(実施の形態)
 以下、本発明の実施の形態を図面を用いて� ��明する。図1は本発明の一実施の形態による コンデンサの検査装置の構成を示した概念図 である。図2Aおよび図2Bは、同検査装置の測� �部を示したそれぞれ分解斜視図および外観� �視図である。図2Cは同検査装置に被検査体で あるコンデンサを載置した状態の外観斜視図 である。図3A~図3Cは同測定部を構成する基板� ��示したそれぞれ斜視図と平面図と裏面図で� ��る。

 図1~図3Cにおいて、被検査体としてのコン デンサ2は、測定部1上に載置されて測定され� ��。コンデンサ2は図10を用いて説明したチッ� ��形固体電解コンデンサと同じものである。� ��なわち、実装面となる下面に陽極端子46aと� ��極端子47aが夫々対向する2箇所に露呈するよ うに構成された4端子構造の面実装型である� �

 基板3は、測定部1を構成する主要部材で� �り、絶縁性の材料で構成されている。基板3� ��表面側の略中央の長手方向に亘って、50ωの マイクロストリップライン4と、グランド5と� ��めっき処理により形成されている。マイク� ��ストリップライン4は、コンデンサ2の陽極� �子(第1の端子)46aに信号を入力するための信� �ラインとなる。グランド5は、コンデンサ2の 陰極端子(第2の端子)47aと接触するための陰極 電極となる。なお、マイクロストリップライ ン4とグランド5間にはめっきを施さず、絶縁� ��6が設けられている。更に、基板3の裏面に� �同様のめっき処理が施され、複数の貫通孔(� ��述する測定端子7が植設される孔となる)に� �って表裏面が導通され、マイクロストリッ� �ライン4とグランド5が絶縁部6を介して独立� �て形成された構成になっている。

 測定端子7は、基板3のマイクロストリッ� �ライン4とグランド5の所定の位置に設けられ た複数の貫通孔に夫々植設されることによっ て一端が基板3の表面側に突出するように設� �られている。測定端子7は基板3の表面側に突 出した部分の先端が円錐状に形成されている 。円錐状の先端部分が被検査体であるコンデ ンサ2の底面の対向する2箇所に夫々設けられ� ��陽極端子46aと陰極端子47a(合計で4つの端子)� ��当接するように設けられている。測定端子7 は、コンデンサ2の各端子に対して2本ずつ、� ��計で8本、設けられている。

 また、陽極端子46a、陰極端子47aの各々に� ��して設けられる2本の測定端子7は、各端子46 a、47aの両端に近い位置に夫々設けることに� �り、隣接する陽極/陰極間の距離を短くして� ��要な抵抗を可能な限り低減するようにして� ��る。

 絶縁材料製のガイド板8によりコンデンサ 2を測定部1内の所定の位置に位置決めして正� ��な測定を行う。金属製の固定台9上に基板3� �らびにガイド板8を結合する。

 入力側同軸コネクタ10は基板3に設けられ� ��マイクロストリップライン4に信号を入力す る。出力側同軸コネクタ11はマイクロストリ� ��プライン4からの信号を取り出す。

 ネットワークアナライザ12は、第1ポート1 2aと第2ポート12bを有している。第1ポート側� �軸ケーブル13を介して第1ポート12aと入力側� �軸コネクタ10が接続されている。第2ポート� �同軸ケーブル14を介して第2ポート12bと出力� �同軸コネクタ11が接続されている。第1ポー� �12aより入力信号を一定電力で周波数挿引さ� �て入力した場合の第1ポート12aおよび第2ポー ト12bへの入射波と反射波の比により、測定部 1のインピーダンスを求める。

 パーソナルコンピュータ(以下、パソコン と呼ぶ)15は、制御部16と演算部17と表示部18と 記録部19とを備えている。供給部20は、測定� �1上にコンデンサ2を搬入して載置し、また、 取り出して搬出する。加圧部21は、測定部1上 に載置されたコンデンサ2を測定部1に押し付� ��るように付勢する。制御部16は、供給部20や 加圧部21の制御も同時に行う。

 次に、このように構成された本実施の形� ��によるコンデンサの検査装置を用いてESLを� ��定する方法を具体的に説明する。図4は本実 施の形態における被検査体としてのコンデン サ2の接続パターンによる検査方法を示した� �路図である。2ポート方式を用いた測定の中� ��一般にシャント・スルー測定法と呼ばれて� ��る。この測定方法は、4端子回路網で、各ポ ート12a、12bの信号端子間と各ポート12a、12bの グランド端子間を接続し、かつ、接続した信 号端子間の中央付近とグランド間にコンデン サ2を接続する。

 図5は図4に示した測定方法を用いてコン� �ンサ2のESLを測定する原理を模式的に示した� ��路図である。一定入出力負荷22に並列接続� �れたコンデンサ2に一定電力で周波数を信号� ��23より挿引させた信号を付加する。このと� �のネットワークアナライザ12の第1ポート12a� �の第1の入射波a1(24)と第1の反射波b1(25)、およ び第2ポート12bへの第2の入射波a2(26)と第2の反 射波b2(27)の比により算出される(数1)で表され るSパラメータを用いて演算を行う。このこ� �によりコンデンサ2のESLを算出して求める。� ��お、入射波a1、a2と反射波b1、b2とSパラメー� ��の関係は(数2)で表される。

 図6は、図4に示した接続方法により、コ� �デンサ2を実際に基板3上に実装した状態を示 した平面図である。第1のインピーダンス素� �28、第2のインピーダンス素子29、第3のイン� �ーダンス素子30により図7に示すような回路� �構成されていると仮定すると、コンデンサ2� ��第2のインピーダンス素子29であると考えら� ��る。これは一般にT型回路と呼ばれている。 (数3)で表されるZパラメータの第1行第2列のZ12 とT型回路に対応したZパラメータの第1行第2� �のインピーダンスZ2が等しい。このことから (数4)が成り立ち、(数5)のSパラメータとZ12の� �係を用いてコンデンサ2のインピーダンスZ2� �求め、そこからコンデンサ2のESL(等価直列イ ンダクタンス)を算出することができる。

 なお、図8と図9は、このように測定して� �めたコンデンサ2のインピーダンス特性とESL� ��性を参考として示した特性図である。

 上述した演算は、パソコン15の演算部17で 行われる。すなわち、制御部16の指示により� ��ネットワークアナライザ12から測定結果が� �ソコン15に取り入れられる。これにより、パ ソコン15の演算部17で数式5で示す演算が行わ� ��、その結果が表示部18に表示される。また� �演算部17での演算結果は記録部19に記録され� ��記録部19での統計を元に、制御部16の指示に よって被検体であるコンデンサの検査および 特性の管理に用いられる。また、制御部16は� ��供給部20に指示をして、測定開始前に、被� �体であるコンデンサ2を測定部1に搬入して載 置する。測定終了後は被検体であるコンデン サ2を測定部1から取り出す。制御部16は、例� �ば、測定実施の際、管理規格値から外れた� �ンデンサ2を測定部1から取り出し、不良品と して区分する。測定を開始したにもかかわら ず、測定結果が得られない場合は、供給部20� ��指示をして、被検体であるコンデンサ2を加 圧して、コンデンサ2の各端子46a、47aが測定� �子7に確実に接触するようにする。

 このように本実施の形態によるコンデン� ��の検査装置およびこれを用いた検査方法は� ��簡単な構成で不要な抵抗等のインピーダン� ��が発生することがなく、極めて短時間で、� ��つ、精度良くコンデンサのESLを測定するこ� ��ができる。しかも、測定部1にコンデンサ2� �下面に設けられた4つの端子46a、47aと、夫々� ��接して信号を入出力するためのピン状の測� ��端子7を植設した構成を有している。これに より、コンデンサ2の端子46a、47aと測定端子7� ��接触状態を大きく向上させることができる� ��そのために、更なる測定精度の向上を図る� ��とができる。

 なお、本実施の形態では、コンデンサの� ��ンピーダンスに関連した情報としてのESLを� ��定することについて説明したが、この他、� ��ンピーダンスに関連した情報としてESR(等価 直列抵抗)を測定する場合、あるいはコンデ� �サの容量を測定する場合にも本発明は適用� �きる。