Beschreibung

Träger für einen Siliziumblock, Trägeranordnung mit einem solchen Träger und Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung

Anwendungsgebiet und Stand der Technik

Die Erfindung betrifft einen Träger für einen Siliziumblock, eine Trägeranordnung sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung.

Es ist aus der DE 102009023121 A1 und der DE 102009023122 A1 bekannt, einen Träger für einen Siliziumblock aus Kunststoff oder aus Keramik herzustellen. Der Träger dient zur besseren Handhabung des Siliziumblocks bei verschiedenen Arbeitsschritten, insbesondere beim Sägen, wobei der Siliziumblock an die Unterseite angeklebt ist. In einen solchen Träger sind durchgehende innere Längskanäle integriert. Diese Längskanäle werden beim Zersägen des Siliziumblocks von unten angesägt. Dadurch wird es möglich, Wasser oder andere Reinigungsflüssigkeit in die Längskanäle einzubringen, so dass es dann von oben in die Zwischenräume zwischen den einzelnen zersägten Wafern eintritt und dort Sägerückstände ausspült.

Die dadurch erzielte Reinigungswirkung ist sehr vorteilhaft. Das Einbringen der integrierten Längskanäle in die Träger aus den genannten Materialien stellt jedoch einen erheblichen Aufwand dar.

Aufgabe und Lösung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen eingangs genannten Träger, eine entsprechende Trägeranordnung sowie ein Verfahren zur Herstellung eine solchen Trägeranordnung zu schaffen, mit denen Prob- - - lerne des Standes der Technik gelöst werden können und insbesondere eine vorteilhafte, preisgünstige und prozesssichere Methode geschaffen werden kann, einen solchen Träger herzustellen und zu verwenden.

Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Träger mit den Merkmalen des Anspruchs 1 , eine Trägeranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 9 sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Trägeranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 14. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Dabei werden manche der nachfolgenden Merkmale nur für den Träger oder nur für die Trägeranordnung oder nur für das Verfahren genannt. Sie sollen jedoch unabhängig davon sowohl für den Träger als auch für die Trägeranordnung oder das Verfahren gelten können. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.

Es ist vorgesehen, dass der Träger dazu ausgebildet ist, als Teil einer Trägeranordnung mit einem Siliziumblock fest verbunden zu sein, der üblicherweise recht schwer ist und einige kg wiegt. Dabei muss der Träger noch nicht einmal direkt mit dem Siliziumblock fest verbunden sein bzw. es ist vorgesehen, dass er nicht direkt mit dem Siliziumblock fest verbunden wird. Dazu ist vorteilhaft ein später noch näher erläutertes Trägerunterteil vorgesehen, das unten an dem Träger befestigt wird, und an diesem Trägerunterteil wiederum wird der Siliziumblock befestigt, insbesondere festgeklebt auf an sich bekannte Art und Weise. Die Trägeranordnung ist also in der Hinsicht zweigeteilt, dass der im vorgenannten Stand der Technik einteilige Träger nun aus zwei Teilen besteht, nämlich dem Träger und dem Trägerunterteil. Der Träger als Teil der Trägeranordnung kann mit dem Trägerunterteil verbunden sein und diese Einheit wiederum kann mit dem schweren Siliziumblock verbunden sein. - -

Dieser kann mit der Trägeranordnung bewegt werden zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl..

Vorteilhaft kann der Träger selbst dazu ausgebildet sein, an Bewegungsvorrichtungen befestigt zu werden, mit denen er in eine Säge oder in eine Reinigungsvorrichtung eingefahren wird, vorteilhaft durch Befestigungsmittel wie Verschraubungen odgl.. An seiner zu dem Siliziumblock hin weisenden Unterseite weist der Träger mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte auf. Diese sind an der Unterseite nach unten hin offen. Sie werden dann später durch das Trägerunterteil verschlossen bzw. überdeckt und wandeln sich sozusagen von offenen Kanälen, die leicht herstellbar sind, um in integrierte innere Längskanäle, die für sich wiederum sehr viel schwieriger herstellbar sind. Das Trägerunterteil mit dem Siliziumblock wiederum ist dazu vorgesehen, beim Sägen angesägt zu werden bis an die genannten Vertiefungen und auf alle Fälle bis zum vollständigen Trennen der einzelnen Wafer. Somit bildet der Träger mit einem Trägerunterteil zusammen eine Trägeranordnung, wie sie in einstückiger Form aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannt ist.

Vorteilhaft sind mehrere parallele offene Kanäle nach Art von Nuten in der Unterseite des Trägers vorgesehen. Besonders vorteilhaft verlaufen sie entlang der Längsrichtung des Trägers und können bevorzugt regelmäßige Abstände zueinander aufweisen. So können es beispielsweise 4 bis 10 Vertiefungen bzw. Kanäle sein, die vorteilhaft mit gleichem Abstand zueinander entlang der Längsrichtung des Trägers verlaufen.

In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist die Unterseite des Trägers bis auf die genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte eben bzw. flach und plan. Dabei kann vorgesehen sein, dass der Träger im Wesentlichen eine konstante Dicke aufweist und insbesondere eine Art Platte ist. Vorteilhaft ist er wie bei den bekannten Trägeranordnungen - - länglich und rechteckig, wie im übrigen auch üblicherweise die Siliziumblöcke.

Auf der Oberseite des Trägers können in Ausgestaltung der Erfindung Befestigungsmittel vorgesehen sein, mit denen der Träger an einer vorgenannten Bewegungsvorrichtung bzw. einer Handhabungsvorrichtung befestigt werden kann. An den Befestigungsmitteln kann der Verbund aus Trägeranordnung und Siliziumblock dann gegriffen und bewegt werden. In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung sind die Befestigungsmittel als Befestigungsvorsprünge mit Gewindebohrungen ausgebildet. Besonders bevorzugt können sie dabei nach oben weisen für eine Ein- schraubrichtung senkrecht zu dem Träger. Vielfältige andere Befestigungsmittel sind aber denkbar und dem Fachmann bekannt.

Vorteilhaft kann der Träger aus Metall bestehen. Besonders vorteilhaft ist er aus Stahl bzw. Edelstahl. Seine Abmessungen können hinsichtlich Länge und Breite üblichen Trägeranordnungen entsprechen und vor allem von den Siliziumblöcken abhängen, mit denen er verbunden werden soll. Die Dicke des Trägers kann zwischen 1 cm und 3 cm variieren, beispielsweise etwa 2 cm betragen. So können die schweren Siliziumblöcke gut gehalten und transportiert werden. Seine Länge kann zwischen 20 cm und 50 cm liegen, unter Umständen auch noch etwas mehr. Allgemein kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass der Träger oder zumindest eine rechteckige Trägerplatte, die ihn im Wesentlichen bildet, einteilig und einstückig ist. Die vorgenannten Befestigungsmittel können dann an der Trägerplatte nachträglich befestigt sein oder aber bereits einstückig herausgearbeitet bzw. angeformt sein.

Ein Querschnitt der genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte kann grundsätzlich beliebig sein. Vorteilhaft sind sie rechteckig oder rund, insbesondere halbkreisförmig. Sie können durch Fräsen hergestellt sein. - -

In nochmals weiterer Ausgestaltung der Erfindung können die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte nach unten verschlossen sein, allerdings flüssigkeitsdurchlässig verschlossen. Dies kann knapp oberhalb der Unterseite erfolgen. Vorteilhaft kann ein Verschluss durch eine Art Lochgitter oder Lochplatten erfolgen. Dieser flüssigkeitsdurchlässige Verschluss dient im Wesentlichen als eine Art Diffusor oder Verteiler. So kann in die Vertiefungen eingebrachtes Wasser in etwa gleichmäßig verteilt nach unten aus den Vertiefungen austreten und über die Sägespalte in den unten am Träger befestigten Trägerunterteilen in die Zwischenräume zwischen den Wafern eintreten. So kann sichergestellt werden, dass selbst bei Einleitung von Wasser an nur einem oder zwei Punkten pro Vertiefung oder Kanal ein etwa gleichmäßiger Eintritt von Wasser in die Sägespalte zwischen den Wafern erfolgt.

Eine Möglichkeit, die aus dem Stand der Technik bekannt ist, um in die Vertiefungen bei einer fertigen Trägeranordnung Wasser einzubringen bzw. sie zugänglich zu machen geht über die Anfangs- und Endöffnungen der entstandenen Längskanäle. Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit besteht darin, dass die Vertiefungen im Träger und somit die integrierten Längskanäle von oben bzw. von seiner Oberseite zugänglich sind. Hierfür können im Träger Zulaufkanäle vorgesehen sein. Vorteilhaft verbinden solche Zulaufkanäle mehrere Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte miteinander. Dies bedeutet also, dass sie beispielsweise quer zur Verlaufsrichtung der Vertiefungen ausgebildet sind und auch an der Unterseite eingearbeitet sind. Sie können durch Bohrungen durch die Oberseite her zugänglich sein. In weiterer Ausgestaltung können auf der Oberseite Vorsprünge vorgesehen sein, die einen solchen Zulaufkanal aufweisen und zum Anschluss einer Wasserversorgung odgl. dienen können. - -

Die genannte Verteilungswirkung von eingebrachtem Wasser auf die verschiedenen Vertiefungen, insbesondere auch mit den vorgenannten Zulaufkanälen, basiert darauf, dass bei der fertigen Trägeranordnung dann an dem Träger das Trägerunterteil angesetzt ist. Eine vorteilhafte Möglichkeit ist hier ein Verkleben des Trägers mit dem Trägerunterteil. Das Trägerunterteil ist ein nur einmal verwendetes Verschleißteil, da es beim Zersägen des Siliziumblocks selbst auch angesägt wird. Um es von dem Träger zu entfernen, kann die Verklebung gelöst werden auf an sich übliche Art und Weise, beispielsweise chemisch oder thermisch. Dann kann der Träger an seiner Unterseite von Klebstoffresten gereinigt werden und danach wieder mit einem neuen Trägerunterteil verklebt werden. Mit dieser neuen Trägeranordnung kann ein neuer Siliziumblock verbunden werden, insbesondere auch daran festgeklebt werden, für nachfolgende Bearbeitungsschritte wie Zersägen oder Reinigen.

Bei einer erfindungsgemäßen Trägeranordnung ist der Träger metallisch und an seiner Unterseite ist ein Trägerunterteil befestigt, an dem wiederum ein schwerer Siliziumblock angebracht werden kann, beispielsweise dauerhaft und stabil durch Festkleben. Das Trägerunterteil besteht aus nicht-metallischem Material, und weist an seiner mit dem Träger verbundenen Oberseite Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte bzw. Nuten auf. Diese können von der Form bzw. von der Ausbildung her den Vertiefungen, Kanälen oder Einschnitten bzw. Nuten entsprechen, wie sie für eine vorteilhafte Ausgestaltung des Trägers zuvor beschrieben worden sind. In diesem Fall muss der Träger selbst nicht zwingend an seiner Unterseite mit solchen Vertiefungen versehen sein. Es ist ganz offensichtlich, dass nach dem Verbinden des Trägers mit einem Trägerunterteil eine Trägeranordnung in Form einer Platte vorliegt, welche wie die bekannten und eingangs genannten Trägeranordnungen einen oder vorteilhaft mehrere integrierte Längskanäle ausweist, die beim Zersägen eines unten an der Trägeranordnung befestigten Siliziumblocks angesägt werden. Durch Einbringen von Wasser in die Längskanäle kann dann wie- - - der die bereits beschriebene und bekannte vorteilhafte Reinigungswirkung erfolgen. Auch bei dieser relativ einfachen Ausbildung von Träger und Trägerunterteil besteht die Möglichkeit, das zersägte und verbrauchte Trägerunterteil vom Träger zu entfernen und ein neues Trägerunterteil daran zu befestigen. So kann nicht nur der Träger wieder verwendet werden. Vor allem aber ist es auch sehr viel leichter, bei dem Trägerunterteil und insbesondere auch an dem Träger selbst an seiner Unterseite die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte zu erzeugen, wenn dies eine frei zugängliche Oberfläche ist. Bei einem Träger aus Metall können sie eingefräst werden. Bei einem Trägerunterteil aus nicht-metallischem Material, vorteilhaft Glas oder Keramik, können sie bei der Herstellung durch Strangpressen mit einem entsprechenden Profil erzeugt werden. Durch das Verbinden von Träger und Trägerunterteil wird aus an einer offenen Seite vorhandenen Vertiefungen ein integrierter Kanal bzw. Längskanal. Wichtig sind also die Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte im Trägerunterteil bzw. hier sind sie unerlässlich. Im Träger bzw. an seiner Unterseite sind sie zwar vorteilhaft vorgesehen, dies muss jedoch nicht so sein.

Allgemein können die genannten Vertiefungen, Kanäle oder Einschnitte eine Tiefe von wenigen Millimetern aufweisen, beispielsweise 3 mm bis 12 mm. Ihre Breite kann ebenfalls wenige Millimeter betragen, vorteilhaft 3 mm bis 15 mm.

Besonders vorteilhaft wird ein solches Trägerunterteil bei einer erfindungsgemäßen Trägeranordnung mit einem eingangs genannten Träger verwendet, der an seiner Unterseite korrespondierend ausgebildete Vertiefungen aufweist. Dies bedeutet, dass sie genau übereinander verlaufen und insbesondere auch noch genau gleiche Breite aufweisen. Des Weiteren ist es möglich, dass sie genau gleiche Form aufweisen. - -

Das Trägerunterteil sollte die gleiche Fläche einnehmen wie der Träger selbst, also in etwa gleich groß sein. Vorteilhaft weisen sie auch ähnliche Dicke auf, beispielsweise die eingangs genannten wenigen Zentimeter.

Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwi- schen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Schnittdarstellung durch eine Trägeranordnung einem Träger und einem noch nicht an dessen Unterseite angeordneten Trägerunterteil,

Fig. 2 eine Darstellung der Unterseite des Trägers aus Fig. 1 mit einzelnen Auslasslöchern,

Fig. 3 eine Draufsicht auf das Trägerunterteil mit zu den Auslasslöchern gemäß Fig. 2 passenden Längskanälen,

Fig. 4 eine Schnittdarstellung ähnlich Fig. 1 mit Träger und Trägerunterteil zusammengefügt als Trägeranordnung und Siliziumblock an dem Trägerunterteil, - -

Fig. 5 eine Darstellung der Unterseite einer Abwandlung des Trägers ähnlich Fig. 2 mit durchgehenden Längskanälen, die mit einem Lochgitter abgedeckt sind und

Fig. 6 einen Schnitt ähnlich Fig. 1 in starker Vergrößerung mit Darstellung eines Lochgitters über einem Auslasskanal.

Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele

In Fig. 1 ist eine Trägeranordnung 1 1 dargestellt, wie sie gerade zusammengebaut bzw. herstellt wird. Die Trägeranordnung 1 1 weist einen Träger 13 auf in Form einer länglichen rechteckigen Platte, wobei der Träger 13 entlang seiner Breite geschnitten ist, beispielsweise in der Länge halbiert ist. Er weist eine Trägeroberseite 14 und eine Trägerunterseite 15 auf, wobei letztere im Wesentlichen eben bzw. plan ist. Der stabile Träger 13 besteht vorteilhaft aus Stahl bzw. Werkzeugstahl oder Edelstahl und kann allgemein zwischen 20cm und 50cm lang sein, unter Umständen auch länger.

An der Trägerunterseite 15 sind mehrere Auslasslöcher 17 vorgesehen, die aus der Darstellung in Fig. 2 als runde Löcher erkenntlich sind. Sie durchbrechen also die Trägerunterseite 15, so dass diese bis auf die Auslasslöcher 17 eben bzw. plan ist. Die Auslasslöcher 17 sind mittels Zuleitungen 18 im Träger 13, die in den Fig. 1 und 2 gestrichelt dargestellt sind, miteinander verbunden. Das Verbindungsmuster kann so sein wie hier dargestellt, kann jedoch auch davon abweichen, insbesondere zu dem Mittenbereich hin deutlich mehr Auslasslöcher 17 für eine vor allem dort verbesserte Reinigung. Zur Herstellung können die Zuleitungen 18 beispielsweise von der Seite in den Träger 13 hineingebohrt und diese Öffnungen dann außen wieder verschlossen werden.

Im oberen Bereich des Trägers 13 gehen die Zuleitungen 18 nach oben in zwei Anschlüsse 19 links und rechts über. Die Anschlüsse 19 befin- - - den sich in Befestigungsvorsprüngen 21 und können auf nicht dargestellter Art und Weise mit Wasser- bzw. Reinigungsflüssigkeitszuleitun- gen verbunden werden. Des weiteren weisen die Befestigungsvorsprünge 21 jeweils ein zentrales Gewinde 22 auf, an denen die Trägeranordnung 1 1 auf bekannte Art und Weise befestigt werden kann.

Vorteilhaft weist der Träger 13 an seiner Trägeroberseite 14 vier derartige Befestigungsvorsprünge 21 auf. Somit können auch vier Anschlüsse 19 an die Zuleitungen 18 vorgesehen sein, es können jedoch auch mehr oder weniger sein. Die Auslasslöcher 17 können einen Durchmesser von einigen Millimetern aufweisen, beispielsweise 1 mm bis 6 mm, vorteilhaft etwa 3 mm bis 5 mm.

Das in Fig. 1 dargestellte Trägerunterteil 25 ist von den Abmessungen bezüglich Länge und Breite vorteilhaft ähnlich groß wie der Träger 13, wobei eine Oberseite 26 und eine Unterseite 27 grundsätzlich plan sind. Während die Unterseite 27 jedoch vorteilhaft völlig plan und ohne Unterbrechungen bzw. Ausnehmungen oder Vorsprünge ausgebildet ist, weist die Oberseite 26 mehrere offene Kanäle 29 auf. Diese ziehen sich mit vorteilhaft gerader Erstreckung über die gesamte Oberseite 26 hin vom vorderen bis zum hinteren Ende des Trägerunterteils 25 und verlaufen parallel zueinander, wenngleich mit unterschiedlichem Abstand. Dies ist aus der Draufsicht auf das Trägerunterteil 25 gemäß Fig. 3 zu erkennen. Das Trägerunterteil 25 vorteilhaft aus einem Glas- oder Keramikwerkstoff, besonders vorteilhaft aus Glas, alternativ aus Kunststoff.

Wie Fig. 1 zeigt sind die Kanäle 29 genau so angeordnet, dass sie den Reihen der Auslasslöcher 17 in Längsrichtung des Trägers 13 entsprechen bzw. im zusammengebauten Zustand genau unter den Kanälen 29 befinden. Dies ist nachfolgend aus Fig. 4 zu ersehen. Die Breite der Kanäle 29 kann auch etwa im Bereich des Durchmessers der Auslasslöcher 17 liegen, alternativ auch etwas davon abweichen. Untereinander - - sind die Kanäle 29 jedoch jeweils gleich und weisen vorteilhaft einen abgerundeten Querschnitt auf, beispielsweise halbkreisartig oder halbovalartig. Vorteilhaft sind sie sogar etwas tiefer als breit.

In Fig. 4 ist in vereinfachter Darstellung die zusammengesetzte bzw. zusammenmontierte Trägeranordnung 1 1 dargestellt. Hier ist das Trägerunterteil 25 mit seiner Oberseite 26 an die Trägerunterseite 15 des Trägers 13 befestigt bzw. angeklebt.

Aufgrund der Werkstoffkombination Stahl für den Träger 13 und Glas oder Keramik für das Trägerunterteil 25 kann für die Klebung ein hierfür üblicher Klebstoff verwendet werden, mit dem auch im Stand der Technik sogenannte Beams aus Glas oder Keramik mit einem Träger aus Stahl verklebt werden. Später werden diese Beams dann wieder abgelöst, was nachfolgend noch erläutert wird.

Die Auslasslöcher 17 im Träger 13 liegen genau über den Kanälen 29 des Trägerunterteils 25. Am Trägerunterteil 25 bzw. dessen Unterseite 27 ist ein schwerer Siliziumblock 31 befestigt, und zwar wiederum festgeklebt. Auch dieses Festkleben erfolgt, wie im Stand der Technik bekannt und weist den Vorteil der sicheren Halterung des schweren Siliziumblocks auf sowie die Möglichkeit eines späteren Ablösens. Das Trägerunterteil 25 ist dann ohnehin nicht mehr verwendbar, nur noch der Träger 13.

Die Trägeranordnung 1 1 aus Fig. 4 entspricht somit im Wesentlichen einer aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannten Trägeranordnung, nämlich mit innen liegenden und quasi integrierten Längskanälen. Diese sind im Wesentlichen durch die Kanäle 29 erzeugt. Sie können an den Enden bzw. Öffnungen am Ende nach außen verschlossen sein, beispielsweise durch Stopfen odgl., um das Wasser nur - - durch die Sägespalte zwischen den Wafern auszulassen für eine verbesserte Reinigung, müssen es aber nicht.

Durch das Zersägen des Siliziumblocks 31 wird dieser in einzelne Siliziumscheiben bzw. Wafer getrennt. Gestrichelt dargestellt ist eine Sägelinie 32, bis zu der ein Sägedraht reicht bzw. bis zu der gesägt wird. Dabei ist zu erkennen, dass alle Längskanäle 29 von unten angesägt werden und somit der gleiche Reinigungseffekt erzielt werden kann, wie er aus dem eingangs genannten Stand der Technik auch bekannt ist. Insofern wird darauf verwiesen.

Einer der Vorteile der Erfindung, der sich auch an diesem Ausführungsbeispiel zeigt, ist der, dass diese Kanäle 29 nun mittels der Anschlüsse 19, Zuleitungen 18 und Auslasslöcher 17 über ihnen mit Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit versorgt bzw. geflutet werden können. Eine Ein- speisung kann durch die verteilt angeordneten Auslasslöcher 17 viel gleichmäßiger erfolgen, während es im eingangs genannten Stand der Technik ja nur über die beiden Enden bzw. Öffnungen der Kanäle 29 möglich war. Somit ist auch eine bessere Reinigungswirkung möglich. Es kann eben vorteilhaft vorgesehen sein, dass die in Fig. 4 zu erkennenden Anfangs- und Endöffnungen der Kanäle 29 verschlossen werden, so dass Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit nur tatsächlich durch die zersägten Wafer des Siliziumblocks 31 austreten kann.

Ein weiterer großer Vorteil der Erfindung liegt darin, dass ein Trägerunterteil 25 als Verschleißteil ausgebildet sein kann, da es zersägt wird, also wiederum aus Glas, Keramik oder einem ähnlichen Werkstoff bzw. sogar aus Kunststoff. Durch das Vorsehen der Kanäle 29 an seiner Oberseite 26 ist deren Herstellung auch sehr viel leichter als bei geschlossenen integrierten Längskanälen wie im Stand der Technik bekannt, wobei die Kanäle 29 vorteilhaft auch schon während der Herstellung des Trägerunterteils 25 eingebracht werden. Dies kann beispiels- - - weise ohne zusätzlichen Arbeitsschritt bei einem Stranggießen odgl. erfolgen.

Der Träger 13 selbst ist kein Verschleißteil und kann häufig wiederverwendet werden. Es ist nach Entfernen der zersägten Wafer lediglich das verbrauchte bzw. zersägte Trägerunterteil 25 zu entfernen durch Lösen der Verklebung. Dann kann die Trägerunterseite 15 gereinigt werden und mit einem neuen Trägerunterteil 25 verklebt werden.

Des weiteren ist auch beim Träger 13 aus Stahl die Herstellung der Wasserführung leichter, also das Anbringen der Auslasslöcher 17 und der Zuleitungen 18 samt Anschlüssen 19. Sie können jeweils auf bekannte Art und Weise gebohrt werden. Da der Träger 13 häufig wiederverwendet werden kann, lohnt es sich auch, das relativ komplizierte System der Auslasslöcher 17 samt Zuleitungen 18 und Anschlüssen 19 vorzusehen.

In Fig. 5 ist eine alternative Ausgestaltung eines Trägers 1 13 dargestellt ähnlich wie Fig. 3, nämlich als Ansicht einer Trägerunterseite 1 15 des Trägers 1 13. Hier sind anstelle der einzelnen Auslasslöcher 17 entsprechend Fig. 2 mehrere lange Auslasskanäle 1 17 vorgesehen entlang der Längsrichtung des Trägers 1 13. Somit entsprechen diese Auslasskanäle 1 17 den Kanälen 29 im Trägerunterteil 25 entsprechend Fig. 1 und 3. Diese Auslasskanäle 1 17 sind sogar noch leichter herzustellen als die Vielzahl von Auslasslöchern 17 entsprechend der Fig. 1 und 2, beispielsweise durch entsprechendes Fräsen oder Schneiden.

Einerseits ist es in einer Variante möglich, dass die Auslasskanäle 1 17 einfach offen sind und Wasser, das durch hier nicht dargestellte Zuleitungen herangeführt wird, beliebig austritt in die Auslasskanäle 1 17 und von dort in die direkt anschließenden Kanäle 29 in der Oberseite des Trägerunterteils 25. - -

Für eine etwas bessere Verteilung von herangeführtem Wasser kann vorgesehen sein, wie Fig. 6 in vergrößerter Schnittdarstellung zeigt, dass ein Lochgitter 120 sozusagen in die Auslasskanäle 1 17 eingesetzt ist. Dies kann ein Presssitz sein, alternativ ein Verkleben oder Ver- schrauben. Die Lochgitter 120 bedecken also sozusagen sämtliche Auslasskanäle 1 17, befinden sich also zwischen diesen und den Kanälen 29 in der Oberseite eines passenden Trägerunterteils 25. Die Lochgitter 120 weisen eine Vielzahl von Löchern auf mit vorteilhaft recht geringem Abstand. So können beispielsweise die Löcher einen Durchmesser von etwa 1 mm aufweisen und einen Abstand von 1 mm bis 3 mm aufweisen, unter Umständen aber auch jeweils etwas mehr oder etwas weniger.

Der Vorteil dieser Löcher im Lochgitter 120 besteht darin, dass sie eine stark verteilende Wirkung für das von oben eingebrachte Wasser haben, so dass sie unabhängig davon, wie weit eine bestimmte Stelle von einer Zuleitung entfernt ist, einen über die Länge der Kanäle 29 gleichmäßig verteilten Zustrom von Wasser bewirken. Aus Fig. 6 ist zu erkennen, dass sich in dem Raum im Auslasskanal 1 17 oberhalb des Lochgitters 120 Wasser ungehindert über die Länge des Auslasskanals verteilen kann für einen etwa gleichmäßigen Austritt nach unten. So ist die Reinigungswirkung an allen gesägten Wafern des Siliziumblocks 31 gleich. Somit kann zwar weiterhin eine Vielzahl von untereinander verzweigten Zuleitungen 18 entsprechend der Fig. 1 und 2 vorgesehen sein, es muss jedoch nicht so aufwändig sein. Unter Umständen reicht sogar eine Zuleitung quer zu den Auslasskanälen 1 17, welche zu jedem von ihnen eine Öffnung aufweist, wobei auch diese quer verlaufende Zuleitung nur einen einzigen Anschluss aufweisen muss. So ist nicht nur der An- schluss vereinfacht, sondern auch die Herstellung des Trägers 1 13 selbst. - -

In einer hier nicht dargestellten, anhand von Fig. 4 aber leicht vorstellbaren Ausführung weist ein Träger oben gar keine Löcher oder Kanäle odgl. an seiner Unterseite auf, sondern ist eine geschlossene bzw. massive Stahlplatte mit planer und geschlossener Unterseite ohne Ausnehmungen. Daran wird ein Trägerunterteil entsprechend Fig. 4 befestigt durch Festkleben. Weil das Trägerunterteil an seiner Oberseite Längskanäle aufweist, wie zuvor beschrieben worden ist, können auch so integrierte Längskanäle hergestellt werden, wie sie im eingangs genannten Stand der Technik beschrieben sind. Deren Herstellung ist aber erheblich einfacher, da eben nur das Trägerunterteil an seiner Oberseite und somit einer Außenseite die Kanäle aufzuweisen braucht, was die Herstellung vereinfacht. Das Einbringen von Wasser bzw. Reinigungsflüssigkeit erfolgt dann an den Enden der Kanäle über deren dortige Öffnungen, wie ebenfalls im Stand der Technik beschrieben ist.