Beschichtetes Werkzeug

Die Erfindung betrifft ein Schneidwerkzeug mit einem Grundkörper und einer darauf aufgebrachten ein- oder mehrlagigen Beschichtung.

Stand der Technik

Schneidwerkzeuge bestehen aus einem Grundkörper, der beispielsweise aus Hartmetall, Cer- met, Stahl oder Schnellarbeitsstahl hergestellt ist. Zu Erhöhung der Standzeiten oder auch zu Verbesserung der Schneideigenschaften wird auf den Grundkörper häufig eine ein- oder mehr- lagige Beschichtung aufgebracht. Diese ein- oder mehrlagige Beschichtung umfasst beispielweise metallische Hartstoffschichten, Oxidschichten und dergleichen. Zum Aufbringen der Beschichtung werden CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung; chemical vapour de- position) und/oder PVD-Verfahren (physikalische Gasphasenabscheidung; physical vapour de- position) angewendet. Mehre Lagen innerhalb einer Beschichtung können ausschließlich mittels CVD-Verfahren, ausschließlich mittels PVD-Verfahren oder durch einer Kombination dieser Verfahren aufgebracht werden. CVD-Verfahren liefern im wesentlichen stabile Phasen der gewünschten Verbindungen, wogegen sich mit PVD-Verfahren auch metastabile Phasen von Verbindungen aufbringen lassen.

Bei den PVD-Verfahren unterscheidet man zwischen verschiedenen Varianten, wie beispielsweise Magnetronsputtern, Lichtbogenverdampfen (Arc-PVD), lonenplattierung, Elektronen- strahlverdampfung und Laserablation. Magnetronsputtern und Lichtbogenverdampfen zählen zu den am häufigsten für die Beschichtung von Werkzeugen angewendeten PVD-Verfahren. Von diesen PVD-Verfahrensvarianten gibt es wiederum unterschiedliche Abwandlungen bzw. Modi- fikationen, wie beispielweise ungepulstes oder gepulstes Magnetronsputtern oder ungepulstes oder gepulstes Lichtbogenverdampfen usw.

Aus der DE 10 2004 044 240 A1 ist ein Schneidwerkzeug mit einem Schichtaufbau mit wenigstens einer einphasigen, metastabilen zumindest ternären Oxidschicht bekannt, wobei die Oxid- schicht neben Sauerstoff wenigstens zwei weitere chemische Elemente, ausgewählt unter den Elementen der IV., V. oder VI. Nebengruppe des Periodensystems, Aluminium und Silizium,

enthält, von denen eines der Elemente eine Hauptkomponente und mindestens ein weiteres der Elemente mindestens eine Nebenkomponente bildet.

Die DE 199 37 284 A1 beschreibt einen elektrisch leitenden Mehrschichtaufbau auf einer metal- lischen Unterlage mit einer ersten Schicht aus einem sich durch natürlich gebildetes Oxid oberflächlich passivierenden Metallmaterial, insbesondere Chrom, und einer mittels eines PVD- Verfahrens aus einem Gold- oder Goldlegierungsmaterial aufgebrachten weiten Schicht. Diese zweite Schicht ist in der Lage, die elektrisch isolierende Wirkung des natürlich gebildeten Oxidfilms der ersten Schicht wenigstens teilweise aufzuheben. Eingesetzt werden derartig beschich- tete Anordnungen beispielsweise als Trägerteile zur geschirmten Aufnahme von Elektronikkomponenten.

Die DE 196 51 592 A1 beschreibt ein beschichtetes Schneidwerkzeug mit einer mehrlagigen Beschichtung, die wenigsten eine Aluminiumoxidlage und metallische Hartstoff lagen umfasst. Die metallischen Hartstoff lagen sind beispielsweise mittels PVD-Verfahren aufgebrachte TiAIN- Lagen. Auch die direkt darauf aufgebrachte Aluminiumoxidschicht ist im PVD-Verfahren abgeschieden.

Die DE 199 42 303 A1 beschreibt einen Schneideinsatz, der eine im CVD-Verfahren hergestell- te mehrphasige Aluminiumoxidlage aufweist. Die im CVD-Verfahren hergestellte Schicht enthält Aluminiumoxid, Zirkonoxid sowie eine dritte feindisperse Phase aus einem Oxid, Oxycarbid, Oxynitrid oder Oxycarbonitrid von Titan.

Die DE 197 37 470 A1 beschreibt einen Schneidkörper mit einer Beschichtung, die wenigstens eine mehrphasige Lage aufweist. Die im CVD-Verfahren hergestellte Beschichtung umfasst beispielweise eine Zirkoncarbonnitridschicht (kubisches ZrCN) und ZrO ₂ in monokliner und/oder tetragonaler Form. Die kristalline ZrCN-Matrix wirkt als harte Beschichtung, wogegen das darin eingelagerte ZrO ₂ als Trockenschmierstoff wirkt.

Die DE 196 41 468 A1 beschreibt einen Verbundkörper, wie beispielsweise ein Schneidwerkzeug, der eine mehrlagige Beschichtung mit dünnen Aluminiumoxidschichten und/oder Zirkon- oxidschichten aufweist.

Bei der Beschichtung von Schneidwerkzeugen, insbesondere im PVD-Verfahren, können auf- grund der normalerweise isolierenden Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten nur relativ dünne Beschichtungen aufgebracht werden. Mit wachsender Schichtdicke wird der Abschei-

dungsprozeß der Ionen aus dem Plasma instabil, was sich z. B. besonders stark an den Ecken und Kanten des beschichteten Körpers zeigt und die Härte der Schichten nachteilig beeinflußt. Zur Herstellung eines Schneidwerkzeugs mit einer harten Beschichtung, die auch bei höheren Schichtdicken gute Eigenschaften aufweist, wäre daher eine Stabilisierung des Abscheidungs- prozesses über einen längeren Zeitraum, d. h. auch bei höheren Schichtdicken, wünschenswert.

Aufgabe

Die Aufgabe der vorliegenden Aufgabe bestand darin, gegenüber dem Stand der Technik verbesserte Schneidwerkzeuge bereitzustellen.

Gelöst wird die erfindungsgemäße Aufgabe durch ein Schneidwerkzeug mit einem Grundkörper und einer darauf aufgebrachten ein- oder mehrlagigen Beschichtung, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass die Beschichtung wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage umfasst, die wenigstens zwei verschiedene Phasen von Metalloxid enthält, wobei die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage elektrisch leitfähig ist.

Das Aufbringen einer ein- oder mehrlagigen Beschichtung auf ein Schneidwerkzeug als Ver- schleißschutzbeschichtung ist, wie oben bereits ausgeführt, seit langem bekannt. Neu ist hingegen die Herstellung einer solchen Beschichtung mit wenigstens einer zwei- oder mehrphasigen Lage, die elektrisch leitfähig ist und zwei verschiedene Phasen von Metalloxid enthält. Diese neuartige Beschichtung der vorliegenden Erfindung eröffnet ein breites Spektrum an Mög- lichkeiten zur Verbesserung und/oder Anpassung der Verschleißfestigkeit, der Standzeiten und/oder der Schneideigenschaften von Schneidwerkzeugen.

Die Verschleißbeständigkeit, Standfestigkeit und Schneideigenschaften einer Beschichtung auf einem Schneidwerkzeug hängt von verschiedenen Faktoren ab, wie beispielsweise dem Mate- rial des Grundkörpers des Schneidwerkzeugs, der Abfolge, Art und Zusammensetzung weiterer in der Beschichtung vorhandener Lagen, der Dicke der verschiedenen Lagen und nicht zuletzt der Art der mit dem Schneidwerkzeug durchgeführten Schneidoperation. Für ein und dasselbe Schneidwerkzeug können sich unterschiedliche Verschleißfestigkeiten in Abhängigkeit von der Art des zu bearbeitenden Werkstücks, dem jeweiligen Bearbeitungsverfahren und den weiteren Bedingungen während der Bearbeitung, wie beispielweise Entwicklung hoher Temperaturen oder Verwendung korrosiver Kühlflüssigkeiten, ergeben. Darüber hinaus unterscheidet man

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zwischen verschiedenen Verschleißarten, die je nach Bearbeitungsvorgang die Nutzungsdauer eines Werkzeugs, d. h. seine Standzeit, stärker oder geringer beeinflussen können. Die Weiterentwicklung und Verbesserung von Schneidwerkzeugen ist daher stets im Hinblick darauf zu betrachten, welche Werkzeugeigenschaften verbessert werden sollen, und unter vergleichbaren Bedingungen gegenüber dem Stand der Technik zu beurteilen.

Die wenigstens eine in der erfindungsgemäßen Beschichtung vorhandene zwei- oder mehrphasige, elektrisch leitfähige Lage mit wenigstens zwei verschieden Phasen von Metalloxid kann der gesamten Beschichtung des Schneidwerkzeugs Eigenschaften zu verleihen, die das Schneidwerkzeug gegenüber bekannten Schneidewerkzeugen bei vergleichbaren Schneidvorgängen und unter vergleichbaren Bedingungen überlegen machen. Diese Eigenschaften können die Verschleißfestigkeit, die Standzeiten, die Schneideigenschaften oder Kombinationen davon betreffen.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind in der Beschichtung die wenigstens zwei verschiedenen Phasen von Metalloxid in der wenigstens einen zwei- oder mehrphasigen, elektrisch leitfähigen Lage wenigstens zwei verschiedene Phasen von Chromoxid. Die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage kann im wesentlich vollständig aus Chromoxid bestehen. Bevorzugt enthält sie Chromoxid zumindest als Hauptkomponente, d. h. in einer gegen- über möglichen weiteren Komponenten überwiegenden Menge mit einem Anteil von Chrom gegenüber anderen metallischen Elementen von wenigstens 80 Atom-%, vorzugsweise wenigstens 90 Atom-%, besonders bevorzugt wenigstens 95 Atom-%. Als Nebenkomponente kann die wenigstens zwei- oder mehrphasige Lage Carbide, Nitride, Oxide, Carbonitride, Oxinitride, Oxi- carbide, Oxicarbonitride, Boride, Boronitride und Oxoboronitride der Elemente der Gruppen IVa bis VIIa des Periodensystems und/oder des Aluminiums und/oder von Silizium, gemischtmetallische Phasen sowie Phasengemische der vorgenannten Verbindungen enthalten, wobei Chrom als Element der Nebenkomponente ausgenommen ist.

Hauptkomponente im Sinne der vorliegenden Erfindung bedeutet, dass das metallische EIe- ment gegenüber anderen metallischen Elementen der gleichen Lage in einer Menge von wenigstens 80 Atom-%, vorzugsweise wenigstens 90 Atom-%, besonders bevorzugt wenigstens 95 Atom-% vorliegt. Die Verbindungen der anderen Metalle in der gleichen Lage werden als Nebenkomponente im Sinne der vorliegenden Erfindung bezeichnet.

In einer weiteren Ausführungsform weist die wenigstes eine zwei- oder mehrphasige Lage wenigstens drei Phasen auf, wobei wenigstes eine Phase von Aluminiumoxid vorliegt. Bei dieser

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Ausführungsform kann das andere Metalloxid, welches nicht Aluminiumoxid ist und von welchem wenigstens zwei verschiedene Phasen in der Lage vorliegen, als Hauptkomponente und Aluminiumoxid als Nebenkomponente vorliegen. In einer bevorzugten Variante dieser Ausführungsform enthält die zwei- oder mehrphasige Lage wenigstens zwei Phasen von Chromoxid als Hauptkomponente und eine Phase von Aluminiumoxid als Nebenkomponente oder Mischphasen von Chromoxid und Aluminiumoxid.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist eine der Metalloxidphasen in der zwei- oder mehrphasigen Lage eine stabile Phase von Metalloxid. In der erfindungsgemäßen Ausführungs- form, in der die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage Chromoxid als Hauptkomponente enthält, ist die stabile Phase von Metalloxid vorzugsweise eine Phase von Cr ₂ O ₃ .

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist wenigstens eine der Metalloxidphasen in der zwei- oder mehrphasigen Lage eine metastabile Phase. In der Ausführungsform, in der die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage Chromoxid als Hauptkomponente enthält, ist die metastabile Phase vorzugsweise eine metastabile Phase von Chromoxid der Stöchiometrie CrO _x mit 0,7 < x < 1 ,3.

Der Begriff "stabile Phase" im Sinne dieser Erfindung bedeutet, eine Phase, die sich unter den gegebenen Bedingungen in einem thermodynamisch stabilen Gleichgewichtszustand befindet und sich nicht verändert.

Der Begriff "metastabile Phase" im Sinne dieser Erfindung bedeutet, eine Phase, die sich nur scheinbar in einem thermodynamischen Gleichgewichtszustand befindet, weil unter den gege- benen Bedingungen, wie z. B. Druck und/oder Temperatur, die Einstellungsgeschwindigkeit des Gleichgewichts, d.h. der übergang in den thermodynamisch stabilen, energieärmeren Zustand zu gering ist. Metastabile Phasen bzw. Zustände sind solche Phasen bzw. Zustände, die nur durch Beseitigung einer Hemmung in stabile Phasen bzw. Zustände übergehen. Die Beseitigung der Hemmung kann durch Energieeintrag erfolgen, wie z. B. Erhöhung der Temperatur oder des Drucks.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, bei der die wenigsten zwei verschiedenen Phasen von Metalloxid in der zwei- oder mehrphasigen Lage Chromoxidphasen sind, weisen die Elemente Chrom und Sauerstoff in den stabilen und metastabilen Phasen zusammenge- nommen ein Verhältnis von Cr zu O von etwa 1 zu 0,8 - 1 ,2 auf. Ist das Verhältnis von Cr zu O größer als 1 zu 0,8 (d.h. 1 zu <0,8), so hat dies den Nachteil, daß die Lage zu weich wird. Ist

das Verhältnis von Cr zu O kleiner als 1 zu 1 ,2 (d.h. 1 zu >1 ,2), so hat dies den Nachteil daß die Lage zu spröde wird.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist unter den wenigstens zwei verschiedenen Phasen von Metalloxid in der wenigstens einen zwei- oder mehrphasigen Lage wenigstens eine Metalloxidphase elektrisch leitfähig. Besteht die Hauptkomponente der zwei- oder mehrphasigen Lage aus Chromoxid, so ist keine Phase von CrO ₂ , die für sich gesehen eine leitfähige Chromoxidphase darstellen würde, enthalten. Nachweisbar ist das Fehlen einer Phase von CrO ₂ in der elektrisch leitfähigen Lage mittels XPS-Messung. In einer solchen Chromoxid als Hauptkomponente enthaltenden Lage wurden mittels XPS-Messungen Phasen von Cr ₂ O ₃ , CrO ₃ , CrO _x mit 0,7 < x < 1 ,3, jedoch keine Phase von CrO ₂ nachgewiesen (vgl. Figur 1 ). Die elektrische Leitfähigkeit der zwei- oder mehrphasigen Lage beruht somit nicht auf dem Vorhandensein von an sich elektrisch leitfähigem CrO ₂ .

Die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage der Beschichtung hat bevorzugt eine Schichtdicke von 10 nm bis 50 μm. Ist die Schichtdicke der zwei- oder mehrphasigen Lage geringer als 10 nm, so ist ihre Schutz- bzw. Verschleißschutzfunktion zu gering. Ist die Schichtdicke der zwei- oder mehrphasigen Lage größer als 50 μm, so entstehen in der Lage zu hohe Spannungen und die Lage wird zu spröde, was zu Haftungsproblemen und Abplatzern beim Betrieb des Werkzeugsführen führen kann. In einer weiteren Ausführungsform weist die Lage eine Schichtdicke von 20 nm bis 20 μm auf. In noch einer weiteren Ausführungsform weist die Lage eine Schichtdicke von 0,5 μm bis 4 μm auf.

üblicherweise hat die wenigstens eine zwei- oder mehrphasige Lage eine Vickers-Härte (Hv) von 500 bis 4000. In einer bevorzugten Ausführungsform weist die Lage eine Vickers-Härte (Hv) von 700 bis 3000 auf. In noch einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Lage eine Vickers-Härte (Hv) von 800 bis 2000 auf.

Die elektrische Leitfähigkeit der wenigstens einen zwei- oder mehrphasigen Lage in der Be- Schichtung der vorliegenden Erfindung ist deutlich höher als diejenige von Nichtleitern und Halbleitern und liegt in der Größenordnung von metallischen Leitern. Sie beträgt zweckmäßigerweise mehr als 1 S/m. Bevorzugt beträgt die elektrische Leitfähigkeit mehr als 100 S/m. In einer weiteren Ausführungsform weist die Lage eine elektrische Leitfähigkeit von mehr als 10 ⁴ S/m auf.

Die elektrische Leitfähigkeit der in der erfindungsgemäßen Beschichtung enthaltenden zwei- oder mehrphasigen Lage ist ein überraschendes Phänomen, da die Lage als Hauptkomponente Metalloxide enthält, die üblicherweise nicht leitend sind. Die Leitfähigkeit der Lage ist auch nicht auf das Vorhandensein von Phasen reiner Metalle zurückzuführen, da diese in der Lage gar nicht oder nur in vernachlässigbar geringen Mengen, die eine elektrische Leitfähigkeit der gesamten Lage nicht begründen können, vorhanden sind. Die zwei- oder mehrphasige Lage in der Beschichtung der Erfindung enthält auch keine Phasen von Metalloxiden, die für sich gesehen als elektrisch leitfähig bekannt sind, wie beispielsweise, CrC> ₂ , in Anteilen, die eine elektrische Leitfähigkeit der gesamten Lage begründen könnten.

Eine eindeutige Erklärung für die elektrische Leitfähigkeit der erfindungsgemäßen zwei- oder mehrphasigen Lagen in der Beschichtung kann zur Zeit nicht angegeben werden. Es wird jedoch angenommen, dass die erfindungsgemäße zwei- oder mehrphasige Lage metastabile, nicht-stöchiometrische Metalloxidphasen enthält, die der gesamten Lage elektrische Leitfähig- keit in der Größenordung der Leitfähigkeit von Metallen verleiht und zu den hervorragenden Materialeigenschaften der erfindungsgemäßen Beschichtung beitragen.

In einer weitern Ausführungsform der Erfindung weist die wenigstens eine zwei- oder mehrphasigen Lage weiterhin wenigstes eine Nebenkomponente auf. Als Nebenkomponente(n) kann die wenigstens zwei- oder mehrphasige Lage Carbide, Nitride, Oxide, Carbonitride, Oxinitride, Oxi- carbide, Oxicarbonitride, Boride, Boronitride und Oxoboronitride der Elemente der Gruppen IVa bis VIIa des Periodensystems und/oder des Aluminiums und/oder von Silizium, gemischtmetallische Phasen sowie Phasengemische der vorgenannten Verbindungen enthalten. Beispiele für solche Nebenkomponenten sind (AI, Cr) ₂ O ₃ mit einem Gewichts-Verhältnis AhCr = 9:1 , (Cr, AI, Si) ₂ O ₃ mit einem Gewichts-Verhältnis AhSi = 9:1 und Cr(AI, Si) = 1 :2.

Ist die Beschichtung des erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs mehrlagig, so kann sie weitere Hartstofflagen mit den oben für die Nebenkomponenten angegebenen Zusammensetzungen umfassen. Beispiele für solche Hartstofflagen sind Lagen aus AI ₂ O ₃ , TiN, TiB ₂ , cBN, hBN, TiBN, TiC, TiCN, TiN, TiAIN, CrAIN, TiAICN, TiAIYN, TiAICrN und CrN. Anstelle oder zusätzlich zu einer oder mehreren Hartstofflagen kann die Beschichtung eine oder mehrere weitere zwei- oder mehrphasige Lagen aufweisen, die wenigstens zwei verschiedene Phasen von Metalloxid enthalten und elektrisch leitfähig sind. Die vorliegende Erfindung umfaßt somit Beschichtungen, die nur aus einer oder mehreren der zwei- oder mehrphasigen Lagen mit wenigstens zwei ver- schiedenen Phasen von Metalloxid elektrischer Leitfähigkeit bestehen, sowie auch Beschich-

tungen, die jede Kombination aus solchen Lagen mit weiteren Hartstofflagen in beliebiger Anzahl und Abfolge umfassen.

Bevorzugte Beschichtungen des erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs weisen folgende La- gen auf:

(AI, Cr) ₂ O ₃ - AICrN - (AI, Cr)O, TiAIN - (AI, Cr)O, AICrN - (AI, Cr)O, TiAIN - AI ₂ O ₃ - (AI, Cr)O, CrAIN - [(AI, Cr)O - AI ₂ O ₃ ] _X - ZrN

Die in der Beschichtung des erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs enthaltene zwei- oder mehrphasige Lage mit wenigstens zwei verschiedenen Phasen von Metalloxid und elektrischer Leitfähigkeit wird vorzugsweise im PVD-Verfahren, besonders bevorzugt durch Magnetronsput- tern, Lichtbogenverdampfen auf (Arc-PVD) oder Modifikationen dieser Verfahren erzeugt. In der PVD-Beschichtungsanlage wird eine Plasmaatmosphäre mit niedrigem Druck erzeugt, die im wesentlichen aus Argon und Sauerstoff besteht. Im PVD-Magnetronverfahren wird vor dem Target ein Argonplasma gezündet. Es kommt zur Hochleistungskathodenzerstäubung (Magnetronsputtern). Der so von dem Target erzeugte Metalldampf scheidet sich unter Reakti- on mit dem Sauerstoff als Metalloxidschicht auf dem Substrat ab.

Weitere Vorteile, Merkmale und Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden anhand der nachfolgenden Beispiele und der Figur erläutert.

Beispiel 1

In einer PVD-Beschichtungsanlage (Flexicoat; Hauzer Techno Coating) wurden Hartmetallsubstrate mit einer zweilagigen PVD-Beschichtung versehen. Vor der Abscheidung der Lagen wur- de die Anlage auf 1x10 ^"5 mbar evakuiert und die Hartmetalloberfläche durch lonenätzen mit 170 V Vorspannung gereinigt.

Substratzusammensetzungen: 1 ) HM-Feinkorn + 10,5 Gew.-% Co

2) HM-Grobkorn + 10,5 Gew.-% Co + 1 Gew.-% MC 3) HM-Grobkorn + 1 1 ,0 Gew.-% Co + 1 Gew.-% MC

(Erläuterung: HM-Feinkorn = WC-Hartmetall mit mittlerer Korngröße von ~ 1 μm

HM-Grobkorn = WC-Hartmetall mit mittlerer Korngröße von 3 - 5 μm) MC = Mischcarbide (TiC, TaC ...)

Substratqeometrie: SEHW120408 (nach DIN-ISO 1832)

Abscheidung der Lagen:

1. Lage: TiAIN ■ Lichtbogenabscheidung,

^■ Target: Ti/Al (33/67 At.-%) Rundquelle (63 mm Durchmesser),

^■ 80 Ampere, 495°C, 3 Pa N ₂ -Druck, 40 Volt Substratvorspannung,

^■ 3μm Schichtdicke;

2. Lage: (AI,Cr) _? O ₃

^■ Reaktives Magnetronsputtern,

^■ Target: Al/Cr (90/10 At.-%) Rundquelle (63 mm Durchmesser),

^■ 10 kW Sputterleistung, 495°C, 0,5 Pa Ar-Druck, ca. 100 sccm O ₂ , 150 Volt Substratvorspannung (unipolar gepulst), ■ 1 μm Schichtdicke.

Die TiAIN-Lage dient der Haftungsvermittlung zwischen dem Substrat und der oxidischen Lage. An der Beschichtung wurden XRD-Messungen, XPS-Messungen, Mikrosondenmessungen und Widerstandsmessungen durchgeführt. Die Mikrosondenmessungen zur Bestimmung der Ge- samtzusammensetzung wurden an einer einzelnen (AI, Cr) ₂ θ ₃ -Lage durchgeführt, da Messungen am Lagenverbund TiAIN-(AI, Cr) ₂ O ₃ mit der Mikrosonde zu Meßfehlern führt. Widerstandsbzw. Leitfähigkeitsmessungen ergaben, daß die (AI, Cr) ₂ θ ₃ -Lage bei allen Substraten insgesamt elektrisch leitfähig war mit Leitfähigkeiten von etwa 10 S/m.

Durch XRD- und XPS-Messung wurde festgestellt, daß die (AI, Cr) ₂ O ₃ -Lage bei allen Substraten eine stabile γ-AI ₂ O ₃ -Phase, zwei stabile Cr-Oxid-Phasen (CrO ₃ , Cr ₂ O ₃ ) und eine metastabile Cr-Oxid-Phase (CrO _x ) enthielt. Figur 1 zeigt das XPS-Spektrum von Cr (Mg Kα-Strahlung). Die XPS-Messung bestätigte, daß die Lage insgesamt 3 Chromoxidphasen enthielt. Die aus der XPS-Messung abgeschätzten Phasenanteile waren ungefähr wie folgt: Cr ₂ O ₃ 65 Gew.-%

CrO _x 20 Gew.-%

CrO ₃ 15 Gew.-%, wobei x = 0,9 betrug. Des weiteren ergaben die Ergebnisse der Messungen, daß innerhalb der (AI, Cr) ₂ O ₃ -Lage die metastabile Cr-Oxid-Phase die einzige der Metalloxidphasen war, die elektrisch leitfähig war und der Gesamtlage die Leitfähigkeit verlieh. Eine Phase von leitfähigem CrO ₂ konnte aufgrund der ermittelten Phasenanteile und des durch Mikrosondenmessung bestimmten Sauerstoffanteils ausgeschlossen werden.

Vergleichsbeispiel

Zum Vergleich wurden auf die gleichen Substrate wie in Beispiel 1 in der gleichen Beschich- tungsanlage mit einer zweilagigen Beschichtung der Lagenfolge 3 μm TiAIN - 1 μm AI ₂ O ₃ versehen. Die Abscheidungsbedingungen waren die gleichen wie in Beispiel 1 mit der Ausnahme, daß in Stufe für die Abscheidung der AI ₂ O ₃ -Lage ein reines AI-Target verwendet wurde.

In einem Fräsversuch an einem Werkstück aus 42CrMoV4-Stahl (Festigkeit: 850 MPa) wurden die Werkzeuge aus Beispiel 1 und dem Vergleichsbeispiel verglichen. Es wurde im Gleichlauf ohne Kühlschmierstoff mit einer Schnittgeschwindigkeit v _c = 236 m/min und einem Zahnvorschub f _z = 0,2 mm gefräst.

Der Verschleiß wurde auf der Freifläche als mittlere Verschleißmarkenbreite VB in mm (an der Hauptschneide) nach einem Fräsweg von 4800 mm gemessen. Es wurden folgende Verschleißmarkenbreiten VB festgestellt:

Verschleißmarkenbreite VB Beispiel 1 : 0,09 mm

Vergleichsbeispiel: 0,12 mm