ところで、この冷陰極電離真空計において� ��陰極と陽極との間に高電圧を印加しても放� ��が生じないことがあり、また放電が生じて� ��、冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけ� ��時刻と、放電して電流が流れ始める時刻と� ��間には時間の遅れが生ずることがあった。� ��の遅れは、気体の圧力によって変わり、標� ��的な真空計では、10 ^-3 Paの圧力下で数秒間、10 ^-8 Paの圧力下で数時間である。このように、低� ��力下における放電開始時の遅れは、許容し� ��たい長さであり、測定の効率化を阻害する� ��のであった。

 また、従来の冷陰極電離真空計は、電源に� ��続されたコネクタと陽極とが一体に形成さ� ��ていたため、陽極が放電により消耗した際� ��コネクタごと交換する必要があり、交換費� ��が嵩むという課題があった。この課題は陽� ��をコネクタに対して螺合させ、着脱自在に� ��り付けることによって解決することができ� ��。
 しかしながら、棒状の陽極の一端にコネク� ��と螺合する螺子部を形成した場合、前記螺� ��部側をコネクタと螺合させなければならず� ��陽極の取り付けを困難なものにしていた。

 本発明者等は、上記した課題について鋭� ��検討し、陽極の表面に凹凸が形成されてい� ��場合、陽極の表面が滑らかな場合に比べて� ��電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に� ��して高電圧をかけた時刻と、放電して電流� ��流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さ� ��ことを知見した。そしてまた、前記凹凸を� ��子部の山谷で形成することにより、陽極の� ��り付けの方向性を解決できることを知見し� ��本発明を完成するに至った。

 本発明は、前記したように放電が生じや� ��く、また冷陰極電離真空計に対して高電圧� ��かけた時刻と、放電して電流が流れ始める� ��刻との間の時間の遅れが小さく、更に、陽� ��の取り付けの方向性がなく、容易に陽極を� ��換することができる冷陰極電離真空計を提� ��することを目的とする。

 上記目的を達成するためになされた本発明� ��かかる冷陰極電離真空計は、筒状の陰極と� ��前記筒状の陰極の内部空間に配置された棒� ��の陽極と、前記陽極と陰極との間の電界に� ��ぼ直交する磁界を形成し、前記陽極と陰極� ��の間に放電を起こす磁性手段とを備えた冷� ��極電離真空計において、前記陽極の先端部� ��凹凸部が形成され、前記凹凸部は陰極の筒� ��の空間に配置されていることを特徴として� ��る。
 このように、陽極の先端部分に凹凸部が形� ��されているため、放電が生じやすく、また� ��陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時� ��と、放電して電流が流れ始める時刻との間� ��時間の遅れが小さく、測定を効率的に行な� ��ことができる。

 ここで、前記凹凸部は螺子部であること� ��望ましい。このように螺子部を形成するこ� ��により、螺子の山谷によって容易に凹凸部� ��形成することができる。

 また、上記目的を達成するためになされ� ��本発明にかかる冷陰極電離真空計は、圧力� ��測定するチャンバーと連通した空間に設け� ��れた筒状の陰極と、前記筒状の陰極の内部� ��間に配置された棒状の陽極と、前記陽極と� ��極との間の電界にほぼ直交する磁界を形成� ��、前記陽極と陰極との間に放電を起こす磁� ��手段とを備えた冷陰極電離真空計において� ��前記陽極の両端に螺子部が形成され、前記� ��極の一端の螺子部はコネクタに電気的に接� ��されると共に、他端の螺子部は陰極の筒内� ��空間に配置されていることを特徴としてい� ��。

 このように、前記陽極の両端には螺子部が� ��成されているため、いずれか一端に形成さ� ��た螺子部をコネクタに螺合することによっ� ��、陽極をコネクタに取り付けることができ� ��陽極の取り付け方向の制約を解消できる。
 しかも、陽極の他端部の螺子部は、陰極の� ��内の空間に配置されているため、放電が生� ��やすく、また冷陰極電離真空計に対して高� ��圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始� ��る時刻との間の時間の遅れが小さい。

 ここで、前記陽極の両端に形成された螺子� ��の長さは同一寸法であり、かつ前記両端の� ��子部には同一ピッチの螺子が形成されてい� ��ことが望ましい。
 尚、前記陽極の両端に形成された螺子部の� ��さが異なる場合には、いずれの螺子部も、� ��なくともコネクタと螺合する螺子部以上の� ��さに形成するのが好ましい。

 また、前記陽極の全長が28mm以上30mm以下� �あり、その先端部に3mm以上10mm以下の螺子部� ��形成されていることが望ましい。

 本発明の冷陰極電離真空計によれば、放電� ��生じ易く、また冷陰極電離真空計に対して� ��電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ� ��める時刻との間の時間の遅れが小さいとい� ��効果を奏するものである。
 また、本発明の冷陰極電離真空計によれば� ��陽極の取り付けの方向性がなく、容易に陽� ��を交換することができるという効果を奏す� ��ものである。