Stand der Technik Zur Herstellung von strukturierten Widerstandsschichten oder Leiterbahnen auf keramischen Grünkörpern, die beispielsweise bereichsweise zickzackförmig oder mäanderförmig ausgebildet sind, ist bereits die sog."Fodel-Technik"bekannt, die von der Firma DuPont entwickelt wurde.

Im einzelnen wird dabei auf keramischen Grünfolien eine Pa- ste aufgedruckt, die anschließend durch Belichtung mit UV- Strahlen und unter Einsatz einer Photomaske strukturiert wird. Nach dieser Strukturierung folgt dann ein Entwickeln der Paste in den belichteten Bereichen. Bei dieser Technik ist jedoch nachteilig, daß stets ein Gelbraum erforderlich, da die Pasten empfindlich gegenuber Tageslicht sind. Zudem eignen sich bekannte Pasten auf Grundlage der"Fodel- Technik"nur für Temperaturen von maximal 900°C, d. h. die mit den aufgebrachten und strukturierten Pasten versehenen

keramischen Grünfolien dürfen danach bei max. 900°C gebrannt bzw. gesintert werden. Diese Temperaturen sind vielfach je- doch nicht ausreichend. Überdies ist es mit Hilfe der"Fo- del-Technik"nicht moglich, gleichzeitig grobe und sehr fei- ne Strukturierungen auf den Grünfolien zu erzeugen. Schließ- lich eignen sich derartige Pasten nur eingeschränkt zur Er- zeugung von platinhaltigen Funktionsschichten und sind viel- fach sauerstoffempfindlich.

Darüberhinaus ist weiter bekannt, platinhaltige Pasten auf bereits gebrannte keramische Substrate anstelle von kerami- schen Grünfolien aufzutragen, und diese dann mittels Photo- strukturierung mit strukturierten Funktionsschichten zu ver- sehen. Mit Hilfe dieser Technik ist eine Feinstrukturierung bis zu lateralen Dimensionen von ca. 10 um möglich, während mittels herkömmlicher Siebdrucktechnik lediglich Strukturen mit lateralen Ausdehnungen oberhalb von 100 pm erzeugbar sind.

In der Anmeldung DE 199 34 109.5 ist vorgeschlagen worden, einen Temperaturfühler herzustellen, bei dem zunachst auf keramischen Grünfolien mäanderförmige Leiterbahnen oder Wi- derstandsbahnen aus Platin aufgedruckt sind, die danach mit weiteren keramischen Grünfolien in Form eines Mehrlagenhy- brids aufgebaut und dann in Cofiring-Technik zu einem Tempe- raturfühler gesintert werden. Aufgrund der dabei eingesetz- ten Dickschichttechnik sind jedoch lediglich Leiterbahnbrei- ten und-abstände von ca. 0,2 mm realisierbar.

Dadurch, daß bekannte platinhaltige photostrukturierbare Funktionsschichten einerseits nur auf bereits gebrannte Ke- ramiken aufgebracht werden können bzw. sich andererseits nur unter erheblichem verfahrenstechnischen Aufwand verarbeiten lassen (Stickstoffatmosphäre, Gelbraum usw.), lassen sie

sich zudem nicht in bestehende Fertigungsverfahren integrie- ren.

In der litauischen Anmeldung LT-97 161 wurde in diesem Zu- sammenhang bereits eine photostrukturierbare, platinhaltige Paste vorgeschlagen, die sich zum Auftragen auf bereits ge- brannten keramischen Folien eignet, und die nach dem Auftra- gen durch Photostrukturierung zu einer platinhaltigen Funk- tionsschicht strukturiert werden kann. Damit sind laterale Strukturauflösungen von typischerweise 10 im-30 pm er- reichbar.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung war, ausgehend von der Anmeldung LT-97 161, die darin vorgeschlagene photostruktu- rierbare Paste derart zu modifizieren, daß sie sich auch zum unmittelbaren Auftrag auf keramische Grünfolien eignet, und damit einen keramischen Grünkörper mit einer ohne größeren verfahrenstechnischen Aufwand verarbeitbaren, photostruktu- rierbaren platinhaltigen Funktionsschicht zu erzeugen.

Gleichzeitig war es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine deutliche Erhöhung der Strukturauflösung der Funktions- schicht bei gleichzeitiger Beibehaltung der Cofiring- Technologie zur Herstellung von Multilagenstrukturen bzw.

Mehrlagenhybriden zu ermöglichen. Auf diese Weise soll eine möglichst einfache Integration in bestehende Produktionsli- nien gewahrleistet werden.

Vorteile der Erfindung Der erfindungsgemäße keramische Grünkörper und das erfin- dungsgemaße Verfahren zur Herstellung eines keramischen Grünkörpers hat gegenuber dem Stand der Technik den Vorteil, daß damit keramische Grünfolien unmittelbar mit photostruk- turierbaren, platinhaltigen Funktionsschichten versehen wer- den können. Diese Funktionsschicht können weiter durch die

Photostrukturierung insbesondere in Form von Leiterbahnen oder Widerstandsbahnen strukturiert werden, wobei laterale Auflösungen von weniger als 15 insbesondere zwischen 5 pin und 25 pm, der erzeugten Strukturen der Funktionsschicht erreichbar sind.

Neben einer hohen absoluten lateralen Auflösung der erzeug- ten Strukturen in den photostrukturierten Funktionsschichten hat der erfindungsgemäße keramische Grünkörper den Vorteil, daß die Photostrukturierung unter Tageslichteinfall und in Gegenwart von Sauerstoff erfolgen kann. Damit ist der kera- mische Grünkörper und das Verfahren zu dessen Herstellung in einfacher Weise in bestehende Fertigungsprozesse integrier- bar und es ergeben sich wesentliche Kostenvorteile gegenuber bekannten, verfahrenstechnisch erheblich aufwendigeren Ver- fahren.

Vorteilhaft ist weiterhin, daß die nach der Photostrukturie- rung der Funktionsschicht auf dem keramischen Grünkörper verbleibenden Strukturen nur eine geringe Standardabweichung der lateralen Ausdehnung der erzeugten Strukturen in minde- stens einer Dimension von einem vorgegebenen Sollwert auf- weisen. Insofern können auch breitere Strukturen als 50 pm erzeugt werden, die dann jedoch beispielsweise eine sehr ge- nau definierte Breite aufweisen. Die Standardabweichung vom Sollwert liegt vorteilhaft unter 10 im, insbesondere unter 5 pm.

Der erfindungsgemäße keramische Grünkörper eignet sich vor- teilhaft zur Erzeugung von Mehrlagenstrukturen auf Keramik- basis, wobei die keramischen Grünkörper mit der aufgebrach- ten photostrukturierten Funktionsschicht auch zu Hybridbau- elementen verarbeitbar sind. Außerdem ist es nun in einfa- cher Weise möglich, den keramischen Grünkörper vor oder nach dem Aufbringen der Funktionsschicht bereichsweise mit Aus-

nehmungen und/oder mit Durchkontaktierungen oder oberflach- lichen Kontaktflächen zu versehen.

Schließlich erlaubt es der erfindungsgemäße keramische Grun- körper auch, den aus der Anmeldung DE 199 34 109.5 bekannten Temperaturfühler mit verbesserten Eigenschaften hinsichtlich der erzeugten Widerstandsbahnen herzustellen.

Zudem ist die aufgebrachte Funktionsschicht trotz des Zusat- zes des katalytisch sehr aktiven Platins zeitlich stabil.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.

So eignet sich als Füllstoff in der auf den keramischen Grünkörper in Form einer Funktionsschicht aufgebrachten Pa- ste anstelle von reinem Platinpulver auch eine Mischung von Platinpulver mit Aluminiumoxidpulver und/oder Zirkoniumdi- oxidpulver. Diese Mischung führt zu einer Verbesserung der Haftung der erzeugten platinhaltigen Funktionsschicht auf dem grünen keramischen Ausgangskörper bzw. der grünen kera- mischen Ausgangsfolie ("Greentape") und/oder sie dient, bei- spielsweise durch Mischung von Platin und Aluminiumoxid- Pulverpartikeln, der Erhöhung des elektrischen Widerstandes der nach der Photostrukturierung aus der Funktionsschicht herausstrukturierten Leiterbahnen.

Weiter ist vorteilhaft, daß die auf den grunen keramischen Ausgangskörper aufgebrachte photostrukturierbare Paste durch eine wäßrige Lösung entwickelt werden kann.

Insgesamt ergibt sich somit eine wesentlich verbesserte Auf- lösung der erzeugten Strukturen der Funktionsschicht, wobei gleichzeitig die nach dem Abschluß des Sinterns der Grünkor- per erhaltenen gebrannten keramischen Substrate beispiels-

weise Widerstandsbahnen in Mäanderstruktur aufweisen, die gegenüber vergleichbaren Widerstandsbahnen, die über her- kömmliche Dickschichttechnik erzeugt worden sind, Wider- standssteigerungen von mehr als 400 % zeigen. Derartige Wi- derstandsleiterbahnen bedeuten beim Einsatz in Temperatur- sensoren oder Heizelementen einen deutlich kleineren Fla- chenbedarf bei gleichzeitig besserer Genauigkeit der Tempe- raturmessung und höheren Meßwiderstand, d. h. einer besseren Genauigkeit der Meßspannungsauswertung.

Aufgrund der erhöhten Auflösung beim Photostrukturieren der Funktionsschicht ergeben sich zudem deutlich verringerte Schwankungen in den Widerständen der erzeugten Widerstands- leiterbahnen, so daß insgesamt eine höhere Fertigungsquali- tat, weniger Ausschuß und geringere Abweichungen der erziel- ten Widerstände von einem vorgegebenen Sollwert erzielt wer- den.

Zeichnungen Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und in der nach- folgenden Beschreibung näher erläutert.

Die Figur 1 zeigt eine Prinzipskizze eines Ausschnittes ei- nes keramischen Grünkörpers mit einer aufgebrachten, photo- strukturierten Funktionsschicht. Die Figur 2 zeigt einen Temperaturfühler in Explosionsdarstellung mit einem kerami- schen Grünkörper mit einer photostrukturierten, platinhalti- gen Funktionsschicht in Form von Widerstandsleiterbahnen vor dem Sintern.

Ausführungsbeipiele Die Erfindung geht zunachst von einer photostrukturierbaren Paste aus, wie sie in ähnlicher Form bereits aus der Anmel- dung LT-97 161 bekannt ist. Die dort beschriebene Paste ist

jedoch lediglich zum Auftragen auf bereits gebrannten kera- mischen Substraten geeignet und muß zum Auftrag auf kerami- sche Grünfolien zunachst modifiziert werden. Diese Modifika- tion beruht im wesentlichen darauf, daß bei der aus LT-97 161 bekannten Pastenzusammensetzung die dort erforderlichen Glasbestandteile in Form von Glaspulverteilchen entfernt bzw. beim Zusammenmischen der Paste nicht zugesetzt werden.

So wurde überraschend festgestellt, daß sich die aus LT- 97 161 bekannte photosensitive bzw. photostrukturierbare Pa- ste zum unmittelbaren Auftragen auf keramischen Grünkörpern dann eignet, wenn man die dort beschriebene Pastenzusammen- setzung dahingehend modifiziert, daß die Glaspulverbestand- teile nicht zugegeben werden. Weiter wurde festgestellt, daß eine derart modifizierte photosensitive Paste unmittelbar das Erzeugen von strukturierten Funktionsschichten auf kera- mischen Grünfolien erlaubt, wobei die laterale Ausdehnung der in diesen Funktionsschichten durch die Photostrukturie- rung erzeugten Strukturen zumindest in einer Dimension, bei- spielsweise in der Breite, unter 50 jum, insbesondere zwi- schen 5 pm und 25 im, liegen. Gleichzeitig wurde festge- stellt, daß selbst dann, wenn man breitere Strukturen erzeu- gen möchte, diese mit deutlich erhöhter Genauigkeit herge- stellt werden können. Ein Maß für diese Genauigkeit ist die Standardabweichung der lateralen Ausdehnung der erzeugten Strukturen in mindestens einer Dimension von einem vorgege- benen Sollwert. Diese Standardabweichung liegt typischerwei- se unter 10 pm, insbesondere unter 5 pm.

Als Füllstoff für die eingesetzte photostrukturierbare Pa- ste, die nach dem Auftrag auf der keramischen Grünfolie die photostrukturierbare Funktionsschicht bildet, eignet sich besonders ein Platinpulver mit einer mittleren Teilchengröße von 10 nm bis 20 pm, insbesondere von 50 nm bis 2 pm. Weiter betragt die spezifische Oberflache des anorganischen Füll-

stoffes bzw. des Platinpulvers in der Paste bevorzugt 0,5 m-/g bis 20 m2/g.

Insgesamt liegt der Gewichtsanteil des anorganischen Full- stoffes in der photostrukturierbaren Paste zwischen 30% bis 90% bezogen auf das Gesamtgewicht der Paste. Bevorzugt ist ein Gewichtsanteil von 50%-60%.

Besonders bevorzugt ist der Zusatz eines Gemisches von Pla- tinpulver mit einem keramischen Pulver als anorganischer Fullstoff in der photostrukturierbaren Paste. Dazu weist auch das keramische Pulver eine zu dem Platinpulver ver- gleichbare mittlere Teilchengröße bzw. spezifische Oberfla- che von 10 nm bis 20 pm bzw. 0,5 m/g bis 20 m2/g auf. Als keramisches Pulver werden insbesondere Aluminiumoxid-Pulver, Zirkoniumdioxid-Pulver, Yttrium-stabilisierte Zirkoniumdi- oxid-Pulver, Yttriumoxid-Pulver, Titandioxid-Pulver, Silizi- umoxid-Pulver oder eine Mischung dieser Pulver eingesetzt.

Daneben können als Füllstoff jedoch auch platinummantelte, nichtleitende Keramikteilchen eingesetzt werden. Durch den Zusatz des keramischen Pulvers zu dem Platinpulver ergeben sich bei der Herstellung von Widerstandsleiterbahnen bzw. deren Herausstrukturierung aus der Funktionsschicht mit Hil- fe der photostrukturierbaren Paste deutlich höhere Flächen- widerstande. Hinsichtlich näherer Details zu diesem prinzi- piell bekannten Sachverhalt sei auf die Anmeldung DE 199 34 109.5 verwiesen.

Neben dem Zusatz von reinem Platin als Füllstoff kommt prin- zipiell auch der Zusatz von Platinverbindungen, insbesondere Platinprecursorverbindungen wie Platin (II) acetylacetonat, Platin (II) diamin-cyclobatan-1,1-dicarboxylat, Platin (0)-1, 3- divinyl-1, 1, 3,3-tetramethyldisiloxan oder Pla- tin (II) tetraammin-nitrat in Frage. Diese Füllstoffe sind je- doch aus Kostengründen nicht bevorzugt. Zudem können anstel-

le des keramischen Pulvers auch keramische Precursormateria- lien, insbesondere organische Precursormaterialien auf Basis von Si, Al, Zr, Ti und Y eingesetzt werden. Derartige Pre- cursormaterialien sind dem Fachmann bekannt.

Bei den keramischen Grünkörpern bzw. keramischen Folien, auf die die photostrukturierbare Paste als Funktionsschicht auf- gebracht, insbesondere aufgedruckt wird, handelt es sich um übliche keramische Grünfolien mit in einer Polymermatrix eingebetteten Keramikpartikeln, beispielsweise Yttrium- stabilisierten Zirkoniumdioxidpartikeln oder Aluminiu- moxidpartikeln.

Zudem kann auch vorgesehen sein, daß vor dem Aufbringen der photostrukturierbaren Paste als photostrukturierbare Funkti- onsschicht auf den keramischen Grünkörpern auf diesen zu- nächst in bekannter Weise eine Zwischenschicht aufgebracht wird. Diese Zwischenschicht ist beispielsweise eine All-03- Schicht oder TiO2-Schicht.

Nach dem Aufbringen der photostrukturierbaren Paste auf die keramische Grünfolie in Form einer platinhaltigen Funktions- schicht und deren Photostrukturierung durch bereichsweises Belichten mit Hilfe einer Photomaske wird die Funktions- schicht dann entwickelt und abschließend dann in den unbe- lichteten Bereichen wieder entfernt. Auf diese Weise ver- bleibt die Funktionsschicht somit nur in den belichteten Be- reichen und es ergibt sich die gewunschte, durch die Photo- maske definierte Strukturierung der Funktionsschicht. Danach kann die Weiterverarbeitung des derart erzeugten keramischen Grünkörpers beispielsweise zu Mehrlagenhybridbauteilen oder dem aus der Anmeldung DE 199 34 109.5 bekannten Temperatur- fühler erfolgen.

Insgesamt ist es somit mit der im nachfolgenden naher be- schriebenen photostrukturierbaren Paste möglich, struktu- rierte Funktionsschichten auf keramischen Grünfolien zu er- zeugen, die unempfindlich gegen das sichtbare Spektrum des Lichtes und die inhibitierende Wirkung von Sauerstoff sind, und die sich durch eine große Photopolymerisationsgeschwin- digkeit und eine ausgezeichnete Linienauflösung auszeichnen.

Zudem läßt sich die eingesetzte Paste mit Hilfe der bekann- ten Dickschichttechnologie verarbeiten.

Besonders wichtig für die Paste ist das in den organischen Binder eingesetzte Polymer. Dieses Polymer muß ein photoche- misch aktives Polymer sein, d. h. es hat nicht nur die Rolle einer schichtbildenden und die Lösungsfähigkeit vermitteln- den Komponente in den Binder, sondern soll gleichzeitig die Photopolymerisation effektiv durch den gegenüber dem sicht- baren Spektrum des Lichtes unempfindlichen Initiator initi- ieren. Dazu ist es als großmolekulares, polyfunktionales Mo- nomer ausgebildet. Gleichzeitig neutralisieren die Seiten- ketten des Polymers mit deren Allylgruppen und das zusatz- lich in den organischen Binder eingesetzte organische Disul- fid die inhibitierende Wirkung von Sauerstoff. Auf diese Weise ist gewährleistet, daß alle technologischen Operatio- nen, d. h. die Vorbereitung des lichtempfindlichen organi- schen Binders, dessen Vermischung mit dem Füllstoff, das Auftragen der erhaltenen Paste als Funktionsschicht auf die keramische Grünfolie, das nachfolgende Trocknen, Photostruk- turieren und Entwickeln unter Tageslicht oder bei gewohnli- cher künstlicher Beleuchtung ausgeführt werden können. Zudem benötigt man keine speziellen Vorkehrungen, um den Kontakt der photostrukturierbaren Funktionsschicht mit dem in der Luft vorhandenen Sauerstoff zu vermeiden.

Beim Vorgang der Polymerisation bilden die linienartigen Ma- kromolekule des in den Binder der Paste eingesetzten Poly-

mers, die Seitenketten mit Alkyl-und Allylgruppen aufwei- sen, eine dichte räumliche Struktur, so daß das Polymer im Bereich der belichteten Stellen vollkommen unlösbar in Lo- sungsmitteln auf Wasserbasis wird. Durch den zugesetzten Photoinitiator aus der Klasse der Azylphosphine ergibt sich im übrigen eine besonders kurze Belichtungszeit.

Insgesamt weist die photostrukturierbare Paste folgende Zu- sammensetzung in Massenanteilen bezogen auf die Masse des anorganischen Füllstoffes auf : Füllstoff : 100,00 Polymer : 9,00 bis 36,00 Photoinitiator : 0,50 bis 3,50 organisches Disulfid : 0,20 bis 2,00 Inhibitor der thermischen Polymerisation : 0,01 bis 0,35 organisches Lösungsmittel : 5,50 bis 21,50 An das im organischen Binder enthaltene Polymer wird eine Reihe von Anforderungen gestellt. So soll es zunachst in wasserlöslichen Basislösungen löslich sein, ein nicht- haftendes Hautchen bzw. eine Membran bei Zimmertemperatur bilden, die Viskosität der photostrukturierbaren Paste ein- stellbar machen und aktiv an der photoinitiierenden, Radika- len-Polymerisation in sauerstoffhaltiger Umgebung teilneh- men. Schließlich soll die thermische Spaltung des Polymers auch bei möglichst niedrigen Temperaturen erfolgen.

Diese Anforderungen werden am besten von Acryl-oder Vinyl- Monomeren und ungesättigten Carbonsaure-Copolymeren erfüllt, wobei deren Molekülmasse bevorzugt zwischen 10.000 und 20.000 liegt und die Masse der ungesättigten Carbonsäure im Copolymer zwischen 15 und 30 Masse% beträgt. Hinsichtlich weiterer Details an die Anforderungen und die Möglichkeiten fur die verschiedenen einsetzbaren Polymere sei auf die An- meldung LT-97-161 verwiesen.

Da die verwendbaren Polymere Seitenketten mit Acryl-und Al- lylgruppen besitzen, verringern sie die Empfindlichkeit des organischen Binders gegen die inhibitorische Sauerstoffwir- kung deutlich, eliminieren sie jedoch nicht vollstandig. Da- her ist es weiter erforderlich, ein organisches Disulfid zu- zusetzen, dessen allgemeine Formel Rl-CH2-S-S-CH-R-fur gleiche oder verschiedene Alkyl-, Cycloalkyl-, Aryl-, Arylalkyl-oder Carboxylalkyl-Radikale. Besonders geeignet ist als organisches Disulfid Didodecyl-disulfid.

Als Photoinitiator wird der photostrukturierbaren Paste ein Photoinitiator aus der Acylphosphinklasse zugesetzt. Bevor- zugt ist die Verbindung 2,6-Dimethoxybenzoyldiphenyl- Phosphin.

Das zur Einstellung der Viskosität der photostrukturierbaren Paste zugesetzte Lösungsmittel soll zunachst alle organi- schen Komponenten sehr gut auflösen, gleichzeitig bei Zim- mertemperatur wenig flüchtig sein und sich relativ schnell bei Temperaturen von 80°C-100°C verflüchtigen, da derarti- ge Temperaturen typischerweise beim Trocknen von keramischen Grünfolien insbesondere nach dem Auftragen der photostruktu- rierbaren Paste in Form der Funktionsschicht eingesetzt wer- den.

Bevorzugt sind als Lösungsmittel Terpene, Karbitolacetat, Butylkarbitolacetat oder höhere Alkoholester. Besonders be- vorzugt ist Benzylalkohol. Um wahrend des Trocknungsvorgangs die Stabilität der Funktionsschicht sicherzustellen, ist es zudem erforderlich, der Paste einen Inhibitor fur eine ther- mische Polymerisation zuzusetzen. Als besonders geeigneter Inhibitor hat sich die Verbindung 2,6-di-tert-Butyl-1,4- Kresol erwiesen.

Die Verarbeitung der einzelnen Komponenten der photostruktu- rierbaren Paste erfolgte im wesentlichen wie bereits aus LT- 97 161 bekannt. Dabei wurden zunachst die Bestandteile des organischen Binders mit dem Füllstoff beispielsweise in ei- nem Drei-Walzen-Stuhl verrührt, um damit eine gleichmäßige Verteilung der Füllstoffteilchen im organischen Binder zu gewahrleisten. Die auf diese Weise vorbereitete photostruk- turierbare Paste wird dann in Form einer Funktionsschicht mit einer typischen Dicke von 500 nm bis 20 m auf eine ke- ramische Grünfolie mit Aluminiumoxid als keramischem Be- standteil aufgetragen.

Danach werden die derart mit der Funktionsschicht versehenen Grünfolien bei einer Temperatur von 80°C bis 100°C über eine Zeit von typischerweise 5 min bis 20 min getrocknet und schließlich mit einer Photomaske mit UV-Licht belichtet. Die Photomaske ist dazu beispielsweise in bekannter Weise in Form von mäanderförmigen Widerstandsleiterbahnen struktu- riert.

Das UV-Licht bei der Belichtung weist bevorzugt eine Wellen- länge von 320 nm-400 nm auf.

Nach dem Belichten der nicht mit Hilfe der Photomaske abge- deckten Bereiche der Funktionsschicht auf der keramischen Grünfolie erfolgte dann das Entwickeln der Funktionsschicht bzw. der diese bildende photostrukturierbaren Paste. Dazu wird beispielsweise ein Aerosol einer wäßrigen, 0,5%-igen Monoethanolaminlösung auf eine sich mit einer Geschwindig- keit von typischerweise 3000 U/min drehende Unterlage, auf der die belichteten keramischen Grünfolien angeordnet sind, aufgetropft. Dieses Verfahren wird allgemein als"spin- development"bezeichnet und ist in LT-97 161 näher erlau- tert.

Nach dem Entwickeln der photostrukturierbaren Paste werden schließlich die nicht belichteten Bereiche der Funktions- schicht mit Hilfe einer wasserlöslichen Basislösung wieder abgewaschen.

Die weitere Verarbeitung der keramischen Grunfolien mit der darauf befindlichen, entwickelten, photostrukturierten Funk- tionsschicht erfolgt dann weiter in der aus der Anmeldung DE 199 34 109.5 bekannten Weise. So werden die mit den struktu- rierten Funktionsschichten versehenen keramischen Grünfolien gegebenenfalls mit weiteren keramischen Grünfolien gesta- pelt, mit Durchkontaktierungen und elektrischen Anschlüssen versehen und schließlich bei Temperaturen von typischerweise 1050°C bis 1650°C beispielsweise zu einem Temperatursensor gesintert.

Die Figur 1 zeigt eine typische keramische Grünfolie als Ausgangskörper 10 auf der in der vorstehend erläuterten Wei- se eine platinhaltige, photostrukturierbare Funktionsschicht 12 mit einer typischen Dicke von 5 Hm bis 20 pm aufgedruckt worden ist. Diese Funktionsschicht 12 wurde anschließend mit Hilfe einer Photomaske in der vorstehend erläuterten Weise photostrukturiert, so daß aus der Funkionsschicht 12 Struk- turen 11 herausstrukturiert worden sind, die die Form von mäanderförmigen Leiterbahnen aufweisen. Diese Strukturen 11 haben eine typische laterale Ausdehnung von 15 pm. Der Aus- gangskörper 10 mit der aufgebrachten strukturierten Funkti- onsschicht 12 wird nun gemäß Figur 2 mit weiteren kerami- schen Grünfolien zu einem grünen keramischen Stapelkorper zusammengesetzt und danach gesintert, so daß ein Temperatur- fühler 5 entsteht, wie er prinzipiell bereits aus der Anmel- dung DE 199 34 109.5 bekannt ist. In diesem Sinne ist Figur 1 lediglich ein Ausschnitt des Ausgangskörpers 10 gemäß Fi- gur 2.

Die Figur 2 zeigt den zu erzeugenden Temperaturfühler 5 in Explosionsdarstellung, wobei zunachst der Ausgangskörper 10 in Form einer keramischen Grünfolie mit der photostruktu- rierten, platinhaltigen Funktionsschicht 12 versehen worden ist. Die Funktionsschicht 12 weist Strukturen 11 in Form von Maandern als Widerstandsleiterbahnen auf, die auf der Ober- fläche des Ausgangskörpers 10 zur elektrischen Kontaktierung zu Kontaktflächen 13 geführt sind. Auf der Unterseite des Ausgangskörpers 10 ist eine grune keramische Tragerfolie 14 vorgesehen, die eine Ausnehmung 15 aufweist. Die Oberseite des Ausgangskörpers 10 wird von einer grunen keramischen Deckfolie 16 abgedeckt. Die Tragerfolie 14 und die Deckfolie 16 weisen bevorzugt die gleiche Zusammensetzung wie der Aus- gangskörper 10 auf.

Hinsichtlich näherer Details zu der Funktion und konstrukti- ven Einzelheiten des Temperaturfühlers 5 sei auf die Anmel- dung DE 199 34 109.5 verwiesen. Nach dem Zusammenfügen des mit der Funktionsschicht 12 versehenen Ausgangskörpers 10 mit der Trägerfolie 14 und der Deckfolie 16 wird der so ent- standene grüne keramische Stapelkörper einer Temperaturbe- handlung unterzogen, wobei die Polymermatrix der Grünfolien zumindest weitgehend thermisch zersetzt und/oder verdunstet wird, und wobei die keramischen Grünfolien zwischen 1050°C und 1650°C gesintert werden. Dadurch entsteht unter anderem aus dem Ausgangskörper 10 eine gebrannte keramische Folie mit Widerstandsleiterbahnen, die durch die Strukturen 11 ge- bildet sind.