以下、本発明の実施形態を図面に基づい� ��説明する。なお、以下の好ましい実施形態� ��説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、� ��の適用物或いはその用途を制限することを� ��図するものではない。

 <実施形態1>
 図1(a)は本発明の実施形態1に係る送風ファ� �の背面図、図1(b)は同正面図、図2は同縦断面 図である。

 図1及び図2に示すように、送風ファン(10)� ��、薄型送風ファンとして構成され、中空板� ��で円形のファン本体(15)を備えている。この ファン本体(15)は、厚さ方向に相対向する吸� �側の前面部(11)及び排気側の背面部(12)と、こ の前面部(11)と背面部(12)との間の周縁部を囲� ��側面部(13)とを備えている。ファン本体(15)� �は、前面部(11)、背面部(12)及び側面部(13)で� �画された空気室(14)が形成されている。なお� ��ファン本体(15)は、1~5mm程度の厚さで形成す� ��ことができる。また、ファン本体(15)の形状 は、円形ではなく、正多角形(例えば六角形)� ��もよい。

 前記前面部(11)には、ファン本体(15)の厚� �方向に振動する膜状振動体(16)が構成されて� ��る。この膜状振動体(16)は、円盤状に形成さ れ、外周部の圧電セラミックス(17)(圧電素子� ��)と、この圧電セラミックス(17)の内側に形� �されて圧電セラミックス(17)の変形に伴って� ��動するダイヤフラム(18)(膜状部)とを備えて� ��る。圧電セラミックス(17)は、 電気エネル� ��ーと機械エネルギーを変換する働きをもっ� ��セラミックである。前記圧電セラミックス( 17)は、電圧を印加することで厚さ方向に変位 を生じさせて振動させ、その振動に伴ってダ イヤフラム(18)を振動させるものである。

 前記膜状振動体(16)には、複数の吸気孔(33 )を有する吸気部(21)が形成されている。各吸� ��孔(33)は吸気通路を構成している。各吸気孔 (33)は、外部から空気室(14)に向かって細くな� ��テーパ状に形成されている。この吸気部(21) は、膜状振動体(16)の略全面に形成されてい� �。

 一方、前記背面部(12)には、複数の排気孔 (34)を有する排気部(22)が形成されている。各� ��気孔(34)は排気通路を構成している。各排気 孔(34)は、空気室(14)から外部に向かって細く� ��るテーパ状に形成されている。この排気部( 22)は、背面部(12)の略全面に形成されている� �

 -送風動作-
 以下、本実施形態1に係る送風ファン(10)の� �風動作について説明する。まず、排気動作� �には、圧電セラミックス(17)に所定の電圧を� ��加して厚さ方向に変位を生じさせ、図3に示 すように、その変形に伴ってダイヤフラム(18 )を空気室(14)内方に振動させる。空気室(14)の 容積は、このダイヤフラム(18)の変形により� �さくなる。このため、空気室(14)内の空気が� ��縮され、複数の排気孔(34)を通じて空気室(14 )内の空気が外部に排気される。

 すなわち、圧電セラミックス(17)に印加す る電圧を適宜設定することで、ダイヤフラム (18)の空気室(14)内方への振動量を制御するこ� ��ができ、これにより、送風ファン(10)の排気 流量を制御することができる。

 一方、吸気動作時には、圧電セラミック� ��(17)に所定の電圧を印加して排気動作とは逆 方向に変位を生じさせ、図4に示すように、� �イヤフラム(18)を空気室(14)外方に振れさせる 。空気室(14)の容積は、このダイヤフラム(18)� ��変形により大きくなる。このため、複数の� ��気孔(33)を通じて外部から空気室(14)内に空� �が取り込まれる。

 すなわち、圧電セラミックス(17)に印加す る電圧を適宜設定することで、ダイヤフラム (18)の空気室(14)外方への振動量を制御するこ� ��ができ、これにより、送風ファン(10)の吸気 流量を制御することができる。

 ここで、図3及び図4に示すように、空気� �(14)内の空気が排気孔(34)から排気される排気 動作時には、空気室(14)内の一部の空気が膜� �振動体(16)に形成した複数の吸気孔(33)から外 部に向かって逆流するように排気される。一 方、外部の空気が吸気孔(33)から空気室(14)内� ��取り込まれる吸気動作時には、排気側の外� ��の空気が排気孔(34)から空気室(14)内に向か� �て逆流するように取り込まれる。

 ここで、排気動作時に排気孔(34)から排気 される排気流量をQ1、吸気動作時に排気孔(34) から吸気されてしまう吸気流量をQ2とすると� ��排気孔(34)は空気室(14)から外部に向かって� �くなるテーパ状に形成されているため、Q1> ;Q2の関係が成立する。一方、吸気動作時に吸 気孔(33)から吸気される吸気流量をQ3、排気動 作時に吸気孔(33)から排気されてしまう排気� �量をQ4とすると、吸気孔(33)は外部から空気� �(14)に向かって細くなるテーパ状に形成され� ��いるため、Q3>Q4の関係が成立する。

 このように、吸気孔(33)及び排気孔(34)を� �れぞれ送風方向に細くなるテーパ状に形成� �ておけば、吸排気動作時に送風方向とは逆� �向に空気が逆流したとしても、送風ファン(1 0)の送風流量をQとすると、Q=Q1-Q2=Q3-Q4の関係� �成立し、その影響は非常に少なくて済む。� �の点は、以下の実施形態についても同様で� �る。

  -実施形態1の効果-
 以上のように、本実施形態1に係る送風ファ ン(10)によれば、内部に空気室(14)を有する中� ��板状のファン本体(15)の前面部(11)に膜状振� �体(16)を構成し、この膜状振動体(16)のダイヤ フラム(18)を空気室(14)の外方に振れさせて外� ��の空気を吸気孔(33)から空気室(14)内に取り� �む一方、ダイヤフラム(18)を空気室(14)の内方 に振れさせて空気室(14)内の空気を排気孔(34)� ��ら外部に排気するようにしたから、圧電セ� ��ミックス(17)に印加する電圧を調整してダイ ヤフラム(18)の振動方向及び振動量を制御す� �だけで空気の送風を実現することができる� �すなわち、プロペラファンや回転モータ等� �大がかりなユニットを用いることなく、コ� �パクトな構成で空気を送風することができ� �送風ファン(10)を提供できる。

 また、排気動作時にダイヤフラム(18)を空 気室(14)の内方に振れさせた場合には、空気� �(14)内の空気が吸気孔(33)から外部に向かって 逆流するように排気されてしまうが、吸気孔 (33)を外部から空気室(14)に向かって細くなる� ��ーパ状に形成し、排気孔(34)を空気室(14)か� �外部に向かって細くなるテーパ状に形成し� �から、吸気孔(33)から排気されてしまう空気� ��排気流量を最小限に抑えることができる。� ��た、排気孔(34)を空気室(14)から外部に向か� �て細くなるテーパ状に形成したから、吸気� �作時においても、排気孔(34)から空気室(14)に 向かって逆流するように吸気されてしまう空 気の吸気流量を最小限に抑えることができる 。

 また、送風ファン(10)をなすファン本体(15 )は、中空板状の非常にスリムな形状である� �め、例えば、この送風ファン(10)を空気調和� ��置の送風ファンとして用いる場合には、そ� ��収容スペースが小さくて済むため装置全体� ��薄型化できる。

 なお、本実施形態1では、送風ファン(10)� �なすファン本体(15)として、円形に形成した� ��電セラミックス(17)に合わせて円形形状のも のを用いているが、この形態に限定するもの ではなく、例えば、図5に示すように、中空� �状で矩形状のファン本体(35)を用いて送風フ� ��ン(30)を構成するようにしても構わない。こ の場合には、円形の圧電セラミックス(17)と� �形状の側面部(13)との間に支持部材(19)を設け て圧電セラミックス(17)を側面部(13)に固定す� ��構成としている。このように、送風ファン( 30)を矩形状に形成すれば、圧電セラミックス (17)に合わせて外形を円形にした場合に比べ� �、収容スペースの制約が少なく、装置搭載� �のレイアウトの自由度が高い。

 また、本実施形態1では、前面部(11)に膜� �振動体(16)を構成するようにしたが、背面部( 12)に膜状振動体(16)を構成したり、前面部(11)� ��背面部(12)とにそれぞれ膜状振動体(16)を構� �してもよい。背面部(12)に膜状振動体(16)を構 成した場合には、背面部(12)に形成された膜� �振動体(16)の振動によって、膜状振動体(16)に 形成された複数の排気孔(34)から空気室(14)内� ��空気が排気されるようになる。この点は、� ��下の実施形態についても同様である。

 <実施形態2>
 図6(a)は本発明の実施形態2に係る送風ファ� �の背面図、図6(b)は同正面図、図7は同縦断面 図である。前記実施形態1との違いは、前面� �(11)の中央部に圧電フィルム(46)で構成した膜 状振動体(16)を形成し、膜状振動体(16)の周囲� ��吸気部(21)を形成した点である。以下では、 実施形態1と同じ部分については同じ符号を� �し、相違点についてのみ説明する。

 図6及び図7に示すように、送風ファン(40)� ��、矩形(例えば一辺が3cmの正方形)の中空板� �に形成されたファン本体(35)を備えている。� ��記前面部(11)の中央部には、ファン本体(35)� �厚さ方向に振動する膜状振動体(16)が構成さ� ��ている。この膜状振動体(16)は、円形の薄膜 状に形成された圧電フィルム(46)で構成され� �いる。圧電フィルムは、 電気エネルギーと 機械エネルギーを変換する働きをもった高分 子のフィルムである。圧電フィルムに電圧を 印加すると、圧電フィルムはファン本体(35)� �厚さ方向に振動する。

 前記前面部(11)の圧電フィルム(46)の周囲� �なる前面外周部の支持部材(19)には、複数の� ��気孔(33)を有する吸気部(21)が形成されてい� �。つまり、吸気部(21)は、ファン本体(35)の前 面外周部に形成されている。各吸気孔(33)は� �気通路を構成している。各吸気孔(33)は、外� ��から空気室(14)に向かって細くなるテーパ状 に形成されている。

 一方、前記背面部(12)には、複数の排気孔 (34)を有する排気部(22)が形成されている。こ� ��排気部(22)は、背面部(12)の略全面に形成さ� �ている。各排気孔(34)は排気通路を構成して� ��る。各排気孔(34)は、空気室(14)から外部に� �かって細くなるテーパ状に形成されている� �この実施形態2では、吸気孔(33)及び排気孔(34 )が、圧電フィルム(46)以外の部分に形成され� ��いる。

 -送風動作-
 以下、本実施形態2に係る送風ファン(40)の� �風動作について説明する。まず、排気動作� �には、図8に示すように、圧電フィルム(46)に 所定の電圧を印加して、圧電フィルム(46)を� �気室(14)の内方に振れさせる。そして、この� ��電フィルム(46)の変形により空気室(14)の容� �が小さくなることで空気室(14)内の空気が圧� ��され、排気側の前面部(11)に形成された複数 の排気孔(34)を通じて空気室(14)内の空気が外� ��に排気される。

 すなわち、圧電フィルム(46)に印加する電 圧を適宜設定することで、圧電フィルム(46)� �空気室(14)内方への振動量を制御することが� ��き、これにより、送風ファン(40)の排気流量 を制御することができる。

 一方、吸気動作時には、図9に示すように 、圧電フィルム(46)に排気動作とは逆方向に� �動するように所定の電圧を印加して、圧電� �ィルム(46)を空気室(14)の外方に振れさせる。 そして、この圧電フィルム(46)の変形により� �気室(14)の容積が大きくなることで、吸気側� ��前面部(11)の吸気部(21)に形成された複数の� �気孔(33)を通じて外部から空気室(14)内に空気 が取り込まれる。

 すなわち、圧電フィルム(46)に印加する電 圧を適宜設定することで、圧電フィルム(46)� �空気室(14)外方への振動量を制御することが� ��き、これにより、送風ファン(40)の吸気流量 を制御することができる。

  -実施形態2の効果-
 以上のように、本実施形態2に係る送風ファ ン(40)によれば、前記実施形態1と同様の効果� ��得られるとともに、圧電フィルム(46)に電圧 を印加して圧電フィルム(46)を厚さ方向に振� �させるという簡単な動作で空気の送風を行� �ことができる。

 なお、本実施形態2では、支持部材(19)に� �み吸気孔(33)を形成したが、圧電フィルム(46) に吸気孔(33)を形成するようにしても構わな� �。この場合には、空気の吸気流量がさらに� �きくなって、必要な送風量を十分に確保す� �ことができる。

 また、本実施形態2では、吸気孔(33)及び� �気孔(34)を膜状振動体(16)以外の部分に形成す ることで、膜状振動体(16)の振動に伴って、� �気孔(33)や排気孔(34)が変形しないようにして いる。ここで、膜状振動体(16)に吸気孔(33)や� ��気孔(34)が形成されている場合には、膜状振 動体(16)の振動に伴う孔の変形によって、吸� �孔(33)や排気孔(34)における空気抵抗が変化す るので、送風ファン(10)の風量の特性が安定� �ない。これに対して、本実施形態2では、吸� ��孔(33)及び排気孔(34)を膜状振動体(16)以外の� ��分に形成しているので、吸気孔(33)や排気孔 (34)が変形しない。従って、吸気孔(33)や排気� ��(34)における空気抵抗が一定になるので、送 風ファン(10)の風量の特性を安定化させるこ� �ができる。

 <実施形態3>
 図10(a)は本発明の実施形態3に係る送風ファ� ��の背面図、図10(b)は同正面図である。前記� �施形態1との違いは、圧電セラミックス(17)の 周囲に吸気部(21)を形成した点である。以下� �は、実施形態1と同じ部分については同じ符� ��を付し、相違点についてのみ説明する。

 図10に示すように、送風ファン(50)は、矩� ��(例えば一辺が3cmの正方形)の中空板状のフ� �ン本体(35)を備えている。前記前面部(11)の中 央部には、ファン本体(35)の厚さ方向に振動� �る膜状振動体(16)が構成されている。膜状振� ��体(16)は、圧電セラミックス(17)(圧電素子部) と、ダイヤフラム(18)(膜状部)とを備えている 。圧電セラミックス(17)に電圧を印加して圧� �セラミックス(17)の変形させると、膜状振動� ��(16)は圧電セラミックス(17)の変形に伴って� �動する。

 前記前面部(11)の圧電セラミックス(17)の� �囲となる前面外周部の支持部材(19)には、複� ��の吸気孔(33)を有する吸気部(21)が形成され� �いる。各吸気孔(33)は吸気通路を構成してい� ��。各吸気孔(33)は、外部から空気室(14)に向� �って細くなるテーパ状に形成されている。� �方、前記背面部(12)には、排気部(22)が形成さ れている。各排気孔(34)は排気通路を構成し� �いる。各排気孔(34)は、空気室(14)から外部に 向かって細くなるテーパ状に形成されている 。この排気部(22)は、排気側の背面部(12)の略� ��面に形成されている。

 -送風動作-
 以下、本実施形態3に係る送風ファン(50)の� �風動作について説明する。この送風ファン(5 0)の送風動作は、基本的に前記実施形態1と同 様である。すなわち、まず、排気動作時には 、圧電セラミックス(17)に所定の電圧を印加� �て厚さ方向に変位を生じさせ、その変形に� �ってダイヤフラム(18)を空気室(14)内方に振れ させる。そして、このダイヤフラム(18)の変� �により空気室(14)の容積が小さくなることで� ��気室(14)内の空気が圧縮され、複数の排気孔 (34)を通じて空気室(14)内の空気が外部に排気� ��れる。

 一方、吸気動作時には、圧電セラミック� ��(17)に所定の電圧を印加して排気動作とは逆 方向に変位を生じさせ、ダイヤフラム(18)を� �気室(14)外方に振れさせる。そして、このダ� ��ヤフラム(18)の変形により空気室(14)の容積� �大きくなることで、複数の吸気孔(33)を通じ� ��外部から空気室(14)内に空気が取り込まれる 。

  -実施形態3の効果-
 以上のように、本実施形態3に係る送風ファ ン(50)によれば、前記実施形態1と同様に、圧� ��セラミックス(17)に印加する電圧を調整して ダイヤフラム(18)の振動方向及び振動量を制� �するだけで空気の送風を実現することがで� �る。すなわち、プロペラファンや回転モー� �等の大がかりなユニットを用いることなく� �コンパクトな構成で空気を送風することが� �きる送風ファン(50)を提供できる。

 なお、本実施形態3では、支持部材(19)に� �み吸気孔(33)を形成したが、膜状振動体(16)に 吸気孔(33)を形成するようにしても構わない� �この場合には、空気の吸気流量がより大き� �なって、必要な送風量を十分に確保するこ� �ができる。

 また、本実施形態3では、矩形状のファン 本体(35)を用いて送風ファン(50)を構成してい� ��が、この形態に限定するものではなく、例� ��ば、図11に示すように、円形に形成した圧� �セラミックス(17)に合わせて、円形のファン� ��体(15)を用いて送風ファン(60)を構成しても� �い。

 <実施形態4>
 図12は、本発明の実施形態4に係る送風ファ� ��の構成を示す同縦断面図である。前記実施� ��態1との違いは、膜状振動体(16)を覆う保護� �ィルタ(25)(保護部材)を設けた点である。以� �では、実施形態1と同じ部分については同じ� ��号を付し、相違点についてのみ説明する。

 図12に示すように、この送風ファン(70)は� ��中空板状で円形のファン本体(15)で構成され ている。このファン本体(15)では、側面部(13)� ��一端が、背面部(12)よりも突出して延びてい る。そして、前記側面部(13)の一端部には、� �数の通気孔(26)を有する保護フィルタ(25)が前 面部(11)を覆うように配置されている。保護� �ィルタ(25)と前面部(11)との間には区画室(24)� �形成されている。

 保護フィルタ(25)は、膜状振動体(16)を覆� �ように配置されている。保護フィルタ(25)と� ��面部(11)との距離は、前面部(11)に構成され� �ダイヤフラム(18)がファン本体(15)の厚さ方向 に振動しても、ダイヤフラム(18)と保護フィ� �タ(25)とが干渉しないように設定されている� ��そして、前記保護フィルタ(25)の通気孔(26)� �孔径は、吸気孔(33)の孔径よりも小さく形成� ��れている。つまり、通気孔(26)の通路面積は 、吸気孔(33)よりも小さくなっている。

 なお、送風動作については前記実施形態1 と同様であるため、その説明を省略する。

  -実施形態4の効果-
 以上のように、本実施形態4に係る送風ファ ン(70)によれば、膜状振動体(16)が構成された� ��気側の前面部(11)を覆うように保護フィルタ (25)が配置されているから、膜状振動体(16)を� ��動させた場合に、膜状振動体(16)が送風ファ ン(70)の周辺に配置された部材(例えば、熱交� ��器等)に衝突して破損したり、振動中の膜状 振動体(16)に作業者が誤って触れてしまうこ� �を防止することができる。

 また、保護フィルタ(25)の通気孔(26)の孔� �は、吸気孔(33)の孔径よりも小さく形成され� ��いるから、空気中の塵埃が吸気孔(33)に吸気 される前に保護フィルタ(25)で集塵されるこ� �となり、吸気孔(33)が塵埃によって目詰まり� ��たり、吸気孔(33)から空気室(14)内に入り込� �だ塵埃によって排気孔(34)が目詰まりするこ� ��を抑制して、ファン性能の劣化を抑制する� ��とができる。

 なお、本実施形態4では、吸気側の前面部 (11)に膜状振動体(16)を構成したため、保護フ� ��ルタ(25)を吸気側の前面部(11)を覆うように� �置したが、排気側の背面部(12)に膜状振動体( 16)を構成した場合には、排気側の背面部(12)� �覆うように保護フィルタ(25)を配置する。

 <実施形態5>
 図13(a)は本発明の実施形態5に係る送風ファ� ��(10)の背面図、図13(b)は同正面図、図14は同� �断面図である。

 図13及び図14に示すように、送風ファン(10 )は、薄型送風ファンとして構成されている� �送風ファン(10)は、内部に空気室(14)が形成さ れた中空板状のファン本体(15)を備えている� �ファン本体(15)は、平面視で矩形状(例えば一 辺が3cmの正方形)に形成されている。

 このファン本体(15)は、前面を構成する前 面部(11)と、背面を構成する背面部(12)と、側� ��を構成する側面部(13)とを備えている。前面 部(11)と背面部(12)とは、共に厚みが薄い矩形� ��の平板の部材である。側面部(13)は、矩形の 枠状の部材である。前面部(11)と背面部(12)と� ��、所定の間隔を存して、側面部(13)に連結さ れている。前面部(11)は、外周が全周囲に亘� �て側面部(13)の一端側の内周に連結されてい� ��。背面部(12)は、外周が全周囲に亘って側面 部(13)の他端側の内周に連結されている。な� �、ファン本体(15)は、例えば1~5mm程度の厚さ� �形成されている。

 前面部(11)は、膜状振動体(16)と、該膜状� �動体(16)を支持する支持部材(19)とを備えてい る。膜状振動体(16)は、円盤状に形成され、� �体(18)(膜状部)と駆動体(32)とを備えている。

 駆動体(32)は、基板(31)と圧電素子(17)(圧電 素子部)とを備えている。基板(31)と圧電素子( 17)には同程度の剛性の部材が用いられている 。基板(31)は、ドーナツ盤状に形成され、例� �ばステンレス鋼板により構成されている。� �電素子(17)は、基板(31)よりも小径のドーナツ 盤状に形成されている。圧電素子(17)は、例� �ば2枚の圧電材料の部材を積層したもの(バイ モルフ型圧電素子)によって構成されている� �圧電材料の部材には、例えば圧電セラミッ� �スが用いられている。圧電材料の部材は、  電気エネルギーと機械エネルギーを変換する 働きをもった部材である。なお、圧電素子(17 )の構成は、この構成に限定されるものでは� �い。

 駆動体(32)では、圧電素子(17)が、基板(31)� ��前面(上面)に取り付けられている。圧電素� �(17)は、基板(31)の幅方向の真ん中に配置され ている。また、基板(31)の背面(下面)には、膜 体(18)が取り付けられている。膜体(18)は、基� ��(31)の中央開口を閉鎖するように設けられて いる。つまり、膜体(18)は、薄膜の円盤状に� �成されている。さらに、膜体(18)は、中央部� ��下方へ窪んだ凹状に形成されている。膜体( 18)は、例えばステンレス鋼製の膜体により構 成されている。

 支持部材(19)は、ファン本体(15)の前面外� �部を構成しており、前面部(11)において膜状� ��動体(16)の外周側に形成されている。支持部 材(19)には、圧電素子(17)及び基板(31)に比べて 剛性の大きい部材が用いられている。支持部 材(19)は、外周形状が矩形状に形成され、内� �形状が円形に形成されている。支持部材(19)� ��内周には、膜状振動体(16)の基板(31)の外周� �が連結されている。支持部材(19)の外周は側� ��部(13)に連結されている。支持部材(19)は、� �状振動体(16)を支持して、固定部材を構成し� ��いる。また、背面部(12)は、膜体(18)と同様� �、例えばステンレス鋼製の膜体により構成� �れている。

 前面部(11)では、圧電素子(17)の上面が縮� �で下面が伸びるように圧電素子(17)に電圧を� ��加すると、圧電素子(17)と共に基板(31)が前� �側に屈曲する。また、圧電素子(17)の上面が� ��びて下面が縮むように圧電素子(17)に電圧を 印加すると、圧電素子(17)と共に基板(31)が背� ��側に屈曲する。前面部(11)では、図15及び図1 6に示すように、駆動体(32)の屈曲に伴って膜� ��(18)がファン本体(15)の厚さ方向に振動する� �

 各支持部材(19)には、ファン本体(15)の外� �から空気室(14)へ空気を取り込むための吸気� ��(33)が複数形成されている。各吸気孔(33)は� �気通路を構成している。吸気孔(33)は、ファ� ��本体(15)の外部から空気室(14)に向かって細� �なるテーパ状に形成されている。なお、吸� �孔(33)は、側面部(13)に形成してもよいし、基 板(31)に形成してもよい。

 また、背面部(12)の中央部には、空気室(14 )へ空気をファン本体(15)の外部へ排出するた� ��の排気孔(34)が複数形成されている。各排気 孔(34)は排気通路を構成している。排気孔(34)� ��、背面部(12)のうち膜状振動体(16)に対面す� �部分にのみ形成されている。排気孔(34)は、� ��気室(14)から外部に向かって細くなるテーパ 状に形成されている。

 -送風動作-
 以下、本実施形態5に係る送風ファン(10)の� �風動作について説明する。

 送風動作では、駆動体(32)の前面が内側へ 窪むように屈曲させることによって膜体(18)� �空気室(14)の外方に振れさせる図15に示す第1� ��作と、駆動体(32)の前面が外側へ膨らむよう に屈曲させることによって膜体(18)を空気室(1 4)の内方に振れさせる図16に示す第2動作とが� ��互に行われる。第1動作は、圧電素子(17)の� �面が縮んで下面が伸びるように圧電素子(17)� ��所定の電圧を印加することによって行われ� ��。第2動作は、圧電素子(17)の上面が伸びて� �面が縮むように圧電素子(17)に所定の電圧を� ��加することによって行われる。

 この送風ファン(10)では、第1動作と第2動� ��との繰り返しによって、吸気孔(33)を通じて 取り込まれた空気が、排気孔(34)を通じてフ� �ン本体(15)の外部へ吹き出される。吸気孔(33) からは、膜状振動体(16)の変形によって空気� �(14)の容積が拡大する際に、ファン本体(15)の 外部の空気が取り込まれる。排気孔(34)から� �、主に、膜体(18)が内方へ振れる過程で、空� ��室(14)の中央部の空気が膜体(18)によって排� �される。空気室(14)の中央部の空気は、膜体( 18)によってファン本体(15)の外部へ押し出さ� �る。

  -実施形態5の効果-
 本実施形態5では、ファン本体(15)の外部か� �空気室(14)に向かって細くなるように吸気孔( 33)を形成することで、空気室(14)に取り込ま� �た空気が吸気孔(33)を通ってファン本体(15)の 外部へ戻りにくくなるようにしている。この ため、空気室(14)に取り込まれた空気のうち� �気孔(33)から排気される空気の量を制御する� ��とができるので、ファン効率を向上させる� ��とができる。

 また、本実施形態5では、空気室(14)から� �ァン本体(15)の外部に向かって細くなるよう� ��排気孔(34)を形成することで、排気孔(34)か� �排気された空気が、その排気孔(34)を通って� ��気室(14)へ戻りにくくなるようにしている。 このため、排気孔(34)から排気された空気の� �ち空気室(14)へ戻る空気の量が減少するので� ��ファン効率を向上させることができる。

 また、本実施形態5では、ファン本体(15)� �前面外周部となる支持部材(19)が、膜状振動� ��(16)を支持する部材と、吸気孔(33)を形成す� �部材とを兼ねている。このため、例えば、� �面視において膜状振動体(16)を円形にしてフ� ��ン本体(15)を矩形にする場合などのように、 前面外周部が必要となる場合に、膜状振動体 (16)を支持する部材と、吸気孔(33)を形成する� ��材として、その前面外周部を有効に活用す� ��ことができる。従って、膜状振動体(16)を支 持する部材と、吸気孔(33)を形成する部材と� �別途に設ける必要がないので、ファン本体(1 5)の構成を簡素化することができる。

  -実施形態5の変形例1-
 実施形態5の変形例1について説明する。こ� �変形例1では、吸気孔(33)の通路面積が排気孔 (34)の通路面積に比べて狭くなっている。す� �わち、吸気孔(33)の内側端の直径は、排気孔( 34)の外側端の直径よりも大きくなっている。

 この変形例1では、吸気孔(33)の通路面積� �排気孔(34)の通路面積よりも狭くしているの� ��、排気孔(34)を通過することができない大き さの塵埃が空気室(14)に流入しない。つまり� �排気孔(34)に詰まるような大きさの塵埃は、� ��ず吸気孔(33)で補足される。従って、排気孔 (34)が目詰まりすることを抑制することがで� �るので、ファン性能の劣化を抑制すること� �できる。

  -実施形態5の変形例2-
 実施形態5の変形例2について説明する。こ� �変形例2では、図17に示すように、ファン本� �(15)の前面側に保護フィルタ(25)が設けられて いる。保護フィルタ(25)は、膜状振動体(16)の� ��側を覆っている。保護フィルタ(25)は、膜状 振動体(16)を保護する保護部材(25)を構成して� ��る。また、保護フィルタ(25)は、吸気孔(33)� �外側を覆っている。保護フィルタ(25)は、通� ��する空気中の塵埃を捕集する塵埃捕集部材( 20)を兼ねている。

 この変形例2では、吸気孔(33)の外側を覆� �保護フィルタ(25)を設けることで、保護フィ� ��タ(25)によって塵埃が補足された後の空気が 吸気孔(33)に流入するようにしている。この� �め、吸気孔(33)が塵埃によって目詰まりした� ��、吸気孔(33)から空気室(14)内に入り込んだ� �埃によって排気孔(34)が目詰まりすることを� ��制することができるので、ファン性能の劣� ��を抑制することができる。

 また、この変形例2によれば、膜状振動体 (16)を覆うように保護フィルタ(25)を配置する� ��とで、膜状振動体(16)が周辺の部材や作業者 に接触することが防止される。従って、この ような接触によって膜状振動体(16)が破損す� �ことを防止することができる。

 なお、この変形例2では、吸気孔(33)の通� �面積が、排気孔(34)の通路面積に比べて広く� ��っている。この場合、吸気孔(33)の空気抵抗 が排気孔(34)の空気抵抗に比べて大きいので� �膜状振動体(16)が外方へ振れるときに排気孔( 34)から空気室(14)へ空気が戻ることを抑制す� �ことができる。

  -実施形態5の変形例3-
 実施形態5の変形例3について説明する。こ� �変形例3では、図18及び図19に示すように、フ ァン本体(15)が、背面部(12)を保護するための� ��気側保護部材(45)を備えている。排気側保護 部材(45)は、背面部(12)の背面に当接するよう� ��、側面部(13)に固定されている。また、排気 側保護部材(45)は格子状に形成されている。� �気側保護部材(45)は、排気孔(34)を塞ぐことが ないように形成されている。排気側保護部材 (45)の真ん中の開口には、背面部(12)の中央部� ��臨んでいる。

 この変形例3では、微細な排気孔(34)が形� �されるファン本体(15)の背面部(12)の厚みが比 較的薄くなるので、その背面部(12)を保護す� �排気側保護部材(45)が設けられている。従っ� ��、ファン本体(15)の背面が周辺の部材や作業 者に接触することが防止されるので、このよ うな接触によってファン本体(15)の背面が破� �することを防止することができる。

  -実施形態5の変形例4-
 実施形態5の変形例4について説明する。こ� �変形例4では、図20に示すように、膜状振動� �(16)が側面部(13)に接する状態で支持部材(19)� �支持されている。膜状振動体(16)は側面部(13) にも支持されている。

  -実施形態5の変形例5-
 実施形態5の変形例5について説明する。こ� �変形例5では、膜体(18)に排気孔(34)が形成さ� �ている。また、吸気孔(33)は、例えば背面部( 12)の外周部分に形成されている。

 <実施形態6>
 図21は本実施形態6に係る送風ファンの構成� ��示す同縦断面図である。図21に示すように� �この送風ファン(80)は、前記実施形態1~4に係� ��ファン本体の何れかを複数備え、送風方向� ��直列に接続して構成されている。

 なお、図21では、前記実施形態1で説明し� ��ファン本体(15)を複数備えているものとし、 以下、実施形態1と同じ部分については同じ� �号を付し、相違点についてのみ説明する。

 図21に示すように、この送風ファン(80)は� ��複数のファン本体(15)を、送風方向における 上流側のファン本体(15)の背面部(12)と下流側� ��ファン本体(15)の前面部(11)とを対向させて� �風方向に直列に配置することで構成されて� �る。ここで、各ファン本体(15)の側面部(13)の 前側端は、前面部(11)よりも突出して延びて� �り、複数のファン本体(15)を直列に接続する� ��とにより、上流側のファン本体(15)の背面部 (12)と下流側のファン本体(15)の前面部(11)との 間に区画室(24)が形成されるようになってい� �。

 以上のように、本発明の送風ファン(80)に よれば、複数のファン本体(15)を送風方向に� �列に配置したから、ファン本体(15)が1つだけ の場合に比べて、上流側と下流側との圧力差 を大きくして静圧特性を向上させることがで き、必要な風量を確保する上で有利となる。

 なお、本実施形態6では、前記実施形態1� �係るファン本体(15)を直列に配置した場合に� ��いて説明したが、例えば、前記実施形態4の ように保護フィルタ(25)を用いる場合には、� �22に示すように、下流側のファン本体(15)に� �けられた保護フィルタ(25)が、上流側のファ� ��本体(15)の背面部(12)に積層される。

 このようにすれば、保護フィルタ(25)と前 面部(11)との間に予め設けられた区画室(24)に� ��って、上流側のファン本体(15)から排気され た空気が外部に漏れることなく下流側のファ ン本体(15)に送風される。

 <実施形態7>
 図23は本発明の実施形態7に係る送風ファン� ��正面図、図24はファン本体(15)の背面図、図2 5はファン本体(15)の縦断面図、図26はパネル� �材の要部の拡大正面図である。

 送風ファン(90)は、図23に示すように、複� ��のファン本体(15)とパネル部材(28)とを備え� �いる。送風ファン(90)は、全体としてパネル� ��に形成されている。送風ファン(90)は、例え ば、空気調和装置の熱交換器(例えば室外の� �交換器)に重なるように配置された状態で使� ��される。なお、図24及び図25に示すように、 本実施形態7のファン本体(15)は、前記実施形� ��5のファン本体(15)と同じ構成にしているが� �前記実施形態1から実施形態4のファン本体と 同じ構成にしてもよい。以下では、相違点に ついてのみ説明する。

 ファン本体(15)の側面部(13)の背面には、4� ��取付ピン(37)と、一対の電極ピン(38)とが突� �されている。これらの取付ピン(37)は取付手� ��(27)を構成している。各取付ピン(37)は、後� �するパネル部材(28)の取付穴(47)に嵌め込まれ る。各電極ピン(38)は、後述するパネル部材(2 8)の電極用穴(48)に嵌め込まれる。

 取付ピン(37)は、側面部(13)の各辺に1つず� ��設けられている。取付ピン(37)は、側面部(13 )の各辺における角部の近傍に位置に設けら� �ている。取付ピン(37)は、対角の角部に配置� ��れたもの同士が、側面部(13)の中心に線対称 となる位置に配置されている。

 一対の電極ピン(38)は、側面部(13)の同じ� �に設けられている。各電極ピン(38)は、圧電� ��子(17)に電気的に接続されている。一対の電 極ピン(38)のうち一方の電極ピン(38a)は、圧電 素子(17)のプラス側の電極となり、他方の電� �ピン(38b)は、圧電素子(17)のマイナス側の電� �となる。圧電素子(17)には、これらの電極ピ� ��(38)を介して、外部電源からの電圧が印加さ れる。なお、取付ピン(37)及び電極ピン(38)の� ��置は単なる一例である。

 パネル部材(28)は、ファン本体(15)が取り� �けられる取付対象物となる部材であり、長� �形のパネル状に形成されている。パネル部� �(28)の外周形状は、熱交換器を厚さ方向から� ��た場合の外周形状に合わせて形成されてい� ��。パネル部材(28)には、図26に示すように、� ��ァン本体(15)に対応する形状の枠状部(29)が� �数形成されている。これらの枠状部(29)は、� ��ネル部材(28)の長手方向及び短手方向に対し て、格子状の配列で形成されている。これら の枠状部(29)は、パネル部材(28)の長手方向と� ��手方向とにそれぞれ複数個ずつ並設されて� ��る。

 各枠状部(29)は、開口(29a)がファン本体(15) の前面部(11)及び背面部(12)と同じ形状で同じ� ��きさに形成されている。各枠状部(29)には、 前面に側面部(13)の背面が当接するようにフ� �ン本体(15)が取り付けられる。各枠状部(29)に は、ファン本体(15)を取り付けるために、各� �ァン本体(15)の取付ピン(37)に対応する位置に 、取付ピン(37)が嵌め込まれる取付穴(47)が形� ��されている。取付穴(47)は4つ形成されてい� �。

 また、各枠状部(29)では、各ファン本体(15 )の電極ピン(38)に対応する位置に、電極ピン( 38)が嵌め込まれる電極用穴(48)が形成されて� �る。電極用穴(48)は2つ形成されている。プラ ス側の電極ピン(38a)に対応する位置の電極用� ��(48a)の壁面には、プラス側の電極ピン(38a)に 接触するプラス側の接続電極が設けられてい る。マイナス側の電極ピン(38b)に対応する位� ��の電極用穴(48b)の壁面には、マイナス側の� �極ピン(38b)に接触するマイナス側の接続電極 が設けられている。

 パネル部材(28)には、外部電源に接続され るプラス側電極端子(41)及びマイナス側電極� �子(42)が設けられている。これらの電極端子( 41,42)は、パネル部材(28)の短手方向の同じ側� �における角部の近傍の位置に突設されてい� �。

 また、パネル部材(28)には、プラス側電極 端子(41)とプラス側の接続電極とを接続する� �ラス用電線(43)と、マイナス側電極端子(42)と マイナス側の接続電極とを接続するマイナス 用電線(44)とが埋設されている。プラス用電� �(43)は、一端側がプラス側電極端子(41)に接続 され、他端が分岐して各枠状部(29)のプラス� �の接続電極に接続されている。マイナス用� �線(44)は、一端側がマイナス側電極端子(42)に 接続され、他端が分岐して各枠状部(29)のマ� �ナス側の接続電極に接続されている。プラ� �用電線(43)及びマイナス用電線(44)は、各枠状 部(29)に取り付けられるファン本体(15)の圧電� ��子(17)が互いに並列になるように配線されて いる。

 送風ファン(90)は、パネル部材(28)の各枠� �部(29)にファン本体(15)を1つずつ取り付ける� �とによって構成されている。ファン本体(15)� ��、4つの取付ピン(37)をそれぞれ取付穴(47)に� ��2つの電極ピン(38)をそれぞれ電極用穴(48)に� ��め込むことによって各枠状部(29)に連結され る。ファン本体(15)が枠状部(29)に取り付けら� ��ると、プラス側の電極ピン(38a)がプラス側� �接続電極に、マイナス側の電極ピン(38b)がマ イナス側の接続電極に接触する。そして、プ ラス側電極端子(41)及びマイナス側電極端子(4 2)を外部電源に接続することで、各枠状部(29) に取り付けられたファン本体(15)の圧電素子(1 7)に電圧を印加することができる状態になる� ��

  -実施形態7の効果-
 以上のように、本実施形態7に係る送風ファ ン(90)では、それぞれが送風機能を有する複� �のファン本体(10)を使用し、各ファン本体(10) が排気孔(34)が同じ側を向く姿勢で同一の面� �沿って配列されている。従って、複数のフ� �ン本体(10)から同一方向へ空気を吹き出すこ� ��ができるので、ファン本体が1つだけの送風 ファンに比べて、送風ファン(20)の送風量を� �加することができる。

 また、本実施形態7によれば、ファン本体 (15)に、ファン本体(15)をパネル部材(28)に取り 付けるための取付ピン(37)を設けている。こ� �ため、取付ピン(37)を取付用の穴に嵌め込む� ��とによって、容易にファン本体(15)をパネル 部材(28)に取り付けることができる。

 また、本実施形態7では、ファン本体(15)� �、圧電素子(17)を外部電源に電気的に接続す� ��ための電極ピン(38)を設けている。このため 、電極ピン(38)を取り付けることによって、� �状振動体(16)を容易に外部電源に電気的に接� ��することができる。

  -実施形態7の変形例-
 実施形態7の変形例ついて説明する。この変 形例では、4本の取付ピン(37)のうち2本が、膜 状振動体(16)を振動させるための電極を兼ね� �いる。具体的に、図27における左上の取付ピ ン(37)が、プラス側の電極ピン(38a)を構成して いる。図27における右上の取付ピン(37)が、プ ラス側の電極ピン(38b)を構成している。

 この変形例によれば、別途に膜状振動体( 16)の電極を設ける必要がないので、送風ファ ン(10)の構成を簡素化することができる。

 《その他の実施形態》
 前記実施形態については、以下のような構� ��としてもよい。

 前記実施形態について、図28に示すよう� �、吸気孔(33)の壁面に、壁面が帯電すること� ��防止するための帯電防止コーティング(49)を 施してもよい。帯電防止コーティング(49)に� �、シリコン樹脂を用いることができる。な� �、帯電防止コーティング(49)は、吸気孔(33)の 壁面のみに施すことは困難であるため、吸気 孔(33)が形成された部材の外面全体に施され� �。吸気孔(33)が膜状振動体(16)に形成されてい る場合には、膜状振動体(16)の外面全体に、� �電防止コーティング(49)が施される。吸気孔( 33)が支持部材(19)に形成されている場合には� �支持部材(19)の外面全体に、帯電防止コーテ� ��ング(49)が施される。このように帯電防止コ ーティング(49)によって吸気孔(33)の壁面を覆� ��ことで、空気中の塵埃のうち帯電している� ��埃が、吸気孔(33)の壁面に付着しにくくなる 。従って、吸気孔(33)が塵埃によって目詰ま� �することを抑制して、ファン性能の劣化を� �制することができる。

 また、前記実施形態について、排気孔(34) の壁面に帯電防止コーティング(49)を施して� �よい。この場合、空気中の塵埃のうち帯電� �ている塵埃が排気孔(34)に付着しにくくなる� ��で、排気孔(34)が塵埃によって目詰まりする ことを抑制して、ファン性能の劣化を抑制す ることができる。

 また、前記実施形態について、膜状振動� ��(16)に帯電防止コーティング(49)を施しても� �い。この場合、膜状振動体(16)が帯電するこ� ��を抑制することができる。