Die Erfindung betrifft ein Koordinatenmeßgerät mit einem Taststift zum Antasten eines Werkstücks. Ferner betrifft die Erfindung einen Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät, wobei der Tastkopf zur Halterung des Taststiftes und zur Registrie- rung eines Kontakts zwischen Taststift und Werkstück vorgese- hen ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mittels eines Koordinatenmeßgerä- tes.

Herkömmliche Koordinatenmeßgeräte weisen eine Werkstückhalte- rung zur Anbringung eines zu vermessenden bzw. anzutastenden Werkstücks und einen bezüglich der Werkstückhalterung räum- lich verfahrbaren Tastkopf auf. An dem Tastkopf ist ein Tast- stift in einer Ruhelage bezüglich des Tastkopfes gehaltert, wobei der Tastkopf Auslenkungen des Taststiftes aus seiner Ruhelage registiert. Zur Bestimmung von Koordinaten einer Oberfläche des Werkstücks wird der Tastkopf bezüglich der Werkstückhalterung räumlich verfahren, bis eine Spitze des Taststiftes mit der Oberfläche des Werkstücks in Berührungs- kontakt kommt. Hierzu wird die Spitze des Taststiftes so lange auf die Oberfläche des Werkstücks zubewegt, bis die Berührung des Werkstücks durch die Tastspitze von dem Tast- kopf über eine Auslenkung der Tastspitze aus ihrer Ruhelage registriert wird. Sodann werden die Relativposition des Tast- kopfes bezüglich der Werkstückhalterung und damit die Koordi- naten der Werkstückoberfläche in einem wählbaren Koordinaten- system ermittelt. Es können auf ähnliche Weise weitere Koor- dinaten von Oberflächenpunkten des Werkstücks ermittelt werden.

Im Hinblick auf eine schnelle Abtastung der Werkstückoberflä- chen sollte eine Annäherung der Tastspitze an die Werkstück- oberfläche durch eine schnelle Relativbewegung zwischen Tast- kopf und Werkstückhalterung erfolgen. Allerdings muß diese Annäherung auch vorsichtig erfolgen, um zu vermeiden, daß Komponenten des Tastkopfes und der Tastspitze beschädigt werden, wenn die Bewegung des Tastkopfes relativ zu dem Werk- stück beim Kontakt mit demselben nicht schnell genug gebremst werden kann.

Deshalb erfolgt die Annäherung der Tastspitze an das Werk- stück unter Beobachtung eines Benutzers, der mit dem Auge die Annäherung der Tastspitze an das Werkstück registrieren und daraufhin die Annäherungsgeschwindigkeit verzögern kann.

Ferner wählt der Benutzer auch mit dem Auge die Oberflächen- teile bzw. Geometrieelemente des Werkstücks aus, welche aktu- ell angetastet werden sollen. Hierzu blickt der Benutzer bei herkömmlichen Koordinatenmeßgeräten mit seinem Auge unmit- telbar auf die Tastspitze und das Werkstück.

Bei miniaturisierten Werkstücken und komplizierten Werkstück- geometrien ist die direkte Beobachtung von Tastspitze und Werkstückoberfläche für den Benutzer unter Umständen mühsam oder gar unmöglich.

Aus EP 0 614 517 Bl ist ein Koordinatenmeßgerät bekannt, bei dem der Benutzer nicht mit dem freien Auge auf Tastspitze und Werkstück blickt, sondern hierzu auf einen Monitor blickt, der ein Bild der Umgebung der Tastspitze darstellt. Zur Auf- nahme des Monitorbildes trägt das Koordinatenmeßgerät neben dem Tastkopf eine Kamera mit einem Objektiv, welche relativ zueinander derart ausgerichtet sind, daß die Kamera ein Bild der Tastspitze und des Bereichs der Werkstückoberfläche lie- fert, an dem sich die Tastspitze annähert.

Es hat sich gezeigt, daß sich der Aufbau dieses bekannten Koordinatenmeßgerätes an bestimmte Anwendungen nicht befrie- digend anpassen läßt.

Demgemäß ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Koordinatenmeßgerät mit einer Beobachtungsoptik zum Beobach- ten der Tastspitze vorzuschlagen, welches für weitere Anwen- dungsformen geeignet ist.

Ferner ist es eine Aufgabe der Erfindung einen Tastkopf für ein solches Koordinatenmeßgerät vorzuschlagen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, einen solchen Tastkopf vorzu- schlagen, der eine zuverlässige Beobachtung der Tastspitze oder/und eine stärkere Miniaturisierung des Tastkopfes ermög- licht. Ferner ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein entsprechendes Verfahren zum Antasten eines Werkstückes anzu- geben.

Die Erfindung geht hierzu aus von einem Tastkopf mit einem Tastkopfchassis, welches eine tragende Struktur für Komponen- ten des Tastkopfes bildet und an dem Koordinatenmeßgerät fest anbringbar ist. Hierbei ist an dem Tastkopf ferner eine Tast- stifthalterung vorgesehen, an welcher ein Taststift zur Anta- stung des Werkstücks anbringbar ist und welche bezüglich des Tastkopfchassis aus einer Ruhelage auslenkbar ist. Zur Erfas- sung einer Auslenkung der Taststifthalterung bezüglich des Tastkopfchassis ist ein Auslenkungsmeßsystem vorgesehen, und um einem Benutzer die Beobachtung der Taststiftspitze oder/und einer Umgebung der Taststiftspitze sowie eine Annäherung der Taststiftspitze an das Werkstück zu ermögli- chen, ist an dem Chassis ferner eine Beobachtungsoptik ange- bracht.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß die Anbrin- gung von Beobachtungsoptik und Tastkopf nebeneinander bei dem vorangehend beschriebenen herkömmlichen Koordinatenmeßgerät

zu geometrischen Einschränkungen führt und insbesondere eine Miniaturisierung des Systems aus Tastkopf und Beobachtungsop- tik erschwert. Der Erfindung liegt deshalb die Idee zugrunde, die Beobachtungsoptik in den Tastkopf zu integrieren, so daß die Beobachtungsoptik durch den Tastkopf"hindurchschaut".

Die Beobachtungsoptik ist dabei so ausgelegt, daß sie auch eine Umgebung der Taststiftspitze abbildet. Hierbei weist der abgebildete Bereich in der Objektebene der Beobachtungsoptik einen Durchmesser auf, der größer ist als ein Durchmesser eines an der Tastspitze zur Berührung des Werkstücks vorge- sehenen Berührkörpers. Der Durchmesser des abgebildeten Be- reichs ist hierbei vorzugsweise ein Vielfaches des Durchmes- sers des Berührkörpers, insbesondere mehr als ein Fünffaches, Zehnfaches oder stärker bevorzugt gar mehr als ein Zwanzig- faches hiervon.

Die Abbildungsoptik ist ferner derart ausgelegt, daß sie ein kontrastreiches Bild eines Werkstücks gewinnen kann, wenn dieses in die Nähe der Taststiftspitze gelangt. Gegebenen- falls ist hierzu auch eine Beleuchtungseinrichtung bereitzu- stellen, um das Werkstück in der Umgebung der Taststiftspitze zu beleuchten, wobei diese Beleuchtung auch durch die Be- obachtungsoptik selbst hindurch erfolgen kann.

Der erfindungsgemäße Tastkopf zeichnet sich dann dadurch aus, daß ein Querträger, also eine tragende Komponente des Tast- kopfes, welche sich quer zur Erstreckungsrichtung des Tast- stiftes erstreckt, im Strahlengang der Beobachtungsoptik liegt. Diese sich quer erstreckende tragende Komponente kann insbesondere in dem Kraftfluß zwischen der Taststifthalterung und dem Koordinatenmeßgerät und insbesondere in dem Kraftfluß zwischen Taststifthalterung und Chassis liegen und Teil der Taststifthalterung oder/und des Chassis oder/und einer weite- ren zwischen Chassis und Taststifthalterung vorgesehenen Komponente sein.

Daß die sich quer erstreckende tragende Komponente im Strah- lengang der Beobachtungsoptik angeordnet ist, bedeutet hier, daß Linien des geometrischen Strahlengangs zwischen einer Fokalebene der Beobachtungsoptik, in der beispielsweise die Taststiftspitze anordenbar ist, und einer Eintrittslinse der Beobachtungsoptik diese sich quer erstreckende Komponente schneiden. Es ist dieser Querträger somit prinzipiell dazu geeignet, die Bildebene der Beobachtungsoptik wenigstens teilweise zu verdecken. Um gleichwohl die gewünschte Beobach- tungsmöglichkeit durch die Beobachtungsoptik zu gewährlei- sten, ist der Querträger deshalb wenigstens bereichsweise lichtdurchlässig ausgebildet.

Mittels der Beobachtungsoptik soll somit zum einen die Spitze des Taststiftes und zum anderen eine Umgebung derselben be- obachtbar sein. Hierzu ist die Beobachtungsoptik auf eine Länge des Taststiftes, und damit beispielsweise auf einen Abstand zwischen dem Querträger und der Spitze des Tast- stiftes, abgestimmt, und zwar derart, daß die Spitze des Taststiftes in der Nähe einer Objektebene der Beobachtungs- optik liegt. Insbesondere ist dies dann der Fall, wenn für einen Betrag eines Verhältnisses von einem ersten Abstand Dl zwischen dem Querträger und der Objektebene zu einem zweiten Abstand D2 zwischen dem Querträger und der Spitze des Tast- stiftes in einem Bereich von 0,5 bis 2,0, vorzugsweise 0,75 bis 1,4 und weiter bevorzugt 0,85 bis 1,2 liegt.

Dies wird vorzugsweise dadurch erreicht, daß der Querträger selbst aus einem strahlungstransparenten Material gefertigt ist. Besonders bevorzugt ist es hierbei, den Querträger selbst aus Glas zu fertigen.

Alternativ ist es hierzu vorzugsweise ebenfalls möglich, den Querträger mit einer oder mehreren Ausnehmungen derart zu versehen, daß seine tragende Funktion einerseits erhalten

bleibt und andererseits ausreichend Durchtrittsmöglichkeiten für Strahlung zwischen der Objektebene und einer Eintritts- linse der Beobachtungsoptik geschaffen sind. Der Querträger kann hierzu durch mehrere Materialstreifen gebildet sein, zwischen denen Lücken zum Lichtdurchtritt vorgesehen sind, der Querträger kann als ein Netz oder Gitter ausgebildet sein, er kann als perforierte Fläche ausgebildet sein, oder seine die tragende Funktion bereitstellenden Komponenten können so schmal ausgebildet sein, daß eine ausreichend große Fläche für den Lichtdurchtritt verbleibt.

Vorteilhafterweise fallen eine optische Hauptachse der Beob- achtungsoptik und eine Längsachse des Taststiftes im wesent- lichen zusammen. Die Blickrichtung des Benutzers auf das Werkstück ist damit gleich der Erstreckungsrichtung des Tast- stiftes.

Vorzugsweise liegt hierbei auch der Teil der Taststifthalte- rung, an welcher der Fuß des Taststiftes unmittelbar ange- bracht ist, auf oder nahe der Hauptachse der Beobachtungsop- tik, wobei dann, gesehen in dieser Hauptachse, um den Fuß des Taststiftes herum eine ausreichende Fläche an Ausnehmungen bzw. transparenten Körpern vorgesehen ist, um den Blick auf die Tastspitze zu ermöglichen.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist der Querträger elastisch deformierbar und als eine Komponente ausgebildet, die die Grundkörper von Chassis und Taststift- halterung elastisch miteinander verbindet. Der Querträger kann dann dazu vorgesehen sein, die Ruhelage der Taststift- halterung bezüglich des Tastkopfchassis festzulegen und auch eine Rückstellkraft gegenüber Auslenkungen aus dieser Ruhela- ge bereitzustellen.

Im Hinblick auf eine Miniaturisierung der Anordnung und auf wohldefinierte Rückstellkräfte sind der Querträger und Kompo-

nenten des Tastkopfchassis und der Taststifthalterung inte- gral aus einem Materialblock gefertigt.

Der Materialblock. ist vorzugsweise ein Einkristall, bei- spielsweise aus Silizium, wobei vorteilhafterweise Ätztechni- ken zur Fertigung der gewünschten Gestalt der Komponenten eingesetzt werden.

Das Auslenkungsmeßsystem ist hierbei vorzugsweise derart realisiert, daß es elastische Deformationen des Querträgers oder/und von Bereichen des Tastkopfchassis oder der Tast- stifthalterung registriert. Hierzu sind vorzugsweise Dehnmeß- streifen vorgesehen, welche bereichsweise an dem Querträger oder/und Bereichen des Tastkopfchassis oder/und der Tast- stifthalterung vorgesehen sind, wobei die Meßstreifen auch in diese Komponenten integriert sein können.

Die Erfindung sieht ferner ein Koordinatenmeßgerät vor, wel- ches den vorangehend beschriebenen Tastkopf aufweist, und weiter sieht die Erfindung ebenfalls ein Verfahren zum Anta- sten eines Werkstückes vor, bei dem einem Benutzer der Blick auf die Taststiftspitze bzw. das anzutastende Werkstück durch die in den Tastkopf integrierte Beobachtungsoptik ermöglicht wird.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert. Hierbei zeigt : Figur 1 eine schematische Darstellung eines Koordinatenmeßgerätes, Figur 2 eine schematische Darstellung eines Tastkopfes des Koordinatenmeßgerätes der Figur 1 im Schnitt, Figur 3 eine Darstellung des Tastkopfes der Figur 2, ge- schnitten entlang einer Linie III-III der Figur 2,

Figur 4 eine weitere Ausführungsform eines Tastkopfes für das Koordinatenmeßgerät der Figur 1, Figur 5 eine Darstellung einer Komponente des Tastkopfes der Figur 4 in Draufsicht, Figur 6 die in Figur 5 gezeigte Komponente in einer Schnittdarstellung entlang einer Linie VI-VI der Figur 5, Figur 7 eine Darstellung der Komponente der Figuren 5 und 6 mit montiertem Taststift und Auslenkung aus der Ruhelage, Figur 8 eine der Figur 7 entsprechende Darstellung mit ei- ner anderen Auslenkung aus der Ruhelage, Figur 9 eine Variante der in Figur 5 dargestellten Kompo- nente, Figur 10 eine weitere Variante der in Figur 5 dargestellten Komponente und Figur 11 ein Detail der Figur 10.

Die Figur 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Koordinatenmeßgerät 1 mit einem Sockel 3 und einem daran angebrachten Stativ 5, an dem eine Tastkopfhalterung 7 in Vertikalrichtung (z-Richtung) verschiebbar gehaltert ist. Die Tastkopfhalterung 7 trägt einen Tastkopf 9, an dem ein Taststift 11 gehaltert ist. Auf dem Sockel 3 ist ein Verschiebetisch 13 vorgesehen, der eine Werkstückhalterung 15 in der Horizontalebene (x-Richtung, y- Richtung) verschiebbar trägt. Auf der Werkstückhalterung 15 ist ein Werkstück 17 angebracht, welches durch das

Koordinatenmeßgerät 1 vermessen werden soll. Hierzu verfährt ein Benutzer den Tastkopf 9 so lange, bis eine Spitze 19 des Taststiftes 11 in Kontakt mit einer gewünschten Stelle auf der Oberfläche des Werkstücks 17 gelangt. Sobald die Tast- stiftspitze 19 in Kontakt mit dem Werkstück 17 gelangt, wird der Taststift 11 aus seiner Ruhelage an dem Tastkopf ausge- lenkt, und diese Auslenkung wird von dem Koordinatenmeßgerät registriert, worauf es die Koordinaten x, y, z des Berühr- punktes zwischen Werkstück 17 und Taststiftspitze 19 regi- striert.

Um eine vorsichtige Annäherung der Taststiftspitze 19 an das Werkstück 17 durchzuführen und eine Beschädigung des Tast- stiftes 11 bei der Annäherung an das Werkstück 17 zu vermei- den, beobachtet der Benutzer die Tastspitze 19 während der Annäherung oder in Pausen zwischen Annäherungsschritten durch eine Beobachtungsoptik 21, von der Komponenten in dem Tast- kopf 9 angeordnet und in Figur 1 nicht dargestellt sind. In Figur 1 dargestellt ist ein Okular 23 der Beobachtungsoptik sowie eine Kamera 25 derselben.

Die Figuren 2 und 3 zeigen den Tastkopf 9 im Detail. Der Tastkopf 9 umfaßt eine Tastkopfchassis 27 aus einem Rohr 29 mit Rechteckquerschnitt sowie einer an einem Stirnende 31 des Rohrs 29 angebrachten Grundplatte 33. Das dem Stirnende 31 entgegengesetzte Ende des Rohrs 29 ist fest an der Tastkopf- halterung 7 des Koordinatenmeßgerätes 1 angebracht, womit auch das Chassis 27 fest an dem Tastkopfträger 7 gehaltert ist.

Die im Betrieb des Koordinatenmeßgerätes 1 horizontal ausge- richtet Grundplatte 33 weist eine zentrale quadratische Ausnehmung 35 auf, deren Umfangswände mit Abstand von Innen- wänden des Rohrs 29 angeordnet sind. Auf einer Oberseite 37 der Grundplatte 33 liegt eine Glasplatte 39 in Horizontal- richtung verschiebbar auf. Um einen Reibwiderstand gegenüber

Verschiebung der Glasplatte 39 relativ zu der Grundplatte 33 zu vermindern, ist zwischen der Grundplatte 33 und der Glas- platte 39 ein Ölfilm 41 vorgesehen, der sich ringförmig um die Ausnehmung 35 herum erstreckt.

Die Glasplatte 39 ist auf der Grundplatte 33 und innerhalb des Rohres 29 mittels Federn 43 in einer zentralen Ruhestel- lung gehalten, wobei eine jede Feder 43 mit ihrem einen Ende in einer Ecke des Rohrs 29 an der Grundplatte 33 und mit ihrem anderen Ende an einer entsprechenden oberen Ecke der Glasplatte 39 festgemacht ist.

Gegen eine Rückstellkraft der Federn 43 ist die Glasplatte 39 horizontal aus ihrer Ruhestellung heraus verlagerbar, wobei vier Anschläge 45 diese horizontale Verlagerung beschränken.

Die Anschläge 45 sind als Klötzchen ausgebildet, die mit ihren Unterseiten auf der Grundplatte 33 aufliegen und mit ihren Seiten an den Innenwänden des Rohrs 29 anliegen, wobei die Anschläge 45 jeweils mittig an den Innenwänden des Rohrs 29 angeordnet sind.

Im Zentrum der Glasplatte 39 ist eine Bohrung 45 von der Unterseite der Glasplatte 39 her eingebracht, in welche ein Ende bzw. ein Fuß eines Taststiftes 47 eingeklebt ist. An dem anderen nicht an'der Glasplatte 39 festgemachten Ende des Taststiftes 47 trägt dieser eine Rubinkugel 49, welche die Tastspitze des Koordinatenmeßgerätes 1 bildet und welche zum Antasten des Werkstücks 17 in Berührungskontakt mit dessen Oberfläche zu bringen ist.

Gelangt die Tastspitze 49 durch Verfahren des Tastkopfes 9 relativ zu dem Werkstück 17 in seitlichen Kontakt mit dessen Oberfläche, so resultiert daraus eine Andruckkraft, welche entgegen der Wirkung der Federn 43 zu einer horizontalen Verlagerung der Glasplatte 39 aus ihrer Ruhelage bezüglich des Chassis 27 des Tastkopfes 9 führt.

Die Auslenkung der Platte 39 aus der Ruhelage ist mittels eines Auslenkungsmeßsystemes 51 bestimmbar. Dieses umfaßt zwei Sensorträger 53, welche jeweils mittig an zwei benach- barten Seitenwänden des Rohrs 29 festgemacht sind und hori- zontal über die Glasplatte 39 ragen. Ein jeder Sensorträger 53 trägt an seiner Unterseite einen optischen Sensor 55 derart, daß er mit geringem Abstand über der Oberfläche der Glasplatte 39 angeordnet ist. Auf der Oberseite der Glas- platte 39 sind in Bereichen unterhalb der Sensoren 55 Strich- markierungen 57 vorgesehen, welche jeweils von den Sensoren 55 optisch abgetastet werden. Eine Verlagerung der Glasplatte 39 und damit der Strichmarkierungen 57 wird von den Sensoren 55 erfaßt und in ein entsprechendes Meßsignal umgewandelt, worüber eine zentrale Steuerung des Koordinatenmeßgerätes 1 die Auslenkung der Glasplatte 39 aus der Ruhelage dem Werte nach erfassen kann.

Die Beobachtungsoptik 21 umfaßt neben dem Okular 23 und dem Kameraaufsatz 25 (Figur 1) noch ein Objektiv 61, welches über eine im Inneren des Rohrs 29 festgemachte Verschiebehalterung 63 an dem Chassis 27 gehaltert ist. Hierbei ist das Objektiv 61 bezüglich des Chassis 27 in z-Richtung durch einen Antrieb verlagerbar, der eine an dem Objektiv 61 festgelegte Zahn- stange 65 und ein darin eingreifendes von außen betätigbares Antriebsritzel 67 umfaßt.

Das Objektiv 61 umfaßt eine dem Okular 23 zuweisende Aus- trittslinse 69 und eine der Tastspitze 49 zuweisende Ein- trittslinse 71, welche innerhalb des Rohrs 29 und oberhalb der Glasplatte 39 angeordnet ist. Der Antrieb 65,67 dient dazu, die Lage einer Objektebene 83 des Objektives 61 auf eine Länge des gerade eingesetzten Taststiftes 47 einzustel- len, wobei ein Benutzer die Position des Objektives 61 in z- Richtung derart einstellen wird, daß die Objektebene 83 im Bereich der Tastspitze 49 oder etwas darunter angeordnet ist.

Die Betrachtung der Objektebene bzw. der Tastspitze 49 er- folgt mit dem Objektiv 61 durch die Glasplatte 39 hindurch.

Hierbei sind Teile des Taststiftes und bei der Ausführungs- form gemäß Figur 2 der gesamte Taststift 47 und sein Fuß 45, der an der Glasplatte 39 festgelegt ist, innerhalb des Strah- lenganges des Objektives 61 angeordnet. Dies wird auch daraus ersichtlich, daß Randstrahlen des Strahlenganges, d. h. Strah- len die am weitesten dezentral in die Eintrittslinse 71 des Objektives 61 eintreten und die in den Figuren 2 und 3 mit dem Bezugszeichen 69 versehen sind, den Taststift 47 und den Ort 45, an dem dieser an der Glasplatte 39 gehaltert ist, in der x-y-Ebene umgreifen. Obwohl Strukturen und nicht durch- sichtige Komponenten des Tastkopfes 9, wie etwa der Fuß 45 des Taststiftes 74, innerhalb des Strahlenganges des Objekti- ves 61 angeordnet sind und Eingangsstrahlen des Objektives teilweise abschatten, liefert das Objektiv 61 gleichwohl ein für den Beobachter gut erkennbares Bild der Objektebene des Objektives.

In Figur 2 ist schematisch weiter noch eine Beleuchtung 70 zur Beleuchtung einer Umgebung der Taststiftspitze 49 darge- stellt.

Insgesamt ist mit der Anordnung des Objektives 61 innerhalb des Chassis 27 derart, daß tragende Strukturen von dem Strah- lengang des Objektives durchsetzt werden, ein kompakter Auf- bau für einen Tastkopf mit Beobachtungsoptik geschaffen. Die tragende Struktur, die von dem Strahlengang durchsetzt wird, ist die Glasplatte 39, welche die Funktion einer bezüglich des Chassis aus einer Ruhelage verlagerbaren Taststifthalte- rung übernimmt.

Nachfolgend werden Varianten der Erfindung erläutert. Hierbei sind ihrer Funktion einander entsprechende Komponenten mit den Bezugszahlen der Figuren 1 bis 3, zur Unterscheidung

jedoch mit einem zusätzlichen Buchstaben versehen. Zur Erläu- terung wird auf die gesamte vorangehende Beschreibung Bezug genommen.

Figur 4 zeigt einen Tastkopf 9a mit einem Chassis 27a, wel- ches an einem Koordinatenmeßgerät anbringbar ist, wie es beispielsweise in Figur 1 gezeigt ist. Das Chassis 27a weist als Haltestruktur für weitere Komponenten ein Rohr 29a auf, welches in seinem Inneren ein Objektiv 61a mit einer einer Objektebene 83a zuweisenden Eingangsseite 77 und einer dieser gegenüberliegenden Ausgangsseite 79 aufweist, an welche di- rekt eine Kamera 81 angeschlossen ist.

In der Objektebene 83a ist eine Spitze 49a eines Taststiftes 47a angeordnet, welcher mit seinem anderen Ende 45a an einem Sensorsystem 85 befestigt ist.

Das Sensorsystem 85 ist ebenfalls an dem Chassis 27a gehal- tert, indem an dem vorderen Ende des Rohrs 29a eine Distanz- hülse 87 angebracht ist, welche eine ringförmige Halterung 89 für das Sensorsystem 85 trägt und dieses derart vor dem Ob- jektiv 61a anordnet, daß die Erstreckungsrichtung des Tast- stiftes 47a mit der optischen Achse 62a des Objektives 61a im wesentlichen zusammenfällt.

Das Sensorsystem 85 ist in den Figuren 5 und 6 im Detail dargestellt.

Es umfaßt einen Körper 87 aus einem Silizium-Einkristall, dessen (100)-Ebene in der Zeichenebene der Figur 5 liegt, und die Struktur des Siliziumkörpers 87 wurde aus einem Vollkör- per durch Ätzen gefertigt.

Ein Außenumfang des Silizumteils 87 ist durch ein quadrati- sches Rahmenteil 89 gebildet. Bei dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel weist das Rahmenteil eine Kantenlänge 1

von 6mm auf, und eine Profildicke D des Rahmens 89 beträgt 0,5mm. Es können jedoch auch größere oder kleinere Abmessun- gen für das Rahmenteil eingesetzt werden.

Eine Taststifthalterung 91 ist zentral in dem Rahmen 89 an vier Streifen 93 aufgehängt, die sich jeweils mittig an Sei- ten des Rahmens 89 nach innen erstrecken (in der Draufsicht der Figur 5). Beidseits eines jeden Haltestreifens 93 ist eine Ausnehmung 95 vorgesehen, welche den Durchtritt von Lichtstrahlen aus der Objektebene 83a zu der Eintrittsseite 77 des Objektives 61a erlauben. Eine jede Ausnehmung 95 ist in der Zeichenebene der Figur 5 durch zwei Seiten des Rahmens 89, durch zwei Streifen 93 und die Taststifthalterung 91 begrenzt.

Die Streifen 93 weisen bei dem beschriebenen Ausführungsbei- spiel im Vergleich zu der Profildicke D des Rahmens 89 eine wesentlich geringere Dicke d von 30, um und damit bereits bei vergleichsweise geringen Biegekräften eine merkliche elasti- sche Deformierbarkeit auf. Somit ist die Taststifthalterung 91 über die Streifen 93 in dem Rahmen 89 in einer Ruhelage gehalten, aus der sie elastisch auslenkbar ist. Auch für die Dicke d können größere oder kleinere Werte eingesetzt werden.

Der Taststift 47a weist einen auf der Taststifthalterung 91 aufgeklebten Fuß 97 mit einem Durchmesser von lmm auf, in den ein Schaft 99 mit einer Dicke von 0,2mm und einer Länge von 8mm eingesteckt ist und dessen Ende die Rubinkugel 49a mit einem Durchmesser 0,3mm trägt. Auch hier sind die Abmessungen des Taststifts 47a lediglich beispielhaft angegeben, und es können auch andere Werte eingesetzt werden.

Auf einer von der Tastspitze 49a wegweisenden Fläche eines jeden Streifens 93 sind zwei Dehnmeßstreifen bzw. Piezowider- stände aufgebracht, nämlich ein Widerstand 101, der sich von einem dem Streifen 93 nahen Bereich des Rahmens 89 bis in

einen dem Rahmen 89 nahen Bereich des Streifens 93 erstreckt, und einen weiteren Widerstand 103, der sich von einem der Taststifthalterung 91 nahen Bereich des Streifens 93 bis in einen dem Streifen 93 nahen Bereich der Taststifthalterung 91 erstreckt. Mit diesen insgesamt 8 Dehnmeßstreifen 101,103, deren elektrische Verschaltung in den Figuren 5 und 6 nicht dargestellt ist, kann die Auslenkung der Taststifthalterung 91 aus der in den Figuren 5 und 6 gezeigten Ruhelage mittels einer in den Figuren ebenfalls nicht dargestellten Steuerung erfaßt werden, wie dies aus den Figuren 7 und 8 näher her- vorgeht.

Figur 7 zeigt eine Situation, in der auf die Tastspitze 49a eine Kraft F wirkt, die in Erstreckungsrichtung des Schaftes 99 orientiert ist. Wie aus Figur 7 ersichtlich ist, führt dies zu einer Dehnung der der Taststifthalterung 91 nahen Dehnmeßstreifen 103 sowie zu einer Kompression der anderen dem Rahmen 89 nahen Streifen 101.

In Figur 8 ist eine Situation dargestellt, in der auf die Tastspitze 49a eine Kraft F'wirkt, die senkrecht zur Er- streckungsrichtung des Schaftes 99 gerichtet ist. Dies führt dazu, daß von den in Figur 8 gezeigten rahmennahen Streifen 101 und taststifthalterungsnahen Streifen 103 jeweils einer komprimiert und einer gedehnt wird, wobei von den Dehnmeß- streifen 101,103 eines jeden Haltestreifens 93 jeweils einer komprimiert und der andere gedehnt wird.

Durch Auslese der von den Dehnmeßstreifen 101,103 bereitge- stellten Meßsignale und Auswertung derselben ist die auf die Tastspitze 49a einwirkende Kraft sowohl hinsichtlich ihres Betrages als auch ihrer Richtung ableitbar.

Der Sensor hat somit zum einen die Funktion, den Taststift 47a gegenüber dem Chassis verlagerbar zu halten, und zum anderen hat er die Funktion, die Auslenkung der Taststifthal-

terung 91 bezüglich des Chassis zu messen. Hierzu sind die Sensorkomponenten 91 und 89 über die Haltestreifen 93 ela- stisch miteinander verbunden. Die Komponente 91 dient als unmittelbare Halterung für den Taststift, und der Rahmen 89 ist mit dem übrigen Chassis 27a des Tastkopfes 9a fest ver- bunden und kann hinsichtlich seiner mechanischen Funktion dem Chassis 27a zugerechnet werden. Die Streifen 93 bilden zusam- men einen Querträger, der die Taststifthalterung 91 und das Chassis 27a bzw. den Rahmen 89 miteinander verbindet und sich quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 99 erstreckt. Der somit gebildete Querträger weist mehrere Ausnehmungen 95 auf, so daß er bereichsweise lichtdurchlässig ausgestaltet ist, um eine Beobachtung der Tastspitze 49a mit dem Objektiv 61a zu ermöglichen, wobei der Querträger 93 zwischen der Tastspitze 49a und der Eingangsseite 77 des Objekives 61a angeordnet ist.

Alternativ zu der Aufbringung von Dehnmeßstreifen auf die Streifen 93 auf deren von der Tastspitze 49a wegweisenden Seite ist es auch möglich, die Dehnmeßstreifen auf die der Tastspitze 49a zuweisenden Seite anzubringen. Ebenso ist es möglich, den Dehnungssensor durch direktes Dotieren der Streifen 93 oder diesen benachbarter Bereiche des Rahmenteils 89 auszubilden. Hierbei werden geeignete Dotierstoffe in einer derartigen Konzentration in das Silizium eingebracht, daß dieses einen piezoelektrischen Effekt zeigt.

Figur 9 zeigt eine Variante des in den Figuren 5 und 6 ge- zeigten Sensorsystemes, wobei ein Siliziumkörper 87b der Figur 9 sich von dem in den Figuren 5 und 6 gezeigten dadurch unterscheidet, daß hier ein Taststifthalter 91b mit acht dünnen Haltestreifen 93b an einem Rahmenteil 89b des Sensor- systemes 85b gehaltert ist. Zwischen einem jeden Paar von benachbarten Haltestreifen 93b ist wiederum eine Ausnehmung 95b vorgesehen, um den Lichtdurchtritt zur Beobachtung einer Objektebene mittels Objektiv zu ermöglichen.

Figuren 10 und 11 zeigen eine weitere Variante des in den Figuren 5 und 6 gezeigten Sensorsystems, wobei hier eine Auslegung der Sensoren als Meßbrücken im Detail erläutert ist. Ausnehmungen 95c in einem Siliziumchip 87c sind in Figur 10 lediglich mit gestrichelten Linien dargestellt. In einem Zentrum des Siliziumchips 87c ist eine in Figur 10 nicht dargestellte Tastspitze festgemacht.

Der Siliziumchip 87c weist an seinen Rändern verteilt sech- zehn contact pads bzw. elektrische Anschlußbereiche auf. Zur Messung von Deformationen in dem Siliziumchip sind darauf vier Vollmeßbrücken 111,112,113 und 114 angeordnet, deren Widerstände durch lokales Dotieren des Siliziums des Silizi- umchips 87c oder anderer Techniken gebildet sind, und welche durch in Figur 10 schematische Leitungsführungen mit den Anschlüssen 120 verbunden sind, wobei diese Leitungsführungen ebenfalls durch Dotieren oder andere herkömmliche Technologien realisiert sind.

Eine der Meßbrücken, nämlich die Meßbrücke 113 ist in Figur 11 im Detail dargestellt. Diese dient zur Gewinnung eines mit "-Y"bezeichneten Signals. Sie umfaßt vier Widerstände R y1, R_y2 R y3 und R_y41 wobei zwischen den Widerständen Ru2 und R y3 ein Masseanschluß vorgesehen ist, ein Anschluß für eine Betriebsspannung UB zwischen den Widerständen R_y1 und R y4 vorgesehen ist und ein Meßsignal U_y zwischen den Widerständen R_y1 und R-Y2 einerseits und R y3 und R-y4 andererseits abgegriffen wird.

Die anderen Meßbrücken 112,111 und 114 sind entsprechend für den Abgriff von Signalen"+X","+Y"und"-X"vorgesehen und liefern entsprechende Spannungssignale U+x, U+y und U.

Aus den von den Meßbrücken 111,112,113 und 114 abgegrif- fenen Signalen U+yl U+x, U y und U x werden die Größen Yg, Xs und Zs nach folgender Formel errechnet : <BR> <BR> Ys=U+y-U y<BR> Xs= U+x-U-x<BR> zs = U+x''U-x U+Y-'U-v Die Signale Yg, Xs und Zs repräsentieren Auslenkungen der Tastspitze in die Richtungen y, x bzw. z.

Bei den vorangehend beschriebenen Ausführungsformen ist das Auslenkungsmeßsystem dazu in der Lage, die Größe der Auslen- kung der Taststifthalterung aus ihrer Ruhelage zu bestimmen.

Hierdurch ist es insbesondere möglich, die Tastspitze mit einer vorgegebenen Andruckkraft entlang einer Werkstückober- fläche zu steuern. Es ist jedoch ebenfalls vorgesehen, als Auslenkungsmeßsystem ein schaltendes Meßsystem einzusetzen, welches lediglich zwischen einem Zustand, der eine Berührung der Werkstückoberfläche anzeigt, und einem anderen Zustand, der Nichtberührung der Werkstückoberfläche anzeigt, umschal- tet.

Es ist ebenfalls möglich das Meßsystem derart auszulegen, daß der Taststift um eine Ruhelage oszillierend gehalten wird, wobei ein Schwingkreis eine solche Oszillation während des Meßbetriebes aufrecht erhält. Eine Annäherung der Tastspitze an die Werkstückoberfläche oder eine Berührung der Werk- stückoberfläche durch die Tastspitze führt zu einer Bedämp- fung und gegebenenfalls Frequenzverschiebung der Oszillation, welche ebenfalls erfaßt werden kann.

In den vorangehenden Ausführungsbeispielen erstreckt sich der Taststift jeweils im wesentlichen auf der optischen Achse der

Beobachtungsoptik. Es ist jedoch ebenfalls möglich, die opti- sche Achse der Beobachtungsoptik versetzt zur Erstreckungs- richtung des Taststiftes anzuordnen oder einen geknickten oder gebogenen Taststift mit zwei oder mehreren Erstreckungs- richtungen zu verwenden. Wesentlich für die Erfindung ist hierbei, daß die Beobachtungsoptik die Taststiftspitze durch eine halternde Struktur für den Taststift"hindurch"beob- achtet.