図1は、この発明の第1実施例に係るコモ� �モードチョークコイルを示す分解斜視図で� �り、図2は、コモンモードチョークコイルの� ��観図であり、図3は、図2の矢視C-C断面図で� �る。

 この実施例のコモンモードチョークコイ� ��1は、図1~図3に示すように、第1の磁性体基� �としての磁性体基板2-1と、磁性体基板2-1上� �形成された絶縁体3と、この絶縁体3内に内包 された第1のコイル体としてのコイル体4及び� ��2のコイル体としてのコイル体5と、磁粉入� �樹脂6と、接着剤37を介して磁粉入り樹脂6上� ��接着された磁性体基板2-2と、第1~第4の外部� ��極としての外部電極7-1~7-4とを備えている。

 絶縁体3は、図1に示すように、絶縁層31~35 を積層して形成したものであり、コイル体4,5 は、これらは、絶縁層31~35上に積層形成され� ��いる。

 コイル体4は、磁性体基板2-1の上方に積層形 成されており、コイル本体部40と、第1の引出 線としての引出線41と、第2の引出線としての 引出線42とで構成されている。
 具体的には、引出線42が、絶縁層31上にパタ ーン形成され、コイル本体部40が、絶縁層32� �にパターン形成され、コイル本体部40の他方 端である内端40bが絶縁層32のビアホール32aを� ��じて、引出線42の基端部42bに接続されてい� �。そして、引出線41が、コイル本体部40の一� ��端である外端40aから引き出されるように、� ��ターン形成されている。

 図4は、コイル体4の構造を説明するための� �略平面図である。
 図4に示すように、コイル体4のコイル本体� �40は、積層方向から見て、四角形の渦巻き状 を成し、その外端40aを、絶縁体3の一の側面� �ある前面3a側に位置させると共に、内端40bを 、他の側面である後面3b側に位置させている� ��
 かかるコイル本体部40は、外側から内側に� �かって右方向に巻いている。そして、引出� �41が、コイル本体部40の外端40aから前面3a側� �向かって引き出された後、コイル本体部40の 巻き方向に対して逆方向(左方向)に折り曲げ� ��れている。一方、引出線42もコイル本体部40 の内端40bから後面3b側に向かって引き出され� ��後、コイル本体部40の巻き方向に対して逆� �向(左方向)に折り曲げられている。
 外部電極7-1,7-2は、絶縁体3の前面3aにそれぞ れ並設され、外部電極7-3,7-4は、外部電極7-1,7 -2と対向するように、後面3bに並設されてお� �、上記のように左側に折り曲げ形成された� �出線41,42の先端部41a,42aが、外部電極7-1,7-3に� ��れぞれ接続されている。

 図1に示すように、コイル体5は、コイル体4� ��上方に積層形成されており、コイル本体部5 0と、第1の引出線としての引出線51と、第2の� ��出線としての引出線52とで構成されている� �
 具体的には、コイル本体部50が、絶縁層33上 にパターン形成され、引出線51が、このコイ� ��本体部50の一方端である外端50aから引き出� �れるように、パターン形成されている。ま� �、引出線52は、絶縁層34上にパターン形成さ� ��、その基端部52bが、絶縁層34のビアホール34 aを通じてコイル本体部50の他方端である内端 50bに接続されている。

 図5は、コイル体5の構造を説明するための� �略平面図である。
 図5に示すように、コイル体5のコイル本体� �50は、コイル本体部40と同一形状を成し、コ� ��ル本体部40の真上に対向するように(図1及び 図3参照)、積層形成されている。したがって� ��コイル本体部50においても、その外端50aを� �絶縁体3の前面3a側に位置させると共に、内� �50bを、後面3b側に位置させている。
 かかるコイル本体部50も、外側から内側に� �かって右方向に巻いているが、引出線51は、 コイル本体部50の外端50aから前面3a側に向か� �て引き出された後、コイル本体部50の巻き方 向に対して同方向(右方向)に引き出されてい� ��。一方、引出線52もコイル本体部50の内端50b から後面3b側に向かって引き出された後、コ� ��ル本体部50の巻き方向に対して同方向(右方� ��)に引き出されている。
 そして、これら引出線51,52の先端部51a,52aが� ��外部電極7-2,7-4にそれぞれ接続されている。

 図1に示す磁粉入り樹脂6は、この実施例� �特徴である第1及び第2の磁性部を形成するた めの樹脂であり、図3に示すように、充填孔30 Aをコイル体4の引出線41とコイル本体部40の最 外周の電極線40Aとの間に形成すると共に、充 填孔30Bを引出線42と最外周の電極線40Aとの間� ��形成し、磁粉入り樹脂6をこれら充填孔30A,30 Bに印刷等で充填することで、第1の磁性部と� ��ての磁性部61と第2の磁性部としての磁性部6 2とを形成した。

 ここで、磁性部61,62について、具体的に説� �する。
 充填孔30Aは、図1に示すように、絶縁層31~35� ��設けた矩形孔31b~35bを連通させることで形成 され、充填孔30Bは、矩形孔31c~35dを連通させ� �ことで形成されている。したがって、図2及� ��図3に示すように、これらの充填孔30A,30Bに� �填された磁性部61,62は、断面矩形の柱体を成 し、その上下端が磁性体基板2-1,2-2にそれぞ� �連結した状態になっている。つまり、磁性� �61,62の厚さは、磁性体基板2-1,2-2間の距離と� �ぼ等しく設定されている。

 図6は、第1の磁性部61を説明するための概略 部分拡大平面図であり、図7は、第2の磁性部6 1を説明するための概略部分拡大平面図であ� �。
 図6(図7)に示すように、磁性部61(62)の幅w1(w2) は、引出線41(42)と最外周の電極線40Aとの間隙 G1(G2)の幅W1(W2)の3分の1~3分の2の範囲内に設定� ��れている。これにより、磁性部61(62)が、磁� ��部61(62)をこれを囲む引出線41(42)及び最外周� ��電極線40Aから一定距離だけ離れ、一定幅の� ��縁体3が、磁性部61(62)と引出線41(42)及び最外 周の電極線40Aとの間に介在することとなる。
 また、磁性部61(62)の長さ(図6及び図7の横方� ��の長さ)は、間隙G1(G2)の長さL1(L2)よりも長く 設定されている。

 ここで、コモンモードチョークコイル1の製 法について、図1を参照しながら簡単に説明� �る。
 この実施例のコモンモードチョークコイル1 は、絶縁層31~35とコイル本体部40,50と引出線41 ,42,51,52とを、磁性体基板2-1上に交互に積層し 、磁粉入り樹脂6の上に磁性体基板2-2を接着� �て形成されるものある。そして、各層の材� �としては、次に様なものが使用される。
 磁性体基板2-1,2-2としては、フェライト基板 を用いた。以後のフォトリソグラフィ工法に 支障がないように、磁性体基板2-1の表面粗さ Raを0.5μm以下に研磨しておくことが望ましい� ��
 また、絶縁層31~35を形成するための絶縁材� �としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂� �ベンゾシクロブテン樹脂等の種々の樹脂材� �、あるいはSiO2等のガラス、ガラスセラミク� ��、誘電体等を用いたり、複数材料を組み合� ��せたものを用いることができる。この実施� ��では、フォトリソグラフィ工法を採用する� ��とから、絶縁層31~35の材料として感光性ポ� �イミド樹脂を使用した。
 また、コイル本体部40,50と引出線41,42,51,52と を形成するための導電性材料としては、導電 性に優れたAg、Pd、Cu、Al等の金属、あるいは� ��れらの合金を用いることができる。この実� ��例では、Agを用いた。なお、この絶縁材料� �導電性材料との組み合わせは、加工性・密� �性等を考慮して選択することが望ましい。
 また、接着剤37として熱硬化性のポリイミ� �樹脂を用いた。

 コモンモードチョークコイル1の製法におい ては、まず、絶縁材料を磁性体基板2-1上に塗 布し、レジスト塗布-露光-現像-エッチング-� �ジスト剥離等の一連のフォトリソグラフィ� �法やレーザを用いて、矩形孔31b,31cを有した� ��縁層31を形成する。そして、スパッタリン� �や蒸着等の薄膜形成法やスクリーン印刷等� �厚膜形成法を用いて、導電材料の膜をこの� �縁層31上に形成する。しかる後、レジスト塗 布-露光-現像-エッチング-レジスト剥離等の� �連のフォトリソグラフィ工法により、引出� �42を絶縁層31上にパターン形成する。次に、� ��縁材料を引出線42上に塗布して、フォトリ� �グラフィ工法により、ビアホール32aと矩形� �32b,32cを有した絶縁層32を形成する。そして� �この絶縁層32上に導電材料の膜を形成した後 、フォトリソグラフィ工法により、コイル本 体部40及び引出線41をパターン形成する。こ� �により、コイル本体部40の内端40bと下層の引 出線42の基端部42bとがビアホール32aを通じて� ��気的に接続され、コイル体4が形成される。 そして、矩形孔31b,31cと矩形孔32b,32cとが連通� ��た状態になる。
 以後同様に、絶縁層33~35と引出線51及びコイ ル本体部50と引出線52とを交互積層して、コ� �ル体5を形成すると共に、連通した矩形孔33b, 33c~35b,35cを形成する。
 これにより、絶縁体3を積層方向に貫通した 充填孔30A,30B(図3参照)が形成されるので、磁� �を充填孔30A,30Bに充填して、磁性部61,62を形� �する。
 磁粉を充填孔30A,30Bに充填する方法としては 、磁粉を混ぜた樹脂を、絶縁体3の上面にス� �ン塗布又は印刷したり、感光性磁粉入りペ� �スト材を絶縁体3上にスピン塗布する方法が� ��る。この実施例では、磁粉入り樹脂を印刷� ��る方法を採用した。
 すなわち、図3に示すように、磁粉入り樹脂 6を絶縁体3の上面に印刷して、磁粉入り樹脂6 を充填孔30A,30B内に充填し、磁性部61,62を充填 孔30A,30B内に形成した。
 なお、上記のように、一度に矩形孔31b,31c~35 b,35cを形成した後に、磁粉入り樹脂6を印刷し て磁性部61,62を形成するのでなく、感光性磁� ��入りペースト材を、矩形孔31b,31c(32b,32c~35b,35 c)を有した各絶縁層31(32~35)上に随時印刷した� ��、フォトリソグラフィ工法を用いて、各矩� ��孔31b,31c(32b,32c~35b,35c)毎に磁性部を形成する� ��分的形成方法も採用することができる。
 しかる後、図1に示すように、接着剤37を塗� ��した磁性体基板2-2を磁粉入り樹脂6の上に接 着させた。この状態で、真空中又は不活性ガ ス中で加熱・加圧し、冷却後、圧力を解除す ることで、磁性体基板2-2を磁粉入り樹脂6上� �強固に接合する。
 そして、かかる工程で得たウエハをダイシ� ��グ等の切断加工により、所定サイズのチッ� ��体に分割した後、各チップ体に外部電極7-1~ 7-4を形成する。この際、Ag,Ab-Pd,Cu,NiCr又はNiCu� ��の材料を含む導電性ペーストを塗布したり� ��その材料をスパッタリングや蒸着等で金属� ��膜し、この金属膜の上に、湿式電解メッキ� ��、Ni、Sn、Sn-Pb等の金属膜をさらに形成する� ��とで、外部電極7-1~7-4を形成する。
 以上のように、コモンモードチョークコイ� ��1の製法に、フォトリソグラフィ工法を採用 することで、小型で高精度なコモンモードチ ョークコイル1を製造することができる。

 次に、この実施例のコモンモードチョーク� ��イルが示す作用及び効果について説明する� ��
 図8は、コモンモードチョークコイル1を伝� �路に実装した状態を示す斜視図であり、図9� ��、磁性部61,62の機能を説明するための部分� �大断面図である。
 図8に示すように、コモンモードチョークコ イル1は、USB等の高速伝送路300にに実装して� �用することができる。
 具体的には、コモンモードチョークコイル1 の外部電極7-1,7-3を高速伝送路300の一方の線� �301に接続し、外部電極7-2,7-4を他方の線路302� ��接続する。そして、線路301,302上の1対の差� �信号S,-Sを、外部電極7-1,外部電極7-2にそれぞ れ入力すると、外部電極7-1に入力された差動 信号Sが、図1に示すコイル体4の引出線41を通� ��てコイル本体部40内に入力する。そして、� �出線42と外部電極7-3を通じて出力側の線路301 上に出力される。一方、外部電極7-2に入力さ れた差動信号-Sは、図1に示すコイル体5の引� �線51を通じてコイル本体部50内に入力し、引� ��線52,外部電極7-4を通じて出力側の線路302に� ��力される。
 このとき、差動信号S,-S同士は、同振幅且つ 逆位相であるので、コイル体4のコイル本体� �40に流れる差動信号Sとコイル体5のコイル本� ��部50に流れる差動信号-Sとは互いに逆方向に 流れる。このため、磁界がこれらのコイル体 4,5の間に集中し、コモンモードチョークコイ ル1全体のインダクタンス値が減少し、差動� �号S,-Sがスムーズにコイル体4,5内を通過する� ��とができる。

 ところで、図4に示したように、コイル体4� �外端40a(内端40b)から引き出された引出線41(42) は、コイル本体部40の巻き方向に対して逆方� ��(左方向)に折り曲げられている。したがっ� �、図6(図7)に示したように、引出線41(引出線4 2)を流れる電流Iの向きと、引出線41(引出線42) に近接するコイル本体部40の最外周の電極線4 0Aを流れる電流Iの向きとが逆向きとなる。こ のため、引出線41(42)と最外周の電極線40Aとの 間の間隙G1(G2)を通って積層方向を向く磁界が 強められる。
 一方、図5に示したように、コイル体5の外� �50a(内端50b)から引き出された引出線51(52)は、 コイル本体部50の巻き方向に対して同方向(右 方向)に引き出されている。したがって、引� �線51(52)を流れる電流の向きと、引出線51(引� �線52)に近接するコイル本体部50の最外周の電 極線50Aを流れる電流の向きとが同じ向きであ る。このため、これらの電流によって発生し た磁界が、磁性体基板2-1,2-2を通り、磁性体� �板2-1,2-2によって強められる。
 この磁界が、上記のように引出線41(42)と最� ��周の電極線40Aとの間に生じる磁界よりも強� ��場合には、コイル体4とコイル体5とのイン� �クタンス値に差が生じ、図8に示す差動信号S ,-Sがコモンモードノイズとなって外部電極7-3 ,7-4から線路301,302に出力される割合が高くな� ��。つまり、コモンモードチョークコイル1の Scd21が高くなるおそれがある。

 しかしながら、この実施例のコモンモード� ��ョークコイル1においては、図3及び図4に示� ��たように、磁粉入り樹脂6を、引出線41(42)と コイル本体部40の最外周の電極線40Aとの間の� ��填孔30A(30B)に充填して、磁性部61(62)を形成� �たので、図9に示すように、引出線41(42)と電� ��線40Aとの間の磁界Hが磁性部61(62)によって、 強められる。
 この実施例では、図3に示したように、磁性 部61(62)厚さを、磁性体基板2-1,2-2間の距離と� �ぼ等しく設定すると共に、図6(図7)に示した� ��うに、一定幅の絶縁体3を、磁性部61(62)と引 出線41(42)及び最外周の電極線40Aとの間に介在 させ、且つ磁性部61(62)の長さを、間隙G1(G2)の 長さL1(L2)よりも長く設定して、引出線41(42)と 電極線40Aとの間の磁界Hの強さを調整した。� �なわち、コイル体4のインダクタンス値とコ� ��ル体5のインダクタンス値とがほぼ等しくな るように調整した。

 したがって、この実施例のコモンモードチ� ��ークコイル1では、図8に示す差動信号S,-Sの� ��とんどが、差動信号S,-Sとしてそのまま出力 され、コモンモードノイズに変換される割合 は少なくなり、Scd21が、非常に低くなる。
 また、磁性部62と引出線42及び最外周の電極 線40Aとの間に一定幅の絶縁体3が介在させた� �で、高周波特性の劣化を防止しつつ、磁気� �率を高めることができる。

 発明者等は、かかる効果を確認すべく、次� ��ようなシミュレーションを行った。
 図10は、シミュレーションの結果を示す線� �である。
 まず、図1に示したコモンモードチョークコ イル1から磁性部61,62を除き、チップの縦、横 、高さを1.25mm×1.0mm×0.82mm、コイル体4,5のコイ ル本体部40,50の巻き数を5.5ターン、電極幅を2 3μm、コイル体4の引出線41(42)と最外周の電極� ��40Aとの間隙G1(G2)の幅W1(W2)を211μm、間隙G1(G2)� ��長さL1(L2)を360μmに設定した。そして、かか� ��コモンモードチョークコイルに対して、周� ��数10MHz~1000MHzの差動信号を入力して、そのScd 21を測定するシミュレーションを行った。す� ��と、図10のScd21曲線V1で示すように、周波数� ��約50MHz以下の範囲では、Scd21が-50dB以下を維� ��するものの、50MHzを越える高周波領域では� �Scd21が-50dBを遙かに越えてしまう。
 次に、上記コモンモードチョークコイルに� ��性部61(62)を設け、この磁性部61(62)の幅w1(w2)� ��140μm、その長さを間隙G1(G2)よりも長めに設� ��して、上記と同様のシミュレーションを行� ��た。
 すると、図10のScd21曲線V2で示すように、周� ��数が約50MHzを越える高周波の範囲において� �、Scd21がほぼ-50dB以下になり、磁性部61,62を� �けることで、コモンモードチョークコイル� �Scd21が非常に低くなることを、確認すること ができた。

 次に、この発明の第2実施例について説明す る。
 図11は、この発明の第2実施例に係るコモン� ��ードチョークコイルの要部を透視して示す� ��視図であり、図12は、この実施例の要部と� �イル体5とを示す概略平面図であり、図13は� �要部とコイル体4とを示す概略平面図である� ��
 この実施例は、図11に示すように、磁性部63 ,64を磁性部61,62に並べて配した点が、上記第1 実施例と異なる。

 すなわち、図12に示すように、第3の磁性部� ��しての磁性部63を磁性部61とほぼ同形に形成 し、この磁性部63をコイル体5の引出線51とコ� ��ル本体部50の最外周の電極線50Aとの間隙に� �けた。また、第4の磁性部としての磁性部64� �磁性部62とほぼ同形に形成し、磁性部64を引� ��線52とコイル本体部50の最外周の電極線50Aと の間隙に設けた。
 これら磁性部63,64の幅や長さも、磁性部61,62 とほぼ同様に設定した。また、充填孔30A,30B� �ほぼ同様の充填孔30C,30Dを、絶縁体3に設け、 磁粉入り樹脂6(図1及び図3参照)をこれら充填� ��30C,30D内に充填することで、磁性部63,64を形� ��した。したがって、磁性部63,64も磁性部61,62 と同様に、磁性体基板2-1,2-2間の距離とほぼ� �しい厚さを有する。

 このように、磁性部63,64を形成することで� �図12及び図13に示すように、磁性部63,64が中� �線M関して磁性部61,62と線対称になる。この� �め、コモンモードチョークコイルの製造時� �おける加工バラツキを低減し、製造歩留ま� �を高くすることができる。
 その他の構成、作用及び効果は、上記第1実 施例と同様であるので、その記載は省略する 。

 次に、この発明の第3実施例について説明す る。
 図14は、この発明の第3実施例に係るコモン� ��ードチョークコイルの要部を透視して示す� ��視図であり、図15は、この実施例の要部と� �イル体4とを示す概略平面図であり、図16は� �要部とコイル体5とを示す概略平面図である� ��
 この実施例は、図14に示すように、磁性部61 ,62,63,64を含む磁性壁65,66を設けた点が、上記� ��1及び第2実施例と異なる。

 すなわち、磁性壁65は、両端部に磁性部61,62 を含んだコ字状の壁体であり、磁性壁66は、� ��端部に磁性部63,64を含んだコ字状の壁体で� �る。
 具体的には、図15及び図16に示すように、コ イル体4,5のコイル本体部40,50の左側半部を外� ��から囲む充填孔30Eを絶縁体3に形成すると共 に、右側半部を外側から囲む充填孔30Fを形成 し、磁粉入り樹脂6(図1及ぶ図3参照)をこれら� ��填孔30E,30F内に充填して、コイル本体部40,50� ��外側から囲む磁性壁65,66を形成した。

 かかる構成により、磁性壁65,66による外磁� �がコイル体4,5のコイル本体部40,50の外側に形 成されるので、コモンモードチョークコイル 全体のインダクタンス値が高くなる。
 その他の構成、作用及び効果は、上記第1及 び第2実施例と同様であるので、その記載は� �略する。

 次に、この発明の第4実施例について説明す る。
 図17は、この発明の第4実施例に係るコモン� ��ードチョークコイルの要部を透視して示す� ��視図であり、図18は、この実施例の要部と� �イル体4″とを示す概略平面図であり、図19� �、要部とコイル体5″とを示す概略平面図で� ��る。
 上記第3実施例では、第1のコイル体及び第2� ��コイル体として、コイル本体部が四角形の� ��巻き状を成すコイル体4,5を適用したが、こ� ��実施例は、図17~図19に示すように、第1のコ� ��ル体及び第2のコイル体として、コイル本体 部40″,50″がほぼ円形のコイル体4″,5″を適� ��した。

 具体的には、図18及び図19に示すように、コ イル体4″,5″の円形のコイル本体部40″,50″� ��左側半部を外側から囲む充填孔30E″を絶縁� ��3に形成すると共に、右側半部を外側から囲 む充填孔30F″を形成し、磁粉入り樹脂6(図1及 ぶ図3参照)をこれら充填孔30E″,30F″内に充填 して、コイル本体部40″,50″を外側から囲む� ��性壁65″,66″を形成した。
 このように、コイル体のコイル本体部をほ� ��円形にすることで、さらなる磁気効率の向� ��を図ることができる。
 その他の構成、作用及び効果は、上記第3実 施例と同様であるので、その記載は省略する 。

 次に、この発明の第5実施例について説明す る。
 図20は、この発明の第5実施例に係るコモン� ��ードチョークコイルの要部を透視して示す� ��視図であり、図21は、この実施例の要部と� �イル体4″とを示す概略平面図であり、図22� �、要部とコイル体5″とを示す概略平面図で� ��る。
 この実施例は、第5及び第6の磁性部として� �磁性部67をコイル体4″,5″のコイル本体部40� ��,50″の中心部に設けた点が、上記第4実施例 と異なる。

 具体的には、図21及び図22に示すように、充 填孔30Gをコイル本体部40″,50″の中心部の間� ��G3内に形成し、磁粉入り樹脂6(図1及ぶ図3参� ��)を充填孔30Gに充填して、磁性部67を形成し� ��。
 これにより、磁性部67による内磁路がコイ� �本体部40″,50″の中心部に形成され、さらに 高いインダクタンス取得効果を得ることがで きる。
 その他の構成、作用及び効果は、上記第4実 施例と同様であるので、その記載は省略する 。

 なお、この発明は、上記実施例に限定され� ��ものではなく、発明の要旨の範囲内におい� ��種々の変形や変更が可能である。
 例えば、上記実施例では、磁性部の厚さを� ��性体基板2-1,2-2間の距離にほぼ等しく設定し たが、これに限定されるものではなく、引出 線や最外周の電極線の厚さ以上であれば、磁 性部の厚さは任意である。したがって、例え ば、図23の(a)に示すように、磁性部61におい� �は、同じ高さの引出線41と最外周の電極線40A との間隙に設けるので、磁性部61の厚さtを、 引出線41や電極線40Aの厚さに等しく設定する� ��とで、第1の磁性部としての機能を発揮する 。しかし、図23の(b)に示すように、高さが異� ��る引出線42と最外周の電極線40Aとの間隙に� �ける磁性部62では、その厚さを引出線41の下� ��から電極線40Aの上面までの距離に設定する� ��とが好ましい。