Title:
CLEANING MEMBER, DELIVERY MEMBER WITH CLEANING FUNCTION, AND METHOD OF CLEANING SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2008/018251
Kind Code:
A1
Abstract:
A cleaning member that is free from staining at cleaning sites, being capable
of simple and easy, unfailing, satisfactory removal of minute foreign matter,
preferably foreign matter of submicron level; a delivery member with cleaning
function including the cleaning member; and a method of cleaning a substrate
processing apparatus with the use of the delivery member with cleaning function.
There is provided a cleaning member comprising a cleaning layer furnished on
a major surface thereof with multiple protrusions of columnar structure, wherein
the protrusions of columnar structure have an aspect ratio of 5 or greater.
Inventors:
SUGO, Yuki (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
菅生 悠樹 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
TERADA, Yoshio (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
寺田 好夫 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
UENDA, Daisuke (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
宇圓田 大介 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
菅生 悠樹 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
TERADA, Yoshio (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
寺田 好夫 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
UENDA, Daisuke (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
宇圓田 大介 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
Application Number:
JP2007/062975
Publication Date:
February 14, 2008
Filing Date:
June 28, 2007
Export Citation:
Assignee:
NITTO DENKO CORPORATION (1-1-2, Shimohozumi Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
日東電工株式会社 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 Osaka, 5678680, JP)
SUGO, Yuki (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
菅生 悠樹 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
TERADA, Yoshio (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
寺田 好夫 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
UENDA, Daisuke (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
日東電工株式会社 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 Osaka, 5678680, JP)
SUGO, Yuki (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
菅生 悠樹 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
TERADA, Yoshio (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
寺田 好夫 (〒80 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電工株式会社内 Osaka, 5678680, JP)
UENDA, Daisuke (1-1-2 Shimohozumi, Ibaraki-sh, Osaka 80, 5678680, JP)
International Classes:
B08B1/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
MOMII, Takafumi (7th Floor, Chiyoda Building Bekkan 6-1-2, Nishitemma, Kita-ku, Osaka-sh, Osaka 47, 5300047, JP)