Technisches Gebiet [0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Leiterplat ^¬ te sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte.

Beschreibung des Standes der Technik

[0002] Leiterplatten werden beispielsweise in Kraftfahrzeugen zur elektronischen Regelung und Steuerung eines Fahr- zeuggetriebes eingesetzt. Üblicherweise sind die Leiterplatten hier als starre Leiterplatten ausgebildet, die einerseits dis ^¬ krete Bauelemente und hochintegrierte Bausteine elektrisch miteinander verbinden und andererseits als Träger derselben dienen . [0003] Die Leiterplatten bestehen dazu aus einer oder mehreren Substratlagen aus glasfaserverstärkten, ausgehärteten Epoxidharz, die zur Ausbildung von elektrisch leitenden Strukturen, insbesondere Leiterbahnen ein- oder beidseitig kupferkaschiert sind. Bei mehrlagigen Leiterplatten werden eine oder mehrere dieser Substratplatten mittels sogenannter Prepregs und teilweise auch zusätzlich mit Kupferfolien verpresst. Die Substratplatten und Prepregs bilden elektrisch isolierende Substratlagen der mehrlagigen Leiterplatte.

[0004] Die isolierten Leiterbahnen zwischen elektrisch isolierenden Substratlagen werden durch metallisierte Bohrun- gen, auch als Durchkontaktierung bekannt, in der Leiterplatte elektrisch miteinander verbunden. Die verschiedenen Herstellungsverfahren von Durchkontaktierungen sind aus dem Stand der Technik bekannt. Üblicherweise wird zuerst ein Loch durch meh- rere elektrisch isolierende Substratlagen der Leiterplatte ge ^¬ bohrt, welches gereinigt wird. Anschließend wird die nichtlei ^¬ tende Bohrlochwandung elektrisch leitfähig gemacht, bevor eine galvanische Kupferverstärkung folgt. Eine weitere Ausführungs ^¬ variante einer elektrischen Verbindungsmöglichkeit von iso- Herten Leiterbahnen sind Sacklöcher.

[0005] Im Betrieb der Leiterplatte erzeugen dauerhaft an ^¬ liegende hohe Gleichspannungen bei Versorgungspotenzialen statische elektrische Felder auch im Isolationsmaterial (FR4) in ^¬ nerhalb der Leiterplatte. Die elektrischen Felder verursachen eine Kupfer-Ionen-Migration in das Isolationsmaterial hinein. Daraus im Laufe der Zeit entstehende Ablagerungen können zu gefährlichen Durchschlägen durch die Isolationsschicht führen. Da durch die Ablagerungen leitfähige Fasern ausgehend von ei ^¬ ner Kathode einer Schaltung der Leiterplatte bilden und unter- halb einer Substratlagenoberfläche in Richtung einer Anode der Schaltung wachsen, wird dieses Phänomen in der Fachwelt als CAF (für Conductive Anodic Filament) bezeichnet. Die Bildung solcher leitfähiger Fasern kann somit zu einem Kurzschluss zwischen mindestens zwei Leiterbahnen und damit zu einer Be- Schädigung bis hin zu einer Zerstörung der Leiterplatte führen .

[0006] Notwendig für das Entstehen der leitfähigen Fasern sind ein verminderter Verbund der Substratplatten (z.B. bei glasfaserverstärkten Epoxidharzplatten) und elektrochemische Korrosion. Ein verminderter Verbund kann beispielsweise durch mechanischen Stress, thermischen Stress und/oder Feuchtigkeit auftreten. Die elektrochemische Korrosion wird insbesondere durch vorhandene Feuchtigkeit gefördert.

[0007] Die Fachwelt versucht bislang, das Auftreten dieses Phänomens durch Einhalten von Designregeln, wie bspw. das Ein- halten von Mindestabständen, einzuschränken (vgl. bspw. „Gefährlicher Kurzschluss im BCP bei hohen Spannungen" von Dirk Müller, Elektronikpraxis Nr. 19 vom 6.10.2014, Seiten 54 bis 56) .

[0008] Aus der DE 10 2011 082 537 AI ist es zum Schutze von in aggressiver Umgebung (wie bspw. in Getriebeöl) zum Einsatz kommenden Leiterplatten bekannt, auf der Oberfläche angeordnete Kupferflächen zum Bestücken mit elektrischen Komponenten bzw. Kupferflächen zum elektrischen Verbinden von mindestens zwei Schichten der Leiterplatte sowie freiliegende Lei ^¬ terbahnen mit einem weiteren Metall zu beschichten.

Zusammenfassung der Erfindung

[0009] Ausgehend hiervon werden erfindungsgemäß eine Lei ^¬ terplatte mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfah ^¬ ren zum Herstellen einer Leiterplatte mit den Merkmalen des Anspruchs 7 vorgeschlagen.

[0010] Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, zur Redu ^¬ zierung des Risikos des Auftretens des beschriebenen CAF-Ef- fekts die leitenden Kupferschichten einer Leiterplatte zumindest beidseitig mit einer die Elektromigration hemmenden Mate- rialschicht zu versehen. Dabei ist es unmaßgeblich, ob die

Kupferschicht an der Oberfläche der Leiterplatte oder ander ^¬ weitig freiliegend ist (bspw. eine Kupferbeschichtung einer durchgehenden Bohrung der Leiterplatte) oder ob es sich um eine innenliegende oder „vergrabene" Kupferschicht handelt. Auf zumindest einer der beidseitig aufgebrachten Hemmschichten IS eine weitere Metallschicht vorgesehen, bspw. zur Verstärkung und/oder Verbesserung der Leitungseigenschaften. Auf dieser weiteren Metallschicht ist ebenfalls eine Hemmschicht aufge ^¬ bracht .

[0011] Unter beidseitig im vorliegenden Sinne sind dabei die beiden sich senkrecht zur Erstreckungsrichtung der Kupferschicht erstreckenden Oberflächen zu verstehen.

[0012] Zusätzlich kann vorgesehen sein, auch die Flanken der Kupferschichten mit einem die Elektromigration hemmenden Material zu beschichten, so dass eine allseitige Beschichtung mit einer Hemmschicht realisiert ist. Dabei kann es sich um dasselbe Material wie bei den Hemmschichten auf den beiden Oberflächen der jeweiligen Kupferschicht handeln, es kann sich aber auch um andere Materialien handeln, wie nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen noch näher erläutert wird.

[0013] Erfindungsgemäß wird somit mindestens eine der lei ^¬ tenden Kupferschichten einer Leiterplatte beidseitig mit einer Lage aus einem Material beschichtet, das eine die Elektromi- gration hemmende Wirkung hat. Geeignete Materialien umfassen bspw. Zink oder Messing (Kupfer-Zink-Legierung) oder Nickel bzw. eine Nickel-Verbindung (bspw. NiP) . Nickel bzw. Nickelverbindungen können bspw. in Schichtabfolgen mit anderen geeigneten Materialien eingesetzt werden, wie bspw. Nickel-Gold oder Nickel-Palladium-Gold. Auch Zinn oder andere mehr kommen als Hemmschicht-Materialien in Betracht. Auch nichtmetallische Materialien können grundsätzlich in Frage kommen, wie bspw. Polyamid o.a. Die Auswahl eines geeigneten Materials liegt im Bereich des fachmännischen Könnens im Hinblick auf die konkre- ten Anforderungen der fraglichen Leiterplatte bzw. unter Berücksichtigung verfahrenstechnischer Anforderungen. [0014] Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass eine Unterbindung (Reduzierung oder Ausräumung) des CAF-Effekts möglich ist, wenn die dem CAF-Effekt zugrundeliegende Elektro- migration, d.h. das Migrieren bzw. Diffundieren von Ionen aus dem Leitermaterial aufgrund einer Anoden-/Kathodenwirkung zweier in oder auf der Leiterplatte angeordneter leitender Kupferschichten, verhindert oder zumindest erschwert wird.

Dies wird durch Einrichtung einer Barriere in Form einer

Schicht aus einem die Elektromigration hemmenden Material er- reicht (Hemmschicht) . Diese Hemmschicht ist auf beiden Seiten der leitenden Kupferschicht vorzusehen, da insbesondere bei innenliegenden Kupferschichten eine Potentialdifferenz auf beiden Seiten der Kupferschicht auftritt bzw. auftreten kann.

[0015] Die voranstehenden Ausführungen gelten sowohl für außenliegende als auch (insbesondere) innenliegende leitende

Kupferschichten, sowohl als Leiterbahnen als auch als durchgehende oder vergrabene Bohrungen in einem Mehrschichtaufbau.

[0016] Mittels der Erfindung wird es ermöglicht, eine dün ^¬ ne Hemmschicht, z.B. mit einer Schichtdicke im Bereich mehre- rer hundert Nanometer, auf (innenliegenden) elektrisch leitenden Kupferstrukturen aufzubringen, mittels welcher der eingangs genannte CAF-Effekt zuverlässig vermeidbar oder zumin ^¬ dest das Risiko eines CAF-Effekts signifikant verringerbar ist. Damit ist die Lebensdauer der Leiterplatte gegenüber dem Stand der Technik erhöht.

[0017] Mit innenliegenden Kupferstrukturen sind insbesondere die bei mehrlagigen Leiterplatten zwischen den Substratlagen angeordneten Kupferstrukturen und/oder Durchkontaktierungen gemeint. Bei doppelseitigen Leiterplatten können eben- falls Durchkontaktierungen oder andere durch die Substratlage verlaufende Kupferstrukturen gemeint sein. [0018] Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist eine Mehrzahl von Substratlagen vorgesehen, wobei die Kupferschichten bzw. -strukturen zwischen den Substratlagen mittels mindestens einer Durchkontaktierung und/oder mindestens einer vergrabenen Bohrung elektrisch leitend miteinander verbunden sind. Dabei ist jeweils eine Bohrung für die mindestens eine Durchkontaktierung bzw. für die mindestens eine vergrabene Bohrung mit einer Hemmschicht versehen. Damit ist das Risiko des Auftretens eines CAF-Effektes weiter verringert. [0019] Auf der Hemmschicht der Bohrung bzw. Durchkontaktierung ist eine weitere Metallschicht zur Erhöhung einer elektrischen Leitfähigkeit der Durchkontaktierung bzw. der vergrabenen Bohrung aufgebracht.

[0020] Eine Minimierung des CAF-Risikos wird erzielt, in- dem die jeweils oberste Hemmschicht die darunter liegenden

Kupfer- und Metallschichten vollständig umgibt, d. h. auch deren Seitenflächen abdeckt.

[0021] Die Hemmschichten der innenliegenden elektrisch leitenden Kupferstrukturen und der Durchkontaktierung können sowohl im Material gleich als auch verschieden ausgebildet sein. Bei der Auswahl des Materials für die Hemmschichten sind insbesondere Korrosionseigenschaften und Hafteigenschaften für nachfolgende Schichten zu beachten.

[0022] Da auch auf der Oberfläche einer Leiterplatte Po- tentialdifferenzen auftreten können, die Anlass für eine schädliche Elektromigration darstellen können, bietet es sich an, auch auf den freiliegenden Kupferschichten auf der Oberfläche der Leiterplatte jeweils eine Hemmschicht vorzusehen. Auch hier bietet sich eine vollständige (also auch seitliche) Abdeckung der freiliegenden Kupfer- bzw. Metallschichten an. Bei Leiterplatten mit einer sogenannten Stopplackabdeckung wird zwischen der außenliegenden Kupferstruktur und dem Stopplack eine Hemmschicht vorgesehen. In den stopplackfreien Bereichen kann diese Hemmschicht von der Hemmschicht unter dem Stopplack verschieden sein. Kriterien für das jeweilige Material sind Kosten, Löteigenschaften, Hafteigenschaften, oder allgemein die Anpassung der Eigenschaften an die weitere Be- oder Verarbeitung auf dieser oberen Schicht.

[0023] Die erfindungsgemäß ausgebildete Leiterplatte weist gegenüber bekannten Leiterplatten verringerte CAF-Effekte auf, so dass ihre Lebensdauer signifikant erhöht ist und ggf. ge ^¬ fährliche Ausfälle im Betrieb deutlich reduziert sind. Gemäß der Erfindung werden CAF-Effekte zwischen den elektrisch leitenden Kupferschichten bzw. -strukturen bzw. (soweit vorhan- den) zwischen den elektrisch leitenden Kupferschichten und mindestens einer Durchkontaktierung und/oder mindestens einer vergrabenen Bohrung, aber auch zwischen Durchkontaktierungen bzw. vergrabenen Bohrungen und/oder zwischen weiteren leitenden Strukturen vermieden oder zumindest verringert. [0024] Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der beiliegenden Zeichnung .

[0025] Es versteht sich, dass die voranstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen

Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

[0026] Die Erfindung ist anhand von Ausführungsbeispielen in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung ausführlich beschrieben. Es ist festzuhalten, dass die Darstellungen in den Figuren der Zeichnung stark schematisch und nicht maßstabsgerecht sind. Zudem sind die einzelnen Schichtlagen der dargestellten Leiterplattenstrukturen zu Zwecken der besseren Erkennbarkeit stark überhöht dargestellt.

Kurzbeschreibung der Zeichnung

[0027] Figur 1 zeigt in schematischer Schnittdarstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen mehrlagigen Leiterplatte .

[0028] Figur 2 zeigt in schematischer Schnittdarstellung ein alternatives Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen mehrlagigen Leiterplatte mit einem Sackloch.

[0029] Figur 3 zeigt einen Ausschnitt aus der Leiterplatte der Figur 2 mit einem alternativ ausgeführten Sackloch als weiteres Ausführungsbeispiel.

[0030] Figur 4 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel in schematischer Schnittdarstellung eine zweilagige Leiterplatte gemäß der Erfindung.

[0031] Figur 5 zeigt in schematischer Schnittdarstellung als weiteres Ausführungsbeispiel einen Ausschnitt einer Ober ^¬ fläche einer erfindungsgemäßen Leiterplatte mit Stopplackabde ^¬ ckung .

Ausführliche Beschreibung

[0032] Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. [0033] Figur 1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Leiterplat ^¬ te 10. Die Schnittebene der Darstellung verläuft im Wesentli ^¬ chen senkrecht zu einer durch die Leiterplatte 10 aufgespannte Erstreckungsebene .

[0034] Die Leiterplatte 10 weist einen an sich bekannten Schichtaufbau aus einer Mehrzahl von elektrisch isolierenden Substratlagen SL1, SL2, SL3, SL4 und SL5 auf, nämlich eine zentrale Substratlage SL1, unter- bzw. oberhalb der zentralen Lage angeordnete innenliegende Substratlagen SL2, SL3 sowie jeweils an die beiden innenliegenden Substratlagen SL2, SL3 angrenzende außenliegende Substratlagen SL4, SL5. Die Sub ^¬ stratlagen SL1 bis SL5 sind bspw. aus einem glasfaserverstärkten Epoxidharz gebildet. Die Substratlagen SL1 bis SL5 sind fest miteinander verbunden, beispielsweise durch Verpressen oder Verkleben.

[0035] Die Substratlagen SL1 bis SL5 weisen elektrisch leitende Kupferschichten Cl, C2 und C3 auf. Die elektrisch leitenden Kupferschichten Cl bis C3 bilden elektrisch leitende Strukturen oder Schichten innerhalb der Leiterplatte 10. Ins ^¬ besondere dienen die Kupferschichten Cl bis C3 als Leiterbahnen oder Leiterzüge und dienen der elektrischen Verbindung nicht dargestellter elektronischer Bauteile, mit denen die Leiterplatte 10 bestückt ist und die eine Schaltungsanordnung bilden. So können auf einer oder beiden der außenliegenden Substratlagen SL4, SL5 elektronische Bauteile (nicht darge ^¬ stellt), wie bspw. Transistoren, Widerstände, Halbleiterkompo ^¬ nenten und dergleichen mehr, mittels Löten, Bonden und/oder Verkleben angeordnet und elektrisch mit den elektrisch leiten- den Kupferschichten verbunden sein. [0036] Erfindungsgemäß weisen die Kupferschichten Cl bis C3 auf einer Unterseite und einer Oberseite jeweils eine unte ^¬ re Hemmschicht HS1 bzw. eine obere Hemmschicht HS2 auf. Unter Hemmschicht wird vorliegend eine Schicht aus einem Material verstanden, das zur Hemmung einer Elektromigration aus der benachbarten Metall- (Kupfer- ) Schicht geeignet ist. Derartige Ma ^¬ terialien können (nicht abschließend) Zink, Messing, Nickel- Verbindungen wie Nickel-Gold (NiAu) oder Nickel-Palladium-Gold (NiPdAu) oder auch Zinn oder nichtmetallische Materialien sein.

[0037] Unter den Begriffen „Unterseite" und „Oberseite" einer Kupferschicht ist vorliegend eine zur zugehörigen Sub ^¬ stratlage weisende oder substratnahe Oberfläche (Unterseite) bzw. von der zugehörigen Substratlage wegweisende oder sub- stratferne Oberfläche (Oberseite) zu verstehen, unabhängig da ^¬ von, ob die Kupferschicht oberhalb oder unterhalb der Sub ^¬ stratlage aufgebracht ist (also unabhängig von der Orientie ^¬ rung der Darstellung in der Figur) . Oder mit anderen Worten: die Begriffe „Unterseite" und „Oberseite" sind unabhängig von „oben" und „unten" in der Figurendarstellung, sondern bezeichnen die Relation zwischen Substratlage und Kupferschicht.

[0038] Um, wie bereits eingangs erläutert, die Kupfer ^¬ schichten Cl bis C3 zu verstärken und/oder deren Leitfähigkeit zu erhöhen, können alle oder einzelne der Kupferschichten Cl bis C3 mit einer weiteren Metallschicht beschichtet sein. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die ersten Kupferschichten Cl auf der zentralen Substratlage SL1 und die drit ^¬ ten Kupferschichten C3 auf den äußeren Substratlagen SL4 bzw. SL5 mit einer weiteren Metallschicht Ml bzw. M3 auf ihrer je- weiligen Hemmschicht versehen. Es können jedoch auch weniger oder weitere Kupferschichten mit einer weiteren Metallschicht versehen sein. [0039] Im Falle von Bohrungen (Durchkontaktierungen, Vias, vergrabene Bohrungen, Sacklöcher) stellt die weitere Metall ^¬ schicht die im Stand der Technik übliche Metallisierung der Bohrungsinnenwandung dar. [0040] Erfindungsgemäß ist die weitere Metallschicht auf der jeweiligen oberen Hemmschicht HS2 der entsprechenden Kupferschicht Cl, C3 aufgebracht. Auf der weiteren Metallschicht Ml, M3 ist eine weitere Hemmschicht HS3 aufgebracht. Neben ei ^¬ nem Schutz vor dem CAF-Effekt ist damit auch ein Korrosions- schütz verbunden.

[0041] Im Falle der weiteren Hemmschicht HS3 auf den Au ^¬ ßenlagen, d.h. der freiliegenden Hemmschicht, bietet es sich an, diese aus einem korrosionsbeständigen und/oder gut lötbaren Material (bzw. einer Materialabfolge) zu gestalten, wie bspw. NiAu oder NiPdAu. Alternativ ist auch hier eine zink- oder zinnhaltige Schicht möglich. Wie bereits angedeutet, ist es aber auch möglich, diese freiliegende Hemmschicht direkt auf der Kupferschicht C3 auszubilden, wenn eine erforderliche Leitfähigkeit dieser Kupferschicht auch ohne weitere Metall- schicht M3 erreicht wird.

[0042] Der Fachmann kann in Rahmen seines fachmännischen Könnens und abhängig von den Design- und verfahrenstechnischen Anforderungen entscheiden, ob die Hemmschichten sämtlich aus dem gleichen Material oder aus unterschiedlichen Materialien bestehen sollen. Grundsätzlich sind beliebige Materialkombina ^¬ tionen von Hemmschichten innerhalb einer Leiterplatte möglich.

[0043] In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind au ^¬ ßenliegende Kupferstrukturen C3 mittels einer Durchkontaktie- rung 12 elektrisch leitend miteinander verbunden. Die Durch- kontaktierung 12 ist durch eine Bohrung durch die Substratla- gen SL1 bis SL5 hergestellt. Als erste Schicht im Inneren der Bohrung ist die Hemmschicht HS2 vorgesehen, mit der auch die äußere Kupferschicht C3 beschichtet ist. Dies hat den Effekt, dass die anschließend zur Erhöhung der elektrischen Leitfähig- keit vorgesehene weitere Metallschicht M3 gegenüber anderen elektrisch leitfähigen Strukturen in der mehrlagigen Leiterplatte 10 gegen CAF-Effekte geschützt ist (diese Hemmschicht HS2 stellt somit die untere Hemmschicht für die weitere Me ^¬ tallschicht M3 dar, während sie in Bezug auf die äußere Kup- ferschicht C3 gleichzeitig die obere Hemmschicht darstellt) . Die Hemmschicht HS2 kann in einem Arbeitsschritt sowohl auf der Kupferschicht C1/C3 als auch auf der Bohrungsinnenwand aufgebracht werden. Es kann sich aber auch anbieten, die Hemmschicht auf der Kupferschicht C1/C3 und auf der Bohrungsinnen- wand in getrennten Arbeitsschritten aufzubringen, bspw. wenn unterschiedliche Materialien gewünscht sind.

[0044] Auf der weiteren Metallschicht M3 in der Bohrung 12 ist dann die Hemmschicht HS3 der außenliegenden Substratla ^¬ gen SL4 und SL5 aufgebracht, die bspw. (wie bereits erwähnt) als Nickel-Gold-Schicht oder Nickel-Palladium-Gold-Schicht oder auch als Zinkschicht oder Messingschicht ausgebildet sein kann .

[0045] Die auf den beiden innenliegenden Substratla ^¬ gen SL2 und SL3 aufgebrachten elektrisch leitenden Kupfer- schichten C2 weisen auf ihrer Oberseite auch eine dünne Hemmschicht HS2 auf, die vorzugsweise korrosionsbeständig ist. Ei ^¬ ne Lötbarkeit dieser Hemmschicht HS2 auf den innenliegenden Kupferschichten C2 ist nicht zwingend erforderlich, da auf diesen Kupferschichten keine elektronischen Bauteile aufge- bracht werden. Sollte eine Bestückung innenliegender Oberflächen mit elektronischen Bauelementen vorgesehen sein, wäre entsprechend eine gute Lötbarkeit auch der innenliegenden Hemmschicht HS2 erforderlich.

[0046] In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Hemmschicht HS2 auf der innenliegenden Kupferschicht C2 aus einer Zinkschicht oder Messingschicht gebildet. Zink und Mes ^¬ sing eignen sich besonders gut als Korrosionsschutz und bilden auf den elektrisch leitenden Kupferstrukturen eine Barriere gegen das Herauslösen von Kupferbestandteilen der elektrisch leitenden Kupferstrukturen. Damit wird der CAF-Effekt zuver- lässig vermieden oder zumindest minimiert.

[0047] Das dargestellte Ausführungsbeispiel weist darüber hinaus noch eine sogenannte vergrabene Bohrung 14, auch be ^¬ kannt als „buried via", auf. Mittels der vergrabenen Boh ^¬ rung 14 werden innenliegende Kupferstrukturen Cl der zentralen Substratlage SLl elektrisch leitend miteinander verbunden. Die vergrabene Bohrung 14 weist analog zu der Durchkontaktierung 12 an einer Innenwandung eine dünne Hemmschicht HS2 zur zuverlässigen Vermeidung oder zumindest zur Minimierung des CAF-Ef- fekts auf. Auf der Hemmschicht HS2 ist eine weitere Metall- schicht Ml aufgebracht, auf der wiederum eine Hemmschicht HS3 vorgesehen ist, um auch die weitere Metallschicht Ml gegen den CAF-Effekt zu schützen. Somit weisen sowohl die Basis-Kupferschicht Cl als auch die weitere Metallschicht Ml jeweils beid ^¬ seitig eine Hemmschicht auf, wobei die obere Hemmschicht der Kupferschicht die untere Hemmschicht der weiteren Metall ^¬ schicht darstellt.

[0048] Das Ausführungsbeispiel der Figur 1 dient lediglich Veranschaulichungszwecken . Insbesondere ist festzuhalten, dass die Erfindung nicht auf die dargestellte Kombination von in- nen- und außenliegenden Schichten sowie Durchkontaktierungen und vergrabenen Bohrungen beschränkt ist, sondern dass belie- bige Kombinationen dieser Elemente dem Fachmann bei der Konzeption eines Leiterplattenaufbaus zur Verfügung stehen.

[0049] In den Ausführungsbeispielen der Figuren 2 und 3 weist die Leiterplatte 10 zusätzlich noch ein sogenanntes Sackloch 16 (blind via) auf. Das Sackloch 16 verbindet in elektrisch leitender Weise die elektrisch leitende Kupferschicht C3 der (in der Darstellung der Figuren) oberen außenliegenden Substratlage SL5 mit der elektrisch leitenden Kupferschicht Cl der zentralen Substratlage SL1. Des Weiteren ist das Sackloch 16 mit einer analog zu der beschriebenen Hemmschicht HS2 der Durchkontaktierung 12 ausgebildeten Hemmschicht HS2 versehen, die direkt auf eine Innenwandung des Sacklochs 16 aufgebracht ist.

[0050] Geeigneterweise werden die Hemmschichten HS2 der Durchkontaktierung 12 und des Sacklochs 16 im Herstellungsverfahren gleichzeitig abgeschieden. Alternativ kann dies aber auch zu unterschiedlichen Zeitpunkten erfolgen.

[0051] Zur Erhöhung der elektrischen Leitfähigkeit ist die Hemmschicht HS2 mit einer weiteren Metalllage beschichtet. Im Falle des Ausführungsbeispieles der Figur 2 kann es sich dabei um eine vollständige Metallfüllung M3 ^λ handeln. Alternativ dazu kann es sich aber auch um eine die Vertiefung des Sacklochs 16 nachahmende Metallschicht M3 handeln, wie dies in Figur 3 beispielhaft gezeigt ist. Bei beiden Varianten schließt sich dann wieder eine Hemmschicht HS3 auf der Metalllage M3 bzw. M3 ^λ an. Im Beispiel der Figur 2 schließt die Hemmschicht HS3 das Sackloch 16 horizontal ab, während im Beispiel der Figur 3 die Hemmschicht HS3 entlang der Metallschicht M3 in das Sack ^¬ loch 16 hinein verläuft. [0052] Wie aus den Darstellungen der Figuren 2 und 3 ersichtlich, ist die Hemmschicht HS2 des Sacklochs 16 auf die obere außenliegende Substratlage SL5 herausgeführt und ver ^¬ läuft in einem Abschnitt parallel zu der Oberfläche der Sub- stratlage SL5 und bedeckt dabei die auf der oberen außenlie ^¬ genden Substratlage SL5 angeordnete Kupferschicht C3. Dieser herausgeführte Abschnitt der Hemmschicht HS2 wiederum ist mit einem Material der Metallfüllung M3, M3 ^λ versehen, welches schichtartig auf dem außenliegenden Abschnitt der Hemm- schicht HS2 aufgebracht ist.

[0053] Figur 4 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel in schematischer Schnittdarstellung eine zweilagige Leiterplatte 10 ^λ gemäß der Erfindung mit nur einer Substratlage SL1 und ei ^¬ ner Durchkontaktierung 12. [0054] Die Leiterplatte 10 ^λ des Ausführungsbeispiels der

Figur 4 ist als doppelseitige Leiterplatte ausgebildet, auf deren gegenüberliegenden äußeren Oberflächen elektrisch leitende Kupferstrukturen Cl aufgebracht sind, die mittels der Durchkontaktierung 12 elektrisch leitend miteinander verbunden sind.

[0055] Zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Leiterplatte kommen dem Fachmann an sich bekannte Materialien und Verfahrensabläufe zum Einsatz, die daher im Folgenden nicht im Einzelnen und ausführlich erläutert werden müssen. [0056] Im einfachen Fall des in der Figur 4 dargestellten

Ausführungsbeispiels wird eine Substratlage SL1 bereitge ^¬ stellt, auf der eine erste Kupferschicht Cl in an sich bekann ^¬ ter Weise aufgebracht oder abgeschieden wird, nachdem eine erste Hemmschicht HS1 aufgebracht wurde. Alternativ kann die Kupferschicht Cl anhand einer Kupferfolie aufgebracht werden, die auf einer Seite bereits eine Lage mit einem als Hemm ^¬ schicht geeigneten Material aufweist. Schließlich kann als weitere Alternative eine kupferkaschierte Substratlage bereit ^¬ gestellt werden, auf der ebenfalls bereits eine als Hemm- schicht geeignete Lage unter der Kupferschicht (d.h. zwischen Substratschicht und Kupferschicht) vorhanden ist. Typischer ^¬ weise sind geeignete Kupferfolien mit einer Messingbeschich- tung zur Verbesserung der Hafteigenschaften der Cu-Folie im Handel erhältlich. [0057] Anschließend wird eine weitere Hemmschicht (Hemm ^¬ schicht HS2) auf die Kupferschicht Cl aufgebracht. Dies kann stromlos oder galvanisch erfolgen (bspw. stromlose Zinkab- scheidung oder chemische Abscheidung von Messing) jeweils mit vorgegebener Schichtdicke von mindestens 100 nm, typischerwei- se von 100 nm bis 1.500 nm. Denkbar wäre es auch, Messing bei Durchführung eines thermischen Prozesses während der Herstel ^¬ lung der mehrlagigen Leiterplatte aus den Cu-Strukturen und einer Zinkbeschichtung zu erzeugen.

[0058] Im Falle der Anbringung einer Durchbohrung wie im Falle der Durchkontaktierung 12 der Figur 4 erfolgt der

Schritt des Bohrens vor dem Aufbringen der zweiten oder oberen Hemmschicht HS2. Dann kann darauffolgend die Hemmschicht HS2 auch zum Bedecken der Innenwandung der Durchkontaktierung in die Bohrung in einem Verfahrensschritt eingebracht werden (nachdem in dem Fachmann bekannter Weise zuvor die Innenwandung gereinigt und abscheidungsfähig gemacht wurde) . Die Hemm ^¬ schicht HS2 kann auf der Innenwandung der Durchkontaktierung (bzw. auch der vergrabenen Bohrung gemäß den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 und 2) chemisch abgeschieden werden. Beispielsweise erfolgt dies mit chemischer Badabscheidung . Die elektrisch nicht leitfähige Bohrlochwandung wird dazu vorher mittels eines dem Fachmann bekannten Verfahrens der Leiter- plattentechnik leitfähig gemacht, um diese mittels galvanischem Prozess mit der Hemmschicht zu versehen.

[0059] Auf die Hemmschicht kann anschließend die weitere Metallschicht Ml galvanisch abgeschieden werden. Dazu wird beispielsweise Kupfer auf der Hemmschicht abgeschieden. Die Hemmschicht besteht in diesen Fällen aus einem geeigneten Metall bzw. einer geeigneten Metallverbindung, wodurch die folgende galvanische Abscheidung ermöglicht wird.

[0060] In einem Ätzprozess werden durch Ätzen der aufge- brachten Lagen bis auf die Substratlage die gewünschten Lei ^¬ terstrukturen geschaffen, und in einem nächsten Schritt erfolgt die Abscheidung einer weiteren (im Falle des Beispiels der Figur 4 äußeren) Hemmschicht HS3. Die weitere Hemmschicht HS3 wird derart aufgebracht, dass sie die Leiterstrukturen vollständig, d.h. nicht nur auf der Oberfläche, sondern auch seitlich (Leiterflanken) bedeckt, wie dies in den Figuren gut erkennbar und in Figur 4 mittels eingezeichneter Pfeile P verdeutlicht ist. Insbesondere erstreckt sich die weitere Hemm ^¬ schicht HS3 auch durch die gesamte Durchkontaktierung 12 (oder auch die vergrabene Bohrung 14 der Figur 1) .

[0061] Soll eine Leiterplatte mehrere Substratlagen umfas ^¬ sen, wiederholt sich der beschriebene Vorgang, indem die erste (zentrale) Substratlage SL1 mit den darauf geschaffenen Struk ^¬ turen mit weiteren Substratlagen SL2, SL3 verpresst wird, auf denen wiederum entsprechend weitere Kupferlagen aufgebracht und/oder Bohrungen vorgenommen werden. So könnte bspw. die im Ausführungsbeispiel der Figur 4 gezeigte Leiterplatte als Ba ^¬ sis für das Verpressen mit weiteren darüber und darunter angebrachten Substratlagen dienen. Durch Eindringen von beim Ver- pressvorgang verflüssigtem Harz in die Durchbohrung wird dann eine vergrabene Bohrung geschaffen. [0062] Auf elektrisch leitende Kupferschichten außenliegender Substratlagen (wie die Kupferschicht Cl im Ausführungs ^¬ beispiel der Figur 4 oder die Kupferschicht C3 im Falle der Ausführungsbeispiele der Figuren 1 bis 3) wird vorzugsweise ebenfalls jeweils ein Metall oder eine Metallverbindung zur

Ausbildung einer außenliegenden Hemmschicht HS3 bspw. stromlos abgeschieden. Beispielsweise wird als Metallverbindung eine Nickel-Gold-Verbindung chemisch abgeschieden. Bei der Hemmschicht außenliegender Kupferschichten ist zusätzlich eine Lötbarkeit des Materials zu beachten, weshalb Nickel-Gold be ^¬ sonders geeignet ist. Alternativ kann auch ein kostengünstige ^¬ res Material, wie z.B. Zink oder Zinn, verwendet werden.

[0063] Bei Leiterplatten, bei denen eine Stopplackabde ^¬ ckung auf der Oberfläche vorzusehen ist, kann bspw. wie in dem in Figur 5 dargestellten weiteren Ausführungsbeispiel vorge ^¬ gangen werden.

[0064] Figur 5 zeigt in schematischer Schnittdarstellung im Ausschnitt eine Oberfläche einer erfindungsgemäßen Leiterplatte 10 ^{λ λ} mit einer auf der Oberfläche aufgebrachten Stopp- lackabdeckung 20. Ähnlich wie im Ausführungsbeispiel der Figur 1 weist die Leiterplatte 10 ^{λ λ} auf der in der Darstellung der Figur 5 linken Seite eine Durchkontaktierung 12 auf. Auf der Oberfläche der Leiterplatte, d.h. auf der Oberseite der oberen Substratlage SL5, bildet die erfindungsgemäße Schichtenfolge einer unteren Hemmschicht HS1, einer Kupferschicht C3, einer oberen Hemmschicht HS2, einer weiteren Metallschicht M3 sowie einer weiteren Hemmschicht HS3 eine Leiterbahn 30, die zu ei ^¬ ner Anschlussstelle 40 auf der rechten Seite der Leiterplatte 10 ^{λ λ} führt. Die Anschlussstelle 40 ist stopplackfrei und im Übrigen von der Stopplackabdeckung 20 umgeben. [0065] Zur Ausbildung der Anschlussstelle 40 wird wie folgt vorgegangen: Nach dem Aufbringen der weiteren Metallschicht M3 wie beschrieben und dem anschließenden Ätzvorgang zur Ausbildung der Leiterbahn 30 wird eine Hemmschicht HS3 aufgebracht, die die weitere Metallschicht und auch (an den Rändern) die darunterliegenden Schichten vollständig bedeckt. Bei der Hemmschicht HS3 handelt es sich vorzugsweise um ein kostengünstiges, aber die Hemmung der Elektromigration gut realisierendes Material, wie bspw. Zink oder Messing. Dann wird die Hemmschicht HS3 und die gesamte Oberfläche der Lei ^¬ terplatte 10 ^{λ λ} mit der Stopplackabdeckung 20 überzogen. Im Bereich der auszubildenden Anschlussstelle wird der Stopplack entfernt, d.h. die Anschlussstelle wird freigelegt. Daraufhin wird in dem freigelegten Bereich die weitere Hemmschicht HS3 aus Zink oder Messing wieder entfernt und es wird als alterna ^¬ tives Material eine weitere Hemmschicht HS3 ^λ aus Nickel oder einer Nickel-Verbindung bzw. einer Nickel oder eine Nickel- Verbindung umfassenden Schichtabfolge aufgebracht (NiAu oder NiPdAu) . Auf dieser Anschlussstelle 40 kann dann ein bzw. der Lötprozess, ein Klebe- oder ein Drahtbond-Prozess durchgeführt werden. Kriterien für die Materialauswahl sind hierbei neben den Kosten (eine Schicht aus Zink oder Messing ist deutlich günstiger als eine Gold oder Palladium umfassende Schichtab ^¬ folge) die jeweiligen Eigenschaften der Materialien im Hin- blick auf die weitere Be- bzw. Verarbeitung auf der jeweiligen Hemmschicht (wie Hafteigenschaften für Lötstopplack, Löteigenschaften für die Anschlussstelle, usw.).

[0066] Selbstverständlich kann das beschriebene Vorgehe auch in anderer Geometrie oder mit anderem Schichtaufbau, bspw. ohne weitere Metallschicht M3, realisiert werden.