem Separator zur Trennung der beiden Elektroden.

[0050] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die mikrostabili- sierte Halbleiterschicht mikroporös und weist vorzugsweise Poren mit einem mittleren Porendurchmesser von 0,02 μηη bis 10 μηη, weiter bevorzugt von 0,1 bis 1 μηη auf.

[0051] Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung besteht die mikro- stabilisierte Halbleiterschicht aus einer Mehrzahl von Einzelschichten, die übereinander angeordnet sind und vorzugsweise mit bekannten Verfahren der Dünnschichtabschei- dung, beispielsweise aus der Gasphase, hergestellt werden. Es kann sich hierbei etwa um Sprühen, Drucken oder ein Vakuumabscheideverfahren, insbesondere PVD (Sputtern oder Aufdampfen), PECVD oder CVD handeln.

[0052] Auf diese Weise lässt sich eine Halbleiterschicht auch mit einer größeren Schichtdicke realisieren.

[0053] Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale der Erfindung nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung der Erfindung verwendbar sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. [0054] Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Versuchszelle, die als Silizium-Luft- Batterie in einem Edelstahlgehäuse ausgebildet ist;

Fig. 2 verschiedene Entladungskurven der Dünnfilm-Siliziumbatterien gemäß

Fig. 1 ;

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung des schematischen Aufbaus einer gewickelten Silizium-Luft-Batterie;

Fig. 4 den Aufbau einer Lithium-Ionen-Sekundärbatterie mit einer erfindungsgemäßen Elektrode und Separator zwischen den beiden Elektroden in schematischer Darstellung;

Fig. 5a, b das Prinzip der Veränderung der Porosität einer Siliziumschicht durch lokale Veränderung der Dotierung durch Laserbestrahlung in der Aufsicht und im Querschnitt;

Fig. 6a, b einen Querschnitt durch eine Siliziumschicht mit lokal durch Bestrahlung erhöhter Porosität und mit lokal durch Bestrahlung stabilisierten Bereichen;

Fig. 7 eine Siliziumschicht in Gitterstruktur mit lokal durch Bestrahlung stabilisierten Bereichen und

Fig. 8 eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme einer Siliziumschicht mit einem unbestrahlten Bereich mit geringer Porosität und einem mittels Laser bestrahlten Bereich mit hoher Porosität. [0055] In Fig. 1 ist der Aufbau einer Versuchszelle in Form einer Silizium-Luft- Batterie schematisch dargestellt und insgesamt mit der Ziffer 10 bezeichnet.

[0056] In einem Gehäuse 12 aus Edelstahl ist ein Substrat 14 in Form einer Glasplatte angeordnet. Das Substrat 14 ist mit einer elektrisch leitfähigen Schicht 16 versehen, auf der eine dotierte, mikrokristalline Siliziumschicht mit einer bestimmten Porosität abgeschieden ist. Als Elektrolyt 20 ist eine Lösung aus KOH mit einer Stärke von 0,01 M vorgesehen, die durch eine Gummidichtung 22 eingeschlossen ist. Die dotierte Silizium-Dünnschicht auf dem metallisierten Substrat 14 bildet die erste Elektrode 24, die über einen Anschluss 28 nach außen geführt ist. Die Luftelektrode 25 bildet die zweite Elektrode, die über einen Anschluss 26 nach außen geführt ist.

[0057] Die Fig. 1 bis 3 betreffen eine nicht wiederaufladbare Silizium-Luft- Batterie, bei der die aus einer dotierten Silizium-Dünnschicht bestehende Anode 24 während der Entladung nach und nach aufgebraucht wird. In einer Silizium-Luft- Batteriezelle gibt es grundsätzlich zwei elektrochemische Reaktionen, nämlich zum einen die Batterieentladungsreaktion als die Quelle von Stromfluss zwischen den Elektroden und zum zweiten die Siliziumkorrosion (Selbstentladung) durch Auflösung der Siliziumelektrode im alkalischen Elektrolyten. Der Entladungsprozess kann beschrieben werden als:

Anode: Si + 40H ^" -> Si(OH) ₄ + 4E ^" (1 )

Kathode: 0 ₂ + 2H ₂ 0 + 4 E ^" -> 40H ^" (2).

[0058] Dagegen stellt sich die Korrosion (Selbstentladung) wie folgt dar:

Si + 20H ^" + 2H ₂ 0 -> Si0 ₂ (OH) ^2" ₂ + 2H ₂ (3).

[0059] Wie bei Zellen auf Waferbasis tritt auch bei der Dünnschicht-Zelle die Bildung des Oxidationsproduktes Si(OH) ₄ an der Anode auf. Der alkalische Elektrolyt löst dieses Oxid auf, sobald es gebildet wird. Deshalb gibt es einen kontinuierlichen und dauerhaften Entladungsprozess, so bald und so lange Silizium in Kontakt mit dem Elektrolyten steht.

Beispiele

Beispiel 1

[0060] Bei der Batterie 10 gemäß Fig. 1 wurde als Substrat 14 eine Glasplatte mit einer Beschichtung aus leitfähigem transparentem Metalloxid (Handelsname Asahi-U ) verwendet, die als elektrische Kontaktierungsschicht diente. Die Texturierung des Asahi-U Kontaktes vermeidet ein Ablösen der später darauf abgeschiedenen Siliziumschicht. Die Luftelektrode 25 auf der rechten Seite der Batterie 10 besteht aus Polytetrafluorethylen- Pulver (PTFE-Pulver) und Carbon Black (0,45 bis 0,5 g/cm ² geladen), katalysiert durch Mangandioxid und auf ein Nickel-Gitter mit einer Maschenweite von 200 Mesh gepresst. Eine mikroporöse Schicht aus PTFE wurde auf der Luftseite der Elektrode angebracht. Ein Separator ist auf der Elektrolytseite angebracht. Die Luftelektrode wurde von Electric Fuel Inc. geliefert.

[0061] Für die Abscheidung von n-Typ-dotierten Dünnschichten aus amorphem Silizium (a-Si) bzw. aus Siliziumcarbid (a-SiC) wird ein PECVD-Verfahren bei einer Temperatur von ungefähr 170°C unter Verwendung von Silan (SiH ₄ ) als Siliziumquelle, Phosphin in Silan (2 % PH ₃ /SiH ₄ ) als Dotiergas, sowie ggf. Methan (CH ₄ ) als Kohlenstoffquelle verwendet. Die Abscheiderate beträgt 10 nm/min. Auf diese Weise wird eine 500 nm dicke, n-Typ-dotierte amorphe Silizium- oder Siliziumcarbidschicht auf dem elektrisch leitfähigen Substrat 14 erzeugt. Die dotierte a-Si-Schicht bzw. a-SiC-Schicht wurden mit unterschiedlichen Leitfähigkeiten und Kohlenstoffgehalten abgeschieden. Die aktive Fläche der daraus aufgebauten Primärbatterie-Zelle beträgt 4,5 cm ² , was durch den Durchmesser der Gummidichtung 22 gemäß Fig. 1 begrenzt ist. Bei den Entladungsversuchen werden Batterien mit unterschiedlichen Elektrolytkonzentrationen und Entladungsstromdichten mit einem Keithley 2400 Series Source Meter im "bias current mode" verwendet. [0062] Fig. 2 zeigt Entladungskurven der a-Si- und a-SiC-Batterien mit unterschiedlichen Elektrolyten, Konzentrationen und Entladungsstromdichten. Vor der Entladung wurden alle Proben einem Ätzen in einer HF-Lösung von kleiner 1 % ausgesetzt, um Oxide zu entfernen. Tabelle 1 zeigt die spezifische Kapazität der Si-Primärbatterien für die verschiedenen Entladungsvorgänge gemäß Fig. 3. Die spezifische Kapazität wurde dabei mit Hilfe des bekannten Volumens der a-Si-Schichten bzw. a-SiC-Schichten und einer Dichte von 2,1 g/cm ³ berechnet. Bei der a-SiC-Schicht gemäß Beispiel 46, also a-SiC mit 0,01 M KOH und einem Entladestrom von 10 μΑ cm ² wurde eine spezifische Kapazität von 342 Ah/kg bestimmt. Die Entladungskurven zeigen, dass es keine große Differenz zwischen der Verwendung von KOH oder NaOH als Elektrolyt gibt.

[0063] Wie in den Gleichungen (1 ) bis (3) oben dargestellt, wird ein Teil des Siliziums als Batteriebrennstoff verbraucht, während der Rest durch den Selbstentladungs- prozess verbraucht wird. Bei der Batteriezelle gemäß Beispiel 22 von Tabelle 1 aus dotiertem a-Si mit einer spezifischen Kapazität von 267 Ah/kg unter Verwendung von 0,01 M KOH als Elektrolyt und einer Entladungstromdichte von 10 μΑ/οηι2 wurden nur ungefähr 7 % des abgeschiedenen Materials als Batteriebrennstoff genutzt. Die gemessene Selbstentladungsrate von ungefähr 2,5 mm/min von dotiertem a-Si in 0,01 M KOH be- grenzt die spezifische Kapazität des Materials. Bei a-SiC ergibt sich eine bessere Nutzung, vergleiche Probennummern 46 und 48 gemäß Tabelle 1 . Hierbei wurden ungefähr 9 % des a-SiC-Materials oxidiert und dienten als Brennstoff für die Batteriereaktion. a-SiC zeigt eine höhere spezifische Energie infolge der geringeren Selbstentladungskorrosions- rate, da Silizium-Kohlenstoff-Bindungen stärker sind als die Silizium-Wasserstoff- Bindungen.

Beispiel 2

[0064] Durch eine lokale gepulste Laserbestrahlung der a-Si-Schichten bzw. a- SiC-Schichten können bei der Abscheidung der Schichten eingeschlossene Gase freigesetzt werden und so die Porosität erhöht werden.

[0065] Hierzu wird beispielsweise eine Laserstrahlung mit einem Linienfokus und der Wellenlänge λ = 532 nm bei einer Pulswiederholungsfrequenz f = 20 kHz verwendet. Hierbei werden die in der Schicht befindlichen Gasmoleküle bzw. Gasatome stark erhitzt. Durch die Temperaurzunahme steigt der Gasdruck und sprengt das umliegende Silizium. Die so entstehenden Poren haben eine Größe im Mikrometer-Bereich. Die Porosität ist durch die Energiedichte der Einstrahlung durch den Laser kontrollierbar. Die Pulsdauern liegen beispielsweise zwischen 210 und 230 Nanosekunden mit einer Pulsenergiedichte Ep = 0,47 Jcm ^"2 . Die Linienfokusbreite liegt bei 4,5 μηη.

[0066] Die Entladungsstromdichte wird durch die Vergrößerung der Porosität der Schichten durch Laserbestrahlung erhöht. Bei gleichbleibender spezifischer Kapazität, die durch das vorhandene Siliziumvolumen begrenzt wird, verringert sich dabei jedoch die Einsatzdauer der Si-Primärbatterie.

[0067] Fig. 4 zeigt ein Schema eines Aufbaus einer Silizium-Luft-Batterie in gewickelter Form. Hierbei wird eine dünne Siliziumschicht auf einem langen flexiblen Substrat (vorzugsweise metallisierter Kunststoff) abgeschieden. Die so erzeugte erste Elektrode ist durch 24 angedeutet. Parallel dazu ist eine Luftelektrode 25 vorgesehen, wobei dazwischen ein Elektrolyt 20 in Gelpastenform angeordnet ist. Als äußere Schicht ist eine Schaumstoffschicht 30 vorgesehen, die den Zutritt von Luft zur Diffusion zur Luftkathode 25 erlaubt. Die Schichten 24, 20, 25, 30 sind übereinanderliegend aufgewickelt und im Gehäuse 12 aus Edelstahl eingeschlossen, wobei die Anschlüsse 26, 28 nach außen geführt sind.

Beispiel 3

[0068] Der grundsätzliche Aufbau einer erfindungsgemäßen Sekundärbatterie ist in Fig. 5 dargestellt und insgesamt mit 10b bezeichnet. Im Gehäuse 12 sind eine erste Elektrode 24 und eine zweite Elektrode 25 angeordnet und über zugeordnete Gehäusedurchführungen 32, 34 nach außen zu den Anschlüssen 28, 26 verbunden. Im Inneren der Batterie 10b befindet sich die Elektrolytlösung 20. Zwischen den Elektroden 24, 25 befindet sich ein Separator 36.

[0069] Eine derartige Sekundärbatterie 10b verwendet eine dotierte, mikrokristalline Siliziumschicht an der ersten Elektrode 24, die eine kontrollierte Porosität aufweist und dreidimensional mikrostabilisiert ist.

[0070] Figur 8 zeigt eine mit Hilfe einer Laserbestrahlung porös gemachte Silizium-Schicht. Zuerst erfolgt die Abscheidung einer 300 nm dicken Halbleiterschicht aus phosphordotiertem Silizium mittels Sputtern auf ein Edelstahlsubstrat der Dicke d = 25 μηη. Eine lokale gepulste Laserbestrahlung der Halbleiterschicht mit einem Linienfokus und der Wellenlänge λ = 532 nm bei einer Pulswiederholungsfrequenz f = 20 kHz macht diese während der Umwandlung vom amorphem in den kristallinen Zustand porös.

Hierbei werden die in der Schicht befindlichen Gasmoleküle bzw. Gasatome stark erhitzt. Durch die Temperaurzunahme steigt der Gasdruck und sprengt das umliegende Silizium. Die so entstehenden Poren haben eine Größe im Mikrometer-Bereich. Die Porosität ist durch die Energiedichte der Einstrahlung durch den Laser kontrollierbar. Die Pulsdauern liegen in diesem Beispiel zwischen 210 und 230 Nanosekunden mit einer Pulsenergiedichte Ep = 0,47 Jcm ^"2 . Die Linienfokusbreite liegt bei 4,5 μηη. Die nicht bestrahlten Bereiche weisen praktisch keine Poren auf und dienen zur Stabilisierung der Schicht. Die Form der bestrahlten bzw. porösen Bereiche sowie die der unbestrahlten nicht porösen Bereiche kann durch optische Abbildung der Laserstrahlung nahezu beliebig eingestellt werden.

Beispiel 4

[0071] Figur 5 a) und b) zeigen die Stabilisierung einer mikrokristallinen Siliziumschicht 18a mit Hilfe unterschiedlich dotierter n- und p-Typ Gebiete. Die lokale Dotierung kann hier ebenfalls mit Hilfe einer Laserbestrahlung erfolgen. Zunächst erfolgt eine flächige Beschichtung mit einem Dotiermittel und anschließend die Laserbestrahlung. Die verbleibende, nicht bestrahlte Beschichtung wird anschließend wieder entfernt.

Beispiel 5

[0072] Figur 6a) zeigt eine erste Möglichkeit zur Herstellung einer mikro- stabilisierten Schicht 18b auf Siliziumbasis: Ausgehend von einer stabilen nicht porösen Si-Schicht 44 wird diese durch Laserbestrahlung lokal porös gemacht, so dass poröse Bereiche 46 entstehen.

Beispiel 6

[0073] Fig. 6b) zeigt eine zweite Möglichkeit zur Herstellung einer mikro- stabilisierten Schicht 18c auf Siliziumbasis: Ausgehend von einer porösen Schicht 46, wird diese durch Laserbestrahlung aufgeschmolzen, wodurch diese anschließend rekristallisiert. Der rekristallisierte Bereich 44 ist nicht mehr porös.

[0074] Auf diese Weise lässt sich eine dreidimensionale poröse Gitterstruktur 18c erzeugen, die besonders zur Ionen-Aufnahme, insbesondere zur Aufnahme von Lithium-Ionen geeignet ist, und die in regelmäßigen Abständen verstärkt ist, so dass ein Zusammenhalt auch von größeren Strukturen gewährleistet ist.

[0075] Eine derartige Struktur 18c ist beispielhaft in Fig. 7 skizziert. [0076] Durch die kontrollierte Porosität und dreidimensionale Mikrostabilisie- rung der Siliziumschicht ergibt sich ein besonders hohes Aufnahmevermögen für Lithiumionen bei gleichzeitig erhöhter mechanischer Stabilität, wodurch die Herstellung von Lithium-Ionen-Sekundärbatterien mit hoher Kapazität und Langzeit-Zyklenfestigkeit erreicht werden kann.