Die vorliegende Erfindung betrifft eine Steckeranordnung, ein System und eine Lithographieanlage mit einer derartigen Steckeranordnung und/oder einem der artigen System.

Der Inhalt der Prioritätsanmeldung DE 10 2019 214050.5, eingereicht am 16. September 2019, wird durch Bezugnahme vollumfänglich mit einbezogen.

Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithogra- phieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Be leuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Pro jektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) be schichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.

Lithographieanlagen können eine Vielzahl von Aktuatoren und Sensoren umfas sen, die als Baugruppe mit anderen Baugruppen der Lithographieanlage elektrisch kontaktiert werden. Aufgrund eines begrenzten Bauraums kann der Einsatz von Kabeln, die beispielsweise von Hand kontaktiert werden, erschwert sein. Weiterhin bereitet es Schwierigkeiten, mehrere Stecker, die auf einer Lei terplatte vorgesehen sind, mit entsprechenden Gegensteckern, die auf einer an deren Leiterplatte vorgesehen sind, aufgrund von Fertigungstoleranzen mitei nander zu verbinden.

Um zwei Baugruppen einer Lithographieanlage elektrisch miteinander zu ver binden, ist es bekannt, toleranzausgleichende Stecker zu verwenden. Dabei gibt es Stecker, die Federkontaktstifte umfassen und in Einsteckrichtung einen Tole ranzausgleich bewirken. Weiterhin sind Buchsen bekannt, die mittels Federele- menten gelagert sind und einen Toleranzausgleich senkrecht zu der Einsteck richtung bewirken. Die Buchsen stützen sich mittels der Federelemente an einer Leiterplatte ab.

Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine verbesserte Steckeranordnung bereitzustellen.

Demgemäß wird eine Steckeranordnung, insbesondere für eine Lithographiean lage, vor geschlagen. Die Steckeranordnung umfasst ein erstes Steckerelement, ein zweites Steckerelement, welches mit dem ersten Steckerelement in einer Einsteckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszu bilden, ein Trägerelement, welches das erste Steckerelement trägt, und eine Auf nahme, in welcher das Trägerelement senkrecht zu der Einsteckrichtung beweg lich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken des ersten und zweiten Steckerelements zu bewirken.

Dadurch müssen die Steckerelemente nicht zwangsweise senkrecht zu der Ein steckrichtung einen Toleranzausgleich bewirken, da das Trägerelement in der Aufnahme den Toleranzausgleich bewirkt. Weiterhin besteht der Vorteil, dass weniger komplexe Steckerelemente verwendet werden können. Damit kann eine Alternative zu toleranzausgleichenden Steckern bereitgestellt werden. Außerdem besteht der Vorteil, dass ein größerer Toleranzausgleich mit dem beweglichen Trägerelement bewirkt werden kann, da in dieser Hinsicht bei dem toleranzaus gleichenden Stecker engere Grenzen gesetzt sind.

Die Beweghchkeit wird insbesondere durch eine schwimmende Lagerung reali siert. Vorzugsweise ist das erste Steckerelement ein Stecker und das zweite Ste ckerelement ein dazugehöriger Gegenstecker. Damit wird eine Steckerpaar ge bildet. Das Trägerelement ist in eine erste Bewegungsrichtung, die senkrecht zu der Einsteckrichtung verläuft, beweghch vorgesehen. Vorzugsweise ist das Trä gerelement flächig ausgebildet und weist eine Dicke auf, die zwischen 1,5 und 4 mm, insbesondere 2 und 3 mm, beträgt. Insbesondere ist das erste Steckerelement stoffschlüssig, insbesondere mittels einer Klebverbindung, oder formschlüssig, insbesondere mittels einer Steckver bindung, fest mit dem Trägerelement verbunden. Vorzugsweise ist das Trä gerelement auch in eine zweite Bewegungsrichtung, die senkrecht zu der Ein steckrichtung und senkrecht zu der ersten Bewegungsrichtung verläuft, beweg lich vorgesehen. In dem Trägerelement aufgenommen heißt, dass die Aufnahme das Trägerelement räumlich zumindest abschnittsweise umschließt. Die Auf nahme umfasst einen Hohlraum, der größer ist als das Trägerelement, um dieses darin aufzunehmen. Das Trägerelement und die Aufnahme sind dazu eingerich tet, einen Toleranzausleich zwischen 0,1 - 10 mm in die erste Bewegungsrich tung zu bewirken. Weiterhin ist eine Öffnung zu dem Hohlraum ausgebildet. Von der Öffnung betrachtet umfasst der Hohlraum zumindest einen Hinterschnitt. Vorzugsweise umfasst die Steckeranordnung 2, 3 oder 4 Trägerelemente, die in Aufnahmen senkrecht zu der Einsteckrichtung beweghch aufgenommen sind.

Gemäß einer Ausführungsform ist das Trägerelement eine Leiterplatte.

Die Leiterplatte kann als Leiterkarte oder PCB (englisch: printed circuit board) bezeichnet werden und umfasst Leiterbahnen. Vorzugsweise umfasst die Leiter platte weiterhin einen glasfaserverstärkten Kunstsoff (GFK), der eine Tragstruk tur für die Leiterbahnen bildet. Insbesondere kann die Leiterplatte Keramik um fassen oder als Keramikleiterplatte ausgebildet sein. Die Leiterplatte kann bei spielsweise Träger weiterer elektrischer Komponenten sein. Insbesondere sind alle Trägerelemente als Leiterplatten ausgebildet.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Trägerelement derart in der Aufnahme aufgenommen, dass ein Spalt senkrecht zu der Einsteckrichtung vor gesehen ist, welcher die Beweglichkeit senkrecht zu der Einsteckrichtung defi niert und begrenzt. Insbesondere ist der Spalt ein Luftspalt. Vorzugsweise liegt das Trägerelement auf einer AufLagefläche der Steckeranordnung auf und ist auf dieser frei beweg lich vorgesehen, wobei für die Bewegung eine Reibung zwischen dem Trägerele ment und der AufLagefläche überwunden werden muss. Der Spalt kann bei spielsweise aufgrund der Beweglichkeit des Trägerelements variabel sein. Insbe sondere beträgt ein maximaler Spalt (d.h. wenn das Trägerelement an einer Sei tenwand der Aufnahme anliegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm. Vorzugsweise ist ein Spiel in der Einsteckrichtung gesehen zwischen dem Trägerelement, insbesondere zwischen einer Oberseite des Trägerelements, und der Aufnahme vorgesehen, um eine freie Beweglichkeit des Trägerelements in der Aufnahme sicherzustellen. Das Spiel beträgt vorzugsweise zwischen 0,05 und 2 mm, insbesondere zwischen 0,1 und 1,5 mm. Damit wird eine Verspannung des Trägerelements innerhalb der Aufnahme verhindert.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Spalt als Ringspalt, welcher das Trägerelement umgibt, ausgebildet.

Dies hat den Vorteil, dass eine Beweglichkeit des Trägerelements in alle Rich tungen in einer Ebene ermöglicht wird. Vorzugsweise weist der Ringspalt eine geschlossene Ringform auf. Ringform meint eine Form die eckige und/oder runde Konturen aufweisen kann. Der Ringspalt kann beispielsweise in oder entgegen der Einsteckrichtung gesehen eine Rahmenform aufweisen. Beispielsweise be trägt eine Breite des Ringspalts 0,05 - 7,5 mm, insbesondere 0,5 und 2,5 mm, wenn das Trägerelement mittig in der Aufnahme ausgerichtet ist.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein erstes Gehäuseelement, in welchem die Aufnahme vorgesehen ist, und/oder ein zweites Gehäuseelement, mit welchem das zweite Steckerelement verbunden ist, auf.

Das erste und zweite Gehäuseelement können z.B. jeweils als ein Gehäuse aus gebildet sein. Vorzugsweise ist das zweite Steckerelement stoffschlüssig (z.B. mittels einer Klebverbindung) und/oder formschlüssig mit dem zweiten Gehäu seelement verbunden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein erstes Zentrierelement, welches mit dem Trägerelement mittelbar oder unmittelbar starr verbunden ist, und ein zweites Zentrierelement auf, welches an dem zwei ten Gehäuseelement vorgesehen ist, wobei das erste und das zweite Zentrierele ment derart Zusammenwirken, dass das erste Steckerelement und das zweite Steckerelement, insbesondere passgenau, zueinander zentriert werden, wenn diese in der Einsteckrichtung zusammengesteckt werden.

Dies hat den Vorteil, dass das erste Steckerelement und das zweite Steckerele ment prozesssicher zueinander finden, wenn die Gehäuseelemente in Einsteck richtung zueinander bewegt werden. Beispielsweise sind das Trägerelement und das erste Zentrierelement stoffschlüssig, insbesondere mittels einer Klebverbin dung, und/oder formschlüssig miteinander verbunden. Alternativ können diese materialeinstückig ausgebildet sein. Das erste Zentrierelement kann stiftförmig ausgebildet sein. Vorzugsweise umfasst das erste Zentrierelement und/oder das zweite Zentrierelement eine Einführschräge und/oder Spitze zum Bewirken einer Zentrierwirkung. Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe der ersten und zweiten Zentrie relemente eine Vorzentrierung und mit Hilfe der ersten und zweiten Steckerele mente eine Endzentrierung.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das erste Zentrierelement neben dem ersten Steckerelement vorgesehen, erstreckt sich in der Einsteckrichtung über das erste Steckerelement hinaus und ist mittelbar oder unmittelbar starr mit dem ersten Steckerelement verbunden, wobei das zweite Zentrierelement ein Aufnahmeelement umfasst, welches dazu eingerichtet ist, das erste Zentrierele ment zum Bewirken der Zentrierung aufzunehmen.

Vorzugsweise ist das erste Zentrierelement und das zweite Zentrierelement zu mindest abschnittsweise rotationssymmetrisch vorgesehen. Dies hat den Vorteil, dass eine Zentrier Wirkung in alle Richtungen in einer Ebene bewirkt werden kann. Das Aufnahmeelement umfasst insbesondere einen Hohlraum zum Auf nehmen des ersten Zentrierelements. Das erste Zentrierelement kann beispiels weise mit dem ersten Steckerelement direkt verbunden oder berührend vorgese hen sein. Alternativ können das erste Zentrierelement und das erste Steckerele ment beabstandet voneinander mit dem Trägerelement verbunden sein.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Steckeranordnung ein drittes Steckerelement, ein viertes Steckerelement, welches mit dem dritten Ste ckerelement in der Einsteckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, ein weiteres Trägerelement, welches das dritte Ste ckerelement trägt, und eine weitere Aufnahme, in welcher das weitere Trä gerelement senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken des dritten und vierten Ste ckerelements zu bewirken, wobei die weitere Aufnahme in dem ersten Gehäusee lement vorgesehen ist, und wobei das vierte Steckerelement mit dem zweiten Gehäuseelement verbunden ist.

Das dritte und vierte Steckerelement sind vorzugsweise als ein Stecker und ein dazugehöriger Gegenstecker ausgebildet. Insbesondere ist ein drittes Zentrie relement mit dem weiteren Trägerelement mittelbar oder unmittelbar starr ver bunden. Ein viertes Zentrierelement ist vorzugsweise an dem zweiten Gehäusee lement vorgesehen, wobei das dritte und das vierte Zentrierelement derart Zu ^¬ sammenwirken, dass das dritte Steckerelement und das vierte Steckerelement passgenau zueinander ausgerichtet werden, wenn diese in der Einsteckrichtung zusammengesteckt werden. Vorzugsweise sind das dritte Zentrierelement und das vierte Zentrierelement identisch zu dem ersten und zweiten Zentrierelement aus gebildet.

Dies hat den Vorteil, dass beim Zusammenführen der ersten und zweiten Gehäu seelemente zwei Trägerelemente unabhängig voneinander einen Toleranzaus gleich bewirken, sodass zwei Steckerpaare prozesssicher miteinander verbunden werden können. Es können auch drei, vier oder mehr Trägerelemente und ent sprechende Steckerpaare und zusammenwirkende Zentrierelemente mit dem ers ten und zweiten Gehäuseelement vorgesehen sein. Die Trägerelemente sind vor zugsweise mittels flexiblen Kabeln elektrisch miteinander verbunden. Insbeson dere sind die Trägerelemente mittels einer Starr-Flex-Verbindung miteinander verbunden. Beispielsweise können mehrere Trägerelemente als Starr-Flex-Starr Leiterplatte ausgebildet sein.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst eines des ersten Steckerele ments und des zweite Steckerelements einen 10 - 400, insbesondere 80 - 300,

Pin Stecker und das andere des ersten Steckerelements und des zweiten Ste ckerelements eine 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Buchse.

Vorzugsweise umfasst das erste oder zweite Steckerelement Pins, die Einführ schrägen umfassen, die dazu eingerichtet sind, mit Öffnungskanten von dazuge hörigen Buchsen zusammenzuwirken, um eine Zentrierung zu bewirken.

Außerdem wird eine Steckeranordnung, insbesondere für eine Lithographieanla ge, vorgeschlagen. Die Steckeranordnung umfasst ein erstes Steckerelement, ein zweites Steckerelement, welches mit dem ersten Steckerelement in einer Ein steckrichtung zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubil den, einen ersten Leiterplattenabschnitt, auf welchem das erste Steckerelement angebracht ist, und einen zweiten Leiterplattenabschnitt, in welchem der erste Leiterplattenabschnitt senkrecht zu der Einsteckrichtung beweglich angebracht ist, um einen Toleranzausgleich bei einem Zusammenstecken des ersten und zweiten Steckerelements zu bewirken.

Damit kann eine weitere Alternative zu toleranzausgleichenden Steckern bereit gestellt werden, indem Leiterplattenabschnitte einen Toleranzausgleich senk recht zu der Einsteckrichtung bei dem Zusammenstecken zweier Steckerelemen- te bewirken. Der erste und der zweite Leiterplattenabschnitt weisen vorzugswei se eine gleiche Dicke auf. Der erste und der zweite Leiterplattenabschnitt bilden vorzugsweise eine Leiterplatte aus. Insbesondere umgibt der zweite Leiterplat tenabschnitt den ersten Leiterplattenabschnitt rahmenförmig. Vorzugsweise sind Federelemente zwischen dem ersten und zweiten Leiterplattenabschnitt vorge sehen. Zwischen dem ersten und dem zweiten Leiterplattenabschnitt ist z.B. ein Spalt ausgebildet. Insbesondere beträgt eine maximale Bewegung zwischen dem ersten Leiterplattenabschnitt und dem zweiten Leiterplattenabschnitt zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm.

Gemäß einer Ausführungsform sind der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplattenabschnitt materialeinstückig miteinander ausgebildet.

Insbesondere sind der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplatten - abschnitt lediglich mittels Materialschwächungen, z.B. Aussparungen, in der Leiterplatte voneinander getrennt.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Steckeranordnung zumin dest ein Festkörper gelenk, wobei der erste Leiterplattenabschnitt und der zweite Leiterplattenabschnitt mittels des zumindest einen Festkörpergelenks miteinan der verbunden sind.

Festkörper gelenk meint ein Bauteil, welches eine Relativbewegung zwischen den Leiterplattenabschnitten zulässt und sich dabei, insbesondere elastisch, ver formt. Vorzugsweise sind die beiden Leiterplattenabschnitte mittels 1, 2, 3, 4, 5 oder mehr Festkörper gelenken miteinander verbunden. Das Festkörper gelenk ist z.B. materialeinstückig mit den beiden Leiterplattenabschnitten vorgesehen. Das Festkörper gelenk ist als das Federelement ausgebildet.

Die für die alternativen Steckeranordnungen beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten entsprechend für beide Alternativen. Weiterhin gelten die für das Trägerelement beschriebenen Merkmale für den ersten Leiterplattenab schnitt entsprechend und umgekehrt. Außerdem gelten die für ein gleichnamiges Element, z.B. Trägerelement, Steckerelement, Zentrierelement, Aufnahme usw., beschrieben Merkmale für alle anderen entsprechend und umgekehrt.

Ferner wird ein System, insbesondere für eine Lithographieanlage, vorgeschla- gen. Das System umfasst eine Steckeranordnung, wie vorstehend beschrieben, einen Aktuator und/oder einen Sensor, welcher mit dem Trägerabschnitt oder dem zweiten Leiterplattenabschnitt und dem ersten Steckerelement elektrisch verbunden ist, wobei insbesondere das erste Steckerelement eine elektronische Schnittstelle des Aktuators und/oder einen Sensors ausbildet, die mit dem zwei ten Steckerelement verbindbar ist.

Vorzugsweise umfasst das System 2, 3 oder 4 Aktuatoren, wobei das erste Ste ckerelement eine elektronische Schnittstelle eines oder aller Aktuatoren ausbil det. Insbesondere umfasst das System 2, 3, 4, 5 oder mehr Sensoren, wobei das erste Steckerelement eine elektronische Schnittstelle eines oder aller Sensoren ausbildet. Pro Sensor oder Aktuator kann beispielsweise ein Steckerelement als elektronische Schnittstelle vorgesehen sein. Der Aktuator ist vorzugsweise mit dem ersten Gehäuseelement verbunden, insbesondere verschraubt.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst das System einen integrierten Schalt kreis, welcher mit dem zweiten Steckerelement elektrisch verbunden ist, wobei insbesondere das zweite Steckerelement eine elektronische Schnittstelle des in tegrierten Schaltkreises zu dem ersten Steckerelement ausbildet.

Der integrierte Schaltkreis ist beispielsweise ein FPGA (englisch: Field Pro- grammable Gate Array). Der integrierte Schaltkreis umfasst insbesondere einen Prozessor. Vorzugsweise ist der integrierte Schaltkreis dazu eingerichtet, Re chenoperationen für den oder die Aktuatoren oder Sensoren auszuführen. Der integrierte Schaltkreis kann insbesondere auf einer Platine vorgesehen sein, die mit dem zweiten Gehäuseelement verbunden, insbesondere verschraubt, ist. Die für das System beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die Steckeranordnung entsprechend und umgekehrt.

Weiterhin wird eine Lithographieanlage vor geschlagen. Die Lithographieanlage umfasst eine Steckeranordnung, wie vorstehend beschrieben, und/oder ein Sys tem, wie vorstehend beschrieben.

"Ein" ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteihges angegeben ist.

Weitere möghche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht expli zit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüghch der Ausfüh rungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweihgen Grundform der Erfindung hinzufügen.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegen stand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungs beispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzug ten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

Fig. 1A zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer EUV- Lithographieanlagei

Fig. 1B zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer DUV- Lithographieanlagei Fig. 2 zeigt eine schematische Ansicht einer Steckeranordnung;

Fig. 3 zeigt Schnitt III-III aus Fig.2;

Fig. 4 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausfüh rungsform der Steckeranordnung;

Fig. 5 zeigt Schnitt V-V aus Fig. 4;

Fig. 6 zeigt eine weitere Ansicht von Schnitt V-V aus Fig. 4;

Fig. 7 zeigt eine weitere Ansicht von Schnitt V-V aus Fig. 4;

Fig. 8 zeigt eine schematische perspektivische Schnittansicht einer weiteren Aus führungsform der Steckeranordnung;

Fig. 9 zeigt eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Ste ckeranordnung;

Fig. 10 zeigt eine schematische Aufsicht einer Leiterplatte;

Fig. 11 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines Systems; und

Fig. 12 zeigt eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform des Sys tems.

In den Figuren sind gleiche oder funktions gleiche Elemente mit denselben Be zugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendi gerweise maßstabsgerecht sind. Fig. 1A zeigt eine schematische Ansicht einer EUV-Lithographieanlage 100A, welche ein Strahlform ungs- und Beleuchtungssystem 102 und ein Projektions ^¬ system 104 umfasst. Dabei steht EUV für „extremes Ultraviolett“ (Engl.: extreme ultraviolet, EUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitshchts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und das Pro ^¬ jektionssystem 104 sind jeweils in einem nicht gezeigten Vakuum-Gehäuse vor ^¬ gesehen, wobei jedes Vakuum-Gehäuse mit Hilfe einer nicht dargestellten Eva ^¬ kuierungsvorrichtung evakuiert wird. Die Vakuum -Gehäuse sind von einem nicht dargestellten Maschinenraum umgeben, in welchem Antriebs Vorrichtungen zum mechanischen Verfahren beziehungsweise Einstellen von optischen Elemen ^¬ ten vorgesehen sind. Ferner können auch elektrische Steuerungen und derglei ^¬ chen in diesem Maschinenraum vorgesehen sein.

Die EUV-Lithographieanlage 100A weist eine EUV-Lichtquelle 106A auf. Als EUV-Lichtquelle 106A kann beispielsweise eine Plasmaquelle (oder ein Syn ^¬ chrotron) vorgesehen sein, welche Strahlung 108A im EUV-Bereich (extrem ult ^¬ ravioletter Bereich), also beispielsweise im Wellenlängenbereich von 5 nm bis 20 nm, aussendet. Im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 wird die EUV- Strahlung 108A gebündelt und die gewünschte Betriebswellenlänge aus der EUV-Strahlung 108A herausgefiltert. Die von der EUV-Lichtquelle 106A erzeug ^¬ te EUV Strahlung 108A weist eine relativ niedrige Transmissivität durch Luft auf, weshalb die Strahlführungsräume im Strahlformungs- und Beleuchtungs ^¬ system 102 und im Projektionssystem 104 evakuiert sind.

Das in Fig. 1A dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 weist fünf Spiegel 110, 112, 114, 116, 118 auf. Nach dem Durchgang durch das Strahl ^¬ formungs- und Beleuchtungssystem 102 wird die EUV Strahlung 108A auf eine Photomaske (Engl.: reticle) 120 geleitet. Die Photomaske 120 ist ebenfalls als re- flektives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 102, 104 angeordnet sein. Weiter kann die EUV Strahlung 108A mittels eines Spie ^¬ gels 122 auf die Photomaske 120 gelenkt werden. Die Photomaske 120 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 104 verkleinert auf einen Wafer 124 oder dergleichen abgebildet wird.

Das Projektionssystem 104 (auch als Projektionsobjektiv bezeichnet) weist sechs Spiegel Ml bis M6 zur Abbildung der Photomaske 120 auf den Wafer 124 auf. Dabei können einzelne Spiegel Ml bis M6 des Projektionssystems 104 symmet ^¬ risch zu einer optischen Achse 126 des Projektionssystems 104 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Spiegel Ml bis M6 der EUV- Lithographieanlage 100A nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Spiegel Ml bis M6 vorgesehen sein. Des Weite ^¬ ren sind die Spiegel Ml bis M6 in der Regel an ihrer Vorderseite zur Strahlfor ^¬ mung gekrümmt.

Weiterhin ist eine Aktuator 134 vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage z.B. des Spiegels 118 zu verändern. Ein solcher Aktuator 134 kann auch für an ^¬ dere Spiegel 110, 112, 114, 116 im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann ein solcher Aktuator 134 für mindestens einen der Spiegel Ml - M6 vorgesehen sein. Beispielsweise ist ein Sensor 136 vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage des Spiegels 118 zu erfassen. Ein solcher Sensor 136 kann auch für andere Spiegel 110, 112, 114, 116 im Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann ein solcher Sensor 136 für mindestens einen der Spiegel Ml - M6 vorgesehen sein. Es kann auch eine Vielzahl solcher Sensoren 136 vorgese ^¬ hen sein.

Fig. 1B zeigt eine schematische Ansicht einer DUV-Lithographieanlage 100B, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungs System 102 und ein Projektions ^¬ system 104 umfasst. Dabei steht DUV für „tiefes Ultraviolett“ (Engl.: deep ultra- violet, DUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 und das Projek ^¬ tionssystem 104 können - wie bereits mit Bezug zu Fig. 1A beschrieben - in einem Vakuumgehäuse angeordnet und/oder von einem Maschinenraum mit entspre ^¬ chenden Antriebs Vorrichtungen umgeben sein.

Die DUV-Lithographieanlage 100B weist eine DUV-Lichtquelle 106B auf. Als DUV-Lichtquelle 106B kann beispielsweise ein ArF-Excimerlaser vorgesehen sein, welcher Strahlung 108B im DUV-Bereich bei beispielsweise 193 nm emit ^¬ tiert.

Das in Fig. 1B dargestellte Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 102 leitet die DUV-Strahlung 108B auf eine Photomaske 120. Die Photomaske 120 ist als transmissives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb der Systeme 102, 104 angeordnet sein. Die Photomaske 120 weist eine Struktur auf, welche mittels des Projektionssystems 104 verkleinert auf einen Wafer 124 oder derglei ^¬ chen ab gebildet wird.

Das Projektionssystem 104 weist mehrere Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zur Abbildung der Photomaske 120 auf den Wafer 124 auf. Dabei können einzelne Linsen 128 und/oder Spiegel 130 des Projektionssystems 104 symmetrisch zu ei ^¬ ner optischen Achse 126 des Projektionssystems 104 angeordnet sein. Es sollte beachtet werden, dass die Anzahl der Linsen 128 und Spiegel 130 der DUV- Lithographieanlage 100B nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Linsen 128 und/oder Spiegel 130 vorgesehen sein. Des Weiteren sind die Spiegel 130 in der Regel an ihrer Vorderseite zur Strahlformung gekrümmt. Der Aktuator 134 (siehe Fig. 1A) kann vorgesehen sein, um eine Lage der Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zu verändern. Beispiels ^¬ weise ist der Sensor 136 (siehe Fig. 1A) vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, eine Lage der Linsen 128 und/oder Spiegel 130 zu erfassen.

Ein Luftspalt zwischen der letzten Linse 128 und dem Wafer 124 kann durch ein flüssiges Medium 132 ersetzt sein, welches einen Brechungsindex > 1 aufweist. Das flüssige Medium 132 kann beispielsweise hochreines Wasser sein. Ein sol ^¬ cher Aufbau wird auch als Immersionslithographie bezeichnet und weist eine erhöhte photolithographische Auflösung auf. Das Medium 132 kann auch als Immersionsflüssigkeit bezeichnet werden.

Fig. 2 zeigt eine Steckeranordnung 200 für die Lithographieanlage 100A, 100B (siehe Fig. 1A und 1B). Die Steckeranordnung 200 umfasst ein Steckerelement 202 (vorliegend auch als erstes Steckerelement bezeichnet), ein Steckerelement 204 (vorliegend auch als zweites Steckerelement bezeichnet), welches mit dem Steckerelement 202 in einer Einsteckrichtung E zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden. Vorzugsweise umfasst das Steckerelement 202 einen Stecker 206 und das Steckerelement 204 eine dazugehörige Buchse 208.

Außerdem ist ein Trägerelement 210 vorgesehen, welches das Steckerelement 202 trägt. Das Trägerelement 210 und das Steckerelement 202 sind starr mitei ^¬ nander verbunden. Das Trägerelement 210 ist vorzugsweise eine Leiterplatte, welche Leiterbahnen 212 umfasst, die in einem isoherenden Material 214 einge ^¬ bettet oder darauf aufgebracht sind. Das Material 214 kann einen Glasfaserver ^¬ bundwerkstoff umfassen. Das Trägerelement 210 kann auch elektronische Bau ^¬ teile tragen (nicht gezeigt).

Vorzugsweise ist das Trägerelement 210 flächig ausgebildet und weist eine Dicke D auf, die zwischen 1,5 und 4 mm, insbesondere 2 und 3 mm, beträgt. Weiterhin kann eine elektrische Leitung 216, insbesondere ein flexibles Kabel und/oder eine Starr-Flex-Starr-Verbindung, (gestrichelt angedeutet) mit dem Trägerelement 210 verbunden sein, welches das Trägerelement 210 mit z.B. einem weiteren Trägerelement 400, 402, 404 (siehe Fig. 4), einem Aktuator 134 (siehe Fig. 1A), einem Sensor 136 (siehe Fig. 1A) oder einer anderen elektronischen Einheit (nicht dargestellt) der Lithographieanlage 100 A, 100B (siehe Fig. 1A, und B) ver ^¬ bindet.

Die Steckeranordnung 200 umfasst außerdem eine Aufnahme 218, in welcher das Trägerelement 210 senkrecht zu der Einsteckrichtung E in einer Bewegungsrich- tung Bl beweglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zu sammenstecken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken. Die Aufnahme 218 ist als ein Hohlraum in einem Gehäuseelement 220 (vorliegend auch als erstes Gehäuseelement bezeichnet) vorgesehen. Das Trägerelement 210 ist derart in der Aufnahme 218 aufgenommen, dass ein Spalt S in der Bewegungsrichtung Bl vorgesehen ist, welcher die Beweglichkeit in der Bewegungsrichtung B 1 definiert und begrenzt.

Insbesondere beträgt ein maximaler Spalt S in Bewegungsrichtung Bl (d.h. wenn das Trägerelement 210 an einer Seitenwand 222 der Aufnahme 218 auf- liegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm. Dies kann beispiels weise als schwimmende Lagerung bezeichnet werden. Die Aufnahme 218 um fasst gegenüberliegende Seitenwände 222, 224, die die Bewegung des Trägerele ments 210 in die Bewegungsrichtung Bl begrenzen. Die Aufnahme 218 umfasst weiterhin senkrecht zu den Seitenwänden 222, 224 verlaufende Wände 226, 228, die eine Bewegung des Trägerelements 210 relativ zu der Aufnahme 218 in Ein steckrichtung E verhindern.

Zwischen den Wänden 226, 228 und dem Trägerelement 210, insbesondere einer Oberseite 236 des Trägerelements 210, ist insbesondere ein geringes Spiel SO vorgesehen, um eine Verspannung des Trägerelements 210 in der Aufnahme 218 zu verhindern. Das Spiel SO beträgt vorzugsweise zwischen 0,05 und 2 mm, ins besondere zwischen 0,1 und 1,5 mm. Das Trägerelement 210 kann auf einem Bo den 230 des Gehäuseelements 220, insbesondere reibkraftschlüssig, aufhegen. Das Trägerelement 210 ist formschlüssig innerhalb der Aufnahme 218 aufge nommen.

Die Steckeranordnung 200 umfasst weiterhin ein Gehäuseelement 232 (vorhe gend auch als zweites Gehäuseelement bezeichnet), mit welchem das Ste ckerelement 204, insbesondere indirekt, verbunden ist. Vorzugsweise ist das Ste ckerelement 204 mit einer Leiterplatte 238 verbunden, die insbesondere an das Gehäuseelement 232 geschraubt ist. Das Steckerelement 204 kann beispielsweise auch lediglich mittels Leitungen 1106 (siehe Fig. ll), insbesondere flexiblen Ka beln, mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Das Steckerelement 204 ragt ins besondere von dem Gehäuseelement 232 ab oder aus diesem hervor. Das Gehäu seelement 220 umfasst eine Öffnung 234 zu der Aufnahme 218, aus der das Ste ckerelement 202 herausragt. Es können z.B. mehrere Steckerelemente 204 mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Dabei kann die Leiterplatte 238 z.B. als Starr-Flex-Starr Leiterplatte oder Starrleiterplatte ausgebildet sein.

Beispielsweise umfasst das Steckerelement 202 einen 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Stecker und das Steckerelement 204 eine 10 - 400, insbesondere 80 - 300, Pin Buchse. Das Steckerelement 202 ist vorzugsweise mit dem Steckerele ment 204 vertauschbar.

Fig. 3 zeigt Schnitt III - III aus Fig. 2. Dabei ist der Spalt S als Ringspalt, wel cher das Trägerelement 210 umgibt ausgebildet. Ledighch beispielsweise ist das Trägerelement 210 im Schnitt rechteckig dargestellt. Das Trägerelement 210 kann eine beliebige Form aufweisen und beispielsweise L-förmig, trapezförmig oder rund ausgebildet sein. Die Ringform des Spalts S hat den Vorteil, dass auch eine Bewegung des Trägerelements 210 in eine weitere Bewegungsrichtung B2, die senkrecht zu der Einsteckrichtung E und senkrecht zu der Bewegungsrich tung Bl zeigt, möglich ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenste cken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken.

Die Aufnahme 218 umfasst Seitenwände 300, 302, die eine Bewegung des Trä gerelements 210 in die Bewegungsrichtung B2 begrenzen. Insbesondere beträgt ein maximaler Spalt S in Bewegungsrichtung B2 (d.h. wenn das Trägerelement 210 an der Seitenwand 302 der Aufnahme 218 aufliegt) zwischen 0,1 und 15 mm, insbesondere 1 und 5 mm.

Fig. 4 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausfüh rungsform der Steckeranordnung 200. Diese umfasst zusätzlich ein Steckerele ment 406 (vorliegend auch als drittes Steckerelement bezeichnet), ein Ste- ckerelement 412 (vorliegend auch als viertes Steckerelement bezeichnet), welches mit dem Steckerelement 406 in der Einsteckrichtun E zusammensteckbar ist, um eine elektrische Verbindung auszubilden, ein Trägerelement 400 (vorliegend auch als weiteres Trägerelement bezeichnet), welches das Steckerelement 406 trägt, und eine Aufnahme 414 (vorhegend auch als weitere Aufnahme bezeich net), in welcher das Trägerelement 400 senkrecht zu der Einsteckrichtung E be weglich aufgenommen ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenste cken der Steckerelemente 406, 412 zu bewirken. Die Aufnahme 414 ist in dem Gehäuseelement 220 vorgesehen. Das Steckerelement 412 ist direkt oder indirekt mit dem Gehäuseelement 232 verbunden.

In dem Gehäuseelement 220 sind zwei weitere Trägerelemente 402, 404 aufge nommen, auf welchen Steckerelemente 408, 410 angebracht sind. Die Ste ckerelemente 202, 406, 408, 410 sind dabei beabstandet voneinander angeordnet. Die Trägerelemente 400, 402, 404 sind wie das Trägerelement 210 ausgebildet und entsprechend in Aufnahmen (nicht gezeigt) des Gehäuseelements 220 beweg lich aufgenommen.

Weiterhin sind an dem Gehäuseelement 232 Steckerelemente (nicht gezeigt) ausgebildet, die mit den Steckerelementen 408, 410 in Einsteckrichtung E zu sammensteckbar sind und somit als entsprechende Gegenstecker ausgebildet sind. Alternativ könnten anstatt 4 auch 2, 3, 5 oder 6 Trägerelemente und Ste ckerelemente mit dem Gehäuseelement 220 und eine entsprechende Anzahl an Steckerelementen mit dem Gehäuseelement 232 vorgesehen sein. Beispielsweise sind die Trägerelemente 210, 400, 402, 404 mit Hilfe von Kabeln (nicht gezeigt), insbesondere Flex-Kabeln, miteinander verbunden.

Fig. 5 zeigt Schnitt V-V aus Fig. 4. Das Trägerelement 210 liegt, im Unterschied zu Fig. 2, auf einem Teil 518 auf, das insbesondere eine Elektronikbauteil, Me chanikbauteil oder ein elektromechanisches Bauteil ist, und zumindest Ab schnittsweise in dem Gehäuseelement 220 vorgesehen ist. Das Teil 518 kann von dem Aktuator 134 (siehe Fig. 1A) umfasst sein. Die Steckeranordnung 200 um- fasst ein Zentrierelement 500 (vorliegend auch als erstes Zentrierelement be zeichnet), welches mit dem Trägerelement 210 mittelbar oder unmittelbar starr verbunden ist. Weiterhin ist ein Zentrierelement 502 (vorliegend auch als zweites Zentrierelement bezeichnet) an dem Gehäuseelement 232 vorgesehen.

Die Zentrierelemente 500, 502 wirken derart zusammen, dass das Steckerele ment 202 und das Steckerelement 204 passgenau zueinander ausgerichtet wer den, wenn diese in der Einsteckrichtung E zusammengesteckt werden. Das Zent rierelement 500 ist neben dem ersten Steckerelement 202 vorgesehen, erstreckt sich in der Einsteckrichtung E über das Steckerelement 202 hinaus und ist mit tels des Trägerelements 210 mit dem Steckerelement 202 verbunden. Das Zent rierelement 500 ist beispielsweise als Zentrierstift ausgebildet, der mit der Ober seite 236 des Trägerelements 210, insbesondere stoffschlüssig (z.B. mittels Kleb verbindung), verbunden ist. Beispielsweise ist das Zentrierelement 500 mit dem Trägerelement 210 verschraubt. Alternativ könnten das Zentrierelement 500 ma terialeinstückig mit dem Trägerelement 210 ausgebildet sein.

Das Zentrierelement 502 umfasst ein Aufnahmeelement 504, welches dazu ein gerichtet ist, das Zentrierelement 500 zum Bewirken einer Zentrierung aufzu nehmen. Auch mit den Trägerelementen 400, 402, 404 können entsprechende Zentrierelemente 526, 528, 530 vorgesehen sein. Das Zentrierelement 502 kann alternativ in das Gehäuseelement 232 integriert sein oder als separates Teil, das mit dem Gehäuseelement 232 verbunden ist, vorgesehen sein.

Das Aufnahmeelement 504 ist als Hohlraum ausgebildet, der einen kegelstumpf förmigen Abschnitt 506 und einen daran anschließenden zyhnderförmigen Ab schnitt 508 umfasst. An den Abschnitt 508 schheßt sich ein weiterer kegel- stumpfförmigen Abschnitt 510 an, an den sich wiederum ein zylinderförmiger Abschnitt 512 anschließt. Der kegelstumpfförmigen Abschnitt 506 fungiert als Einführschräge, um das Zentrierelement 500 bezüglich einer Zentrierachse Z, die insbesondere als Rotationssymmetrieachse des Aufnahmeelements 504 ausgebil- det ist, zu zentrieren. Der Abschnitt 506 verjüngt sich in der Einsteckrichtung E. Der Abschnitt 510 weitet sich in der Einsteckrichtung E auf.

Das Zentrierelement 500 umfasst einen Führungs ab schnitt 514, der als Verdi ckung vorgesehen ist und vorzugsweise ein Ende des Zentrierelements 500 aus bildet. Der Abschnitt 508 weist eine Breite Dl (insbesondere Durchmesser) auf, die geringfügig größer als eine Breite D2 (insbesondere Durchmesser) des Füh rungsabschnitts 514 ist, sodass eine Spielpassung vorliegt, wenn der Führungs abschnitt 514 sich in dem Abschnitt 508 befindet (siehe Fig. 6). Der Führungsab schnitt 514 umfasst beispielsweise eine Einführschräge 516, die mit dem Auf nahmeelement 504 zusammenwirkt, um das Zentrierelement 500 bezüglich der Zentrierachse Z auszurichten.

Das Zentrierelement 502 umfasst vorzugsweise einen Rohrabschnitt 520, der vom Gehäuseelement 232 entgegen der Einsteckrichtung E abragt und der den Abschnitt 506 und zumindest teilweise den Abschnitt 508 beinhaltet. Außerdem umfasst das Steckerelement 202 eine Vielzahl von Pins 522. Das Steckerelement 204 umfasst eine Vielzahl den Pins 522 entsprechenden Buchsen 524.

Wie in Fig. 5 gezeigt, befindet sich das Zentrierelement 500 in dem Abschnitt 506, den das Zentrierelement 500 als erstes passiert, wenn eines der Gehäusee lemente 220, 232 in Einsteckrichtung E auf das andere der Gehäuseelemente 220, 232 zubewegt wird. Dabei drückt bei einer nicht zentrischen Ausrichtung des Zentrierelements 500 zu der Zentrierachse Z die Einführschräge 516 gegen den Abschnitt 506 und bewirkt aufgrund einer Keilwirkung eine Bewegung des Zentrierelements 500 in die Bewegungsrichtung Bl, B2.

Da das Trägerelement 210 beweglich vorgesehen ist und mit dem Zentrierele ment 500 starr verbunden ist, bewegt sich auch das Trägerelement 210 samt Ste ckerelement 202 in die Bewegungsrichtung Bl, B2. Die Fig. 6 und 7 zeigen wie der Führungsabschnitt 514 immer weiter in das Aufnahmeelement 504 einge- führt wird bis die Steckerelemente 202, 204 vollständig miteinander verbunden sind.

Fig. 6 zeigt im Unterschied zu Fig. 5, dass der Führungsabschnitt 514 weiter in den Aufnahmeelement 504 geführt wurde und sich in dem Abschnitt 508 befin det. Zwischen dem Führungsabschnitt 514 und dem Abschnitt 508 ist ein Spiel Sl vorgesehen. Das Spiel Sl ist derart vorgesehen, dass eine Einführschräge 600 des Steckerelements 202, insbesondere des Pins 522, in der Einsteckrichtung E mit einer Öffnungskante 602 des Steckerelements 204, insbesondere der Buchse 524, korrespondiert, wenn der Führungsabschnitt 514 an einer Wandung des Ab schnitts 508 aufliegt.

Damit kann eine zweistufige Zentrierung bereitgestellt werden, bei welcher in einer ersten Stufe mit Hilfe der Zentrierelemente 500, 502 eine Vorabzentrierung und in einer zweiten Stufe mit Hilfe der Einführschrägen 600 des Steckerele ments 522 und der Öffnungskante 602 des Steckerelements 204 eine Endzentrie rung bei dem Einstecken der Steckerelemente 202, 204 erfolgen kann.

Wenn die Gehäuseelemente 220, 232 in Einsteckrichtung E weiter zusammenge führt werden, verlässt der Führungsabschnitt 514 den Abschnitt 508 und bewegt sich direkt in den Abschnitt 510, der eine aufweitende Breite D3, insbesondere Durchmesser, hat. Die Breite D3 ist größer als die Breite Dl (siehe Fig. 5), sodass der Führungsabschnitt 514 nicht mehr geführt wird, wenn dieser den Abschnitt 508 verlässt. Zeitgleich beginnen die Steckerelemente 202, 204 ineinander einzu greifen, sodass mittels der Steckerelementen 202, 204 selbst eine Zentrierung erfolgt und eine weitere Führung durch den Abschnitt 508 nicht notwendig ist. Dies hat weiterhin den Vorteil, dass ein überbestimmtes System vermieden wird.

Fig. 7 zeigt im Unterschied zu Fig. 6, dass die Steckerelemente 202, 204 voll ständig ineinander eingesteckt sind. Damit wird eine elektrische Verbindung zwischen den Steckerelementen 202, 204 ausgebildet. Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Steckeranordnung 200 in einge stecktem Zustand der Steckerelemente 202, 204. Im Unterschied zu der Ausfüh rungsform aus Fig. 5 bis 7 ist das Zentrierelement 500 direkt mit dem Ste ckerelement 202 verbunden, materialeinstückig mit diesem ausgebildet oder zu mindest mit diesem in Berührung. Das Zentrierelement 500 ist in die Bewe gungsrichtung B 1 gesehen neben dem Steckerelement 500 angeordnet.

Das Zentrierelement 500 umfasst einen Basis ab schnitt 800, der mit dem Ste ckerelement 202 verbunden ist und an den sich der Führungsabschnitt 514 an schließt, der zylindrisch geformt ist und eine Spitze umfasst, die die Einführ schrägen 516 ausbildet. Das Aufnahmeelement 504 ist als, insbesondere zylind risch geformter, Hohlraum ausgebildet. Das Spiel Sl kann in diesem Ausfüh rungsbeispiel beispielsweise größer sein als in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 5. Beispielsweise kann dann auch vorgesehen sein, dass ein größerer Toleranz ausgleich durch die Steckerelemente 202, 204 ausgeglichen werden kann. Dies hat den Vorteil, dass die Zentrierelemente 500, 502 vereinfacht werden können.

Fig. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform der Stecker anordnung 200. Die Ste ckeranordnung umfasst das Steckerelement 202, das Steckerelement 204, einen Leiterplattenabschnitt 900 (vorliegend auch als ersten Leiterplattenab schnitt bezeichnet), auf welchem das Steckerelement 202 angebracht ist, und ei nen Leiterplattenabschnitt 902 (vorliegend auch als zweiter Leiterplattenab schnitt bezeichnet), in welchem der Leiterplattenabschnitt 900 senkrecht zu der Einsteckrichtung E beweglich angebracht ist, um einen Toleranzausgleich bei dem Zusammenstecken der Steckerelemente 202, 204 zu bewirken. Das Ste ckerelement 204 ist vorzugsweise mit der Leiterplatte 238 verbunden. Beispiels weise können mehrere Steckerelemente mit der Leiterplatte 238 verbunden sein. Insbesondere ist die Leiterplatte 238 wie die Leiterplattenabschnitte 900, 902 (also beweglich) ausgebildet.

Beispielsweise ist der Leiterplattenabschnitt 902 in dem Gehäuseabschnitt 220 derart angebracht, dass sich dieser nicht bewegt, wenn die Steckerelemente 202 204 zusammengesteckt werden. Der Leiterplattenabschnitt 902 kann mit dem Gehäuseabschnitt 232 verschraubt sein. Bei dem Zusammenstecken der Ste ckerelemente 202, 204 bewegt sich der Leiterplattenabschnitt 900 samt Ste ckerelement 202 in Bewegungsrichtung Bl, B2 relativ zu dem Leiterplattenab schnitt 902 und dem Gehäuseabschnitt 220, um den Toleranzausgleich zu bewir ken.

Insbesondere sind der Leiterplattenabschnitt 900 und der Leiterplattenabschnitt 902 materialeinstückig miteinander ausgebildet. Vorzugsweise sind die Leiter plattenabschnitte mittels zumindest eines Federelements 904, 906 miteinander verbunden. Beispielsweise ist das Federelement 904, 906 als Festkörper gelenk 1000, 1002, 1004, 1006, 1008 (siehe Fig. 10) ausgebildet. Vorzugsweise bilden die Leiterplattenabschnitte 900, 902 eine Leiterplatte 908, die in zwei Leiterplatten - abschnitte 900, 902 unterteilt ist. Der Leiterplattenabschnitt 902 umfasst die Leiterbahnen 212, die mit dem Steckerelement 202 elektrisch verbunden sind. Beispielsweise kann das Steckerelement 202 direkt mit den Leiterbahnen 212 kontaktiert sein.

Alternativ kann das Steckerelement 202 mit Leiterbahnen (nicht gezeigt) des Leiterplattenabschnitts 900 kontaktiert sein, die wiederum mit den Leiterbah nen 212 elektrisch verbunden sind. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Leiterbahnen 212 sich durch das Federelement 904, 906 in den Leiterplattenab schnitt 900 erstrecken und mit dem Steckerelement 202 kontaktiert werden. Weiterhin können für dieses Ausführungsbeispiel Zentrierelemente, wie für Fig. 4 bis 8 beschrieben vorgesehen sein.

Fig. 10 zeigt eine Aufsicht einer weiteren Ausführungsform der Leiterplatt 908. Die Leiterplatte 908 weist Materialschwächungen 1000 auf, die derart ausgebil det sind, dass zumindest ein Festkörper gelenk 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 zwi schen den Leiterplattenabschnitten 900, 902 ausgebildet ist. Beispielsweise kön nen mehrere Festkörper gelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 als Federelemente 904, 906 ausgebildet sein. Diese sind vorzugsweise materialeinstückig mit den Leiterplattenabschnitten 900, 902 ausgebildet und bestehen insbesondere somit aus demselben Material.

Die Materialschwächungen 1000 können beispielsweise mit Hilfe eines Trennver ^¬ fahrens, insbesondere Laserns oder Fräsens, eingebracht werden. Vorzugsweise sind die Materialschwächungen 1000 als Spalte oder Aussparungen ausgebildet, die bevorzugt über eine gesamte Dicke der Leiterplattenabschnitte 900, 902 ver ^¬ laufen. Beispielsweise sind Materialschwächungen 1012, 1014 derart in die Lei ^¬ terplatte 908 eingebracht, dass ein Festkörper gelenk 1002 U-förmig geformt ist. Weiterhin kann ein weiteres U-förmiges Festköper gelenk 1004 gegenüberliegend zu dem Festkörper gelenk 1002 vorgesehen sein.

Vorzugsweise sind zwei weitere U-förmige Festkörper gelenke 1006, 1008 spiegel ^¬ symmetrisch zu den Festkörper gelenken 1002, 1004 vorgesehen. Weiterhin sind beispielsweise Materialschwächungen 1016, 1018 derart vorgesehen, dass ein trapezförmiges Festkörper gelenk 1010 ausgebildet wird. Die Festkörper gelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 sind dazu eingerichtet, eine elastische Bewegung des Leiterplattenabschnitts 900 relativ zu dem Leiterplattenabschnitt 902 zuzu ^¬ lassen. Die Festkörper gelenke 1002, 1004, 1006, 1008, 1010 können beispielswei ^¬ se auch L-förmig, bogenförmig, W-förmig oder I-Förmig ausgebildet sein.

Fig. 11 zeigt ein System 1100 für die Lithographieanlage 100A, 100B (siehe Fig.

1 und Fig. 2). Das System 1100 umfasst die Steckeranordnung 200 und den Ak ^¬ tuator 134, welcher mit dem Trägerabschnitt 210 oder dem Leiterplattenab ^¬ schnitt 902 und dem Steckerelement 202 mittels einer Vielzahl von Leitungen 1104 elektrisch verbunden ist. Das Steckerelement 202 fungiert als elektronische Schnittstelle des Aktuators 134, die mit dem Steckerelement 204 verbindbar ist. Beispielsweise umfasst das System 1100 einen integrierten Schaltkreis 1102, welcher mit dem Steckerelement 204 mittels einer Vielzahl von Leitungen 1106 elektrischen verbunden ist. Vorzugsweise ist der Aktuator 134 mit dem Gehäuseelement 220 verschraubt. Das Steckerelement 204 fungiert als elektronische Schnittstelle des integrierten Schaltkreises 1102 zu dem Steckerelement 202. Der Schaltkreis kann einen Pro ^¬ zessor 1108 umfassen. Anstelle eines Aktuators 134, kann das System auch 2, 3, 4 oder mehr Aktuatoren umfassen, die mittels der Steckerelemente 202, 204,

406, 408, 410, 412 (siehe Fig. 4) mit dem Schaltkreis 1102 kontaktiert werden.

Fig. 12 zeigt im Unterschied zu Fig. 11, dass das System 1100 anstelle des Aktu ^¬ ators 134 Sensoren 136, 1200, 1202, die z.B. dazu eingerichtet sind, eine Lage eines Spielgels 110, 112, 114, 116, 118, Ml, M2, M3, M4, M5, M6 der Lithogra ^¬ phieanlage 100A, 100B zu erfassen. Es versteht sich, dass ein derartiges System 1100 eine Vielzahl von Steckerelementen, den Aktuator 134 aus Fig. 11 und die Sensoren 136, 1200, 1202 aus Fig. 12 kombiniert umfassen kann. Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrie ^¬ ben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.

BEZUGSZEICHENLISTE

100A EUV-Lithographieanlage

100B DUV-Lithographieanlage

102 Strahlform ungs- und Beleuchtungssystem

104 Projektionssystem

106A EUV-Lichtquelle

106B DUV-Lichtquelle

108A EUV Strahlung

108B DUV Strahlung

110 Spiegel

112 Spiegel

114 Spiegel

116 Spiegel

118 Spiegel

120 Photomaske

122 Spiegel

124 Wafer

126 optische Achse

128 Linse

130 Spiegel

132 Medium

134 Aktuator

136 Sensor

200 Steckeranordnung

202 Steckerelement

204 Steckerelement

206 Stecker

208 Buchse

210 Trägerelement

212 Leiterbahnen

214 Material 216 Leitung

218 Aufnahme

220 Gehäuseelement

222 Seitenwand

224 Seitenwand

226 Seitenwand

228 Seitenwand

230 Boden

232 Gehäuseelement

234 Öffnung

236 Oberseite

238 Leiterplatte

300 Wand

302 Wand

400 Trägerelement

402 Trägerelement

404 Trägerelement

406 Steckerelement

408 Steckerelement

410 Steckerelement

412 Steckerelement

414 Aufnahme

500 Zentrierelement

502 Zentrierelement

504 Aufnahmeelement

506 Abschnitt

508 Abschnitt

510 Abschnitt

512 Abschnitt

514 F ühr un gs abschnitt

516 Einführschräge

518 Teil 520 Rohrabschnitt

522 Pin

524 Buchse

526 Zentrierelement

528 Zentrierelement

530 Zentrierelement

600 Einführschräge

602 Öffnungskante

800 Basis ab schnitt

900 Leiterplattenabschnitt

902 Leiterplattenabschnitt

904 Federelement

906 Federelement

908 Leiterplatte

1000 Materialschwächung

1002 F estkörp er gelenk

1004 F estkörp er gelenk

1006 F estkörp er gelenk

1008 F estkörp er gelenk

1010 F estkörp er gelenk

1012 Materialschwächung

1014 Materialschwächung

1100 System

1102 Schaltkreis

1104 Leitung

1106 Leitung

1108 Prozessor

1200 Sensor

1202 Sensor

B 1 Bewegungsrichtung

B2 Bewegungsrichtung E Einsteckrichtung

D Dicke Dl Breite D2 Breite D3 Breite Ml Spiegel M2 Spiegel M3 Spiegel M4 Spiegel M5 Spiegel M6 Spiegel S Spalt

50 Spiel

51 Spiel Z Zentrierachse