図1は、この発明の一実施例に係るコイル部 品の分解斜視図であり、図2は、コイル部品� �外観図である。
 この実施例のコイル部品は、高速差動伝送� ��に適用可能なコモンモードチョークコイル� ��あり、図2に示すように、第1のコイルブロ� �ク2と第2のコイルブロック3とを基板として� �磁性体基板4-1,4-2に挟み込んで、チップ体を� ��成し、4つの外部電極5-1~5-4を、このチップ� �の外側に取り付けた構造になっている。

 第1のコイルブロック2は、磁性体基板4-1� �に形成されており、図1に示すように、外側� ��イル部6及び内側コイル部7で成る一のコイ� �体2-1と、このコイル体2-1を内包した絶縁体2- 2とを備えている。

 コイル体2-1は、内側コイル部7を外側コイ ル部6内に収納した状態で電気的に接続する� �とにより形成されており、外側コイル部6及� ��内側コイル部7は、複数のパターンを連結す ることにより形成されている。

 図3は、第1のコイルブロック2の構成を説明� ��るための平面図である。なお、理解を容易� ��するため、内側コイル部7を形成する各パタ ーンについては黒塗りで示し、並列パターン 部を構成する補助パターンの部分は、破線で 示した。
 図1に示すように、第1のコイルブロック2の� ��縁体2-2は、絶縁層21~23を積層して形成した� �のであり、外側コイル部6及び内側コイル部7 は、これら絶縁層21~23上にパターン形成され� ��いる。

 具体的には、外側コイル部6は、図3に示� �ように、絶縁層21上の第1パターン群6-1と絶� �層22上の第2パターン群6-2とで構成されてい� �。

 第1パターン群6-1は、図3(a)に示すように� �絶縁層21上に二重に配された異径で矩形の輪 状パターン61,62と、その外側に配された第1引 き出し部60とで成る。各輪状パターン61(62)は� ��両端部61a,61b(62a,62b)を有し、第1引き出し部60 が、輪状パターン61の外側に折り曲げ形成さ� ��ている。そして、第1引き出し部60の一方の� ��部60aが、絶縁層21の図の下側左縁部に配置� �れている。これにより、第1引き出し部60の� �部60aが第1のコイルブロック2から露出した状 態になっている。

 第2パターン群6-2は、図3(b)に示すように� �絶縁層22上に二重に配された異径で矩形の輪 状パターン63,64で成る。また、各輪状パター� ��63(64)の両端部63a,63b(64a,64b)は、所定の距離を 保って向かい合うように設定されている。端 部63a,64aと端部63b,64bとは、完全に対向してお� ��ず、互いに図面上下にずれて、端部63a,64aが 第1パターン群6-1の第1引き出し部60及び輪状� �ターン61の端部60b,61bに一致すると共に、端� �63b,64bが、端部61a,62aに一致している。

 このような構成の第1及び第2パターン群6-1,6 -2は、絶縁層22を介して対面し、絶縁層22のビ アホール22a~22d(図4(b)参照)を通じて電気的に� �続されている。具体的には、第1引き出し部6 0の端部60bがビアホール22aを通じて最外の輪� �パターン63の開放端部63aに接続されている。 そして、輪状パターン63の端部63bがビアホー� ��22bを通じて輪状パターン61の端部61aに、輪� �パターン61の端部61bがビアホール22cを通じて 輪状パターン64の端部64aに、輪状パターン64� �端部64bがビアホール22dを通じて輪状パター� �62の端部62aに、輪状パターン62の端部62bが後� ��する第1渦巻き状パターン7-1の外側端部7-1a� �それぞれ接続されている。
 すなわち、かかる接続構造により、第1パタ ーン群6-1及び第2パターン群6-2が、第1引き出� ��部60,輪状パターン63,輪状パターン61,輪状パ� ��ーン64,輪状パターン62の順で、螺旋状に接� �され、外側コイル部6全体が上下方向(図面表 裏方向)に交互に螺旋を描く。

 一方、内側コイル部7は、黒塗りで示すよう に、絶縁層21上の第1渦巻き状パターン7-1と絶 縁層22上の第2渦巻き状パターン7-2とで構成さ れている。
 具体的には、第1渦巻き状パターン7-1は、2� �き強の巻き数に設定され、第1パターン群6-1� ��おける最内の輪状パターン62の内側に配さ� �ている。そして、上記したように、第1渦巻� ��状パターン7-1の外側端部7-1aが輪状パターン 62の端部62bに接続されている。
 また、第2渦巻き状パターン7-2は、略2巻き� �巻き数に設定され、第2パターン群6-2におけ� ��最内の輪状パターン64の内側に配されてい� �。そして、第2渦巻き状パターン7-2の内側端� ��7-2aが、絶縁層22のビアホール22i(図4(b)参照)� ��通じて第1渦巻き状パターン7-1の内側端部7-1 bに接続されている。また、この第2渦巻き状� ��ターン7-2は、第2パターン群6-2の間隙を通っ て左側に引き出された第2引き出し部7-2bを有� ��、その端部7-2cが、絶縁層22の図の上側左縁� ��に位置している。これにより、端部7-2cは、 第1引き出し部60の端部60aとは反対側の位置で 第1のコイルブロック2から露出している。

 そして、図1に示すように、絶縁層23が、� ��記のような第2パターン群6-2及び第2渦巻き� �パターン7-2上に積層されている。これによ� �、螺旋状の外側コイル部6と渦巻き状の内側� ��イル部7とで成る一のコイル体2-1が形成され 、このコイル体2-1が絶縁層21~23で形成された� ��縁体2-2に内包されて、第1のコイルブロック 2を構成している。

 この実施例では、所定長さの補助パターン� ��第1,第2パターン群6-1,6-2に並列に接続して形 成した低インダクタンスの並列パターン部を 、上記コイル体2-1の外側コイル部6に複数設� �ている。
 具体的には、図3に示すように、第1の並列� �ターン部81と第2の並列パターン部82と第3の� �列パターン部83とを、第1引き出し部60と輪状 パターン62と輪状パターン64とのハッチで示� �部分に形成した。

 より詳細には、図3(b)の最外の破線で示すよ うに、第1引き出し部60のハッチ部分に対応し た形状の補助パターン81Aを絶縁層22上に形成� ��た。そして、この補助パターン81Aと第1引き 出し部60とをビアホール22e,22fを(図4(b)参照)通 じて並列に接続することで、並列パターン部 81を形成した。
 また、図3(b)の内側の破線で示すように、第 1パターン群6-1における最内の輪状パターン62 のハッチ部分に対応した形状の補助パターン 82Aを、絶縁層22上に形成した。そして、この� ��助パターン82Aと輪状パターン62とをビアホ� �ル22g,22h(図4(b)参照)を通じて並列に接続する� ��とで、並列パターン部82を形成した。
 さらに、図3(a)の破線で示すように、輪状パ ターン61の端部61bから延出して輪状パターン6 2の端部62aに至り、第2パターン群6-2における� ��内の輪状パターン64に対応した形状の補助� �ターン83Aを、絶縁層21上に形成した。上記し たように、輪状パターン64は、ビアホール22c, 22d(図4(b)参照)を通じて輪状パターン61,62の端� ��61b,62aに接続されているので、補助パターン 83Aは輪状パターン64に並列に接続された状態� ��なり、この部分に、並列パターン部83が形� �される。

 図4は、第1のコイルブロック2の構成を示す� ��面図であり、並列パターン部を構成する補� ��パターンも明示している。
 上記のように並列パターン部81~83を形成す� �ことで、図4(a)に示すように、補助パターン8 3Aが第1パターン群6-1の輪状パターン61,62の間� ��位置し、図4(c)に示すように、補助パターン 81Aが第2パターン群6-2の輪状パターン63の外側 に位置すると共に、補助パターン82Aが輪状パ ターン64と第2渦巻き状パターン7-2との間に位 置する。すなわち、補助パターン81A~83Aを絶� �層21,22上に形成し、しかも、輪状パターン61~ 64の間に配置することで、第1のコイルブロッ ク2の厚み方向への増加を回避して、第1のコ� ��ルブロック2の小型化を図っている。
 また、並列パターン部81を外側コイル部6の� ��外部に設け、並列パターン部82,83を外側コ� �ル部6の最内部に設けて、コイル体2-1の入力� ��と出力側とを差動信号に対して低インダク� ��ンスな構造にしている。

 図1に示すように、第2のコイルブロック3� ��、第1のコイルブロック2とほぼ同構造であ� �、外側コイル部6″及び内側コイル部7″で成 る一のコイル体3-1と、このコイル体3-1を内包 した絶縁体3-2とを備える。第2のコイルブロ� �ク3は、第1のコイルブロック2の上方に形成� �れ、第2のコイルブロック3のコイル体3-1が第 1のコイルブロック2のコイル体2-1と同軸で同� ��向を向いている。

 コイル体3-1も、コイル体2-1とほぼ同構造で� ��るが、第1引き出し部と第2引き出し部の引� �出し位置が異なる。
 図5は、第2のコイルブロック3の構成を説明� ��るための平面図であり、理解を容易にする� ��め、内側コイル部7″を形成する各パターン については黒塗りで示し、並列パターン部を 構成する補助パターンの部分は、破線で示し た。
 図1に示すように、第2のコイルブロック3の� ��イル体3-1は、外側コイル部6″の第1及び第2� ��ターン群6-1″,6-2″と内側コイル部7″の第1� ��び第2渦巻き状パターン7-1″,7-2″とを、絶� �体3-2を構成する絶縁層23~25上にパターン形成 して成る。
 すなわち、図5(a)に示すように、外側コイル 部6″(図1参照)の第1パターン群6-1″と内側コ� ��ル部7″(図1参照)の第1渦巻き状パターン7-1� �とが、絶縁層23上にパターン形成され、図5(b )に示すように、外側コイル部6″の第2パター ン群6-2″と内側コイル部7″の第2渦巻き状パ� ��ーン7-2″とが、絶縁層24上にパターン形成� �れている。
 そして、第1パターン群6-1″の第1引き出し� �60″及び輪状パターン61,62と、第2パターン群 6-2″の輪状パターン63,64とが、絶縁層24のビ� �ホール24a~24d(図6(b)参照)を通じて螺旋状に接� ��されて、外側コイル部6″が構成されている 。また、第1渦巻き状パターン7-1″と第2渦巻� ��状パターン7-2″とがビアホール24i(図6(b)参� �)を通じて直列接続されて、内側コイル部7″ が構成されている。
 さらに、第1引き出し部60″は、絶縁層23の� �側の位置に引き出され、その端部60″aが第2� ��コイルブロック3から露出している。そして 、第2パターン群6-2″の間隙から引き出され� �第2引き出し部7-2″bも、絶縁層24の右側に折� ��曲がり、その端部7-2″cを第2のコイルブロ� �ク3から露出させている。
 そして、図1に示すように、絶縁層25が、第2 パターン群6-2″及び第2渦巻き状パターン7-2� �上に積層されて、第2のコイルブロック3が形 成されている。

 上記コイル体3-1の外側コイル部6″にも、 第1,第2パターン群6-1″,6-2″に並列に接続し� �形成した低インダクタンスの第1の並列パタ� ��ン部81″と第2の並列パターン部82″と第3の� ��列パターン部83″とが設けられている。

 具体的には、図5(b)の最外の破線で示すよ うに、絶縁層24上の補助パターン81″Aと第1引 き出し部60″とをビアホール24e,24f(図6(b)参照) で並列に接続することで、並列パターン部81� ��を形成し、図5(b)の内側の破線で示すように 、補助パターン82″Aと輪状パターン62とをビ� ��ホール24g,24h(図6(b)参照)で並列に接続するこ とで、並列パターン部82″を形成した。そし� ��、図5(a)の破線で示すように、補助パターン 83″Aを絶縁層23上に設けて、並列パターン部8 3″を形成した。

 図6は、第2のコイルブロック3の構成を示す� ��面図であり、並列パターン部を構成する補� ��パターンも明示している。
 この第2のコイルブロック3においても、上� �のように並列パターン部81″~83″を形成する ことで、図6に示すように、厚み方向への増� �を回避して、第2のコイルブロック3の小型化 を図っている。また、コイル体3-1においても 、その入力側と出力側とが低インダクタンス な構造になっている。

 図1に示すように、磁性体基板4-2が、以上の ような第2のコイルブロック3の絶縁層25の上� �接着剤40を介して接着されて、チップ体が構 成されている。
 そして、外部電極5-1~5-4が、このチップ体の 外側に取り付けられている。
 具体的には、第1外部電極としての外部電極 5-1を、コイル体2-1の第1引き出し部60の端部60a に接続すると共に、第2外部電極としての外� �電極5-2を第2引き出し部7-2bの端部7-2cに接続� �た。そして、第3外部電極としての外部電極5 -3をコイル体3-1の第1引き出し部60″の端部60� �aに接続すると共に、第4外部電極としての外 部電極5-4を第2引き出し部7-2″bの端部7-2″cに 接続した。

 ここで、コイル部品1の製法について、図1� �参照しながら簡単に説明する。
 この実施例のコイル部品1は、第1パターン� �6-1及び第1渦巻き状パターン7-1,第2パターン� �6-2及び第2渦巻き状パターン7-2,補助パターン 81A~83A,第1パターン群6-1″及び第1渦巻き状パ� �ーン7-1″,第2パターン群6-2″及び第2渦巻き� �パターン7-2″,補助パターン81″A~83″Aと絶縁 層21~25とを、磁性体基板4-1上に交互に積層し� ��磁性体基板4-2を最上位に接着して形成され� ��ものある。そして、各層の材料としては、� ��に様なものが使用される。
 基板としては、磁性体基板4-1,4-2を使用した 。以後のフォトリソグラフィ工法に支障がな いように、磁性体基板4-1の表面粗さRaを0.5μm� ��下に研磨しておくことが望ましい。なお、� ��の実施例では、磁性体基板を使用している� ��、コイル部品の用途に応じて、誘電体基板� ��絶縁体基板を用いることもできる。
 また、絶縁層21~25を形成するための絶縁材� �としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂� �ベンゾシクロブテン樹脂等の種々の樹脂材� �、あるいはSiO2等のガラス、ガラスセラミク� ��、誘電体等を用いたり、複数材料を組み合� ��せたものを用いることができる。この実施� ��では、フォトリソグラフィ工法を採用する� ��とから、絶縁層21~25の材料として感光性ポ� �イミド樹脂を使用した。
 また、第1及び第2パターン群6-1,6-2,6-1″,6-2� �と第1及び第2渦巻き状パターン7-1,7-2,7-1″,7-2 ″と補助パターン81A~83A,81″A~83″Aとを形成す るための導電性材料としては、導電性に優れ たAg、Pd、Cu、Al等の金属、あるいはこれらの� ��金を用いることができる。この実施例では� ��Agを用いた。なお、この絶縁材料と導電性� �料との組み合わせは、加工性・密着性等を� �慮して選択することが望ましい。
 また、接着剤40として熱硬化性のポリイミ� �樹脂を用いた。

 コイル部品1の製法においては、まず、絶縁 材料を磁性体基板4-1上に塗布し、光硬化させ ることで、第1絶縁層としての絶縁層21を形成 する。そして、スパッタリングや蒸着等の薄 膜形成法やスクリーン印刷等の厚膜形成法を 用いて、導電材料の膜をこの絶縁層21上に形� ��する。しかる後、レジスト塗布-露光-現像-� ��ッチング-レジスト剥離等の一連のフォトリ ソグラフィ工法により、第1パターン群6-1,第1 渦巻き状パターン7-1及び補助パターン83Aを絶 縁層21上にパターン形成する。次に、絶縁材� ��を第1パターン群6-1及び第1渦巻き状パター� �7-1上に塗布して、フォトリソグラフィ工法� �より、ビアホール22a~22i(図4(b)参照)を有した� ��2絶縁層としての絶縁層22を形成する。そし� ��、この絶縁層22上に導電材料の膜を形成し� �後、フォトリソグラフィ工法により、第2パ� ��ーン群6-2,第2渦巻き状パターン7-2及び補助� �ターン81A,82Aをパターン形成する。これによ� ��、上層の第2パターン群6-2,第2渦巻き状パタ� ��ン7-2及び補助パターン81A,82Aと下層の第1パ� �ーン群6-1,第1渦巻き状パターン7-1及び補助パ ターン83Aとがビアホール22a~22iを通じて電気� �に接続され、並列パターン部81~83を有したコ イル体2-1を絶縁体2-2に内包する第1のコイル� �ロック2が形成される。
 以後同様に、絶縁層23~25と第1及び第2パター ン群6-1″,6-2″と第1及び第2渦巻き状パターン 7-1″,7-2″と補助パターン81″A~83″Aとを交互� ��層して、並列パターン部81″~83″を有した� �イル体3-1を絶縁体3-2に内包する第2のコイル� ��ロック3を形成する。しかる後、接着剤40を� ��布した磁性体基板4-2を第2のコイルブロック 3の絶縁層25上に接着させた。この状態で、真 空中又は不活性ガス中で加熱・加圧し、冷却 後、圧力を解除することで、磁性体基板4-2を 第2のコイルブロック3上に強固に接合する。
 そして、かかる工程で得たウエハをダイシ� ��グ等の切断加工により、所定サイズのチッ� ��体に分割した後、各チップ体に外部電極5-1~ 5-4を形成する。この際、Ag,Ab-Pd,Cu,NiCr又はNiCu� ��の材料を含む導電性ペーストを塗布したり� ��その材料をスパッタリングや蒸着等で金属� ��膜し、この金属膜の上に、湿式電解メッキ� ��、Ni、Sn、Sn-Pb等の金属膜をさらに形成する� ��とで、外部電極5-1~5-4を形成する。
 以上のように、コイル部品1の製法に、フォ トリソグラフィ工法を採用することで、小型 で高精度なコイル部品1を製造することがで� �る。

 次に、この実施例のコイル部品1が示す作用 及び効果について説明する。
 図7は、高速差動伝送路にコイル部品1を実� �した状態を示す概略図である。
 図7に示すように、パーソナルコンピュータ のトランスミッタ400をモニタ側のレシーバ401 にケーブル402を介して接続し、デジタルの差 動信号D+,D-をトランスミッタ400からレシーバ4 01へ伝送するDVIやHDMI規格の高速差動伝送路に コイル部品1を実装する場合について説明す� �。なお、DVIやHDMI規格の伝送方式では、1対の クロック差動信号と3対のデータ差動信号D+,D- を送信するが、ここでは、理解を容易にする ため、1対の差動信号D+,D-を通す線路に着目し 、この線路にコイル部品1を実装した場合を� �にして説明する。

 図7において、コイル部品1は、コモンモー� �チョークコイルとして作用する。すなわち� �ノーマルモード時には、差動信号D+が外部電 極5-1からコイル体2-1に入力した後、外部電極 5-2から出力され、逆位相の差動信号D-が外部� ��極5-4からコイル体3-1に入力した後、外部電� ��5-3から出力される。このとき、コイル体2-1� ��外部電極5-1から入力した差動信号D+は、外� �コイル部6を螺旋状に流れた後、内側コイル� ��7において回転しながら流れて、外部電極5-2 に至る。一方、差動信号D-は、差動信号D+と� �位相なので、コイル体3-1の外部電極5-4から� �力し、内側コイル部7″を回転しながら流れ� ��後、外側コイル部6″において螺旋状に流れ て、外部電極5-3に至る。このように、差動信 号D+,D-が互いに逆方向に流れるので、コイル� ��品1内の磁界が打ち消し合って、コイル部品 1のインピーダンスが低くなり、差動信号D+,D- が減衰されることなく、コイル部品1を通過� �る。
 これに対して、コモンモード時には、ノイ� ��がコイル体2-1,3-1に同方向から入力するので 、磁界が強め合って、コイル部品1が高イン� �ーダンス状態になり、ノイズがコイル部品1� ��よって減衰される。

 ところで、図1~図4に示したように、コイル� ��2-1における外側コイル部6の第1パターン群6- 1及び第2パターン群6-2が、第1引き出し部60,輪 状パターン63,輪状パターン61,輪状パターン64, 輪状パターン62の順で、螺旋状に直列接続さ� ��ている。そして、内側コイル部7の第1渦巻� �状パターン7-1が外側コイル部6に直列に接続� ��れ、第2渦巻き状パターン7-2がこの第1渦巻� �状パターン7-1に直列に接続された構造にな� �ている。
 このため、コイル体2-1内では、特性インピ� ��ダンスが、第1引き出し部60から第2引き出し 部7-2bに向かうに従って漸次増加して、許容� �囲外になり、第1引き出し部60側から入力し� �差動信号D+がコイル体2-1の内部で反射される おそれがある。
 しかしながら、この実施例では、並列パタ� ��ン部81を外側コイル部6の最外部に設け、並� ��パターン部82,83を外側コイル部6の最内部に� ��けて、コイル体2-1の入力側と出力側の特性� ��ンピーダンスが低くなる構造にしている。
 したがって、外部電極5-1を入力端とするコ� ��ル体2-1の特性インピーダンスは、まず、外� ��電極5-1によって下げられた後、さらに並列� ��ターン部81によって下げられる。そして、� �性インピーダンスは、輪状パターン63,61の2� �き部分で高くなるが、並列パターン部81によ って予め所定値まで下げておくことで、輪状 パターン63,61の部分の特性インピーダンスの� ��昇を許容範囲に納めることができる。また� ��特性インピーダンスは、並列パターン部83,8 2によって十分に下げられた後、直列に接続� �れた第1及び第2渦巻き状パターン7-1,7-2によ� �て上げられるので、特性インピーダンスを� �列パターン部83,82によって予め所定値まで下 げるように設定しておくことで、第1及び第2� ��巻き状パターン7-1,7-2による特性インピーダ ンスの上昇を許容範囲内に納めることができ る。
 このように、コイル体2-1では、並列パター� ��部81~83によって、コイル体2-1内の特性イン� �ーダンスを許容範囲内に納めるようにする� �とができるので、差動信号D+が外部電極5-1か らコイル体2-1に入力した後、内部で反射する という事態を防止することができる。
 また、外側コイル部6における浮遊容量は、 輪状パターン63,61の部分に生じることとなる� ��、輪状パターン63,61が上下に近接して配設� �れているので、輪状パターン63,61間の電位降 下は少ない。このため、輪状パターン63,61間� ��生じる浮遊容量は非常に小さい。

 一方、外部電極5-4を入力端とするコイル体3 -1の特性インピーダンスは、図1,図5及び図6に 示したように、まず、外部電極5-4によって下 げられるので、第2渦巻き状パターン7-2″及� �第1渦巻き状パターン7-1″によって上昇する� ��性インピーダンスを許容範囲内に納めるこ� ��ができる。そして、外側コイル部6″の並列 パターン部82″,83″によって、特性インピー� ��ンスを下げることで、輪状パターン63,61の2� ��き部分での上昇を許容範囲内に納めること� ��できる。しかる後、特性インピーダンスは� ��並列パターン部81″によって十分に下げら� �る。
 このように、コイル体3-1においても、コイ� ��体3-1内の特性インピーダンスを、並列パタ� ��ン部81″~83″によって許容範囲内に納める� �とができるので、差動信号D-が外部電極5-4か らコイル体3-1に入力した後、内部で反射する という事態を防止することができる。

 以上のように、この実施例のコイル部品1 によれば、所定長さの並列パターン部81~83を� ��けることで、所望インダクタンスを確保し� ��つ、コイル体2-1(3-1)内部の特性インピーダ� �スを許容範囲内に納めることができる。

 発明者等は、かかる作用及び効果を確認す� ��く、次のような実験を行った。
 図8は、コイルが全て並列パターンで構成さ れているコイル部品の特性インピーダンスを 示す線図であり、図9は、コイルが全て直列� �ターンで構成されているコイル部品の特性� �ンピーダンスを示す線図であり、図10は、コ イルが並列パターンと直列パターンとで構成 されているコイル部品の特性インピーダンス を示す線図である。
 発明者等は、試料のコイル部品のチップサ� ��ズを0.8mm×0.8mm、コイル体のターン数及びパ� ��ーン幅を6.5ターン及び約15μmに設定し、入� �するパルス信号の立ち上がり時間を200psに設 定して、TDR測定を行った。
 まず、図12に示した第1従来技術のコイル部� ��100のように、コイルが全て並列パターンで� ��成されているコイル部品をTDR測定したとこ� ��、図8の特性インピーダンス曲線V1で示すよ� ��に、特性インピーダンスが許容範囲100±15(ω )を下回る部分が生じることが確認された。
 また、図13に示した第2従来技術のコイル部� ��200のように、コイルが全て直列パターンで� ��成されているコイル部品をTDR測定したとこ� ��、図9の特性インピーダンス曲線V2で示すよ� ��に、特性インピーダンスが許容範囲100±15(ω )を上回る部分が生じることが確認された。
 これに対して、並列パターン部81~83(81″~83� �)を外側コイル部6の最外部と最内部とに混在 させたこの実施例のコイル部品1を試料とし� �、TDR測定をしたところ、図10の特性インピー ダンス曲線V3で示すように、出力側での特性� ��ンピーダンスが115ω以下に入ることを確認� �きた。
 以上から、この実施例のコイル部品1が、立 ち上がり時間が200psのパルス信号を用いたTDR� ��験にパスする適格性を有していることを確� ��することができた。

 発明者等は、コイル体2-1(3-1)の内部の特性� �ンピーダンスが、並列パターン部81~83(81″~83 ″)によって下げられ、また、外側コイル部6� ��内側コイル部7を構成する直列のパターンに よって上げられることをさらに詳しく知るた めに、立ち上がり時間が75psのパルス信号を� �い、分解能を高めて、TDR測定を行った。
 図11は、75psのパルス信号を用いたTDR測定時� ��特性インピーダンスを示す線図である。
 かかる測定の結果、図11に示すように、コ� �ル部品1の特性インピーダンスは、入力側(図 11の左側)において減少し、出力側で増加する が、特性インピーダンスが入力側で90ω程度� �で大きく下げられ、このインピーダンスの� �降によって、出力側での特性インピーダン� �が115ω以内に納められることを確認できた。 そして、入力側と出力側との間で、特性イン ピーダンスが、急激に上昇又は下降して、許 容範囲から大きく外れてしまうような部分が ないことも確認した。

 なお、この発明は、上記実施例に限定され� ��ものではなく、発明の要旨の範囲内におい� ��種々の変形や変更が可能である。
 例えば、上記実施例では、コイル部品1をコ モンモードチョークコイルとして機能させる ため、第1及び第2のコイルブロック2,3を構成� ��素としたが、この発明には、フェライトビ� ��ズのようにコイルブロックが1つのコイル部 品も含むことは勿論である。
 また、上記実施例では、磁性体基板4-1,4-2を 構成要素としたが、これらの基板がないコイ ル部品や一の基板のみを有するコイル部品を 発明の範囲から除外する意ではない。
 また、上記実施例では、並列パターン部を� ��側コイル部6(6″)にのみ設けたが、内側コイ ル部7(7″)に、並列パターン部を設けて、内� �の特性インピーダンスを低い範囲内に納め� �ようにすることもできる。具体的には、所� �長さの補助パターンを第1渦巻き状パターン7 -1(7-1″)や第2渦巻き状パターン7-2(7-2″)と並� �に接続して、一以上の並列パターン部を形� �することができる。