本発明の実施例を図1及び図2を、参照し� �以下に説明する。図1は、本発明の微細加工� ��超硬材料工具の表面近傍の概略図である。� ��発明の微細加工用超硬材料工具は、その加� ��工具部の本体として超硬合金工具1を備えて いる。この超硬合金工具1の表面に、酸化タ� �グステン構造2が一様に形成されている。

 超硬合金工具1は、炭化タングステンの粒 子3と、炭化タングステンの粒子3を結合する� ��インダーとしてのコバルト4等から構成され ている。

 酸化タングステン構造2の詳細構造を図2� �示す。この図2に示すように、酸化タングス� ��ン構造2は、酸化タングステンナノ結晶の領 域5とアモルファス状の領域6からなる。或い� ��、酸化タングステンナノ結晶の領域5及びア モルファス状の領域6いずれかのみから成る� �造でもよい。

 ここで、酸化タングステン構造2は、微細 加工用超硬材料工具のうち打ち抜き工具に対 してはその側面に、曲げ・絞り工具に対して は、その側面および被加工材料と接触する面 に形成するとよい。

 さらに、酸化タングステン構造2には、炭 化タングステンの粒子3の酸化を促進する触� �効果のあるナノ粒子7(例えば、実施例で後記 する「金ナノ粒子」等)を含有させる。なお� �酸化触媒を利用しない場合は、ナノ粒子7を� ��有しなくても良い。

 上記構成の本発明の微細加工用超硬材料� ��具の製造は、具体的に次のように行う。酸� ��タングステン構造2は、超硬合金工具1の表� �酸化、スパッタ法、CVD法、PVD法、イオンプ� �ーティング法、イオン注入法又はエアロゾ� �デポジション法により、金型工具形状加工� �に形成することを特徴とする。

 ここで、酸化タングステン構造を表面酸� ��により形成する場合には、炭化タングステ� ��構造への影響を最小にするため酸化触媒を� ��用し低温による酸化を行うことを特徴とす� ��。

 また、酸化タングステン構造の作成に、� ��パッタ法、CVD法、イオンプレーティング法� ��イオン注入法又はエアロゾルデポジション� ��を用いる場合にも、これらの処理の後熱処� ��による酸化の促進を付与することが可能で� ��る。

 工具形状を作成してから、酸化触媒とし� ��金ナノ粒子7を、塗布、スパッタ法、蒸着法 、又はイオン注入法等により、微細加工用超 硬材料工具の超硬合金工具1の表面に形成し� �その後427℃(700K)にて30分間大気中アニールを 施す。これにより、厚さ100nmの酸化タングス� ��ン構造を作成している。

 酸化タングステン構造2は、結晶状態三酸 化タングステンが基本であり、部分的にアモ ルファス構造も存在している。酸化触媒の金 ナノ粒子7も10nm程度の大きさである。またコ� ��ルトや炭素が残ったC4Co3W9構造も見られた。

(実験例)
 上記酸化タングステン構造2を超硬合金工具 1の表面に形成し、直径0.15mmの丸穴打ち抜き� �パンチに形成してなる本発明の微細加工用� �硬材料工具を用意した。また、比較例とし� �、超硬合金工具1の表面に酸化タングステン� ��造2を表面に形成されていないが、直径0.15mm の丸穴打ち抜き用パンチに形成してなる微細 加工用超硬材料工具を用意した。

 これらの2つの工具のそれぞれについて、 厚さ0.2mmのステンレスばね材(SUS304-CSP-1/2H)の� �ち抜き試験を行った。結果、未処理パンチ� �は1000回未満の打ち抜き回数で折損していた� ��ンチが、最大15000回を超える打ち抜き可能� �なった。

 以上、本発明に係る微細加工用超硬材料� ��具の最良の形態を実施例に基づいて説明し� ��が、本発明はこのような実施例に限定され� ��ことなく、特許請求の範囲記載の技術的事� ��の範囲内で、いろいろな実施例があること� ��言うまでもない。