Die vorliegende Erfindung betrifft eine reinraumtaugliche Linearführung. Solche Linearführungen setzen im Betrieb möglichst wenig Partikel frei, so dass der Reinraum nicht verschmutzt wird.

Die Fertigung von integrierten Schaltkreisen findet heutzutage in sogenann- ten Reinräumen statt, da die Kontamination eines Wafers selbst mit kleinsten Partikeln bereits zu einem Ausfall der zu fertigenden Schaltkreise führen kann. Für alle in einem Reinraum verwendeten Einrichtungen und Maschinen gilt daher die Forderung, möglichst wenig Partikel zu erzeugen.

Da Wafer während des Fertigungsprozesses bewegt werden müssen, kann auf bewegliche Teile nicht verzichtet werden. Die Verwendung von Luftlagern, die berührungslos und damit ohne Abrieb arbeiten, ist aus Kostengründen nicht immer möglich. So werden auch Führungen eingesetzt, die auf herkömmlichen Lagern wie z.B. Kugellager oder Gleitlager beruhen. Auch wenn solche Lager aus besonders abriebarmen Materialien hergestellt werden, lässt sich die Bildung von Partikeln nicht vermeiden. Es sind daher bereits Vorrichtungen bekannt, bei denen mittels einer Absaugung entstandene Partikel abgesaugt werden, bevor sie in die Umgebung gelangen und den Reinraum verschmutzen können.

Die US 4955244 beschreibt beispielsweise einen reinraumtauglichen Appa- rat mit einem auf einer Kugelumlaufspindel beruhenden Linearantrieb. Am Läufer werden durch eine Öffnung von dessen Gehäuse im Inneren des Gehäuses erzeugte Partikel abgesaugt. Hierzu wird eine Absaugung am Schmiernippel des Gehäuses angebracht. Aufgabe der Erfindung ist es, eine möglichst einfache, stabile und vor allem, reinraumtaugliche Lösung für eine Linearführung zu finden, bei der durch Reibung entstehende Partikel abgesaugt werden können.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Linearführung mit einer Schiene und einem Laufwagen, wobei der Laufwagen mit einer Anwendungsplattform mittels Schrauben verbunden ist. Eine der Schrauben ist eine Vakuumschraube mit einem axialen Kanal, durch den Partikel aus einem Luftspalt zwischen Schiene und Laufwagen absaugbar sind.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der Figuren. Dabei zeigt

Figur 1 eine Linearführung mit Anwendungsplattform,

Figur 2 eine Schnittansicht zur Figur 1

Figur 1 zeigt eine Linearführung mit einer Schiene 1 , auf der ein Laufwagen 2 linear beweglich gelagert ist. Für spezielle Anwendungen kann die Schiene 1 auch gebogen sein, so dass der Laufwagen 2 rollende, gierende oder nickende Bewegungen ausführen kann. Der Laufwagen 2 weist an beiden Enden eine Abdeckung 3 auf, die den Luftspalt zwischen der Schiene 1 und dem Laufwagen 2 möglichst gut abschließt. Das Austreten von durch Abrieb erzeugten Partikeln ist so erschwert. Eine Anwendungsplattform 4, im Folgenden auch einfach als Tisch 4 bezeichnet, ist mit dem Laufwagen 2 verbunden, so dass der Tisch 4 selbst linear beweglich ist. Der Tisch 4 kann dabei durchaus von mehreren parallelen Linearführungen gehalten werden, oder auch von zwei oder mehr Laufwagen 2, die auf einer gemeinsamen Schiene 1 laufen.

Die Details der Verbindung des Tisches 4 mit dem Laufwagen 2 sind in der Schnittzeichnung der Figur 2 dargestellt.

Im Schnitt erkennt man drei den Tisch 4 durchdringende Bohrungen 5. Am Laufwagen 2 sind korrespondierende Bohrungen 12 mit einem Innenge- winde vorgesehen. Mittels Schrauben 6 (in der Figur 2 ist nur die mittlere Schraube dargestellt) kann der Tisch 4 mit dem Laufwagen 2 verbunden werden.

Die mittlere der drei Bohrungen 12 im Laufwagen 2 endet im Luftspalt zwi- sehen dem Laufwagen 2 und der Schiene 1 , vorzugsweise wie dargestellt mittig und oberhalb der Schiene 1. Da in solchen Linearführungen Kugeln oder Rollen üblicherweise an den beiden Seiten der Linearführung laufen, und die Schiene 1 an ihrer der mittleren der drei Bohrungen 12 gegenüberliegenden oberen Fläche selbst Öffnungen mit Schrauben zum Befestigen der Schiene 1 auf einem Untergrund aufweist, stört diese Bohrung 12 oberhalb der Schiene 1 nicht den Betrieb der Linearführung.

In die mittleren Bohrungen 5, 12 von Tisch 4 und Laufwagen 2 wird eine Vakuumschraube 6 eingesetzt. Solche Vakuumschrauben 6 werden üblicherweise in der Vakuumtechnik verwendet, um nicht beim Eindrehen einer Schraube ein isoliertes Luftreservoir zu erzeugen, das beim Abpumpen der Umgebungsluft langsam Luft abgeben und somit das Vakuum verschlechtern würde.

Gemäß dieser Erfindung wird die Vakuumschraube 6 in einer völlig anderen Funktion eingesetzt. Zu einem Teil trägt sie zur Verbindung von Tisch 4 und Laufwagen 2 bei, auch wenn die in den äußeren Bohrungen 5, 12 eingesetzten herkömmlichen Schrauben ein deutlich höheres Anzugsmoment aufbringen können. Vor allem aber erlaubt die Vakuumschraube 6 das Absaugen von Partikeln aus dem Luftspalt zwischen Schiene 1 und Laufwagen 2.

Vakuumschrauben verfügen nämlich über einen Kanal 6.1 , über den erfindungsgemäß die Partikel absaugbar sind. Die Vakuumschraube 6 weist hierzu eine axiale, über die gesamte Länge der Vakuumschraube 6 erstreckte Bohrung mit einem Durchmesser von etwa einem halben Millimeter auf. Alternativ kann die Vakuumschraube 6 auch eine seitliche Kerbe auf- weisen, durch die Luft und Partikel absaugbar sind. - A -

Oberhalb der Vakuumschraube 6 ist ein Anschlussstück 7 zu erkennen, das mit Schrauben 8 am Tisch 4 befestigt ist. Das Anschlussstück 7 weist eine Öffnung 9 für eine Vakuumzuführung auf. Diese Vakuumzuführung ist im Inneren des Anschlussstücks mit dem Kanal 6.1 der Vakuumschraube 6 verbunden. Hierzu ist zwischen dem Anschlussstück 7 und dem Kopf 6.2 der Vakuumschraube ein Dichtring 11 eingesetzt, der für eine dichte Verbindung zwischen Anschlussstück 7 und Vakuumschraube 6 sorgt.

Wird nun eine Absaugung mit dem Anschlussstück 7 verbunden, so wird ein Luftstrom und damit ein Unterdruck im Laufwagen 2 erzeugt, die dafür sor- gen, dass zwischen der Abdeckung 3 des Laufwagens 2 und der Schiene 1 keine Partikel mehr entweichen können, da dort ein Luftstrom ins Innere des Laufwagens 2 entsteht. Partikel im Inneren des Laufwagens werden außerdem durch den Kanal 6.1 der Vakuumschraube 6 und das Anschlussstück 7 abgesaugt. Sie können sich also nicht im Inneren des Laufwagens anrei- ehem. Die mit den Partikeln kontaminierte Abluft kann außerdem problemlos gefiltert werden und / oder außerhalb des Reinraums entweichen. Die Umgebung der Linearführung ist somit optimal vor den durch Abrieb in der Linearführung entstehenden Partikeln geschützt.

Da ein einzelner Laufwagen 2 auch mit zwei oder mehr in Laufrichtung ver- setzten Vakuumschrauben befestigt werden kann, und der Tisch 4 auf mehreren Laufwagen befestigt sein kann, ist es vorteilhaft, wenn der Tisch 4 einen Vakuumanschluss aufweist, von dem aus über sich verzweigende Vakuumschläuche die Absaugung an die Anschlussstücke 7 verteilt wird. Diese Verteilung kann dabei ebenso im inneren des Tisches angeordnet sein wie die Anschlussstücke 7 selbst, so dass der Tisch 4 anwendungsseitig eine plane Oberfläche aufweist.

Als Antrieb für den Laufwagen 2 bzw. den Tisch 4 eigenen sich besonders sogenannte Direktantriebe wie z.B. Linearmotoren oder Torquemotoren, bei denen ein Primärteil mit Spulen einem Sekundärteil mit einer Reihe von Magneten gegenüberliegt, die mit abwechselnder Polarität angeordnet sind. Solche Direktantriebe weisen kein Getriebe auf benötigen keine eigenen Lager. Solche zusätzlich Partikel produzierende Bestandteile können mit Direktantrieben also vermieden werden.

Primärteil und Sekundärteil werden von der Linearführung mit der erfindungsgemäßen Absaugung der Partikel gegeneinander beweglich gehalten, indem z.B. das Primärteil mit dem Laufwagen 2 oder dem Tisch 4 verbunden ist, und das Sekundärteil mit der Schiene 1 oder dem Untergrund, auf dem auch die Schiene 1 befestigt ist.