Chemikalienresistente Halterung für Chips mit empfindlichen Strukturen auf der Oberseite

Die Erfindung betrifft eine chemikalienresistente Halterung für Chips mit empfindlichen Strukturen auf der Oberseite, wobei jeder Chip eine Unterseite, mehrere Seitenflächen und eine die empfindlichen Strukturen tragende Oberseite aufweist.

Bei der Herstellung von mikroelektronischen Chips besteht gelegentlich das Bedürfnis, vereinzelte Chips an ihrer die empfindlichen Strukturen tragenden Oberseite mit Chemikalien zu behandeln, wozu die Chips in einer geeigneten Weise gehalten werden müssen. Eine Möglichkeit der Halterung besteht in der Verwendung von Mikromanipulatoren, was jedoch aufwendig und teuer ist. Eine andere Möglichkeit besteht in der Verwendung von Klebefolien, auf weiche die zu behandelnden Chips mit ihrer Unterseite aufgeklebt werden, was jedoch häufig nicht gelingt, da die Klebefolien durch den Einfluss der verwendeten Chemikalien ihre Haftwirkung verlieren.

Die Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine chemikalienresistente Halterung für vereinzelte, chemisch zu behandelnde Chips zu schaffen, welche mit geringem Aufwand realisierbar ist und bei der eine zuverlässige Haltewirkung gewährleistet ist.

Die Aufgabe wird durch eine chemikalienresistente Halterung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen chemikalienresistenten Halterung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Durch die Erfindung wird eine chemikalienresistente Halterung für Chips mit

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empfindlichen Strukturen auf der Oberseite, wobei der Chip eine Unterseite, mehrere Seitenflächen und eine die empfindlichen Strukturen tragende Oberseite aufweist, geschaffen. Erfindungsgemäß umfasst die chemikalienresistente Halterung eine Auflagefläche, auf die der Chip mit seiner Unterseite auflegbar ist, mindestens zwei Anlageflächen, zwischen denen der Chip mit mindestens zwei seiner Seitenflächen durch seitlich wirkende Federkräfte fixierbar ist, und eine Federeinrichtung zur Erzeugung der seitlich wirkenden Federkräfte an mindestens einer der mindestens zwei Anlageflächen, wobei die Halterung aus einem chemikalienbeständigen Material besteht.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Federeinrichtung eine Handhabe auf, mittels der die Federeinrichtung zur Aufhebung der seitlich wirkenden Kräfte wahlweise entlastbar ist.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Halterung zwei einander gegenüberliegende Anlageflächen auf, zwischen denen der Chip fixierbar ist.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist die erste Anlagefläche starr angeordnet vorgesehen und die zweite Anlagefläche an der Federeinrichtung angeordnet vorgesehen.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist die erste Anlagefläche an einem sich in der Halterung in einer Querrichtung erstreckenden, starr angeordneten ersten Bügel vorgesehen und die zweite Anlagefläche an einem sich zumindest teilweise parallel zu dem ersten Bügel erstreckenden, durch die Federeinrichtung gebildeten zweiten Bügel vorgesehen.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halterung ist die Federeinrichtung in Form einer Federklammer vorgesehen, welche in einem

mittleren Bereich den mit der zweiten Anlagefläche versehenen zweiten Bügel und an mindestens einem Endbereich einen gegenüber dem zweiten Bügel abgewinkelten Schenkel bildet, der sich unter Erzeugung der seitlich wirkenden Federkräfte gegen ein jeweiliges Widerlager abstützt und auf den die zur Entlastung der Federeinrichtung dienende Handhabe einwirkt.

Dabei kann die Federklammer an zwei Endbereichen jeweils gegenüber dem zweiten Bügel abgewinkelte Schenkel aufweisen, die sich gegen jeweilige Widerlager abstützen und auf die jeweils die zur Entlastung der Federeinrichtung dienende Handhabe einwirkt.

Die Handhabe kann in Form eines jeweiligen, am Ende des abgewinkelten Schenkels vorgesehenen, insbesondere mittels einer Zange oder mittels einer Pinzette greifbaren, Hakens vorgesehen sein.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung umfasst die Halterung einen Rahmen, in welchem das oder die Widerlager mit dem ersten Bügel starr verbunden vorgesehen sind, wobei das oder die Widerlager an einer dem ersten Bügel gegenüberliegenden Seite des Rahmens und die den zweiten Bügel und die Handhabe bildende Federklammer zwischen dem ersten Bügel und dem oder den Widerlager(n) angeordnet sind.

Gemäß einer speziellen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halterung kann der Rahmen durch drei U-förmige, zusammengelötete Klammern gebildet sein, von denen eine erste und eine zweite Klammer mit einander zugewandten Schenkeln angeordnet und durch die Schenkel einer dazwischen quer angeordneten dritten Klammer miteinander verbunden sind.

Die Federklammer kann ebenfalls durch eine entsprechend gebogene vierte U- förmige Klammer gebildet sein.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halterung ist die Auflagefläche durch ein magnetisches Material gebildet.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird der starre Teil der Halterung auf ein Trägermaterial gelötet.

Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung erläutert.

Die Figur zeigt in der Draufsicht eine chemikalienresistente Halterung für Chips mit empfindlichen Strukturen auf der Oberseite gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Die in der Figur dargestellte chemikalienresistente Halterung ist vorgesehen zur Halterung von vereinzelten Chips mit einer Größe von beispielsweise 1 mm Länge, 1 mm Breite und 0,3 mm Höhe, welche eine Unterseite, eine die empfindlichen Strukturen tragende Oberseite 4 und Seitenflächen 2, 3 aufweisen. In der Figur ist ein Chip 1 dargestellt, wie er von der chemikalienresistenten Halterung zum Zwecke einer Behandlung seiner auf der Oberseite vorhandenen empfindlichen Strukturen gehalten ist.

Die chemikalienresistente Halterung besteht im Wesentlichen aus einem insgesamt mit dem Bezugszeichen 9 versehenen Rahmen und einer Federeinrichtung 6, durch die der Chip 1 gegenüber dem Rahmen 9 gehalten wird, sowie einer Auflagefläche 5 (in der Figur in der Zeichenebene unter Rahmen 9, Federeinrichtung 6 und Chip 1), auf die der Chip 1 mit seiner Unterseite auflegbar ist.

Bei dem in der Figur dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Rahmen 9 durch

drei U-förmige Klammern 9a, 9b, 9c nach Art von allgemein bekannten Heftklammern oder "Staples", gebildet, von denen eine erste und eine zweite Klammer 9a, 9b mit einander zugewandten Schenkeln angeordnet und durch die Schenkel einer dazwischen quer angeordneten dritten Klammer 9c miteinander durch Lötzinn 10 verlötet und dadurch verbunden sind. Eine Federeinrichtung oder Federklammer 6 ist durch eine vierte U-förmige Klammer gebildet, die in der gezeigten Weise gebogen ist. Die Auflagefläche 5 ist durch ein magnetisches Material gebildet, welches den Rahmen 9 und die Federklammer 6 hält und fixiert. Die Halterung, das heißt im Wesentlichen, die Auflagefläche 5, der Rahmen 9 und die Federeinrichtung oder Federklammer 6 sind aus einem chemikalienresistenten Material gebildet.

Der Chip 1 wird bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel zwischen zwei einander gegenüberliegenden Anlageflächen 7a, 8a gehalten oder fixiert, von denen die erste Anlagefläche an einem sich in einer Querrichtung des Rahmens erstreckenden, starr angeordneten, durch die dritte Klammer 9c gebildeten ersten Bügel 7 vorgesehen ist und die zweite Anlagefläche 8a an einem sich zumindest teilweise parallel zu dem ersten Bügel 7 erstreckenden zweiten Bügel 8 vorgesehen ist, welcher durch den mittleren Bereich der vierten Klammer gebildet ist, aus dem die Federeinrichtung oder Federklammer 6 hergestellt ist.

Die Federklammer 6 hat an ihren Endbereichen jeweilige gegenüber dem im mittleren Bereich die zweite Anlagefläche 8a bildenden Bügel 8 abgewinkelte Schenkel 8b, 8c, welche sich gegen Widerlager 9d, 9e abstützen, die durch die im Rahmen 9 enthaltene erste und zweite Klammer 9a, 9b gebildet sind.

Die Federklammer 6 ist weiterhin mit einer zu ihrer Entlastung dienenden Handhabe 6a, 6b versehen, die in Form von jeweiligen am Ende der abgewinkelten Schenkel 8b, 8c ausgebildeten Haken vorgesehen sind, die insbesondere beispielsweise mittels einer Zange oder mittels einer Pinzette

greifbar sind. Die Widerlager 9d, 9e sind über die erste Klammer 9a bzw. die zweite Klammer 9b mit dem durch die dritte Klammer 9c gebildeten ersten Bügel 7 starr verbunden, wobei, wie aus der Figur ersichtlich, die Widerlager 9d, 9e an der dem ersten Bügel 7 gegenüberliegenden Seite des Rahmens 9 angeordnet sind und die den zweiten Bügel 8 und die Handhabe 6a, 6b bildende Federklammer 6 zwischen dem ersten Bügel 7 und den Widerlagern 9d, 9e angeordnet ist.

Der Chip 1 wird somit zwischen der durch den ersten Bügel 7 gebildeten ersten Anlagefläche 7a und der durch den zweiten Bügel 8 gebildeten zweiten Anlagefläche 8a durch seitlich wirkende Federkräfte fixiert, welche durch die Federklammer 6 erzeugt werden. Mittels der Handhabe 6a, 6b ist die Federklammer 6 zur Aufhebung der seitlich wirkenden Kräfte und damit zur Freigabe des Chips 1 wahlweise entlastbar, insbesondere mittels einer Pinzette oder einer Zange, wie oben erwähnt. Durch Zusammendrücken der Federklammer 6 mittels der Handhabe 6a, 6b in Richtung der in der Figur gezeigten Pfeile kann die Federklammer 6 zusammengedrückt und nach oben aus dem Rahmen 9 herausgenommen werden. Durch das Zusammendrücken der Federklammer 6 in Richtung der Pfeile (X-Richtung) wird eine Verminderung der Ausdehnung und damit eine Reduzierung der Kraft in Y-Richtung erreicht, so dass die Federklammer 6 aus dem Rahmen 9 herausgenommen werden kann.

Bezugszeichenliste

Chip

Seitenfläche

Seitenfläche

Oberseite

Auflagefläche

Federeinrichtung a Handhabe b Handhabe erster Bügel a erste Anlagefläche zweiter Bügel a zweite Anlagefläche b Schenkel c Schenkel

Rahmen a erste Klammer b zweite Klammer c dritte Klammer d Widerlager e Widerlager 0 Lötzinn