本発明の一以上の実施例は、流体軸受の� ��持剛性を十分に高めることができる中ぐり� ��工装置を提供する。

 本発明の一以上の実施例によれば、中ぐ� ��加工装置1は、貫通孔11が形成された被加工� ��Wが載置される基台20と、前記被加工物Wの貫 通孔11に挿通される切削工具30と、前記切削� �具30を回転させる回転駆動装置40と、前記切� ��工具30をブッシュ面51で支持する支持治具50A , 50Bと、を備える。前記切削工具30は、長さ� ��向Zに沿って延びる主流路61および前記主流� ��61から外周面312に至る分岐流路63を有する工 具本体31と、前記工具本体31の外周面312に設� �られた切刃32と、前記切削工具31の外周面312� ��前記支持治具50A, 50Bのブッシュ面51に対向� �かつ前記分岐流路63が開口された部分に、前 記分岐流路63の開口面積よりも大きい面積に� ��って形成された凹状のポケット313と、前記� ��岐流路63に着脱可能に取り付けられた結合� �材64と、前記結合部材64に形成され前記分岐� ��路63の上流側と下流側とを連通するオリフ� �ス641と、を備える。前記切削工具30の主流路 61に流体を供給することにより、前記主流路6 1および分岐流路63を通して前記支持治具50A,  50Bのブッシュ面51と前記切削工具の外周面と� ��間に流体を供給して、前記切削工具30と前� �支持治具50A, 50Bとの間に流体軸受が形成さ� �る。

 前記一以上の実施例の装置では、被加工� ��が基台に載置される。この被加工物の貫通� ��に切削工具を挿通する。次に、切削工具の� ��端側を回転駆動装置に接続するとともに、� ��の切削工具を支持治具で支持する。続いて� ��切削工具の主流路に流体を供給しながらこ� ��切削工具を回転させる。すると、被加工物� ��、切削工具の切刃により中ぐり加工される� ��

 ここで、切削工具の外周面に凹状のポケ� ��トを設けたので、切削工具の主流路に供給� ��れた流体は、分岐流路およびオリフィスを� ��してポケットに流入し、このポケットに溜� ��った後、支持治具のブッシュ面と切削工具� ��外周面との間から流出する。これにより、� ��持治具と切削工具との間に流体軸受を形成� ��る。

 このようにポケットに流体を溜めたので� ��支持治具のブッシュ面と切削工具の外周面� ��の間の支持剛性を向上できる。

 また、オリフィスが設けられた結合部材� ��分岐流路に着脱可能とした。よって、オリ� ��ィスの形状が異なる複数の結合部材を用意� ��てもよく、これら複数の結合部材を、順次� ��切削工具の分岐流路に装着してもよい。こ� ��ため、支持剛性が最も大きくなるものを抽� ��して、分岐流路に装着することができる。� ��たがって、オリフィスを容易に最適の形状� ��設定できるので、流体軸受の支持剛性を十� ��に高めることができ、被加工物を高精度で� ��工できる。

 この場合、前記結合部材は、前記オリフ� ��スの形状が異なる複数の結合部材を用意し� ��もよく、前記複数の結合部材を、順次、前� ��切削工具の分岐流路に装着することができ� ��前記オリフィス通過前の流体の圧力と前記� ��リフィス通過後の流体の圧力とを測定し、� ��記オリフィス通過前と通過後との流体の圧� ��の比が最も所定値に近いものを抽出するこ� ��により、前記複数の結合部材の中から選択� ��てもよい。

 支持剛性は、オリフィス通過前と通過後� ��の流体の圧力の比が所定値に近いほど大き� ��なることが判明している。

 そこで、この前記一以上の実施例によれ� ��、以下のように複数の結合部材の中から分� ��流路に装着する結合部材を選択してもよい� ��すなわち、オリフィスの形状が異なる複数� ��結合部材を用意することができ、これら複� ��の結合部材を、順次、切削工具の分岐流路� ��装着することができ、オリフィス通過前の� ��体の圧力とオリフィス通過後の流体の圧力� ��を測定することができ、オリフィス通過前� ��通過後との流体の圧力の比が最も所定値に� ��いものを抽出することができる。これによ� ��、支持剛性が最も大きくなる結合部材を分� ��流路に装着することができるので、支持剛� ��を十分に高めることができ、被加工物を高� ��度で加工できる。

 前記支持治具のブッシュ面の軸方向の長� ��は、前記ポケットの軸方向の長さよりも長� ��してもよい。

 支持治具のブッシュ面の軸方向の長さが� ��ケットの軸方向の長さよりも短いと、ポケ� ��トがブッシュ面からはみ出して、流体軸受� ��十分に形成できないおそれがある。しかし� ��がら、この前記一以上の実施例によれば、� ��持治具のブッシュ面の軸方向の長さを、ポ� ��ットの軸方向の長さよりも長くした場合は� ��ポケットがブッシュ面からはみ出すのを防� ��で、流体軸受を確実に形成でき、被加工物� ��さらに高精度で加工できる。

 さらに、本発明の一以上の実施例によれ� ��、前記中ぐり加工装置1が、貫通孔11が形成� ��れた被加工物Wが載置される基台20と、前記� ��加工物Wの貫通孔11に挿通される切削工具30� �、前記切削工具30を回転させる回転駆動装置 40と、前記切削工具30をブッシュ面51で支持す る支持治具50A, 50Bと、を備え、前記切削工具 30は、長さ方向Zに沿って延びる主流路61およ� ��前記主流路61から工具本体31の外周面312に至 る分岐流路63を有する工具本体31と、前記工� �本体31の外周面312に設けられた切刃32と、を� ��えている、中ぐり加工装置1によって被加工 物Wを中ぐり加工する中ぐり加工方法は、前� �切削工具30の外周面312のうち前記支持治具50A , 50Bのブッシュ面51に対向しかつ前記分岐流� ��63が開口された部分に、前記分岐流路63の開 口面積よりも大きい面積に亘って凹状のポケ ット313を形成し、前記分岐流路63を、前記分� ��流路63の上流側と下流側とを連通するオリ� �ィス641を備える結合部材64が前記分岐流路に 着脱可能となるように形成し、前記オリフィ ス641の直径が異なる複数の結合部材64を用意� ��、前記複数の結合部材64を、順次交換して� �分岐流路63に取り付けて、前記オリフィス通 過前の流体の圧力と前記オリフィス通過後の 流体の圧力とを測定し、前記オリフィス通過 前と通過後との流体の圧力の比が最も所定値 に近いものを前記複数の結合部材64から選択� ��、前記抽出した結合部材を前記分岐流路に� ��着し、前記切削工具30の主流路61に流体を供 給することにより、前記主流路61および分岐� ��路63を通して前記切削工具30の外周面312と前 記支持治具50A, 50Bのブッシュ面51との間に流� ��を供給して、前記切削工具30と前記支持治� �50A, 50Bとの間に流体軸受を形成しつつ、前� �切削工具30を回転させて、前記被加工物Wを� �ぐり加工する。

 本発明の一以上の実施例によれば、オリ� ��ィスが設けられた結合部材を分岐流路に着� ��可能とした。よって、オリフィスの形状が� ��なる複数の結合部材を用意でき、これら複� ��の結合部材を、順次、切削工具の分岐流路� ��装着して、支持剛性が最も大きくなるもの� ��抽出して、分岐流路に装着することができ� ��。したがって、オリフィスを最適の形状に� ��定できるので、流体軸受の支持剛性を十分� ��高めることができ、被加工物を高精度で加� ��できる。

 本発明のその他の特徴および効果は、下� ��の実施例の記載、図面、請求項から明白で� ��る。