Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verschlussvorrichtung für eine Öffnung in einer Kammerwand, wobei die Verschlussvorrichtung zumindest ein Verschlussorgan und zumindest einen Verschlussorganträgerkörper und zumindest ein Joch aufweist, und das Verschlussorgan über den Verschlussorganträgerkörper starr mit dem Joch verbunden ist, wobei das Joch mittels zumindest einer Zylinder-Kolben- Antriebseinheit der Verschlussvorrichtung, insbesondere parallel zu einer

Längserstreckung des Verschlussorganträgerkörpers, verschiebbar in einem

Gehäuse der Verschlussvorrichtung gelagert ist. Verschlussvorrichtungen dieser Art sind z. B. in der WO 201 5/139818 A1 offenbart.

Aufgabe der Erfindung ist es, gattungsgemäße Verschlussvorrichtungen

dahingehend zu verbessern, dass sie einerseits möglichst kostengünstig hergestellt werden können, und andererseits das Verschlussorgan mit hoher Präzision geführt wird.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung bei Verschlussvorrichtungen der oben genannten Art vor, dass das Joch zumindest einen Zylinderhohlraum der Zylinder-Kolben-Antriebseinheit und/oder zumindest eine

Führungselementaufnahme zur Führung eines Führungselementes der

Verschlussvorrichtung aufweist.

In anderen Worten ist es somit eine Grundidee der Erfindung, den Zylinderhohlraum der Zylinder-Kolben-Antriebseinheit und/oder auch die. Führungselementaufnahme gleich mit in das Joch zu integrieren. In der Führungselementaufnahme ist das

Führungselement verschiebbar gelagert. Durch die Erfindung wird im Sinne einer kostengünstigen Ausführung zunächst einmal eine Reduzierung der für die Verschlussvorrichtung benötigten Einzelteile erreicht. Darüber hinaus kann hierdurch auch eine sehr kompakte, einen kleinen Bauraum beanspruchende Einheit geschaffen werden. Vor allem wird durch die Integration in das Joch aber auch eine sehr direkte Anbindung des Zylinderhohlraums der Zylinder-Kolben-Antriebseinheit und/oder der Führungselementaufnahme in das Joch erreicht. Durch diese direkte Anbindung müssen nur sehr geringe Toleranzen berücksichtigt werden, was insgesamt zu einer sehr präzisen Führung des Verschlussorgans führt.

Irn Zuge der Erfindung ist es möglich, dass im Joch zumindest eine, den zumindest einen Zylinderhohlraum umgebende Zylinderhohlraumwand des Jochs und eine Trägerkörperaufnahme des Jochs zur Fixierung des Verschlussorganträgerkörpers am Joch in einer fixen räumlichen Lage zueinander angeordnet sind. Darüber hinaus kann auch erreicht werden, dass im Joch die zumindest eine

Führungselementaufnahme und die Trägerkörperaufnahme in einer fixen räumlichen Lage zueinander angeordnet sind.

Meist weisen erfindungsgemäße Verschlussvorrichtungen nur einen

Verschlussorganträgerkörper auf. Es ist aber natürlich auch möglich, dass

erfindungsgemäße Verschlussvorrichtungen zwei oder mehr

Verschlussorganträgerkörper aufweisen.

Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass das Joch als einstückiger Körper ausgebildet ist. Um dies zu realisieren, kann z. B. vorgesehen sein, dass das Joch als Gusskörper oder als Spritzgusskörper oder als ein aus einem Block geschmiedeter oder anderweitig z. B. durch spanabhebende Bearbeitung herausgearbeiteter

Körper ausgebildet ist. Der im Joch angeordnete Zylinderhohlraum der Zylinder- Kolben-Antriebseinheit ist zumindest abschnittsweise kreiszylinderförmig

ausgebildet. Es kann sich beim Zylinderhohlraum um eine beidseitig offene

Durchgangsöffnung im Joch handeln. Der Zylinderhohlraum kann aber auch einseitig durch das Joch selbst verschlossen sein, z. B. wenn der Zylinderhohlraum in der Art eines Sacklochs ausgebildet ist. Zum Verschließen der offenen Enden des Zylinderhohlraums können separate Zylinderverschlusskörper, gegebenenfalls gehalten durch einen Sicherungsring o. dgl., eingesetzt werden.

Bei der Führungselementaufnahme handelt es sich günstigerweise um eine beidseitig offene Durchgangsöffnung im Joch. Hierdurch ist es möglich, dass von der Führungselementaufnahme geführte bzw. in der Führungselementaufnahme verschiebbar gelagerte Führungselement an seinen beiden Enden z. B. am Gehäuse der Verschlussvorrichtung zu fixieren. Grundsätzlich wäre es aber auch denkbar, dass bei nur einseitig fixierten Führungselementen die Führungselementaufnahme als eine Art einseitig verschlossenes Sackloch im Joch ausgeführt ist. Die

Führungselementaufnahme ist in ihrem Querschnitt günstigerweise an die

Außenkontur des Führungselementes angepasst. Auch hier bietet sich eine kreiszylinderförmige Ausführung der Führungselementaufnahme an. Das

Führungselement ist jedenfalls günstigerweise fix am Gehäuse befestigt. Bei dem Führungselement handelt es sich günstigerweise um ein in sich starres vorzugsweise längserstrecktes Bauteil, welches z. B. zumindest bereichsweise als Stange oder Schiene ausgebildet ist.

Der Verschlussorganträgerkörper, also die Verbindung zwischen Verschlussorgan und Joch ist günstigerweise ebenfalls längserstreckt ausgebildet. In bevorzugten Ausgestaltungsformen werden das Joch und vorzugsweise damit auch der

Verschlussorganträgerkörper und das Verschlussorgan parallel zur Längserstreckung des Verschlussorganträgerkörpers verschoben, wenn das Verschlussorgan von einer Öffnungsstellung, in der es die Öffnung in der Kammerwand zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, freigibt, und einer Schließstellung, in der es die Öffnung in der Kammerwand verschließt, hin und her bewegt wird. Hierbei ist klar, dass mit der Längserstreckung eine Richtung der Längserstreckung also mit anderen Worten eine Längserstreckungsrichtung des Verschlussorganträgerkörpers gemeint ist. Auch der Verschlussorganträgerkörper ist günstigerweise zumindest bereichsweise als Stange oder Schiene ausgebildet. Günstigerweise sind der Verschlussorganträgerkörper und/oder auch das Führungselement gerade, also nicht gekrümmt ausgebildet.

Das Joch steht vorzugsweise beidseitig seitlich über den Verschlussorganträgerkörper über. In anderen Worten ist günstigerweise

vorgesehen, dass die Ausdehnung des Jochs quer zur Längserstreckung des Verschlussorganträgerkörpers größer als die Breite des

Verschlussorganträgerkörpers in dieser Querrichtung ist.

Grundsätzlich ist es möglich, dass das Joch nur einen einzigen Zylinderhohlraum und/oder auch nur eine einzige Führungselementaufnahme aufweist. In bevorzugten Ausgestaltungsformen ist aber vorgesehen, dass das Joch mehrere

Zylinderhohlräume von Zylinder-Kolben-Antriebseinheiten und/oder auch mehrere Führungselementaufnahmen aufweist. Besonders bevorzugte Varianten sehen vor, dass das Joch, vorzugsweise genau, zwei Zylinderhohlräume von zwei Zylinder- Kolben-Antriebseinheiten der Verschlussvorrichtung und/oder, vorzugsweise genau, zwei Führungselementaufnahmen zur Führung jeweils eines Führungselementes der Verschlussvorrichtung aufweist. Günstig ist hierbei wiederum, wenn die

Zylinderhohlräume zueinander achsensymmetrisch und/oder die

Führungselementaufnahmen zueinander achsensymmetisch angeordnet sind. Durch diese Symmetrien kann eine besonders präzise Führung des Verschlussorgans erreicht werden. Die Symmetrieachsen der Zylinderhohlräume und der

Führungselementaufnahmen können in einer gemeinsamen Ebene liegen bzw. sind bevorzugt parallel zueinander angeordnet. Der Zylinderhohlraum ist jedenfalls der Hohlraum der Zylinder-Kolben-Antriebseinheit, in dem der Kolben der Zylinder- Kolben-Antriebseinheit verschiebbar gelagert ist und mit Druck beaufschlagt wird. Der Kolben kann jeweils über eine entsprechende Kolbenstange fix am Gehäuse der Verschlussvorrichtung angeordnet sein. Der Zylinderhohlraum ist mit dem Joch verschiebbar gelagert.

Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass der Zylinderhohlraum oder jeder der Zylinderhohlräume eine Hohlraumlängsachse aufweist und diese

Hohlraumlängsachse parallel zur Längserstreckung des

Verschlussorganträgerkörpers angeordnet ist. Günstig ist es auch, wenn die

Führungselementaufnahme oder jede der Führungselementaufnahmen eine

Führungselementaufnahmenlängsachse aufweist und diese Führungselementaufnahmenlängsachse parallel zur Längserstreckung des

Verschlussorganträgerkörpers angeordnet ist. In Kombination dessen ergibt sich dann, dass auch die Führungselementaufnahmenlängsachse und die

Hohlraumlängsachse zueinander parallel angeordnet sind.

Zum hier mehrfach verwendeten Begriff einer Längsachse sei darauf hingewiesen, dass es sich dabei um eine Achse der Längserstreckung handelt, wobei die

Längserstreckung die längste Erstreckung also die Richtung der größten

Ausdehnung des jeweiligen Körpers meint.

Grundsätzlich kann vorgesehen sein, dass die Verschlussvorrichtung gemäß der Erfindung als sogenanntes L-Ventil ausgebildet ist. Dies bedeutet, dass das

Verschlussorgan in zwei zueinander abgewinkelten, vorzugsweise orthogonalen, Richtungen zwischen seiner vollständigen Öffnungsstellung und seiner

Schließstellung bewegt wird. Besonders bevorzugt kommt die Erfindung aber bei Verschlussvorrichtungen zum Einsatz, bei denen das Verschlussorgan relativ zur Öffnung ausschließlich linear und ausschließlich in zwei einander entgegen gesetzten Richtungen verschiebbar im Gehäuse der Verschlussvorrichtung gelagert ist. In anderen Worten ist in diesen bevorzugten Varianten vorgesehen, dass das Verschlussorgan ausschließlich linear hin und her bewegt wird, wobei die

Bewegungsrichtungen immer parallel zu einer einzigen Geraden sind.

Das Verschlussorgan der erfindungsgemäßen Verschlussvorrichtung kann

grundsätzlich sehr unterschiedlich ausgebildet sein. Es kann sich um sogenannte Nadelverschlüsse o. dgl. zum Öffnen und Verschließen relativ kleiner Öffnungen in der entsprechenden Kammerwand handeln. Bevorzugte Varianten der

Verschlussvorrichtung sehen aber vor, dass diese zum Verschließen von flächig ausgebildeten Öffnungen in Kammerwänden geeignet ist. Entsprechend ist das Verschlussorgan günstigerweise auch flächig ausgebildet. Es kann sich z. B. um eine ebene oder gewölbte Platte oder einen entsprechend ausgeformten Verschlussteller handeln. Das Verschlussorgan kann in der Schließstellung gegen einen Ventilsitz abgedichtet sein. Das Verschlussorgan kann die Öffnung in der Schließstellung aber auch ohne Dichtung nur abdecken. In einer solchen, nicht abgedichteten

Ausgestaltungsform kann eine flächig ausgebildetes Verschlussorgan auch als Verschlussschild bezeichnet werden. Die erfindungsgemäße Verschlussvorrichtung könnte auch als Ventil bezeichnet werden. Insbesondere können erfindungsgemäße Verschlussvorrichtungen dann eingesetzt werden, wenn in der Prozesskammer, deren Öffnung von der

Verschlussvorrichtung verschlossen und freigegeben wird, Betriebszustände einstellbar sind, welche auf geringerem Druckniveau gefahren werden als der Umgebungsdruck. Besonders bevorzugt kommen erfindungsgemäße

Verschlussvorrichtungen also in anderen Worten in Unterdruck- oder

Vakuumprozessen zum Einsatz. Von Vakuum spricht man dabei, wenn

Betriebszustände mit Drücken kleiner oder gleich 0,001 mbar bzw. 0,1 Pascal erreicht werden. Sind erfindungsgemäße Verschlussvorrichtungen für den Einsatz unter solchen Bedingungen ausgelegt, so können sie auch als Vakuumventile bezeichnet werden.

Weitere bevorzugte Merkmale und Einzelheiten, wie die Erfindung ausgeführt werden kann, sind beispielhaft im Nachfolgenden anhand eines in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 und 2 Darstellungen die ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in einem an einer Kammerwand befestigten Zustand zeigen;

Fig. 3 den Schnitt entlang der Schnittlinie A-A aus Fig. 2;

Fig. 4 den Schnitt entlang der Schnittlinie X-X aus Fig. 2;

Fig. 5 eine Explosionsdarstellung von Teilen der hier gezeigten

Verschlussvorrichtung;

Fig. 6 eine Ansicht der Verschlussvorrichtung dieses Ausführungsbeispiels in der Öffnungsstellung des Verschlussorgans;

Fig. 7 den Schnitt entlang der in Fig. 6 dargestellten Schnittlinie B-B;

Fig. 8 den Schnitt entlang der in Fig. 6 dargestellten Schnittlinie C-C;

Fig. 9 den Schnitt entlang der in Fig. 6 dargestellten Schnittlinie D-D;

Fig. 10 eine Ansicht der Verschlussvorrichtung, wobei sich das Verschlussorgan in der Schließstellung befindet;

Fig. 1 1 den Schnitt entlang der Schnittlinie E-E aus Fig. 10 und

Fig. 12 einen Schnitt entlang der Schnittlinie F-F aus Fig. 10. Fig. 1 zeigt in einer perspektivischen Darstellung, wie das hier in allen Figuren gezeigte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Verschlussvorrichtung 1 an der Kammerwand 3 befestigt ist und mit seinem Verschlussorgan 4 die Öffnung 2 verschließt. Fig. 2 zeigt eine Draufsicht, Fig. 3 den Schnitt entlang der Schnittlinie AA aus Fig. 2 und Fig. 4 den Schnitt entlang der Schnittlinie XX aus Fig. 2.

Das Verschlussorgan 4 deckt in den Fig. 1 bis 4 dargestellten Schließstellungen die Öffnung 2 in der Kammerwand 3 vollständig ab. Im gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei dem Verschlussorgan 4 um ein Verschlussschild, welches in der Schließstellung die Öffnung 2 zwar vollständig abdeckt, aber nicht gegen die die Öffnung umgebende Kammerwand abgedichtet ist. Natürlich könnte die Erfindung auch mit Verschlussorganen 4 realisiert werden, bei denen das Verschlussorgan in der Schließstellung gegen einen die Öffnung umgebenden Ventilsitz mittels entsprechender Dichtung abgedichtet ist. Um das Verschlussorgan 4 von der, in den Fig. 1 bis 4 gezeigten Schließstellung in die maximale Öffnungsstellung, in der es die Öffnung 2 ganz oder teilweise freigibt, zu bringen, wird das Verschlussorgan 4 in dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel linear in Richtung 18 bewegt. Bei dieser Bewegung wird der hier zumindest bereichsweise als Stange ausgebildete Verschlussorganträgerkörper 5 in das

Gehäuse 9 eingefahren, wobei er das Verschlussorgan 4 entsprechend in Richtung 18 mitnimmt. Um die Öffnung 2 dann wieder zu verschließen, wird das

Verschlussorgan 4 in Richtung 17, also in die der Richtung 18 entgegengesetzte Richtung bewegt, bis wieder die Schließstellung gemäß der Fig. 1 bis 3 erreicht wird. Bei der hier in den Ausführungsbeispielen gezeigten Verschlussvorrichtung 1 handelt es sich um eine solche, bei welcher das Verschlussorgan 4 relativ zur

Öffnung 2 ausschließlich linear und ausschließlich in zwei einander

entgegengesetzten Richtungen 17 und 18 verschiebbar im Gehäuse 9 der Verschlussvorrichtung 1 gelagert ist.

Das Gehäuse 9 der Verschlussvorrichtung 1 weist Gewindelöcher 28 auf. Wie in Fig. 4 dargestellt, kann das Gehäuse 9 und damit die gesamte Verschlussvorrichtung 1 mittels Schrauben 21 an die Kammerwand 3 geschraubt werden. Hierdurch wird eine im Dichtungskanal 22 angeordnete, hier nicht dargestellte, Dichtung so gegen die Kammerwand 3 gedrückt, dass das Gehäuse 9 gegen die Kammerwand 3

abgedichtet ist. Die in den Fig. 3, 8, 9, 1 1 und 12 gut sichtbaren Zentrierstifte 29 des Gehäuses 9 greifen dabei in entsprechende Zentrierbohrungen 30 der Kammerwand 3 ein, womit das Gehäuse 9 bei der Montage an der Kammerwand 3 automatisch richtig positioniert wird.

In Fig. 3 ist gut zu erkennen, wie der hier zumindest bereichsweise stangenförmig ausgebildete Verschiussorganträgerkörper 5 das Verschlussorgan 4 mit dem Joch 6 verbindet. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Verschlussorgan 4 hierzu fix am Verschiussorganträgerkörper 5 angeschraubt. Zur Verbindung des

Verschlussorganträgerkörpers 5 mit dem Joch 6 weist das Joch 6 eine

Trägerkörperaufnahme 14 auf, in die das untere Ende des

Verschlussorganträgerkörpers 5 bei der Montage eingeschoben wird. Die Fixierung des Verschlussorganträgerkörpers 5 im Joch 6 erfolgt in dem hier gezeigten

Ausführungsbeispiel mittels der Trägerkörperfixierung 20, welche mittels der Schrauben 21 am Joch angeschraubt wird und in die Vertiefung 23 des

Verschlussorganträgerkörpers 5 eingreift. Ist die Trägerkörperfixierung 20, wie z.B. in Fig. 3 gezeigt, am Joch 6 angeschraubt, so ist dadurch der

Verschiussorganträgerkörper 5 in der Trägerkörperaufnahme 14 und damit am Joch 6 fixiert.

In der Explosionsdarstellung gemäß Fig. 5 ist das erfindungsgemäß ausgebildete Joch 6 des hier gezeigten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen

Verschlussvorrichtung 1 in seiner Struktur besonders gut zu erkennen. In der hier gewählten Variante weist das Joch 6 zwei Zylinderhohlräume 10 und auch zwei Führungselementaufnahmen 1 1 auf. Jeder der Zylinderhohlräume 10 ist Teil einer Zylinder-Kolben-Antriebseinheit 7, wie dies weiter unten noch anhand der Fig. 7 und 1 1 detaillierter erläutert wird. Die zusätzlich zu den Zylinderhohlräumen 10 im Joch 6 angeordneten Führungselementaufnahmen 1 1 sind als Durchgangsbohrung ausgeführt, sodass durch sie die, hier stangenförmig ausgebildeten,

Führungselemente 12 hindurchgeführt werden können. In den Schnittdarstellungen gemäß der Fig. 8 und 1 1 ist gut zu erkennen, dass die stangenförmigen

Führungselemente 12 in diesem Ausführungsbeispiel mittels Schrauben 21 am Gehäuse 9 fixiert sind. Das Joch 6 ist über die Führungselementaufnahmen 10 auf diesen Führungselementen 12 linear verschiebbar geführt. Im Sinne einer möglichst spielfreien exakten Führung des Jochs 6 an den Führungselementen 12 können in bevorzugten Ausgestaltungsformen, wie der hier gezeigten, in die

Führungselementaufnahmen 1 1 eingesetzte Führungsbuchsen 31 vorgesehen sein, wie dies in den Fig. 8 und 1 1 besonders gut erkennbar ist. Zurückkommend auf Fig. 5 ist darauf hinzuweisen, dass in der hier gezeigten, wie auch in anderen bevorzugten Ausgestaltungsformen, das Joch 6 als einstückiger Körper ausgebildet ist. Es kann sich, wie eingangs bereits erläutert, z.B. um einen Gusskörper, einen Spritzgusskörper oder um einen aus einem Block geschmiedeten oder anderweitig herausgearbeiteten Körper handeln.

Durch die Integration der Zylinderhohlräume 10 und der

Führungselementaufnahmen 1 1 in das Joch 6 liegen diese Bauteile in einer fixen geometrischen Lage zueinander, was einerseits zu einer kostengünstigen, wenige Teile aufweisenden, Realisierung der erfindungsgemäßen Verschlussvorrichtung 1 führt. Andererseits hat dies den Vorteil, dass automatisch eine sehr präzise Führung des Verschlussorganträgerkörpers 5 und damit auch des Verschlussorgans 4 bei den Bewegungen in den Richtungen 17 und 18 erreicht wird. Dieser Effekt wird im hier gezeigten Ausführungsbeispiel dahingehend noch verbessert, dass auch die

Trägerkörperaufnahme 14 direkt in dem Joch 6 mit realisiert ist. Auch dies ist gut in Fig. 5 zu erkennen.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist eine Balgdichtung 19 vorhanden, die den in Richtung der Längserstreckungen 8 längserstreckten Verschlussorganträgerkörper 5 gegen das Gehäuse 9 abdichtet. Diese Balgdichtung 19 ist in den Fig. 3, 5, 6, 8, 9, 10, 1 1 und 12 gut zu erkennen. In den Fig. 6, 8, 9 und 10 bis 12 ist die Verschlussvorrichtung 1 dieses

Ausführungsbeispiels jeweils losgelöst von der Kammerwand 3 dargestellt. Die Fig. 6, 8 und 9 zeigen das Verschlussorgan 4 in der Öffnungsstellung, in der es die Öffnung 2 in diesem Ausführungsbeispiel vollständig freigibt und der

Verschlussorganträgerkörper 5 in Richtung 1 8, also hier auch in einer Richtung parallel zu seiner Längserstreckung 8 in das Gehäuse 9 eingefahren ist. Die Fig. 10, 1 1 und 12 zeigen die Schließstellung, in der das Verschlussorgan 4 in Richtung 1 7, also ebenfalls in einer Richtung parallel zur Längserstreckung 8 nach oben ausgefahren ist, um so die Öffnung 2 vollständig abzudecken. Fig. 7 zeigt den Schnitt entlang der Schnittlinie BB gemäß Fig. 6 und damit einen Horizontalschnitt durch das hier einstückig ausgebildete Joch 6 mit den beiden jeweils von einer Zylinderhohlraumwand 1 3 umgebenen Zylinderhohlräumen 10 und den beiden Führungselementaufnahmen 1 1 , durch welche jeweils ein

Führungselement 12 hindurchgeführt ist. Gut zu sehen ist in Fig. 7 auch die

Befestigung des Verschlussorganträgerkörpers 5 mittels der Trägerkörperfixierung 20 in der Trägerkörperaufnahme 14 des Jochs 6. In den Zylinderhohlräumen 10 ist jeweils ein Schnitt durch einen jeweils im Zylinderhohlraum 10 angeordneten Kolben 26 der jeweiligen Zylinder-Kolben-Antriebseinheit 7 zu sehen. In Fig. 7 ist auch gut die achsensymmetrische Anordnung der hier jeweils doppelt vorhandenen

Zylinderhohlräume 10 und Führungselementaufnahmen 1 1 zu erkennen.

Die Zylinder-Kolben-Antriebseinheiten 7, welche jeweils pneumatisch oder hydraulisch ausgeführt sein können, und für die Bewegung des Jochs 6 samt Verschlussorganträgerkörper 5 und Verschlussorgan 4 in den Richtungen 1 7 und 18 sorgen, sind besonders gut in den Schnittdarstellungen gemäß Fig. 8 und 1 1 zu erkennen. In diesen Schnittdarstellungen sieht man zunächst gut, dass die in das Joch 6 integrierten Zylinderhohlräume 10 in diesem Ausführungsbeispiel als Durchgangsbohrung bzw. Durchgangsöffnung ausgebildet sind. Sie sind jeweils einen kreiszylinderförmig ausgebildet. Zum Verschließen des oberen und unteren Endes des jeweiligen Zylinderhohlraums 10 ist in dem gezeigten

Ausführungsbeispiel jeweils ein Zylinderverschlusskörper 27 vorgesehen, welcher durch einen jeweiligen Sicherungsring 24 in seiner Lage fixiert ist. Durch den unteren Zylinderverschlusskörper 27 ist jeweils die Kolbenstange 25 hindurchgeführt. Diese ist an einem Ende, hier mittels einer Schraube 21 , am Gehäuse 9 fixiert. Am anderen Ende trägt die Kolbenstange 25 den im Zylinderhohlraum 10 angeordneten Kolben 26. Durch die Befestigung der Kolbenstange 25 am Gehäuse 9 ist in diesem

Ausführungsbeispiel der Kolben 26 gehäusefest montiert. Die Druckbeaufschlagung der zwischen dem Kolben 26 und den Zylinderverschlusskörpern 27 verbleibenden Arbeitsräume des Zylinderhohlraums 10 kann in an sich bekannter Art und Weise mittels flüssiger oder gasförmiger Druckmedien, wie z.B. Ol oder Luft, erfolgen. Die hierfür notwendigen Zuleitungen und Ableitungen sowie Ventile für das

Druckmedium sind hier nicht dargestellt, können aber, wie beim Stand der Technik an sich bekannt, ausgeführt werden. Durch entsprechende Druckbeaufschlagung wird jedenfalls aufgrund des starr am Gehäuse befestigten Kolbens das Joch 6 und damit das Verschlussorgan 4 in den Richtungen 17 und 18 und damit parallel zur Längserstreckung 8 bewegt.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Hohlraumlängsachsen 15 der

Zylinderhohlräume 10 parallel zur Längserstreckung 8 des Verschlussorganträgers 5 ausgerichtet. Das Gleiche gilt für die Führungselementaufnahmenlängsachsen 16 der Führungselementaufnahmen 1 1 . Somit sind in diesem Ausführungsbeispiel die Richtungen 17, 18, die Längserstreckung 8, die Hohlraumlängsachsen 15 und auch die Führungselementaufnahmenlängsachsen 16 alle zueinander parallel. L e g e n d e

den Hinweisziffern

Verschlussvorrichtung

Öffnung 17 Richtung

Kammerwand 18 Richtung

Verschlussorgan 19 Balgdichtung

Versen lussorganträgerkörper 25 20 Trägerkörperfixierung

Joch 21 Schraube

Zylinder-Kolben-Antriebseinheit 22 Dichtungskanal

Längserstreckung 23 Vertiefung

Gehäuse 24 Sicherungsring

Zylinderhohlraum 30 25 Kolbenstange

Führungselementaufnahme 26 Kolben

Führungselement 27 Zylinderverschlusskörper

Zylinderhohlraumwand 28 Gewindelöcher

Trägerkörperaufnahme 29 Zentrierstift

Hohlraumlängsachse 35 30 Zentrierbohrung

Führungselementauf nah men- 31 Führungsbuchse längsachse