Verschlusselement zum Verschließen einer Beladeöffnung eines

Innengehäuses eines CVD-Reaktors

Gebiet der Technik

[0001] Die Erfindung betrifft einen CVD-Reaktor mit einem gasdichten und evakuierbaren Reaktorgehäuse und einem darin angeordneten Innengehäuse, welches Mittel zum Einspeisen eines Prozessgases und Mittel zur Halterung eines im Innengehäuse mittels der Prozessgase zu behandelnden Substrates aufweist, wobei das Innengehäuse eine von einem Dichtelement eines Verschlusselementes verschließbare Beladeöffnung aufweist und das Dichtelement in seiner Verschlussstellung mit einer umlaufenden Dichtzone an einer auf der Außenseite des Innengehäuses um die Beladeöffnung umlaufenden Gegen- dichtzone anliegt.

Stand der Technik

[0002] Aus der US 2013/0101372 AI ist ein CVD-Reaktor bekannt, bei dem eine Prozesskammer, in der sich ein Gaseinlassorgan und ein Substrat tragender Suszeptor befindet, gegen den die Prozesskammer umgebenden Raum mit einem Gehäuse abgeschirmt ist. Das Gehäuse besitzt eine Beladeöffnung, die mit einem Verschlusselement verschließbar ist.

[0003] Aus der 6,273,664 Bl ist ein schwenkbares Verschlusselement einer Prozesskammer vorbekannt.

[0004] Die DE 10 2014 106 467 AI offenbart ein Verschlusselement mit einem Dichtelement, das um eine Schwenkachse schwenkbeweglich an einem Träger befestigbar ist. [0005] In einem CVD-Reaktor, insbesondere einem MOCVD-Reaktor, werden Beschichtungsschritte durchgeführt. Beispielsweise werden Substrate, die aus Silizium oder einer III- V- Verbindung bestehen, in der Prozesskammer des CVD-Reaktors mit einer oder mit mehreren Schichten beschichtet. Das Substrat ist bevorzugt ein einkristalliner Festkörper, auf dessen Oberfläche einkristallin ein oder mehrere, insbesondere III-V-Schichten abgeschieden werden. Hierzu wird der Suszeptor, der das Substrat trägt, auf eine Prozesstemperatur aufgeheizt. Die Prozesstemperaturen können im Bereich zwischen 1000°C und 1.200°C liegen, wobei die hohen Temperaturen insbesondere bei der Abschei- dung von Nitriden erreicht werden. Bei diesem Prozess werden als Prozessgase metallorganische Verbindungen, insbesondere von Elementen der III- Hauptgruppe in die Prozesskammer eingespeist. Die Elemente der V- Hauptgruppe werden als Hydride in die Prozesskammer eingespeist. Stickstoff wird beispielsweise als NH ₃ in die Prozesskammer eingespeist. Bei der Ab- Scheidung zerlegen sich die gasförmigen Ausgangsstoffe in der Gasphase oberhalb des Substrates und auf der Oberfläche des Substrates. Es entstehen sowohl auf der Oberfläche des Suszeptors als auch auf der Oberfläche einer die Prozesskammer umgebenden Wandung parasitäre Belegungen. Diese müssen von Zeit zu Zeit entfernt werden. Die Entfernung der parasitären Belegungen kann durch Trockenätzen erfolgen. Hierzu wird ein Ätzgas in die Prozesskammer eingespeist. Bei erhöhten Temperaturen werden die parasitären Belegungen mittels des Ätzgases in flüchtige Produkte umgewandelt, die mittels eines Trägergases aus der Prozesskammer entfernt werden können. Als Ätzgas kann Cl ₂ oder eine andere Halogenverbindung oder ein anderes Halogen verwendet werden. Es kann auch HCl verwendet werden. Zusammenfassung der Erfindung

[0006] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen anzugeben, mit denen die Ätzwirkung des Reinigungsgases nur auf den Bereich der Prozesskammer beschränkt ist.

[0007] Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Er- findung, wobei die Unteransprüche nicht nur vorteilhafte Weiterbildungen der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung darstellen, sondern auch eigenständige Lösungen der Aufgabe. Einzelne Merkmale der Unteransprüche sind mit einzelnen Merkmalen anderer Unteransprüche in beliebiger Weise kombinierbar.

[0008] Zunächst und im Wesentlichen wird vorgeschlagen, dass die Prozess- kammer durch ein im Reaktorgehäuse angeordnetes Innengehäuse gekapselt ist. Das Innengehäuse besitzt eine Beladeöffnung, die von einem Dichtelement eines Verschlusselementes verschließbar ist. Das Dichtelement besitzt eine Dichtfläche und eine die Dichtfläche umgebende Dichtzone. In einer Verschlussstellung, in der das Dichtelement die Beladeöffnung verschließt, liegt die Dichtzone an einer Gegendichtzone des Innengehäuses ein. Die Gegendichtzo- ne wird von einem Randbereich der Beladeöffnung ausgebildet. Die Gegendichtzone wird von der nach außen, also in den die Prozesskammer umgebenden Bereich gerichtete Fläche der Wandung des Innengehäuses ausgebildet. In der Verschlussstellung liegt das Dichtelement außen an der Gegendichtzone an. Es wird von einem Träger gehalten, der über mechanische Antriebsmittel derart verlagerbar ist, dass das Dichtelement von der Verschlussstellung in eine Offenstellung gebracht wird. Dabei entfernt sich das Dichtelement von der Beladeöffnung, so dass diese zur Be- und Entladung der Prozesskammer frei ist. Der Träger und das Dichtelement sind in dem die Prozesskammer, also das In- nengehäuse umgebenden Bereich des Reaktorgehäuses angeordnet. Es ist eine Vakuumpumpe vorgesehen, mit der das Reaktor gehäuse und die Prozesskam- mer evakuierbar sind. Insbesondere bei Druckgleichheit auf beiden Seiten des Dichtelementes verschließt das Dichtelement die Beladeöffnung gasdicht.

[0009] Ein weiterer Aspekt der Erfindung besteht darin, die Dichtheit des Dichtelementes in der Verschlussstellung zu erhöhen. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass das Dichtelement und zumindest eine Raumachse schwenkbeweglich am Träger befestigt sind. Unter Raumachsen werden die senkrecht aufeinander stehenden X-, Y- und Z- Achsen verstanden, die die drei Raumachsen angeben. Es ist insbesondere vorgesehen, dass eine Y-Achse in Richtung der Beladerichtung durch die Beladeöffnung gerichtet ist. Es ist insbesondere vor- gesehen, dass das Innengehäuse eine zylindrische Mantelwand aufweist. Diese zylindrische Mantelwand bildet die Beladeöffnung aus, so dass die Gegen- dichtzonen gewölbt sind. Das Dichtelement kann bei einer derartigen Ausgestaltung des Innengehäuses eine Dichtfläche aufweisen, die eine Zylindermantel-Innenfläche ausbildet. Die den Zylinder des Innengehäuses definierende Achse ist bevorzugt die Z-Achse. Die Beladeöffnung kann aber auch in einer ebenen Mantelwand angeordnet sein. Zur Vergrößerung der Dichtwirkung ist eine Befestigungsanordnung vorgesehen, die ein oder mehrere Elastikelemente aufweisen. Erfindungsgemäß wird das Dichtelement in zumindest einer Raumrichtung elastisch ausweichbar von einem Träger getragen. Das Dichtelement kann die Form meiner Dichtplatte aufweisen. Diese besitzt eine Erstreckungs- fläche, die gewölbt sein kann. Die Verlagerungsrichtung ist bevorzugt die Richtung einer Flächennormalen einer Tangentenfläche in der Flächenmitte des Dichtelementes. Die Befestigungsanordnung kann paarweise vorgesehen sein. Die zumindest eine, bevorzugt zwei Befestigungsanordnungen weisen jeweils ein Elastikelement auf, das in der Verschlussstellung eine Dichtkraft entfaltet. Mit der Dichtkraft wird die Dichtzone flächig gegen die Gegendichtzone beaufschlagt. Das erste Elastikelement wirkt somit bevorzugt in Richtung der Y- Achse. Es kann ein zweites Elastikelement vorgesehen sein, das eine Federwirkung entfaltet, die der Federwirkung des ersten Elastikelementes entgegenge- setzt ist. Beide Elastikelemente können in Richtung der Y-Achse axial hintereinander angeordnet sein und das Dichtelement in einer beidseitig abgefederten mittleren Neutralstellung halten. In der mittleren Neutralstellung entspricht eine erste Kraft, die von einem vorgespannten ersten Elastikelement auf das Dichtelement aufgebracht wird, einer zweiten Kraft, die vom zweiten Elastikelement auf das Dichtelement aufgebracht wird. Die beiden Kräfte sind einander entgegengerichtet, um das Dichtelement in der mittleren Neutralstellung zu halten. Bei einer Ausdehnung des Innengehäuses oder bei einer Annäherung des Dichtelementes an das Innengehäuse bildet sich eine Dichtkraft aus oder vergrößert sich eine Dichtkraft. Dabei vergrößert sich die vom ersten Elastikelement erzeugte Kraft. Die vom zweiten Elastikelement erzeugte Kraft verringert sich. Bevorzugt haben beide Elastikelemente dieselbe Federcharakteristik, also dieselbe Federsteifigkeit. Die bevorzugt zwei Befestigungsanordnungen sind in Richtung der X-Achse versetzt zueinander angeordnet und wirken parallel in Richtung der Y-Achse. Die Befestigungsanordnung kann einen Kopf und einen Schaft aufweisen. Der Schaft kann als Gewindeschaft ausgebildet sein. Es kann ein Halter vorgesehen sein, an dem der Kopf befestigt ist. Der Kopf liegt insbesondere an einer Anlagefläche an. Der Halter ist insbesondere vorgesehen, um das Dichtelement zu haltern. Es kann eine Befestigungsboh- rung vorgesehen sein, durch die der Schaft hindurchgesteckt ist. Die Befestigungsanordnung kann an einem Gelenkkopf befestigt sein, wobei dieser Gelenkkopf bevorzugt um zumindest eine Raumachse gegenüber dem Träger verstellbar ist. Die Befestigungsbohrung kann zwei voneinander wegweisende Anlageflächen miteinander verbinden. Die Anlageflächen können von Stützflä- chen gebildet sein und werden bevorzugt von Rändern der Befestigungsbohrung ausgebildet. An diesen Rändern können sich die Elastikelemente abstützen. Das erste Elastikelement kann sich an einer ersten Stützfläche auf der einen Seite der Befestigungsbohrung und das zweite Elastikelement an einer zweiten Stützfläche auf der anderen Seite der Befestigungsbohrung abstützen. Das erste Befestigungselement stützt sich bevorzugt darüber hinaus auch an dem Halter ab, so dass es komprimiert wird, wenn sich der Halter in Richtung auf den Gelenkkörper verlagert. Das zweite Elastikelement kann sich zusätzlich an einem fest mit dem Schaft verbundenen Körper abstützen, wobei dieser Körper auf der dem Kopf gegenüberliegenden Seite am Schaft befestigt ist. Bei dem Körper kann es sich um eine Schiebemuffe handeln, die in einer Führung des Gelenkkörpers verschieblich angeordnet ist.

[0010] In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass ein Kopf des Trägers eine Lagerbohrung aufweist, die sich in X-Richtung erstreckt. In dieser Lagerbohrung wird eine Lagerachse gelagert, die mit ihren beiden voneinander wegweisenden Enden aus der Lagerbohrung herausragt. Die Lagerachse lagert insbesondere mit den beiden voneinander wegweisenden Enden der Lager ach- se den Gelenkkörper, so dass der Gelenkkörper um die X-Achse verschwenkbar ist. Es sind bevorzugt Schwenkbegrenzungsmittel vorgesehen, um den

Schwenkwinkel des Gelenkkörpers um die X-Achse zu begrenzen. Die

Schwenkbegrenzungsmittel können Einstellmittel aufweisen oder von Einstellmitteln gebildet sein. Diese Einstellmittel können eine Einstellschraube aufweisen. Sie können aber auch Federelemente aufweisen, so dass sich der Gelenkkörper nicht nur anschlagbegrenzt, sondern auch federkraftbeaufschlagt aus einer einstellbaren mittleren Neutralstellung um die X-Achse schwenkver- stellen kann. An den beiden aus der Lagerbohrung herausragenden Enden der Lagerachse können diese oder weitere Einstellmittel angreifen. Es kann sich hierbei um eine Einstellschraube handeln. Die Einstellschraube kann radial - bezogen auf die Lagerachse - verstellt werden. Hierdurch lässt sich der Gelenkkörper in Richtung der Z- Achse verstellen. Da die beiden Verstellpunkte - bezogen auf die Y-Achse - versetzt zueinander sind, lässt sich durch die beiden Einstellschrauben auch der Neigungswinkel des Gelenkkörpers gegenüber der Y-Achse einstellen. Es ist besonders bevorzugt vorgesehen, dass der Einstellschraube ein elastisches Druckelement räumlich zugeordnet ist, wobei das elastisch wirkende Druckelement der Einstellschraube - bezogen auf die Lagerach- se - diametral gegenüberliegt. Das elastische Druckelement kann eine Druckschraube aufweisen, die ein Federelement beaufschlagt, welches sich auf der gegenüberliegenden Seite der Einstellschraube an der Lagerachse abstützt. Die Verstellmittel zur linearen Verstellung des Gelenkkörpers in Richtung Z- Achse beziehungsweise zur Verstellung der Neigungslage des Gelenkkörpers - bezogen auf die Y-Achse - können Schenkeln des Gelenkkörpers zugeordnet sein, wobei der Trägerkopf des Trägers zwischen den Schenkeln angeordnet ist. Der Gelenkkörper ist darüber hinaus Träger eines Halters. Der Halter kann mittels der Befestigungsanordnung in Richtung der Y-Achse elastisch gegenüber dem Gelenkkörper verlagert werden. Da zwei Befestigungsanordnungen vorgesehen sind, die - bezogen auf die Y-Achse - jeweils in X-Richtung von der Y-Achse beabstandet sind, lässt sich durch unterschiedliche Linearverlagerungen der Befestigungsanordnungen in Y-Richtung eine Neigungs Verstellung des Halters um die Z- Achse erreichen. [0011] In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Dichtelement auf den Halter beziehungsweise einen vom Halter gehalterten Zwischenträger aufsteckbar ist. Das Dichtelement besteht bevorzugt aus einem Werkstoff, der gegen hohe Temperaturen beständig ist, beispielsweise aus einem beschichteten Graphit. Der Gelenkkörper und der Halter können aus ei- nem Metall bestehen. Der fest mit dem Halter verbundene Zwischenträger kann ein Isolationskörper sein, der den Halter thermisch gegenüber dem Dichtelement isoliert. Es kann eine Rastverbindung vorgesehen sein, mit der das Dichtelement an der Träger- beziehungsweise Halteanordnung befestigt ist. Hierzu kann das Dichtelement eine Auflaufschräge mit einem Rastvorsprung aufweisen. Die Auflaufschräge befindet sich bevorzugt auf der von der Dichtfläche wegweisenden Seite des Dichtelementes. Der Halter oder ein am Halter befestigtes Böckchen kann einen federbeaufschlagten Raststift aufweisen, dessen Rastkopf beim Aufstecken des Dichtelementes auf dem Zwischenträger an der Auflaufschräge entlang gleitet und den Rastvorsprung überläuft. Das Auf- stecken des Dichtelementes auf den Zwischenträger erfolgt in Richtung der Z- Achse, also in einer Tangentialrichtung bezogen auf die Dichtfläche.

[0012] In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass zumindest einige der Einstellmittel über ein Einstellwerkzeug, beispielsweise ein

Schraubwerkzeug, verstellbar sind. Die Verstellung kann von der Seite des Halters beziehungsweise des Zwischenträgers her erfolgen, die normalerweise vom Dichtelement abgedeckt ist. Um die Verstellung der Einstellmittel zu ermöglichen, kann das Dichtelement gegen ein im Wesentlichen baugleiches Einstellelement ausgetauscht werden, welches Schraubwerkzeug-Durchtritts- Öffnungen aufweist, durch die die Einstellwerkzeuge hindurchgreifen können, um die Neigungslage des Gelenkkörpers beziehungsweise des Halters einzustellen beziehungsweise die Federelemente zu spannen oder zu entspannen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

[0013] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen: schematisch den Aufbau eines MOCVD-Reaktors,

Fig. 2 den Ausschnitt II in Figur 1,

Fig. 3 perspektivisch ein Verschlusselement 10, welches ein an einem

Träger 12 befestigtes Dichtelement 11 aufweist, mit dem eine Beladeöffnung 7 eines Innengehäuses 2 verschließbar ist,

Fig. 4 perspektivisch das Verschlusselement 10 teilweise aufgebrochen, Fig. 5a eine erste Explosionsdarstellung der wesentlichen Elemente des Verschlusselementes 10,

Fig. 5b eine zweite Explosionsdarstellung der wesentlichen Elemente des Verschlusselementes 10,

Fig. 6 eine Draufsicht auf das Verschlusselement,

Fig. 7 den Schnitt gemäß der Linie VII- VII in Figur 6,

Fig. 8 eine rückwärtige, teilweise aufgebrochene Darstellung des Verschlusselementes 10,

Fig. 9 den Schnitt gemäß der Linie IX-IX in Figur 6,

Fig. 10 eine Darstellung des Verschlusselementes 10, teilweise aufgebrochen,

Fig. 11 den Schnitt gemäß der Linie XI-XI in Figur 6,

Fig. 12 eine Darstellung gemäß Figur 10, jedoch mit einem anderen

Aufbruch, wobei das Dichtelement 11 nur gestrichelt angedeutet ist,

Fig. 13 den Schnitt gemäß der Linie XIII-XIII in Figur 6,

Fig. 14 eine Darstellung gemäß Figur 10, jedoch mit einem anderen

Aufbruch, Fig. 15 eine Darstellung gemäß Figur 8, jedoch mit gestrichelt dargestelltem Gelenkkörper 14 und

Fig. 16 ein Einstellelement 15, das gegen ein Dichtelement 11 austauschbar ist.

Beschreibung der Ausführungsformen [0014] Die Figur 1 zeigt schematisch den Aufbau eines MOCVD-Reaktors, der ein gasdichtes Reaktorgehäuse 1 aufweist, das eine Beladeöffnung 8 enthält, die von einer Tür 9 verschließbar ist. Außerhalb der Tür 9 befindet sich Atmosphärendruck. Innerhalb des Reaktorgehäuses 1 kann ein einstellbarer Subat- mosphärendruck herrschen. Hierzu ist eine in den Zeichnungen nicht darge- stellte Vakuumpumpe vorgesehen.

[0015] Innerhalb des Reaktorgehäuses 1 befindet sich ein Innengehäuse 2, welches die sich im Innengehäuse befindende Prozesskammer gegen die Umgebung des Innengehäuses 2 gasdicht verschließt. Innerhalb des Innengehäuses 2 befindet sich ein Gaseinlassorgan 4 zum Einleiten von Prozessgasen, die von außen über eine Gaszuleitung 3 zugeführt werden. Innerhalb der Prozesskammer befindet sich darüber hinaus ein beheizbarer Suszeptor 5, der das zu beschichtende Substrat trägt.

[0016] Die Figur 2 zeigt vergrößert eine Beladeöffnung 7 in einer zylinderförmigen Wand des Innengehäuses 2. Die Beladeöffnung 7 ist auf der nach außen weisenden Seite des Innengehäuses 2 von einer Gegendichtzone T umgeben. An dieser Gegendichtzone T liegt in einer Verschlussstellung eine Dichtzone 10' eines Dichtelementes 11 eines Verschlusselementes 10 an. Die Dichtverbindung 10', T ist zumindest dann im Wesentlichen gasdicht, wenn im Innengehäuse 2 derselbe Druck herrscht, der auch in dem das Innengehäuse 2 umge- benden Volumen des Reaktorgehäuses 1 herrscht. Mit S ist eine Symmetrieachse angedeutet, die durch das Gaseinlassorgan 4 und das Zentrum des Suszep- tors 5 verläuft. Um diese Symmetrieachse S bildet das Innengehäuse 2 eine zylindrische Mantelwand aus, in der die Beladeöffnung 7 angeordnet ist. [0017] Das Dichtelement 11 wird von einem Träger 12 getragen. Der Träger 12 ist mit einer nicht dargestellten mechanischen Halteeinrichtung innerhalb des Reaktorgehäuses 1 zwischen zwei Positionen verstellbar. In einer Verschlussstellung verschließt das Dichtelement 11 die Beladeöffnung 7. In einer Offenstellung ist die Beladeöffnung 7 zum Beladen beziehungsweise Entladen des Suszeptors 5 mit einem Substrat 6 geöffnet. Ein nicht dargestellter Greifer oder dergleichen kann durch die miteinander fluchtenden Beladeöffnungen 7, 8 hindurchgreifen, wenn das Verschlusselement 10 und die Tür 9 jeweils ihre Offenstellungen einnehmen. Beim Öffnen entfernt sich das Verschlusselement 10 und insbesondere ein vom Verschlusselement 10 ausgebildetes Dichtelement 11 von der Symmetrieachse S.

[0018] Der Träger 12 besitzt einen Trägerkopf 13, der eine Lagerbohrung aufweist. Die Lagerbohrung 18' erstreckt sich in einer X-Richtung. In der Lagerbohrung 18' steckt eine Lagerachse 18, die eine Lagerwelle ausbildet. Die Lagerachse 18 besitzt zwei freie Enden, die jeweils aus einem Endabschnitt der Lagerbohrung 18' herausragen. Jedes der beiden Enden der Lagerachse 18 steckt in einer länglichen Öffnung eines Schenkels 14' eines Gelenkkörpers 14. Wie die Figur 7 zeigt, greifen an den freien Enden der Lager achse 18 in den Schenkeln 14' angeordnete verstellbare Halteelemente an. In einer Bohrung, die quer zur X-Achse, im Ausführungsbeispiel in Richtung der Z- Achse ausgebil- det ist, steckt eine Einstellschraube 20. Es handelt sich hier um eine Madenschraube, deren freies Ende des Schaftes an der Lagerachse 18 anliegt. Durch Verstellen der Einstellschraube 20 lässt sich der Lagerpunkt in einer Richtung Sz in Richtung der Z- Achse verstellen. In einer mit der Bohrung, in der die Einstellschraube 20 steckt, fluchtenden Bohrung steckt ein Federelement 22, welches von einer Druckschraube 21 beaufschlagt wird. Das Federelement 22 stützt sich auf der der Einstellschraube 20 gegenüber liegenden Seite an der Lagerach- se 18 ab. Die Einstellschraube 20 beziehungsweise die Druckschraube 21 können in Richtung der Z-Achse verstellt werden. Durch Verstellen der Einstellschraube 20 lässt sich die Lage des Endabschnittes der Lagerachse 18 in dem Langloch 19 des Schenkels 14' verstellen und damit die Position des Gelenkkörpers 14 an zwei voneinander verschiedenen Stellen in Z-Richtung. Durch eine unterschiedliche Vergrößerung oder Verkleinerung der Einstellwege Sz kann der Neigungswinkel um die Y-Achse verstellt werden.

[0019] Im Gelenkkörper 14 befinden sich etwa mittig zwei in den Figuren 13 und 14 dargestellte Einstellelemente 24, 26, mit denen eine Schwenkbegrenzung des Gelenkkörpers 14 um die X-Achse eingestellt werden kann. Ein An- schlagstößel 24 besitzt ein Anschlagende 24', das sich am Trägerkopf 13 abstützen kann. Ein Federelement 25, welches als Wendelgang-Druckfeder ausgebildet ist, stützt sich mit einem Ende an einer Anschlagfläche 13' des Trägerkopfes 13 und mit einem zweiten Ende an einem Druckende 24" des Anschlagstößels 24 ab. Am Druckende 24" greift darüber hinaus ein Schaftende 26" einer Druckschraube 26 an, deren Kopf 26' eine Sehr aubwerkzeug-Eingriffs Öffnung besitzt, mit der die Druckschraube 26 und damit der Abstand des Anschlagendes 24' von der Anschlagfläche 13' verstellt werden kann. Die Abstände sind in der Figur 13 mit a und a' dargestellt. Mit den beiden Federelementen 25 wird der Gelenkkörper 14 in einer Mittelstellung gehalten. Aus dieser Mittelstellung kann der Gelenkkörper 14 um die X-Achse verschwenkt werden, bis die Anschlagenden 24' die Anlagefläche 13' berühren. [0020] Die Figur 14 zeigt zusätzlich Bohrungen 27 des Halters 15 und Bohrungen 28 eines vom Halter getragenen Zwischenträgers 16. Durch die Bohrungen 27, 28 kann ein Schraubwerkzeug hindurchgesteckt werden, um die Druckschrauben 26 zu verstellen. [0021] Der Halter 15 ist gegenüber dem Gelenkkörper 14 in Y-Richtung linear verlagerbar. Hierzu sind zwei in der XY-Ebene parallel versetzt zueinander angeordnete Feder- oder Befestigungsanordnungen 30 vorgesehen. Die Federoder Befestigungsanordnungen 30 erstrecken sich in der Y-Achse. Jede der Feder- oder Befestigungsanordnungen 30 besitzt einen Schaft 31", mit dem der Halter 15 mit dem Gelenkkörper 14 schiebebeweglich verbunden ist. Ein Kopf 31' der Feder- oder Befestigungsanordnung 30 stützt sich am Halter 15 ab. Der mit dem Kopf 31' verbundene Schaft 31"durchgreift eine Befestigungsbohrung 34 des Gelenkkörpers 14. Beim Ausführungsbeispiel durchgreift der Schaft 31" auch eine Befestigungsbohrung 32 des Halters 15, wobei auf beiden Seiten der Befestigungsbohrung 32 jeweils eine Scheibe 33, 33' vorgesehen ist. An der

Scheibe 33' beziehungsweise am Halter 15 stützt sich ein erstes Elastikelement 38 ab, bei dem es sich um einen Gummibuffer oder um eine Wendelgang- Druckfeder handeln kann. Das Elastikelement 38 stützt sich darüber hinaus am Gelenkkörper 14 ab. Beim Ausführungsbeispiel stützt sich das erste Elastikele- ment 38 an einem zum Halter 15 hin weisenden Rand der Befestigungsbohrung 34 ab. Der diesem Rand gegenüberliegende Rand der Befestigungsbohrung 34 bildet eine Abstützfläche, an der sich ein zweites Elastikelement 39 abstützt, welches auf der anderen Seite von einer Schiebemuffe 35 wider-gelagert wird. Die Schiebemuffe 35 kann ein Innengewinde aufweisen, in das ein Außenge- winde des Schaftes 31" eingeschraubt ist. Der Kopf 31' und der Schaft 31" können von einer Schraube 31 gebildet sein. [0022] Die Schiebemuffe 35 ist in Richtung der Y-Achse in einer Lagerausneh- mung 37 des Gelenkkörpers 14 verschieblich. Zur Drehsicherung der Schiebemuffe 35 ist eine Führungsschraube 36 vorgesehen, die in eine Aussparung der Schiebemuffe 35 eingreift. [0023] Als Folge der beiden in entgegengesetzten Richtungen wirkenden Elastikelemente 38, 39 ist das Dichtelement 11, dessen Halter 15 und/ oder die Schiebemuffe 35 schwimmend gegenüber dem Gelenkkörper 14 gelagert. Die Erfindung betrifft somit auch ein schwimmend gegenüber dem Träger 12 gelagertes Dichtelement 11, welches aus einer einstellbaren, mittleren Position ge- gen die elastische Rückstellkraft jeweils eines Elastikelementes 38, 39 gegenüber dem Träger 12 in einer Dichtrichtung verlagerbar ist, wobei die Dichtrichtung insbesondere eine Radialrichtung auf die Achse S in Figur 1 ist. In einer bevorzugten Weiterbildung ist eine zweifache schwimmende Lagerung vorgesehen, so dass das Dichtelement 10 auch eine geringfügige Verschwenkung in einer Ebene durchführen kann, in der die Dichtrichtung verläuft.

[0024] Der Kopf 31' besitzt eine Schraubwerkzeug-Eingriffsöffnung, mit der die Schraube 31 gedreht werden kann. Hierdurch wird die Spannung der Elastikelemente 38, 39 entweder vergrößert oder verkleinert. Durch Drehen der Schraube 31 kann der Halter 15 an zwei voneinander verschiedenen Stellen li- near in Richtung Sy verlagert werden. Durch eine unterschiedliche Verstellung des Halters 15 mittels der beiden Befestigungsanordnungen 30 lässt sich die Neigungslage des Halters 15 um die Z- Achse einstellen. Es handelt sich hier um eine beidseitig abgefederte, schwimmende Lagerung des Halters 15 gegenüber dem Gelenkkörper 14. Das erste Elastikelement 38 kann in der Endphase des Verschließens der Beladeöffnung 7 mit dem Dichtelement 11 gespannt werden, so dass es eine Dichtkraft entfaltet, mit der die Dichtzone 10' an der Gegen- dichtzone T anliegt. [0025] Der Zwischenträger 16 ist aus einem wärmeisolierenden Material gefertigt und fest mit dem Halter 15 verbunden. Zwei Böckchen 17 sind ebenfalls fest mit dem Halter 15 verbunden. Hierzu sind die Böckchen 17 am Schenkel 15' des Halters 15 angeschraubt. [0026] Innerhalb der Böckchen 17 befinden sich die in der Figur 9 dargestellten Rastmittel, mit denen das auf dem Zwischenträger 16 aufgesteckte Dichtelement 11 in einer Rastverbindung gehalten wird. Ein Befestigungssteg 40 des Dichtelementes 11 greift dabei in eine Befestigungsnische 41 des Zwischenträgers 16 ein, wobei der Befestigungssteg 40 eine Auflaufschräge 44 und einen sich daran anschließenden Rastvorsprung 43 ausbildet. Innerhalb des Böckchens 17 befindet sich eine Lagerbohrung 48, die einen Führungsabschnitt 48' ausbildet. Im Führungsabschnitt 48' ist ein Kolbenabschnitt 47 eines Raststiftes 46 verlagerbar. Der Raststift 46 bildet einen Rastkopf 46' aus, der in der Raststellung den Rastvorsprung 43 hintergreift. Der Kolbenabschnitt 47 wird von einem Federelement 49 beaufschlagt, welches sich an einer Druckschraube 50 abstützt.

[0027] Der Zwischenträger 16 bildet eine Anschlagzone 42 in Form einer Nase aus, an der sich der Befestigungssteg 40 abstützen kann, wobei die Anschlagzone 42 dem Raststift 46 gegenüberliegt. [0028] Es ist ein Anschlagfortsatz 52 vorgesehen, der dem Dichtelement 11 zugeordnet ist und der sich am Zwischenträger 16 abstützen kann.

[0029] Das Dichtelement 11 besitzt eine geschlossene Dichtfläche, die von der Dichtzone 10' umgeben ist. [0030] Ein gegen das Dichtelement 11 austauschbares, mit dem Dichtelement 11 ansonsten baugleiches Einstellelement 55 besitzt Schraubwerkzeug- Durchstecköffnungen 56, 57, die mit Lagerbohrungen fluchten, mit denen die Einstellschrauben 26 und 31 verstellt werden können. Zur Einstellung der ver- schiedenen Neigungswinkel beziehungsweise Neigungswinkel-Begrenzungen wird anstelle des Dichtelementes 11 das Einstellelement 55 verwendet.

[0031] Auf der von der Dichtfläche wegweisenden Seite des Dichtelementes 11 besitzt das Dichtelement 11 eine Zentrierrippe 54. Die Zentrierrippe 54 greift in eine Zentrierausnehmung 53 ein, die etwa in der Mitte des Halters 15 angeord- net ist.

[0032] Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenständig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinatio- nen auch kombiniert sein können, nämlich:

[0033] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Dichtelement 11 um zumindest eine Raumachse X, Y, Z neigungs verstellbar und/ oder schwenkbeweglich und/ oder in Richtung einer der Raumachsen X, Y, Z elastisch ausweichbar an einem Träger 12 befestigt ist. [0034] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Dichtelement 11 um zumindest zwei Raumachsen X, Y, Z und/ oder um die drei Raumachsen X, Y, Z zumindest neigungs verstellbar, und/ oder schwenkbeweglich an dem Träger 12 befestigt ist. [0035] Ein CVD-Reaktor, der gekennzeichnet ist durch zumindest ein erstes Elastikelement 38 einer Feder- und/ oder Befestigungsanordnung 30, das in der Verschlussstellung eine Dichtkraft entfaltet, mit der die Dichtzone 10' flächig gegen die Gegendichtzone T beaufschlagt wird. [0036] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Dichtkraft die Summe aus einer vom ersten Elastikelement 38 erzeugten ersten Kraft und einer von einem zweiten Elastikelement 39 erzeugten zweiten Kraft ist, wobei die erste Kraft der zweiten Kraft entgegengerichtet ist und beide Elastikelemente 38, 39 in einer Neutralstellung gegeneinander vorgespannt sind. [0037] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Beladeöffnung 7 in einem gewölbten Abschnitt des Innengehäuses 2 angeordnet ist und das Dichtelement 11 eine gewölbte Dichtfläche aufweist, deren Rand die Dichtzone 10' ausbildet und/ oder dass die Beladeöffnung 7 einer zylinderförmigen Wand des Innengehäuses 2 zugeordnet ist, wobei der Träger 12 in einer Ebene verlagerbar ist, auf der die Konturachse der zylinderförmigen Gehäusewandung senkrecht steht.

[0038] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Feder- und/ oder Befestigungsanordnung 30 ein zweites Elastikelement 39 aufweist, dessen Federrichtung der Federrichtung des ersten Elastikelementes 38 entge- gengerichtet ist.

[0039] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Feder- und/ oder Befestigungsanordnung 30 einen Kopf 31' und einen Schaft 31" aufweist, wobei der Kopf 31' an einem Halter 15 befestigt ist und der Schaft 31" in einer Befestigungsbohrung 34 eines Gelenkkopfes 14 steckt und sich die Elasti- kelemente 38, 39 an voneinander wegweisenden insbesondere von Rändern der Befestigungsbohrung 34 gebildeten Stützflächen 34', 34" abstützen, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass sich das erste Elastikelement 38 am Halter 15 abstützt und das zweite Elastikelement 39 am Schaft 31" und insbesondere an einem mit dem Schaft 31" verbundenen Körper, beispielsweise einer Schie- bemuffe 35, abstützt.

[0040] Ein CVD-Reaktor, der gekennzeichnet ist durch eine Lagerachse 18, mit der das Verschlusselement 10 um eine X-Achse schwenkbar ist.

[0041] Ein CVD-Reaktor, der gekennzeichnet ist durch Schwenkbegrenzungsmittel 24, 25, mit denen der Schwenkwinkel des Verschlusselementes 10 um die X-Achse begrenzbar ist und/ oder mit denen das Verschlusselement 10 elastisch verstellbar in einer Ausgangsstellung fixierbar ist.

[0042] Ein CVD-Reaktor, der gekennzeichnet ist Einstellmittel 20 zur Einstellung einer Neigungsstellung des Verschlusselementes 10 um die Y-Achse, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Einstellmittel 20 Einstellschrauben sind, die sich auf Endabschnitten der Lagerachse 18 abstützen.

[0043] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass den Einstellmitteln 20 elastische Druckelemente 21, 22 räumlich zugeordnet sind, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die elastischen Druckelemente 21, 22 - bezogen auf die Lager achse 18 - den Einstellmitteln 20 gegenüberliegen und eine elastische Verstellung der Neigungslage des Verschlusselementes 10 um die Y- Achse zulassen.

[0044] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Feder- und/ oder Befestigungsanordnung 30 eine Neigungsverstellung des Verschlus- selementes 10 um die Z-Achse zulässt und/ oder dass das Dichtelement 11 in einer Dichtrichtung schwimmend gegenüber dem Träger 12 gelagert ist.

[0045] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Dichtelement 11 über eine lösbare Verbindung 43, 44, 46 mit einem Zwischenträger 16 verbunden ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass der Zwischenträger 16 ein Isolationskörper ist und mit einem Halter 15 verbunden ist, der gegenüber dem Träger 12 um die zumindest eine Raumachse X, Y, Z schwenkbeweglich ist.

[0046] Ein CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Dichtele- ment 11 gegen ein im Wesentlichen baugleiches Einstellelement 55 austauschbar ist, wobei das Einstellelement 55 Schraubwerkzeug-Durchstecköffnungen 56, 57 aufweist zur Betätigung von Einstellschrauben, mit denen die Neigungslage eines Zwischenträgers 16 und/ oder eines Halters 15 gegenüber dem Träger 12 verstellbar ist. [0047] Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/ beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender An- meidung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/ oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Er- findung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorstehenden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbesondere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden kön- nen.

Liste der Bezugszeichen

1 Reaktorgehäuse 22 Federelement

2 Innengehäuse 23 Druckstift

3 Gaszuleitung 24 Anschlagstößel

4 Gaseinlassorgan 24' Anschlagende

5 Suszeptor 24" Druckende

6 Substrat 25 Federelement

7 Beladeöffnung 26 Druckschraube

7 Gegendichtzone 26' Kopf

8 Beladeöffnung 26" Schaftende

9 Tür 27 Bohrung

10 Verschlusselement 28 Bohrung

10' Dichtzone 29 Bef estigungs schraube

11 Dichtelement 30 Bef estigungs anor dnung

12 Träger 31 Schraube

13 Trägerkopf 31' Kopf

13' Anlagefläche 31" Schaft

14 Gelenkkörper 32 Befestigungsbohrung

14' Schenkel 33 Schulter

15 Halter 33' Scheibe

15' Schenkel 34 Befestigungsbohrung

16 Zwischenträger / 34' Stützflächen

Isolationskörper 34" Stützflächen

17 Böckchen 35 Schiebemuffe

18 Lagerachse 35' Führungsnut

18' Lagerbohrung 36 Führungsschraube

19 Langloch 37 Lagerausnehmung

20 Einstellschraube 38 erstes Elastikelement

21 Druckschraube 39 zweites Elastikelement Befestigungssteg Drehbewegung Befestigungsnische Symmetrieachse Anlagezone Einstellweg Rastvorsprung Einstellweg Auflaufschräge X Achse

Befestigungsschulter Y Achse

Raststift Z Achse

' Rastkopf

Kolbenabschnitt

Lagerbohrung

' Führungsabschnitt

Federelement

Druckschraube

Federelement

Anschlagfortsatz

Zentrierausnehmung

Zentrierrippe

Einstellelement

Schraubwerkzeug- Durchstecköffnung