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Title:
CHIP MODULE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1997/016846
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to a chip module (1) comprising: a contact layer (2) made from an electrically conducting material and provided with a plurality of contact elements (4) which have contact faces (3) on the front side; and a semiconductor chip (7) with chip connections arranged on the principal face (5) of the semiconductor chip (7) and electrically connected via bonding wires (6) of maximum assembly length to the rear side of the contact element (4) assigned to the chip connection. In addition, a thin insulating film (10) of electrically insulating material with a plurality of bonding holes (9) is provided between the electrically conducting contact layer (2) and semiconductor chip (7). The arrangement, shape and number of the holes and their allocation to a particular contact element (4) of the contact layer is such that with any position and surface content of the secured semiconductor chip (7), contact can be ensured between the chip contacts via the bonding wires (6) with an appropriate contact element (4) of the contact layer (2).

Inventors:
HUBER MICHAEL (DE)
STAMPKA PETER (DE)
Application Number:
PCT/DE1996/002050
Publication Date:
May 09, 1997
Filing Date:
October 28, 1996
Export Citation:
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Assignee:
SIEMENS AG (DE)
HUBER MICHAEL (DE)
STAMPKA PETER (DE)
International Classes:
G06K19/077; H01L23/12; H01L23/13; H01L23/498; (IPC1-7): H01L/
Foreign References:
EP0676716A11995-10-11
US4625102A1986-11-25
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Claims:
Patentansprüche
1. Chipmodul mit einer aus elektrisch leitendem Material ge¬ fertigten Kontaktschicht (2), die eine Vielzahl von auf der Vorderseite mit Kontaktflächen (3) versehenen Kontaktelemen¬ ten (4) aufweist, und einem oberhalb der Kontaktschicht (2) anordenbaren Halbleiterchip (7) mit auf der Hauptfläche (5) des Halbleiterchips (7) angeordneten Chipanschlüssen, die über Bonddrähte (6) mit der Rückseite des dem Chipanschluß zugeordneten Kontaktelementes (4) elektrisch verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Bonddrähte (6) eine maximale Montagelänge besitzen, und zwischen der elektrisch leitenden Kontaktschicht (2) und dem Halbleiterchip (7) eine mit einer die Anzahl der Chipan Schlüsse übersteigenden Vielzahl von Bondlöchern (9) versehe¬ ne, dünne Isolationsfolie (10) aus elektrisch isolierendem Material vorgesehen ist, bei welcher die Bondlöcher (9) hin¬ sichtlich deren Anordnung, Form, Anzahl, sowie Zuordnung zu einem bestimmten Kontaktelement (4) der Kontaktschicht (2) derart beschaffen sind, daß bei einer beliebigen Lage und ei¬ ner beliebigen Grundfläche des befestigten Halbleiterchips (7) eine Kontaktierung der Chipanschlüsse vermittels der Bonddrähte (6) mit einem jeweils zugehörenden Kontaktelement (4) der Kontaktschicht (2) bewerkstelligt ist.
2. Chipmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen der elektrisch leitenden Kontaktschicht (2) und dem Halbleiterchip (7) vorgesehene dünne Isolationsfolie (10) pro zugeordnetem Kontaktelement (4) wenigstens zwei Bondlöcher (9) aufweist.
3. Chipmodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Bonddraht (6) für die elektrische Kontaktierung der Chipanschlüsse mit den Kontaktflächen (3) der Kontaktschicht (2) eine maximale Montagelänge von etwa 3 mm aufweist.
4. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein insbesondere am Randbereich der Kontaktschicht (2) verbundener und den Halbleiterchip (7) umgebender Trager (11) aus elektrisch isolierendem Material vorgesehen ist.
5. Chipmodul nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Trager (11) aus GlasepoxyMaterial hergestellt ist und eine Starke von etwa bis zu 125 μm besitzt.
6. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen der elektrisch leitenden Kontaktschicht (2) und dem Halbleiterchip (7) angeordnete αunne Isolationsfolie (10) eine Starke von weniger als etwa 30 μm besitzt.
7. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterchip (7) vermittels einem elektrisch iso¬ lierenden Klebstoff in das Chipmodul (1) eingeklebt ist.
8. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktschicht (2) eine Anzahl von sechs oder acht Kontaktelementen (4) besitzt.
9. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Isolationsfolie (10) an den Stellen der Bondlo eher (9) und/oder an der Stelle des am Chipmodul (1) zu befe¬ stigenden Halbleiterchips (7) ausgestanzt ist, und ansonsten über die gesamte Flache der Kontaktschicht (2) annähernd durchgehend geschlossen ausgebildet ist.
10. Chipmodul nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Isolationsfolie (10) gleichzeitig als Haft¬ bzw. Klebstoffschicht wirkt.
11. Chipmodul nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Isolationsfolie (10) aus einem Haft bzw. Kle stoffmaterial besteht, dessen Haft bzw. Klebeeigenschaften von dem Grad eines beaufschlagten mechanischen Druckes abhän gen.
Description:
Beschreibung

Bezeichnung der Erfindung: Chipmodul

Die Erfindung bezieht sich auf ein Chipmodul nach dem Oberbe¬ griff des Anspruchs 1, welches Chipmodul insbesondere in eine Chipkarte einzubauen ist.

Die Anwendungsmoglichkeiten von in der Regel im Scheckkarten- format ausgebildeten Chipkarten sind aufgrund einer hohen funktionalen Flexibilität äußerst vielseitig geworden und nehmen mit der steigenden Rechenleistung und Speicherkapazi¬ tät der verfugbaren integrierten Schaltungen weiterhin zu. Neben den derzeit typischen Anwendungsfeldern solcher Chip- karten in der Form von Krankenversichertenkarten, Gleitzeit- erfassungskarten, Telefonkarten ergeben sich zukunftig insbe¬ sondere Anwendungen im elektronischen Zahlungsverkehr, bei der Zugriffskontrolle auf Rechner, bei geschützten Datenspei¬ chern und dergleichen. Es gibt heute verschiedene Moglichkei- ten, Chipkarten herzustellen. Bei den meisten Verfahren wird der eigentliche Halbleiterchip zunächst auf ein Chipkartenmo- dul montiert, der auch die zumeist vergoldeten Kartenkontakte beinhaltet. Üblicherweise werden die Chipkartenmodule auf ei¬ nem Endlosband beziehungsweise Endlosgrundtrager gefertigt, anschließend werden die einzelnen Chipkartenmodule ausge¬ stanzt und in die Chipkarte gebracht. Bei dieser Methode fin¬ det keine direkte Befestigung des Chips in der Karte statt, was den Vorteil besitzt, daß die Biegekrafte weitgehend vom Chip abgehalten werden, die bei einer mechanischen Belastung der Chipkarte entstehen können.

Bei der Herstellung von Chipkartenmodulen wird derzeit am häufigsten das sogenannte Draht-Bond-Verfahren angewendet, welches auch dem erfindungsgemaßen Modul zugrunde liegt, und welches beispielsweise aus den FR 2 684 236 AI, DE 42 32 625 AI, GB 2 149 209 A, und DE 38 09 005 AI bekanntgeworden ist. Hierbei werden die Chipanschlusse des die eigentliche elek-

tronische Schaltung tragenden Halbleiterchips mit dünnen Bonddrähten mit den einzelnen Kontaktelementen der Kontakt¬ schicht verbunden. Zum Schutz gegen Umwelteinflüsse werden der Halbleiterchip und die Bonddrähte durch eine Vergußmasse abgedeckt. Der Vorteil dieses Herstellungsverfahrens liegt darin, daß es sich weitgehend an das in der Halbleiterindu¬ strie übliche Verfahren zur Verpackung von Chips in Standard¬ gehäusen anlehnt, und dadurch preisgünstiger ist. Der Nach¬ teil bei diesem Verfahren liegt hauptsächlich darin, daß so- wohl die Bauhöhe wie auch die Länge und Breite des Moduls deutlich größer ausfallen als beispielsweise beim sogenannten TAB-Modul, bei dem die Anschlußflächen (Pads) des Halbleiter¬ chips mit galvanisch aufgebrachten metallischen Höckern ver¬ sehen sind, die zur unmittelbaren Befestigung der elektrisch leitenden Kontaktflächen durch Lötverbindung dienen, und so¬ mit eine Abdeckung von Bonddrähten nicht erforderlich ist. Für den Einbau des Chipmoduls in die Chipkarte haben sich derzeit drei verschiedene Verfahren durchgesetzt, das Lami- nierverfahren, das Einsetzen in gefräste Hohlräume, sowie das Montieren in fertig gespritzte Karten. Bei sämtlichen Einbau¬ verfahren besteht beim Kartenhersteller der Nachteil, Chip¬ kartenmodule mit unterschiedlichen Baugrößen, die aus der un¬ terschiedlichen Chipfläche des verwendeten Halbleiterchips resultieren, in die Karte einsetzen zu müssen. Die aufgrund von unterschiedlichen Chipflächen von typischerweise etwa 1 mm 2 bis 20 mm 2 resultierende Modulvielfalt führt auch beim Modulhersteller zu erhöhten Materialkosten aufgrund einer verringerten Abnahmemenge pro Modulvariante und zu einem er¬ höhten Logistikaufwand. Beim Kartenhersteller ergeben sich aufgrund der unterschiedlichen Modultypen verschiedene Abmes¬ sungen der Kartenhohlräume für den Einbau des Moduls und da¬ mit erhöhte Werkzeugkosten bzw. Verfahrenskosten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein universell ver- wendbares Chipmodul für den Einbau in eine beliebige Halblei¬ terchipvorrichtung, insbesondere Chipkarte zur Verfügung zu stellen, welches unabhängig von der Chipgröße des jeweils

verwendeten Halbleiterchips eine einheitliche Baugröße be¬ sitzt, wobei das Chipmodul mit einem allenfalls geringfügig höheren Mehraufwand bzw. Mehrkosten herstellbar ist.

Diese Aufgabe wird durch ein Chipmodul gemäß Anspruch 1 ge¬ löst.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß die Bonddrähte eine maxi¬ male Montagelänge besitzen, und zwischen der elektrisch lei- tenden Kontaktschicht und dem Halbleiterchip eine mit einer die Anzahl der Chipanschlüsse übersteigenden Vielzahl von Bondlöchern versehene, dünne Isolationsfolie aus elektrisch isolierendem Material vorgesehen ist, bei welcher die Bondlö¬ cher hinsichtlich deren Anordnung, Form, Anzahl, sowie Zuord- nung zu einem bestimmten Kontaktelement der Kontaktschicht derart beschaffen sind, daß bei einer beliebigen Lage und insbesondere beliebigen Grundfläche des befestigten Halblei¬ terchips eine Kontaktierung der Chipanschlusse vermittels der Bonddrähte mit einem jeweils zugehörenden Kontaktelement der Kontaktschicht unter Berücksichtigung der geltenden Montage¬ vorschriften der Bonddrähte bewerkstelligt werden kann. Die Erfindung ermöglicht ein universell einsetzbares Modul mit einheitlichen äußeren Abmessungen, welche unabhängig sind von der Größe des jeweils verwendeten Halbleiterchips. Dadurch können sowohl bei der Herstellung des Chipmoduls, als auch beim Einbau des Moduls in die Chipkarte erhebliche Ferti¬ gungskosten eingespart werden und der Logistikaufwand in bei¬ den Bereichen verringert werden.

Dem Prinzip der Erfindung folgend kann insbesondere vorgese¬ hen sein, daß die dünne Isolationsfolie an den Stellen der Bondlöcher und/oder an der Stelle des am Chipmodul zu befe¬ stigenden Halbleiterchips ausgestanzt ist, und ansonsten über die gesamte Fläche der Kontaktschicht annähernd durchgehend geschlossen ausgebildet ist. Das erfindungsgemäße Chip-

kann bei allen derzeit im Einsatz befindlichen Kontaktschich¬ ten nach ISO-Standard verwendet werden, wobei derzeit haupt¬ sächlich eine Anzahl von sechs oder acht Kontaktelementen üblich ist.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, daß die zwischen der elektrisch leitenden Kon¬ taktschicht und dem Halbleiterchip vorgesehene dünne Isola¬ tionsfolie pro zugeordnetem Kontaktelement wenigstens zwei Bondlöcher aufweist. Erforderlichenfalls kann in Abhängigkeit der in der Regel nach ISO-Standards vorbestimmten Anordnung und Geometrie des Kontaktfeldes mit den Kontaktelementen und in Abhängigkeit der tatsächlich verwendeten Chiptypen unter Berücksichtigung der gängigen Montagevorschriften hinsieht- lieh der Bonddrähte, die insbesondere eine maximale Länge der Bonddrähte vorschreiben, die genaue Geometrie, Anordnung und Anzahl der Bondlδcher für jedes Kontaktelement der Kontakt- fläche unterschiedlich gestaltet sein kann. Hierbei ist wei¬ terhin zu berücksichtigen, daß bei der Verwendung eines Kleb- Stoffes zur Befestigung des Halbleiterchips in das Kartenmo¬ dul ein unerwünschter Klebstoffauftrag durch die Bondlόcher auf die Rückseite des dem Chipanschluß zugeordneten Kontakt- elementes vermieden wird, was durch geeignete Gestaltung und Anordnung der Bondlόcher desselben Kontaktelementes dadurch erreicht werden kann, daß die Kantenränder eines Bondloches durch Adhäsionswirkung gewissermaßen als Fließstop für das Klebstoffmittel wirken, so daß ein separat vorzusehender "Bleed-Stop" zur Verhinderung eines unerwünschten Kleb¬ stoffaufträges nicht erforderlich ist.

Bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung kann vorgese¬ hen sein, daß ein insbesondere am Randbereich der Kontakt- schicht verbundener und den Halbleiterchip umgebender Träger aus elektrisch isolierendem Material vorgesehen ist. Der Trä- ger kann insbesondere aus einem Glasepoxymaterial hergestellt sein und vorzugsweise eine Stärke von etwa bis zum 125 μm besitzen. Darüber hinaus kann insbesondere bei großflächigen

und dadurch bruchempfindlicheren Halbleiterchips zusätzlich ein den Chip umgebender Versteifungsrahmen auf der Isolati¬ onsfolie aufgebracht sein.

Gegenüber den verwendeten Schichtstärken der metallischen Kontaktschicht und des Trägers aus elektrisch isolierenden Material kann die zwischen der elektrisch leitenden Kontakt- schicht und der Halbleiterschicht angeordnete dünne Isola¬ tionsfolie eine wesentlich geringere Stärke besitzen, bei- spielsweise von deutlich weniger als etwa 30 μm, solange eine ausreichende elektrische Isolationswirkung der Isolationsfo¬ lie gegeben ist.

Bei einer weiterhin bevorzugten Ausführung der Erfindung er- folgt die Verbindung des Halbleiterchips mit dem Chipmodul unter Verwendung eines elektrisch isolierenden Klebstoffes, wodurch verhindert werden kann, daß über die Klebstoffschicht ein elektrischer Kurzschluß über die Kontakte des Lesegerätes entsteht. Durch die Verwendung eines beispielsweise nicht Ag- gefüllten Isolierklebstoffes mit einer Wärmeleitzahl λ von ungefähr 5 W/mK kann in Verbindung mit der stark thermisch isolierenden dünnen Isolationsfolie bzw. Isolationsschicht auch ohne Vorsehen einer Chipinsel ein wesentlich verbesser¬ tes Delaminationsverhalten im Hinblick auf ein sogenanntes Hot-Melt-Einbauverfahren gewährleistet werden.

Der dünnen Isolationsfolie kommt in erster Linie die Wirkung einer elektrisch isolierenden Schicht zwischen Halbleiterchip und Kontaktschicht zu. Darüber hinaus kann bei einer weiter- hin bevorzugten Ausführung der Erfindung der dünnen Isolati¬ onsfolie eine die Verbindung zwischen Halbleiterchip und Kon¬ taktschicht gewährleistende Funktion zu. Hierbei soll die dünne Isolationsfolie zum einen eine möglichst vollflächig gute Haftung zur metallischen Kontaktschicht und zum anderen auf der dieser gegenüberliegenden Seite eine gute Haftung zum

Halbleiterchip bzw. zum Epoxytape gewährleisten. Weiterhin soll die Klebe- bzw. HaftVerbindung zum Halbleiterchip bzw.

zur Metallschicht vermittels der dünnen Isolationsfolie schnell und einfach hergestellt werden können und ausreichen¬ de Langzeitstabilität besitzen. Bei einer bevorzugten Aus¬ führung der dünnen Isolationsfolie kann dieser die Wirkung einer auf Druck empfindlichen Klebstoffschicht dergestalt zu¬ kommen, daß der während des Auflarainierens der Kontaktschicht und des Epoxytapes erzeugte Walzendruck eine zur Kraftwir¬ kungslinie bzw. -richtung senkrecht erzeugte Scherspannung in der druckempfindlichen Klebstoffschicht bzw. Isolationsfolie erzeugt. Die Klebstoffschicht wird in dieser Richtung vor¬ zugsweise durch eine entsprechende Ausrichtung von Molekül- ketten innerhalb der Klebstoffschicht mikroplastisch. Dies reicht aus, um eine Mikroformgebung und damit Anpassung der Oberfläche der Klebstoffschicht zum jeweiligen Verbindungs- partner zu erzeugen und somit eine ausreichende Haftfestig¬ keit zu gewährleisten. Als Materialien für eine solcherart als druckempfindliche Klebstoffschicht geeignete dünne Isola¬ tionsfolien sind beispielsweise Acrylate, Naturstoffe (beispielsweise Kautschuke) , Silikone, Styrol-Copolymerisate (beispielsweise Butadiene) , Isoprene und dergleichen geeig¬ net. Hierbei kann die auch als druckempfindliche Klebstoff- schicht wirkende Isolationsfolie sowohl einlagig, als auch mehrlagig ausgebildet sein. Bei einem Mehrlagenaufbau kann eine mittlere Lage die Trägerfunktion für die einzelnen Kleb- stoffschichten übernehmen. Für die Mittellage zur Ausübung der Trägerfunktion eignen sich insbesondere Thermoplast-Fo¬ lien. Der Einsatz der dünnen Isolationsfolie auch als Kleb¬ stoffschicht für den Halbleiterchip erübrigt die Aufbringung eines weiteren Chipklebers. Bei solchen zusätzlichen Chip- klebstoffen, die in der Regel in flüssiger oder zähflüssiger Konsistenz aufgetragen werden, besteht generell der Nachteil, daß bei ungeeigneter Dosierung oder bei Prozeßunregelmäßig¬ keiten Produktionsausfälle resultieren können. Bei einer zu hohen Dosierung des aufgetragenen Chipklebstoffes besteht beispielsweise die Gefahr, einige für die Bondkontaktierung notwendigen Bondlöcher zu verkleben, wodurch sie unbrauchbar wären, wohingegen bei einer zu geringen Dosierung des Kleb-

Stoffes auf der dünnen Isolationsfolie eine unzureichende Chipfixierung auf dem perforierten Untergrund erfolgt. Außer¬ dem besteht bei einem Auftrag von flüssigem Chipklebstoff die Gefahr einer Veränderung der Form und Lage der benötigten Bondlöcher, was wiederum zu erhöhten Produktionsausfällen führen kann oder eine höhere Prozeßkontrolle erforderlich macht.

Weitere Merkmale, Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausfüh¬ rungsbeispielen anhand der Zeichnung. Es zeigt:

Figur 1 eine schematische Ansicht des Chipmoduls gemäß Erfin¬ dung mit den drei Bestandteilen einer Kontaktschicht mit Kontaktelementen, einer dünnen Isolationsfolie, und einem Träger aus elektrisch isolierenden Mate¬ rial;

Figur 2 eine schematische Draufsicht eines Chipmoduls gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung mit einem kleinflächigen Halbleiterchip; und

Figur 3 eine schematische Draufsicht eines Chipmoduls gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung mit einem großflächigen Halbleiterchip.

Das in den Figuren 1 bis 3 dargestellte Chipmodul 1 besitzt eine in der Regel nach einem ISO-Standard mit genormten Ab¬ messungen versehene und eine Stärke von etwa 30 μm bis etwa 70 μm aufweisende metallische Kontaktschicht 2 mit auf der Vorderseite mit Kontaktflächen 3 versehenen Kontaktelementen 4 und einen in dem Chipmodul zu befestigenden Halbleiterchip 7, welcher auf seiner Hauptfläche 5 der Übersichtlichkeit halber nicht näher dargestellte Chipanschlüsse bzw. Pad-An- schlußflächen besitzt, die mittels Bonddrähten 6 mit der

Rückseite 8 des dem jeweiligen Chipanschlusses zugeordneten Kontaktelementes 4 elektrisch verbunden sind. Erfindungsgemäß

ist vorgesehen, daß zwischen der elektrisch leitenden Kon¬ taktschicht 2 und dem Halbleiterchip 7 eine mit einer Viel¬ zahl von Bondlöchern 9 versehene, dünne Isolationsfolie 10 aus elektrisch isolierendem Material vorgesehen ist. Die Bondlδcher sind hinsichtlich Anordnung, Form, Anzahl, sowie Zuordnung zu einem bestimmten Kontaktelement 4 der Kontakt- schicht 2 derart beschaffen, daß bei einer beliebigen Lage und Grundfläche des befestigten Halbleiterchips 7 eine Kon¬ taktierung der Chipanschlüsse mittels der Bonddrähte 6 unter Berücksichtigung der gängigen Montagevorschrift, d.h. vorbe¬ stimmten maximalen Bonddrahtlänge, mit einem jeweils zugehö¬ renden Kontaktelement 4 der Kontaktschicht 2 bewerkstelligt werden kann. Wie in den Figuren dargestellt ist die dünne Isolationsfolie 10 an den Stellen der Bondlόcher 9 ausge- stanzt, und ansonsten über die gesamte Fläche der Kontakt¬ schicht 2 annähernd durchgehend geschlossen ausgebildet. Bei einer weiteren Ausführungsform, welche in den Figuren nicht näher dargestellt ist, kann darüber hinaus die dünne Isolati¬ onsfolie 10 an der Stelle des zu befestigenden Halbleiter- chips 7 mit einer der Grundfläche des Halbleiterchips 7 ent¬ sprechenden Ausstanzung versehen sein. In diesem Fall kann der Halbleiterchip in die vorgesehene Ausstanzung der Isola¬ tionsfolie gesetzt und direkt auf der Rückseite 8 der Kon¬ taktschicht 2 befestigt werden, beispielsweise durch Die- Bonding.

Gemäß Figur 1 kann ein insbesondere am Randbereich der Kon¬ taktschicht 2 verbundener und den Halbleiterchip 7 umgebender Träger 11 aus Glasepoxy-Material vorgesehen sein, der auch als Stützrahmen des Chipmoduls dient und mit Klebeflächen versehen in den beispielsweise gefrästen Hohlraum der späte¬ ren Chipkarte montiert wird.

Die Figuren 2 und 3 zeigen in schematischen Aufsichten nähere Einzelheiten eines insbesondere bevorzugten Ausführungsbei¬ spieles der Erfindung, bei dem das Chipmodul l eine Kontakt- schicht 2 mit einer Anzahl von acht Kontaktelementen 4a bis

4h besitzt, wobei gemäß Figur 2 ein relativ kleinflächiger Halbleiterchip 7a, und gemäß Figur 3 ein relativ großflächi¬ ger Halbleiterchip 7b montiert ist. Wie dargestellt sind die Bondlöcher 9 der dünnen Isolationsfolie 10 so beschaffen, daß bei den Kontaktelementen 4a bis 4d jeweils eine Anzahl von drei Bondlöchern 9a, 9b, 9c mit kreisrunder Querschnittsform vorgesehen sind, deren aufeinanderfolgende Anordnung der Mit¬ telpunkte im wesentlichen annähernd der Formgebung des zuge¬ hörenden Kontaktelementes folgt, und bei den Kontaktelementen 4e bis 4h jeweils eine Anzahl von zwei Bondlöchern 9d, 9e mit länglichen Querschnittsformen vorgesehen sind, wobei die Ab¬ messungen des Bondloches in Längserstreckung mit zunehmendem Abstand von der Mitte der Kontaktschicht zunehmen. Auf diese Weise kann eine Kontaktierung der Chipanschlüsse vermittels der Bonddrähte 6 mit einem jeweils zugehörenden Kontaktele¬ ment vermittels eines günstig gelegenen Bondloches unabhängig von der Grundfläche des Halbleiterchips bewerkstelligt wer¬ den.