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Title:
CIRCUIT ASSEMBLY FOR PROTECTING AGAINST ELECTROSTATIC DISCHARGES
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2013/020853
Kind Code:
A1
Abstract:
A circuit assembly for protecting against electrostatic discharges comprises a shunting device (ECL), which is suitable for shunting an electrostatic discharge between a first connection contact (IO) and a second connection contact (VDD, VSS), and a compensation device (1). The compensation device (1) has a series connection of a first resistor (RS) and a field-effect transistor (T1), which series connection is connected between the first connection contact (IO) and the second connection contact (VDD, VSS). A connection node (K1) between the first resistor (RS) and the field-effect transistor (T1) is connected to the gate connection (G1) of the field-effect transistor (T1) by means of an RC series connection (RF, CF) acting as a low-pass filter.

Inventors:
REINPRECHT WOLFGANG (AT)
Application Number:
EP2012/064887
Publication Date:
February 14, 2013
Filing Date:
July 30, 2012
Export Citation:
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Assignee:
AMS AG (AT)
REINPRECHT WOLFGANG (AT)
International Classes:
H02H9/04; H01L27/02
Foreign References:
DE102008001368A12009-10-29
US20090128969A12009-05-21
US20060250732A12006-11-09
Other References:
None
Attorney, Agent or Firm:
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH (DE)
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Claims:
Patentansprüche

1. Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische

Entladungen, die Schaltungsanordnung umfassend

eine Ableitvorrichtung (ECL) , die geeignet ist, eine elektrostatische Entladung zwischen einem ersten Anschlusskontakt (10) und einem zweiten Anschlusskontakt (VDD, VSS) abzuleiten; und

eine Kompensationsvorrichtung (1), bei der eine Serienschaltung eines ersten Widerstands (RS) und eines Feldef¬ fekttransistors (Tl) zwischen den ersten Anschlusskontakt (10) und den zweiten Anschlusskontakt (VDD, VSS) geschal¬ tet ist, und bei der ein Verbindungsknoten (Kl) zwischen dem ersten Widerstand (RS) und dem Feldeffekttransistor (Tl) über eine RC-Serienschaltung (RF, CF) mit dem Gate- Anschluss (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) verbunden ist, wobei die RC-Serienschaltung (RF, CF) einen zweiten Widerstand (RF) und einen Kondensator (CF) umfasst und als Tiefpassfilter zwischen dem Verbindungsknoten (Kl) und dem Gate-Anschluss (Gl) wirkt.

2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1,

bei der die Kompensationsvorrichtung (1) einen Spannungsbegrenzer (2) aufweist, der zwischen den Gate-Anschluss (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) und den zweiten An¬ schlusskontakt (VDD, VSS) geschaltet ist, und der einge¬ richtet ist, eine Gate-Spannung des Feldeffekttransistors (Tl) kleiner als eine Gate-Durchbruchspannung des Feldeffekttransistors (Tl) zu halten.

3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2,

bei der der Spannungsbegrenzer (2) eine Serienschaltung von mehreren als Diode verschalteten Transistoren (T2, T3, T4) aufweist.

4. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, die eine Deaktivierungseinrichtung (3) aufweist, die eingerichtet ist, auf der Basis eines Deaktivierungssignals den Gate-Anschluss (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) und den zweiten Anschlusskontakt (VDD, VSS) zu verbinden, insbesondere niederohmig zu verbinden.

5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 4,

bei der die Deaktivierungseinrichtung (3) einen Transistorschalter (T5) aufweist, der den Gate-Anschluss (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) mit dem zweiten Anschluss¬ kontakt (VDD, VSS) verbindet.

6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 5,

bei der der Transistorschalter (T5) durch einen Bias- Strom steuerbar ist.

7. Schaltungsanordnung nach Anspruch 5 oder 6,

bei der der Transistorschalter (T5) auf der Basis einer Spannung an einem Versorgungspotentialanschluss (VDD) steuerbar ist.

8. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die RC-Serienschaltung (RF, CF) derart dimensioniert ist, dass ein Puls einer elektrostatischen Entladung am ersten Anschlusskontakt (10) bezüglich des Gate- Anschlusses (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) weggefil¬ tert wird.

9. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der die RC-Serienschaltung (RF, CF) derart dimensioniert ist, dass eine Flanke eines Nutzsignals, insbeson¬ dere mit einer vorbekannten Anstiegsrate, am ersten Anschlusskontakt (10) bezüglich des Gate-Anschlusses (Gl) des Feldeffekttransistors (Tl) weggefiltert wird.

10. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei der der erste Anschlusskontakt (10) ein Eingabe- /Ausgabeanschluss ist und der zweite Anschlusskontakt ein Bezugspotentialanschluss (VSS) oder ein Versorgungspoten- tialanschluss (VDD) ist.

11. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der der erste Widerstand (RS) einen Wert von höchs¬ tens 1 kQ aufweist.

Description:
Beschreibung

SCHALTUNGSANORDNUNG ZUM SCHUTZ GEGEN ELEKTROSTATISCHE ENTLADUNGEN

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen.

Integrierte Schaltungen können durch elektrostatische Entla- düngen ernsthaft beschädigt oder sogar zerstört werden. Durch eine elektrostatischen Entladung, englisch: Electrostatic Discharge, ESD, wird zum Beispiel an einem Anschlusskontakt der integrierten Schaltung eine Überspannung generiert, welche einen hohen Stromfluss durch die Schaltung bewirken kann. Wenn einzelne Bauteile der integrierten Schaltung nicht für einen solchen hohen Stromfluss ausgelegt sind, kann es zur Beschädigung dieses Bauteils und damit unter Umständen der gesamten integrierten Schaltung kommen. Aus diesem Grund werden vermehrt in integrierten Schaltungen ESD-Schutzeinrichtungen eingesetzt, die beim Auftreten einer elektrostatischen Entladung einen gesonderten Strompfad zur Ableitung der Entladung bilden. Solche Schutzschaltungen werden beispielsweise getriggert durch das Überschreiten einer Schwellspannung oder das Auftreten von pulsförmigen Überspannungen .

Um einen ausreichenden Schutz gegen elektrostatische Entladungen zu erhalten, werden entsprechende Triggerschaltungen mit hoher Empfindlichkeit eingesetzt. Jedoch können beim Auf ¬ treten eines ESD-Pulses zeitlich vor dem eigentlichen Überspannungspuls Spannungserhöhungen auftreten, welche die Zuverlässigkeit der Schutzschaltung beeinträchtigen. Solche Spannungsüberhöhungen können auch insbesondere in Tests beziehungsweise bei Testgeräten auftreten, mit denen die ESD- Festigkeit einer integrierten Schaltung überprüft wird. Dies kann dazu führen, dass die Aussagekräftigkeit solcher Tests eingeschränkt ist. Weiterhin ist es möglich, dass das An ¬ sprechverhalten einer herkömmlichen ESD-Schutzschaltung ungenügend ist und dadurch die integrierte Schaltung mit einge ¬ schränkter Zuverlässigkeit gegen elektrostatische Entladungen geschützt ist.

Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein zuverlässigeres Konzept zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen anzugeben . Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des unabhängigen Pa ¬ tentanspruchs gelöst. Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.

Beispielsweise umfasst eine Ausführungsform einer Schaltungs- anordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen neben einer Ableitvorrichtung, die geeignet ist, eine elektrostati ¬ sche Entladung zwischen einem ersten Anschlusskontakt und einem zweiten Anschlusskontakt abzuleiten, zusätzlich eine Kompensationsvorrichtung, die zwischen den ersten und zweiten Anschlusskontakt geschaltet ist. Die Ableitvorrichtung weist beispielsweise einen Ableittransistor mit separater oder integrierter Triggerung auf. Die Kompensationsvorrichtung ist beispielsweise eingerichtet, einen Spannungsverlauf zwischen dem ersten und dem zweiten Anschlusskontakt zu überwachen und Überspannungen, beispielsweise aufgrund von Ladungen im Vorfeld einer elektrostatischen Entladung abzuleiten. Eine eigentliche elektrostatische Entladung wird jedoch vorzugsweise durch die Ableitvorrichtung abgeleitet. Insbesondere ist das Ansprechverhalten der Ableitvorrichtung wegen der abgeleiteten Vor-Ladungen verbessert.

Gemäß einer Ausführungsform der Schaltungsanordnung weist die Kompensationsvorrichtung eine Serienschaltung eines ersten

Widerstands und eines Feldeffekttransistors auf, die zwischen dem ersten Anschlusskontakt und den zweiten Anschlusskontakt geschaltet ist. Ein Verbindungsknoten zwischen dem ersten Widerstand und dem Feldeffekttransistor ist über eine RC- Serienschaltung, die einen zweiten Widerstand und einen Kondensator umfasst, mit dem Gate-Anschluss des Feldeffekttran ¬ sistors verbunden. Die RC-Serienschaltung wirkt als Tiefpassfilter zwischen dem genannten Verbindungsknoten und dem Gate- Anschluss des Feldeffekttransistors.

Wenn im Betrieb der Schaltungsanordnung der Feldeffekttransistor durch eine entsprechende Spannung am Gate-Anschluss aufgesteuert wird, kann eine Überspannung, beispielsweise aufgrund einer Vor-Ladung des ersten Anschlusskontakts, über den ersten Widerstand und die gesteuerte Strecke des Feldef ¬ fekttransistors gesteuert zum zweiten Anschlusskontakt abge ¬ leitet werden. Insbesondere erfolgt eine Ableitung über einen Ableitstrom, der insbesondere durch einen Wert des ersten Widerstands bestimmt ist. Beispielswiese wird für den ersten Widerstand ein Wert von höchstens einem Kiloohm gewählt, um sowohl eine Strombegrenzung für den Feldeffekttransistor zu erreichen als auch eine ausreichende und zuverlässige Ablei ¬ tung der Überspannung zu ermöglichen. Die Überspannung oder Vor-Ladespannung aufgrund einer Vor- Ladung des ersten Anschlusskontakts liegt beispielsweise in der Größenordnung von einigen zehn Volt. Im ungünstigsten Fall kann die Vorspannung bis knapp unterhalb der Durchbruch- spannung der ESD Schutzschaltung ansteigen.

Durch den ersten Widerstand, welcher eine Strombegrenzung für die gesteuerte Strecke des Feldeffekttransistors bewirkt, wird beispielsweise auch ein Spannungsrückschlag, englisch Snap back, des Feldeffekttransistors verhindert.

Der Kondensator der RC-Serienschaltung wirkt wie eine Miller- kapazität, welche bewirkt, dass niederfrequente Spannungen am ersten Anschlusskontakt den Feldeffekttransistor aufsteuern können, während höherfrequente Signale herausgefiltert bzw. weggefiltert werden und dadurch nicht zu einem Aufsteuern des Feldeffekttransistors führen. Insbesondere wirkt beispiels- weise eine Vor-Ladespannung zeitlich im Vergleich zu einem

ESD-Puls wie eine Gleichspannung, da die Vor-Ladung eine hö ¬ here Zeitdauer aufweist als der eigentliche ESD-Puls.

Beim Aufsteuern des Feldeffekttransistors wird beispielsweise die Spannung am ersten Anschlusskontakt bis wenigstens zur Schwellspannung des Feldeffekttransistors entladen.

In verschiedenen Ausführungsformen ist die RC-Serienschaltung derart dimensioniert, dass ein Puls einer elektrostatischen Entladung am ersten Anschlusskontakt bezüglich des Gate- Anschlusses des Feldeffekttransistors herausgefiltert bzw. weggefiltert wird. Beispielsweise beträgt die Anstiegszeit eines ESD-Pulses etwa 20 Nanosekunden . Der Kondensator und der zweite Widerstand können hierbei so dimensioniert werden, dass sich eine Zeitkonstante der RC-Serienschaltung ergibt, die länger ist als eine übliche Anstiegszeit eines ESD- Pulses . In weiteren Ausführungsformen ist die RC-Serienschaltung derart dimensioniert, dass eine Flanke eines Nutzsignals, insbe ¬ sondere mit einer vorbekannten Anstiegsrate, am ersten Anschlusskontakt bezüglich des Gate-Anschlusses des Feldeffekt- transistors herausgefiltert bzw. weggefiltert wird. Bei ¬ spielsweise ist der erste Anschlusskontakt ein Eingabe- /Ausgabeanschluss, über den pulsförmige Nutzsignale übertra ¬ gen werden. Die Signalform solcher pulsförmiger Nutzsignale ist üblicherweise in gewissen Grenzen definiert, so dass die Anstiegszeit einer Signalflanke des Nutzsignals zumindest un ¬ gefähr bekannt ist. Der Kondensator und der zweite Widerstand können dementsprechend so gewählt werden, dass das pulsförmi ¬ ge Nutzsignal aufgrund der Flankensteilheit nicht an den Ga- te-Anschluss des Feldeffekttransistors gelangt und somit ein Aufsteuern des Feldeffekttransistors aufgrund des Nutzsignals ausgeschlossen wird.

Die Dimensionierung der RC-Serienschaltung insbesondere bezüglich einer Grenzfrequenz des Tiefpasses kann insbesondere sowohl hinsichtlich eines ESD-Pulses als auch hinsichtlich eines pulsförmigen Nutzsignals erfolgen, so dass für beide Fälle das gewünschte Verhalten erzielt wird.

Der zweite Anschlusskontakt ist in verschiedenen Ausführungs- formen der Schaltungsanordnung ein Bezugspotentialanschluss oder ein Versorgungspotentialanschluss . Beispielsweise ist der Feldeffekttransistor als n-Kanalfeldeffekttransistor ausgeführt, wobei in diesem Fall eine Ableitung vom ersten Anschlusskontakt zu einem zweiten Anschlusskontakt durchgeführt wird, der als Bezugspotentialanschluss oder Masseanschluss ausgeführt ist. In anderen Ausführungsformen ist der Feldeffekttransistor als p-Kanalfeldeffekttransistor ausgeführt, wobei in diesem Fall eine Ableitung zu einem Versorgungspo- tentialanschluss erfolgt.

Der Feldeffekttransistor kann für Niedervoltanwendungen oder für Hochvoltanwendungen geeignet sein. In Abhängigkeit der sich entwickelnden Technologien betreffen Niedervoltanwendungen beispielsweise maximale Spannungen am Gate-Anschluss des Feldeffekttransistors von 5 Volt, 3,3 Volt oder 1,8 Volt. Im Allgemeinen kann jedoch ein Hochvoltbereich als Gegensatz zum Niedervoltbereich dadurch definiert werden, dass eine zu erwartende Betriebsspannung einer Schaltung, insbesondere einer integrierten Schaltung über der Durchbruchspannung des Gateoxids des Feldeffekttransistors liegt. Für den Fall einer Hochvoltanwendung kann es demnach wünschenswert sein, eine Spannungsbegrenzung am Gate-Anschluss des Feldeffekttransis ¬ tors vorzunehmen.

Dementsprechend weist bei einer Ausführungsform der Schal ¬ tungsanordnung die Kompensationsvorrichtung einen Spannungs- begrenzer auf, der zwischen den Gate-Anschluss des Feldef ¬ fekttransistors und den zweiten Anschlusskontakt geschaltet ist. Der Spannungsbegrenzer ist eingerichtet, eine Gatespannung des Feldeffekttransistors kleiner als eine Gate ¬ durchbruchspannung des Feldeffekttransistors zu halten. Da- durch kann auch bei Hochvoltanwendungen ein sicherer und zuverlässiger Betrieb der Schaltungsanordnung gewährleistet werden .

Beispielsweise weist der Spannungsbegrenzer hierzu in ver- schiedenen Ausführungsformen eine Serienschaltung von mehreren Dioden oder als Diode verschalteten Transistoren auf. Jede dieser Dioden beziehungsweise jeder dieser als Diode verschalteten Transistoren weist hierbei eine definierte Durch- lassspannung auf, wodurch sich als Begrenzungswert am Gate- Anschluss des Feldeffekttransistors die Summe der einzelnen Durchlassspannungen ergibt. Folglich kann auf der Basis einer gewünschten Begrenzungsspannung und einer bekannten Durch- lassspannung die Zahl der notwendigen Dioden beziehungsweise als Diode verschalteter Transistoren ermittelt werden.

In verschiedenen Ausführungsformen ist die Schaltungsanordnung dafür eingerichtet, eine integrierte Schaltung insbeson- dere im nicht eingebauten Zustand zu schützen, während im eingebauten Zustand kein solcher Schutz gewünscht oder notwendig ist. Beispielsweise ist ein Schutz gegen elektrostati ¬ sche Entladungen aufgrund von Berührung eines Anschlusskontakts durch einen Menschen vorwiegend im nicht eingebauten Zustand der integrierten Schaltung notwendig.

In einer weiteren Ausführungsform weist die Schaltungsanordnung beispielsweise eine Deaktivierungseinrichtung auf, die eingerichtet ist, auf der Basis eines Deaktivierungssignals den Gate-Anschluss des Feldeffekttransistors und den zweiten Anschlusskontakt zu verbinden, insbesondere niederohmig zu verbinden. Durch das Verbinden des Gate-Anschlusses mit dem zweiten Anschlusskontakt wird ein Aufsteuern des Feldeffekt ¬ transistors und damit das Erzeugen eines leitenden Kanals zwischen dem ersten und dem zweiten Anschlusskontakt verhindert. Dementsprechend kann die Kompensationsvorrichtung durch ein entsprechendes Deaktivierungssignal deaktiviert werden.

Beispielsweise weist die Deaktivierungseinrichtung einen Transistorschalter auf, der den Gate-Anschluss des Feldef ¬ fekttransistors mit dem zweiten Anschlusskontakt verbindet. Demnach wird die Kompensationsvorrichtung deaktiviert, wenn der Transistorschalter aufgesteuert wird. In verschiedenen Ausführungsformen ist der Transistorschalter hierbei durch einen Biasstrom steuerbar. Beispielsweise wird ein solcher Biasstrom von einer Biasstromquelle geliefert, welche beispielsweise Teil einer zu schützenden integrierten Schaltung sein kann. Insbesondere wird der Biasstrom, der den Schalttransistor aufsteuert, beim Vorliegen einer ausreichenden Betriebsspannung geliefert. Der Transistorschalter kann auch auf der Basis einer Spannung an einem Versorgungspotentialanschluss steuerbar sein. Bei ¬ spielsweise ist eine Power-on-Reset , POR-Schaltung vorgese ¬ hen, welche beim Vorliegen einer ausreichenden Betriebsspannung ein entsprechendes digitales Signal liefert, welches ei- nen Betriebszustand der Schaltung anzeigt. Der Transistorschalter kann durch dieses digitale Signal aufgesteuert wer ¬ den, um die Kompensationsvorrichtung zu deaktivieren.

Die verschiedenen beschriebenen Ausführungsformen können be- liebig kombiniert werden, um eine jeweils an den Einsatzzweck angepasste Schaltungsanordnung, insbesondere eine angepasste Kompensationsvorrichtung zu erhalten.

Die Erfindung wird nachfolgend an mehreren Ausführungsbei- spielen anhand der Figuren näher erläutert. Funktions- bezie ¬ hungsweise wirkungsgleiche Elemente tragen hierbei gleiche Bezugszeichen. Erläuterungen und Erklärungen für Elemente einer Figur gelten auch für Elemente mit gleichen Bezugszeichen in den nachfolgenden Figuren.

Es zeigen: Figur 1 eine Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen,

Figur 2 eine weitere Ausführungsform einer Schaltungsan- Ordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entla ¬ dungen,

Figur 3 eine weitere Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entla- düngen, und

Figur 4 eine weitere Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entla ¬ dungen .

Figur 1 zeigt eine Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen, bei der zwischen einem ersten Anschlusskontakt 10 und einem zweiten Anschlusskontakt VSS eine Ableitvorrichtung ECL geschaltet ist. Der erste Anschlusskontakt ist beispielsweise ein Eingabe- /Ausgabeanschluss, während der zweite Anschlusskontakt VSS beispielsweise ein Bezugspotentialanschluss oder Massean- schluss ist. Ferner ist zwischen den ersten und den zweiten Anschlusskontakt 10, VSS eine Kompensationsvorrichtung 1 ge- schaltet, die eine Serienschaltung aus einem ersten Widerstand RS und einem n-Kanalfeldeffekttransistor Tl aufweist. Hierbei ist der erste Widerstand mit einem ersten Anschluss an dem ersten Anschlusskontakt 10 und mit einem zweiten Anschluss an den Drainanschluss des Transistors Tl angeschlos- sen, während der Sourceanschluss des Transistors Tl mit dem zweiten Anschlusskontakt VSS verbunden ist. Ein Verbindungs ¬ knoten Kl zwischen dem ersten Widerstand RS und dem Transistor Tl ist über eine RC-Serienschaltung aus einem zweiten Wi- derstand RF und einem Kondensator CF mit dem Gate-Anschluss Gl des Transistors Tl verbunden.

Die Ableitvorrichtung ECL ist eingerichtet, eine elektrosta- tische Entladung, beispielsweise aufgrund eines ESD-

Ereignisses zwischen dem ersten Anschlusskontakt 10 und dem zweiten Anschlusskontakt VSS abzuleiten. Die Ableitvorrichtung weist hierzu beispielsweise einen üblichen Ableittransistor in Feldeffekt- oder Bipolartechnik, oder ein anderes bekanntes Halbleiterelement zum Ableiten hoher Spannungen auf. Ferner kann eine solche Ableitvorrichtung in verschiedenen Ausführungsformen eine entsprechende Triggervorrichtung umfassen, die ein Durchsteuern des Ableitelements beim Anlegen einer entsprechenden Spannung oder Auftreten eines ent- sprechenden Pulses am ersten Anschlusskontakt 10 bewirkt.

Sowohl beim Testen der Funktionsfähigkeit der Ableitvorrichtung ECL als auch beim Auftreten eines tatsächlichen ESD- Pulses am ersten Anschlusskontakt 10 kann es zu einer so ge- nannten Vor-Ladung am ersten Anschlusskontakt 10 kommen, beispielsweise durch Annähern einer geladenen Quelle, wodurch sich eine Vorladespannung am ersten Anschlusskontakt 10 ausbildet. Eine solche Vorladespannung weist im Vergleich zu ei ¬ nem üblicherweise schnell auftretenden ESD-Puls lediglich niedrige Frequenzanteile auf. Die RC-Serienschaltung RF, CF ist dabei derart dimensioniert, dass die niedrigeren Fre ¬ quenzanteile der Vorladespannung über den Kondensator CF, der als Millerkapazität wirkt, an den Gate-Anschluss Gl des Tran ¬ sistors Tl gelangen und die gesteuerte Strecke des Transis- tors Tl aufsteuern. Die Vor-Ladung beziehungsweise die Vor- Ladespannung kann dann über den ersten Widerstand RS und den offen gesteuerten Transistor Tl zum zweiten Anschlusskontakt VSS abfließen. Dementsprechend wird die Spannung am ersten Anschlusskontakt mindestens auf die Schwellenspannung des Transistors Tl reduziert.

Wenn nach oder mit dem Ableiten der Vor-Ladespannung der ei- gentliche ESD-Puls auftritt, kann dieser von der Ableitvor ¬ richtung besser erkannt werden, so dass eine Ableitung des ESD-Pulses mit hoher Zuverlässigkeit erfolgt. Zudem kann die Triggerung in der Ableitvorrichtung schneller erfolgen, so dass ein möglicher Fehlerzustand aufgrund des ESD-Pulses schnell beseitigt wird. Die Spannung aufgrund des ESD-Pulses kann wegen der Filterwirkung der RC-Serienschaltung RF, CF nicht an den Gate-Anschluss Gl gelangen, so dass es nicht zu einer unerwünschten Aufsteuerung des Transistors Tl beim eigentlichen ESD-Puls kommt.

Die RC-Schaltung RF, CF ist in verschiedenen Ausführungsformen insbesondere derart dimensioniert, dass weder ein ESD- Puls noch eine Flanke eines pulsförmigen Nutzsignals am ers ¬ ten Anschlusskontakt 10 zu einer Aufsteuerung des Transistors Tl führt. Dazu ist insbesondere eine Zeitkonstante der als

Tiefpassfilter wirkenden RC-Serienschaltung RF, CF durch entsprechende Dimensionierung des Widerstands und der Kapazität so gewählt, dass diese Zeitkonstante größer beziehungsweise länger ist als eine zu erwartende Anstiegsdauer einer Takt- flanke beziehungsweise eines ESD-Pulses. Ferner kann bei der Dimensionierung der RC-Serienschaltung RF, CF auch eine Kapazität zwischen Gate und Drain des Transistors Tl berücksich ¬ tigt werden. Die RC-Serienschaltung RF, CF wirkt dementsprechend wie ein Tiefpass insbesondere zwischen dem ersten An- schlusskontakt und dem Gate-Anschluss Gl.

Mit der RC-Schaltung RF, CF können insbesondere transiente Verläufe einer Vor-Ladespannung am ersten Anschlusskontakt an den Gate-Anschluss Gl geführt werden, um den Feldeffekt ¬ transistor Tl aufzusteuern und die Vor-Ladespannung abzuleiten . Beispielswiese wird für den ersten Widerstand RS ein Wert von höchstens einem Kiloohm gewählt, um sowohl eine Strombegrenzung für den Feldeffekttransistor Tl zu erreichen als auch eine ausreichende und zuverlässige Ableitung einer Überspan ¬ nung zu ermöglichen. Durch den ersten Widerstand RS, welcher eine Strombegrenzung für die gesteuerte Strecke des Feldef ¬ fekttransistors bewirkt, wird beispielsweise auch ein Span ¬ nungsrückschlag, englisch Snap back, des Feldeffekttransis ¬ tors Tl verhindert.

Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Schaltungs ¬ anordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen, welche insbesondere eine Weiterbildung der in Figur 1 darge ¬ stellten Ausführungsform bildet. In Ergänzung zu den in Figur 1 dargestellten Elementen weist die Kompensationsvorrichtung 1 eine Spannungsbegrenzer 2 auf, der zwischen dem Gate- Anschluss Gl des Transistors Tl und dem zweiten Anschlusskon ¬ takt VSS geschaltet ist. Der Spannungsbegrenzer 2 weist eine Serienschaltung von mehreren als Diode verschalteten Transistoren T2, T3, T4 auf. Die Transistoren T2, T3, T4 sind beispielsweise als n-Kanal Feldeffekttransistoren ausgeführt.

Die Kompensationsvorrichtung 1 umfasst ferner eine Deaktivie- rungseinrichtung 3, welche einen Transistorschalter T5 umfasst, der den Gate-Anschluss Gl mit dem zweiten Anschluss- kontakt VSS verbindet. Der Transistorschalter T5 ist in einem Stromspiegel mit einem weiteren Transistor T6 verschaltet, dessen gesteuerte Strecke von einer Biasstromquelle 4 ge- speist wird. Die Biasstromquelle 4 ist mit einem Versorgungs- potentialanschluss VDD verbunden.

Durch den Spannungsbegrenzer 2 beziehungsweise die Transisto- ren T2, T3, T4 wird erreicht, dass die Gatespannung am Gate- Anschluss Gl nur auf einen Wert ansteigen kann, der der Summe der Durchlassspannungen der Transistoren T2, T3, T4 entspricht. Dadurch kann verhindert werden, dass die Gatespannung am Gate-Anschluss Gl höher ansteigt als eine zulässige Gatedurchbruchspannung, bei der eine Gateoxidschicht des Transistors Tl beschädigt oder zerstört wird. Eine solche Spannungsbegrenzung kann insbesondere dann wünschenswert sein, wenn auch im regulären Betrieb der Schaltungsanordnung beziehungsweise einer zu schützenden integrierten Schaltung Spannungen auftreten können, die höher als die genannte Gatedurchbruchspannung des Transistors Tl sind.

Vorliegend sind lediglich drei Transistoren T2, T3, T4 darge ¬ stellt, jedoch können zur Festlegung der Spannungsbegrenzung auch weitere Transistoren als Diode verschaltet in Serie ge ¬ schaltet werden, um eine gewünschte Begrenzungsspannung zu erreichen. Bei entsprechender Dimensionierung des Transistors Tl, insbesondere mit Bezug auf dessen Gatedurchbruchspannung, kann auf den Spannungsbegrenzer 2 auch verzichtet werden.

Mit der Deaktivierungseinrichtung 3 kann durch Aufsteuern des Transistors T5 eine niederohmige Verbindung zwischen dem Ga ¬ te-Anschluss Gl und dem zweiten Anschlusskontakt VSS herge ¬ stellt werden. Dadurch wird ein Aufsteuern des Transistors Tl und das Ausbilden eines leitenden Kanals verhindert. Dement ¬ sprechend wird die Kompensationsvorrichtung 1 bezüglich der Abieitfähigkeit deaktiviert. Beispielsweise ist es gewünscht, im Betrieb der zu schützen ¬ den integrierten Schaltung ein Ableiten von Spannungen am ersten Anschlusskontakt 10 zu verhindern. Dazu wird beim An ¬ legen einer entsprechenden Versorgungsspannung an den Versor- gungspotentialanschluss VDD über die Biasstromquelle 4 ein entsprechender Biasstrom erzeugt, welcher ein Aufsteuern des Transistors T6 und wegen der Stromspiegelschaltung des Transistors T5 bewirkt. Folglich wird die Kompensationsvorrichtung 1 beim Vorliegen eines entsprechenden Biasstroms als De- aktivierungssignal beziehungsweise beim Vorliegen einer ent ¬ sprechenden Versorgungsspannung deaktiviert.

Die Deaktivierungseinrichtung 3 kann insbesondere auch dann vorteilhaft sein, wenn die Kompensationsvorrichtung 2 nur im nicht eingebauten Zustand einer zu schützenden Schaltung funktionsfähig sein soll. Im nicht eingebauten Zustand liegt nämlich wegen der fehlenden Versorgungsspannung kein Deakti- vierungssignal vor, so dass die Kompensationsvorrichtung 1 aktiv ist. Überspannungen aufgrund von Vor-Ladungen im Vorfeld eines eigentlichen ESD-Pulses können somit abgeleitet werden, während nach dem Einbau beziehungsweise während des Betriebs der integrierten Schaltung mit der Schaltungsanord ¬ nung eine automatische Deaktivierung der Kompensationsvorrichtung 1 aufgrund der vorliegenden Versorgungsspannung erfolgt .

Figur 3 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Schaltungs ¬ anordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen, welche eine Weiterbildung der in Figur 1 dargestellten Ausfüh- rungsform beziehungsweise eine Abwandlung der in Figur 2 dargestellten Ausführungsform ist. Abweichend von der in Figur 2 dargestellten Ausführungsform weist die Deaktivierungseinrichtung 3 lediglich den Transistorschalter T5 auf, der zwi- sehen den Gate-Anschluss Gl und den zweiten Anschlusskontakt VSS geschaltet ist. Der Transistorschalter T5 wird von einer Power-on-Rest-Schaltung 5 gesteuert, welche beim Vorliegen einer ausreichenden Versorgungsspannung am Versorgungsspan- nungsanschluss VDD ein entsprechendes Signal erzeugt, welches als Deaktivierungssignal für die Deaktivierungseinrichtung 3 beziehungsweise den Transistorschalter T5 wirkt. Im Übrigen entspricht das Prinzip der Deaktivierung bei der in Figur 3 dargestellten Ausführungsform dem für die Figur 2 beschriebe- nen Prinzip.

In den zuvor beschriebenen Ausführungsformen ist die Serienschaltung des ersten Widerstands RS und des Feldeffekttransistors Tl zwischen einen Eingabe-/Ausgabeanschluss und einen Bezugspotentialanschluss geschaltet, wobei der Transistor Tl als n-Kanalfeldeffekttransistor ausgeführt ist. Jedoch kann in verschiedenen Ausführungsformen und Abwandlungen auch ein p-Kanalfeldeffekttransistor eingesetzt werden, wobei eine entsprechende Anpassung der Polaritäten zu berücksichtigen ist.

Figur 4 zeigt eine Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen, welche eine Abwandlung der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform ist. Hierbei ist der Feldeffekttransistor Tl als p-Kanal Feldef ¬ fekttransistor ausgeführt, dessen Source-Anschluss mit dem Versorgungspotentialanschluss VDD verbunden ist. Der Versor- gungspotentialanschluss VDD bildet gleichzeitig den zweiten Anschlusskontakt, während der erste Anschlusskontakt 10 wie- derum durch einen Eingabe-/Ausgabeanschluss gebildet ist. Der erste Widerstand RS, die Ableitvorrichtung ECL und die RC- Serienschaltung RF, CF entsprechen den jeweiligen in den zuvor erläuterten Ausführungsformen dargestellten Elementen. Dementsprechend ist auch die Funktionsweise und Wirkung der in Figur 4 dargestellten Ausführungsform gleich oder ähnlich der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform unter Berücksichtigung der veränderten Polarität. Die in Figur 2 und Figur 3 dargestellten Abwandlungen beziehungsweise Erweiterungen, insbesondere der Spannungsbegrenzer 2 und die Deaktivie rungseinrichtung 3, lassen sich auch bei der in Figur 4 gezeigten Ausführungsform ergänzen.